JP4780752B2 - 切断加工装置 - Google Patents

Description

本発明はワーク（例えば配線基板、パッケージ基板、コンデンサ、インダクタ、抵抗体、磁性体等の積層基板、積層型電子部品）の切断加工装置に関するものである。

従来、切断加工装置にはバキューム式のインデックステーブルでワークを吸着して、９０度回動させる度に上切断刃を具備する切断加工機で所定ピッチ宛そのワークをカットして、ワークをチップ状に成形していた（例えば特許文献１）。
この特許文献１では、ワークが可撓性を有して取扱いが面倒なため、金属製の矩形枠状のワークホルダにそのワークをテープ等の沿え貼りで仮止めし、それによりワークの切断加工装置へのローダー等へのセッティングを容易にしている。特許文献２等がその公知例である。
また、前記特許文献１、２に示すようなフルカットではないが、上下のカッターホルダに弾機を介して上下のストリッパを支持し、ワークホルダで支持されるワークをその上下の切断刃でワークを所定深さ分担して切り込み、焼成後切断砥石で残置される繋ぎ部を分断するハーフカット用の切断加工装置もある（例えば特許文献３）。

ところで、一般的にワークは矩形枠状のワークホルダ上面に周縁が載置された状態でテープ等で仮固定されるので、切断加工機の基準面となるテーブル面や下ストリッパとの間にワークホルダ厚程度の隙間を形成する。
そのため、特許文献２の切断加工時には、ミクロ的ではあるが上切断刃刃先でその間隙を利用してワークを押し下げながらフルカットするので、所定ピッチをもって精度良く切断されない加工精度の上の問題を残置している。
また、特許文献３では、上下の切断刃が同時に切り込む（カットする）ものであっても、下ストリッパがワーク裏面に間隙を介して配置されるので、ワークが下方に押し下げられながら展延してハーフカットされ、同様に所定のピッチでの切断精度の向上が期待できない問題があった。
そして、ワークホルダを使用するとそのワークホルダとの衝突によるチッピングを避けるべくワークホルダの平行する枠体間よりも短寸な切断刃でワークをフルカット、ハーフカットしているので、ワーク全体を利用できず、端切れが生じ、歩留まりを悪くする。
特許第２９８８６２１号公報 特開２００１−１１３５２０号公報 特開２００４−３４３１９号公報

本発明は上記従来事情に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、上切断刃のカット（フルカットまたはハーフカット）時で上切断刃によるワークの押し下げによる変形を防止して、カット精度が向上する切断加工装置及びその装置に使用するワーク支持構造を提供することにある。
他の目的とする処は、ワークを上下切断刃でカット（ハーフカットまたはフルカット）する時にワークが展延せずカット精度が向上する切断加工装置及びその装置に使用するワーク支持構造を提供することにある。
また、他の目的とする処は、ワークホルダ手段で支持されるワークを全幅に亘ってカット（ハーフカットまたはフルカット）し、端切れを生成しない切断加工装置及びその装置に使用するワーク支持構造を提供することにある。
そして、更に他の目的とする処は、ワークを全幅に亘ってハーフカットしても切断されず耐用期まで利用できる切断加工装置に使用される最適なワーク支持構造を提供することにある。

前記課題を解決するために講じた技術的手段は、一つには、ワークを着脱可能に支承するワークホルダと、該ワークホルダをクランプして所定ピッチずつ移動させる移動装置と、上切断刃と下切断刃を備えた切断加工機とを備え、該移動装置が前記ワークホルダを所定ピッチずつ移動させる度に前記上切断刃と前記下切断刃でワークをハーフカットする切断加工装置において、前記切断加工機は、前記上切断刃の切り込み位置周囲でワークの表面に近接又は接触する上ストリッパと、当該上ストリッパと対応して前記ワークの裏面側の当たり面となる下ストリッパとを備え、前記上ストリッパを前記上切断刃とは独立して上下高さ制御可能にすると共に、前記ワークホルダをワークの厚さよりも薄肉なワークホルダ用シートで構成し、前記ワークホルダ用シートは、ワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を備え、前記ワークホルダ用シートの孔にワークを挿入して当該ワークを前記ワークホルダ用シートに仮止めし、前記上切断刃と前記下切断刃とでワークをハーフカットする際に前記上切断刃と前記下切断刃の両方が前記ワークホルダ用シートに接触しないように、前記ワークホルダ用シートをワーク厚の中途域に位置させており、前記移動装置が前記ワークホルダ用シートをクランプして移動させる際に前記切断加工機のテーブル面にワーク裏面全面が摺接するように構成し、前記下ストリッパを前記切断加工機のテーブル面高さに固定していることを特徴とする。
また、一つには、ワークを着脱可能に支承するワークホルダと、該ワークホルダをクランプして所定ピッチずつ移動させる移動装置と、上切断刃と下切断刃を備えた切断加工機とを備え、該移動装置が前記ワークホルダを所定ピッチずつ移動させる度に前記上切断刃と前記下切断刃とで分担してワークをフルカットする切断加工装置において、前記切断加工機は、前記上切断刃の切り込み位置周囲でワークの表面に近接又は接触する上ストリッパと、当該上ストリッパと対応して前記ワークの裏面側の当たり面となる下ストリッパとを備え、前記上ストリッパを前記上切断刃とは独立して上下高さ制御可能にすると共に、前記ワークホルダをワークの厚さよりも薄肉なワークホルダ用シートで構成し、前記ワークホルダ用シートは、ワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を備え、前記ワークホルダ用シートの孔にワークを挿入して当該ワークを前記ワークホルダ用シートに仮止めし、前記上切断刃と前記下切断刃とで分担してワークをフルカットし、前記移動装置が前記ワークホルダ用シートをクランプして移動させる際に前記切断加工機のテーブル面にワーク裏面全面が摺接するように構成し、前記下ストリッパを前記切断加工機のテーブル面高さに固定していることを特徴とする。

以下に、本発明の実施形態を説明する。まず、本発明の切断加工装置を用いた方法としては、切断加工機に、テーブル面側に切断刃またはテーブル面を挟んで一対の切断刃を備え、ワークを着脱可能に支承するワークホルダを移動装置でクランプして切断加工機のテーブル面に所定ピッチ宛移動させてテーブル面側の切断刃を切り込む時に、ワーク表面にストリッパを接近もしくは接触させると共に、切断刃直下付近のワーク部分のワーク裏面高さにワーク当たり面を配置し、前記切り込み時の切断刃によるワークの押し下げをワーク当たり面で防止するものである。
前記上下切断刃を具備する切断加工機は、その上下の切断刃で分担してワークをハーフカットする加工機また同様に分担してフルカットする加工機である。
以上の手段によれば、切り込み時にテーブル面側の切断刃による押し下げ力をワークに作用させずにカットする。

そして、ワーク当たり面を上下高さ制御可能とし、前記前記テーブル面側の切断刃切り込み時にその切断刃直下付近のワーク部分のワーク裏面高さにそのワーク当たり面を上昇させた状態でその切り込みを実行する。

以上の手段によれば、移動装置のクランパでクランプしてワークを切断加工機に移動させる際に、そのワーク当り面をワークホルダに干渉しないように下降させることができる。

また、ワークを着脱可能に支承するワークホルダを移動装置でクランプして、テーブル面を挟んで上下切断刃を具備する切断加工機に所定ピッチ宛移動させてワークをハーフカットする切断加工方法において、前記ワークホルダを薄肉なワークホルダ用シートで構成し、そのワークホルダ用シートにワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を開設し、該ワークホルダ用シートのその孔にワークを挿入して、ワークを囲む該ワークホルダ用シートの環状板部にワークの縁部分を着脱可能な仮止手段で仮止めし、上下切断刃でワークを全幅、または平行する縁部に非切断部を残してハーフカットするに際して、前記ワークホルダ用シートを、上下切断刃に接触しないようにワーク厚の中途域に位置させ、前記移動装置でクランプさせて切断加工機に移動させる時、ワークが切断加工機のテーブル面を摺接するように構成し、上ストリッパを上切断刃とは独立して上下高さ制御可能とし、下ストリッパを切断加工機のテーブル面高さに固定的に設けて、上切断刃切り込み時の上切断刃によるワークの押し下げを防止し、下切断刃切り込み時の下切断刃によるワークの押し上げをワークの表面に接近または接触するように制御動させた上ストリッパで防止することができる。仮止手段の一例としては、剥離可能な貼付部材（テープ状物）を挙げることができる。

以上の手段によれば、薄肉なワークホルダ用シートに開孔する孔に挿入するワークを、ハーフカットする切断刃に接触しないようにワーク厚の中途域に位置させてそのワークホルダ用シートに仮止めして、ワークの幅よりも長尺な所要長さの上下の切断刃でワークホルダ用シートを切断することなくワークを全幅に亘ってハーフカットしたり、ワークの幅よりも短寸な上下の切断刃で平行する縁部に非切断部を残してワークをハーフカットしたりすることができる。そして、ハーフカット時の上切断刃によるワークの押し下げを切断加工機のテーブル面高さに固定的に設けた下ストリッパで、また下切断刃によるワークの押し上げを上ストリッパで各々防止することができる。

そして、ワークホルダを切断可能な薄肉なワークホルダ用シートで構成し、そのワークホルダ用シートにワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を開設し、該ワークホルダ用シートのその孔にそのワークを挿入して、ワークを囲む該ワークホルダ用シートの環状板部に、仮止手段で着脱可能に仮止めし、移動装置でクランプさせて切断加工機に移動させる時、ワークが切断加工機のテーブル面を摺接するように構成すると共に、ワークを上下切断刃で分担して全幅、または平行する縁部に非切断部を残してフルカット可能とし、上ストリッパを上切断刃とは独立して上下高さ制御可能にすると共に、下ストリッパを切断加工機のテーブル面高さに固定的に設けて、上切断刃切り込み時の上切断刃によるワークの押し下げをその下ストリッパで防止し、下切断刃切り込み時の下切断刃によるワークの押し上げをワークの表面に接近または接触するように制御動させた上ストリッパで防止するようにしている。

以上の手段によれば、ワークを仮止めする薄肉なワークホルダ用シートにおいてワークを囲む環状板部に切れ目を入れる長さの切断刃でワークを全幅に亘ってフルカットすることができる。そして、フルカット時の上切断刃によるワークの押し下げを切断加工機のテーブル面高さに固定的に設けた下ストリッパで、また下切断刃によるワークの押し上げを上ストリッパで各々防止することができる。また、ワークの幅よりも短寸な上下の切断刃で平行する縁部に非切断部を残してワークをフルカットできる。

更に、装置としては、ワークを着脱可能に支承するワークホルダを移動装置でクランプして切断加工機に所定ピッチ宛移動させる度に上下切断刃で前記ワークをハーフカットする切断加工装置において、上ストリッパと共に下ストリッパを上下切断刃とは独立して上下高さ制御可能に構成してなり、該上切断刃の切り込みは下ストリッパをワーク裏面高さ位置に制御動させ、下切断刃の切り込みは上ストリッパをワークに表面に接近もしくは接触する高さ位置に制御動させて行うようにすることができる。また、従来のワークホルダを移動装置でクランプして上下切断刃を具備する切断加工機に所定ピッチ宛移動させる度に上下切断刃で分担して前記ワークをフルカットする切断加工装置においては、上ストリッパ、下ストリッパを上下切断刃とは独立して上下高さ制御可能に構成し、該上切断刃の切り込みは下ストリッパをワーク裏面高さに制御動させ、下切断刃の切り込みは上ストリッパをワークに表面に接近もしくは接触する高さ位置に制御動させて行う。

そして、ワークを着脱可能に支承するワークホルダを移動装置にクランプして切断加工機に所定ピッチ宛移動させる度に上下切断刃で前記ワークをハーフカットする切断加工装置において、上ストリッパを上切断刃とは独立して上下高さ制御可能にすると共に、前記ワークホルダを薄肉なワークホルダ用シートで構成し、該ワークホルダ用シートは、ワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を開設し、該ワークホルダ用シートのその孔にワークを挿入して、ワークを囲む該ワークホルダ用シートの環状板部にワークの縁部分を着脱可能な仮止手段で仮止めし、上下切断刃でワークを全幅、または平行する縁部に非切断部を残してハーフカット可能とするようにワークホルダ用シートを、ワークをハーフカットする上下切断刃に接触しないようにワーク厚の中途域に位置させ、前記移動装置に前記ワークホルダ用シートをクランプして移動させる時、切断加工機のテーブル面にワーク裏面全面が摺接するように構成し、下ストリッパを切断加工機のテーブル面高さに固定していると好適なものである。

以上の手段によれば、ワークの幅よりも長尺な所要長さの上下の切断刃でワークホルダ用シートを切断することなくワークを全幅に亘ってハーフカットしたり、ワークの幅よりも短寸な上下の切断刃で平行する縁部に非切断部を残してワークをハーフカットしたりすることができる。
そして、ハーフカット時の上切断刃によるワークの押し下げを切断加工機のテーブル面高さに固定的に設けた下ストリッパで防止し、また下切断刃によるワークの押し上げを上ストリッパで各々防止することができる。

更に、ワークを着脱可能に支承するワークホルダを移動装置にクランプして上下切断刃を具備する切断加工機に所定ピッチ宛移動させる度に上下切断刃で分担して前記ワークをフルカットとする切断加工装置であって、上ストリッパを上切断刃とは独立して上下高さ制御可能とし、前記ワークホルダを薄肉な切断可能なワークホルダ用シートで形成し、該ワークホルダ用シートは、ワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を開設し、該ワークホルダ用シートのその孔にワークを挿入して、ワークを囲む該ワークホルダ用シートの環状板部にワークの縁部分を着脱可能な仮止手段で仮止めし、ワークを上下切断刃で分担して全幅、または平行する縁部に非切断部を残してフルカット可能とし、前記移動装置に前記ワークホルダ用シートをクランプして移動させる時、切断加工機のテーブル面にワーク裏面全面が摺接するように構成し、下ストリッパを切断加工機のテーブル面高さに固定していると好適なものである。尚、ワークホルダ用シートをクランプして移動させる時、切断加工機のテーブル面にワーク裏面全面が摺接するように構成する。これは、例えば切断加工機のテーブルをワークよりも幅広でワークホルダ用シートよりも幅狭に形成し、平面視でテーブルから両側に突出するワークホルダ用シート部分を移動装置のクランパでクランプして、切断加工機に移動させる時にクランパがテーブルに干渉しないにようにすることが提案できる。

以上の手段によれば、ワークホルダ用シートにおいてワークを囲む環状板部に切れ目を入れる長さの切断刃でワークを全幅に亘ってフルカットしたり、ワークの幅よりも短寸な上下の切断刃で平行する縁部に非切断部を残してワークをフルカットしたりすることができる。
そして、フルカット時の上切断刃によるワークの押し下げを切断加工機のテーブル面高さに固定的に設けた下ストリッパで防止し、また下切断刃によるワークの押し上げを上ストリッパで各々防止することができる。

前記切断加工機がワークに所定間隔をおいて付されているマークを検出するマーク位置検出手段を具備し、該切断加工機に移動装置で所定ピッチ宛移動させる度にそのマークの位置ズレを前記マーク位置検出手段で検出して、移動装置を切断加工機への移動方向であるＹ軸線方向、θ方向またはＹ軸線方向、θ方向、Ｘ軸線方向に補正動可能に構成されていると、送り誤差等を修正してカットする上で好適なものである。ワークを全幅に亘ってフルカットまたはハーフカットする場合には、移動装置を切断加工機への移動方向であるＹ軸線方向、θ方向に補正動可能とするが、ワークを平行する縁部に非切断部を残してワークをフルカットまたはハーフカットする場合に、ワークを切断刃の長さに対応させるべく、更にＸ軸線方向にも補正動可能に構成するのが好ましいものである。

前記ワークホルダ用シートに縁部材を設け、該縁部材はワークホルダ用シートの縁に設けた縁体と、移動装置のクランパでクランプされる本体と備え、前記本体に前記縁体を高さ調整可能に連結していると、クランパでクランプされる本体を変更することなくワーク厚み変化に対応してワークを切断加工機のテーブル面に摺接させる。また、移動装置のクランパまたはテーブル面を高さ調整可能に構成すると、厚みに合わせてワークを高さ調整してその裏面全面をテーブル面に摺接するのが好都合である。

前記切断加工機のテーブル面または下ストリッパ表面もしくはテーブル面と下ストリッパ表面とを加熱手段で加熱するように構成すると切断対象であるワークを移動しながら加熱し柔らかくしてカット（ハーフカットまたはフルカット）し易くなる。

また、切断加工機は、カッターホルダに設けたセットポスト孔にＺ軸線方向に制御動されるラムのセットポストを高精度嵌合してダイセットを構成していると、切断刃のセットが高精度に行える。そして、切断加工機が、上下切断刃刃先相互の刃幅方向の位置を検出する第１刃先検出手段を具備していると、上下切断刃の刃先相互の刃幅方向の位置ズレを修正できるし、切断加工機は、切断刃の刃渡り方向の傾斜具合を検出する第２刃先検出手段を具備していると、刃先の水平度を出すことができる。

移動装置でクランプされるワークの支持構造であって、薄肉なワークホルダ用シートにワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を開設し、該ワークホルダ用シートのその孔にワークを挿入して、ワークを囲むそのワークホルダ用シートの環状板部にワークの縁部分を着脱可能な仮止手段で仮止めし、前記ワークホルダ用シートを、ワークをハーフカットする切断刃に接触しないようにワーク厚の中途域に位置させたワーク支持構造であったり、移動装置でクランプされるワークの支持構造であって、薄肉な切断可能なワークホルダ用シートにワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を開設し、該ワークホルダ用シートのその孔にワークを挿入して、ワークを囲むそのワークホルダ用シートの環状板部にワークの縁部分を着脱可能な仮止手段で仮止めして、前記ワークホルダ用シートをワークと共にフルカット可能にしていることを特徴とするワーク支持構造であると、好適である。

このような特徴によると以上の利点がある。テーブル面側に切断刃切り込み時にその切断刃の押し下げ力を受けてワークが変形するのを防止し、ワークを所定のピッチで高精度にカットすることができる。
しかも、ワークがワークホルダの上面に仮止めされる支持構造であっても、ワーク当り面を上下高さ制御動可能にして切断加工機に移動させる時にワークホルダとの干渉を回避し、上切断刃の切り込み時にワーク裏面高さに制御動して、上切断刃の押し下げ力を受けてのワークの変形を防止することができる。
その上、上下切断刃を使用して、ワークをハーフカットやフルカットする時に下ストリッパを切断加工機のテーブル面と同じ高さに固定的に設けておけばよく、下ストリッパの上下高さ調整を待たずして、連続してカット作業を実行し、生産性を向上することができる。
その上、ワークを、端切れを生み出すことなく全幅に亘ってハーフカットでき、しかもワークホルダ用シートを切断させず耐用期まで繰る返し使用できる。また、ワークを、端切れを発生させずに全幅に亘ってフルカットできる。上ストリッパを、下切断刃切り込む時のワークの押し上げを防止するストッパ、下ストリッパを、上切断刃切り込む時のワークの押し下げを防止するストッパとして兼務でき、より高精度なカットが行えるし、上下ストリッパを上下高さ制御動可能にしているから、上下切断刃で分担してハーフカット、フルカットする時に下ストリッパのワークホルダとの干渉を防止して上切断刃の切り込み時にワーク裏面高さに制御することができる。
しかも、下ストリッパが切断加工機のテーブル面と同じ高さに固定される構成であるので、高さ制御手段が不要で、設備コストを低減できる。その上、例えばワークホルダで支持されるワーク裏面に接触するようにワーク当たり面を上下高さ制御可能にした場合のように、ワークの大きさに応じて長さ寸法が異なるワーク当たり面を製作用意する必要がなく、装置コストを低減できるし、交換作業も不必要である。
ワークホルダ用シートを切断することなくハーフカットするので、端切れを発生させずにワークを隅々まで有効活用し、しかもワークホルダ用シートを耐用期まで反復使用させるから、経済的効果大である。
ワークを、端切れを発生させずに全幅に亘ってハーフカットし、歩留まりを向上できる。
しかも、ハーフカットまたはフルカット対象となるワークの厚みが変化することがあっても、移動装置のクランパでクランされる本体が変更されず、そのクランパ機構をワークの厚みに対応して交換する必要がない。
下ストリッパ表面、テーブル面は上下動しないから加熱手段で加熱することが可能になり、切断刃直下に移動させるワークを直接加熱して柔らかくして切断を補助する補助装置として有効活用することができる。
カッターホルダが、駆動源に連絡してＺ軸線方向に制御動されるラムとでダイセットを構成しており、再現性をもって切断刃を所定位置に高精度に取り付けることができる。
しかも、上下切断刃刃先相互の刃幅方向の位置を検出する第１刃先検出手段や、切断刃の刃渡り方向の傾斜具合を検出する第２刃先検出手段を具備しているので、上下の切断刃を使用してカット（ハーフカット、フルカット）する際の刃先同士の位置ズレや、刃渡り方向の傾動誤差を検出でき、刃先が破損したり、カットが不完全であったり、高精度なカットを不能にすることがない。
端切れを作り出すことなくワークを全幅に亘ってハーフカット、フルカットできる切断加工方法に使用する好適なワーク支持構造を提供する。

次に本発明に関連する一つの形態例を図１〜図８に、他の形態例を図９に、他の形態例を図１０、他の形態例を図１１、他の形態例を図１２、図１３に、他の形態例を図１４、図１５に、他の形態例を図１６〜図１９に、他の形態例を図２０に各々示している。前記図１〜図８の形態例では、上面に周縁を載置してワークをテープ等の仮止め手段で着脱可能に仮止めした矩形枠状のワークホルダではなく、薄肉なワークホルダ用シートを用いて、ワークを全幅に亘ってハーフカットしている。
まず、図１〜図８に示す切断加工装置の形態例について説明すると、符号Ａは切断加工装置、ＷＨはワークホルダを構成するワークホルダ用シート、１は切断加工機である。

形態例１

切断加工装置Ａは、図１、図２、図４、図５に示すように支持台ＢのＹ軸線方向の前方側に切断加工機１およびテーブル面ｔを基準面とするテーブルＴを設置し、支持台ＢにワークＷを解除可能にクランプする移動装置２をＹ・Ｘ軸線方向に制御動可能で且つθ方向に補正動可能に設け、更に移動装置２の待機位置にインデックステーブル３を設置した構成になっている。

前記支持台Ｂは、図１〜図３に示すように、切断加工機方向に平行なガイドレールＧＬを立設して、そのガイドレールＧＬで移動装置２をＹ軸線方向に制御動可能にしている。

前記移動装置２は、図２、図３に示すように、前記ガイドレールＧＬにスライド可能に係合する門形体１２と、その門形体１２にＹ軸線方向に制御動可能に連結されθ方向にも制御動可能になっている支持部２２と、その支持部２２にＸ軸線方向に制御動可能に支持されたクランパ３２等から構成されている。

前記門形体１２は、その天板部１２ａから下方に垂設した螺合用アーム１２ｂに、前記支持台Ｂに設置したサーボモータＭ１を駆動源として軸受けされたボールネジｍを螺嵌して、支持部２２と共にクランパ３２をＹ軸線方向に制御動させるようになっている。

前記支持部２２は、図３に示すように正面視逆Ｌ形状を呈する支持体２２ａと、同様に正面視逆Ｌ形状を呈する中間支体２２ｂと、クランパ支体２２ｃとを備えている。
前記支持体２２ａは、その水平板部２２ａ’を前記門形体１２の天板部１２ａにθ方向に回動可能に軸止し、その水平板部２２ａ’から延設する腕部２２ａ’−１をサーボモータＭ２で押動してθ方向の回動量を制御可能とし、垂直板部２２ａ”表面にガイドレールＧＬを縦設している。
中間支体２２ｂは、垂直面部２２ｂ’裏面に設けた突条２２ｂ’−１を前記縦設されたガイドレールＧＬに係合すると共に、水平面部２２ｂ”に、下端が支持体２２ａの水平板部２２ａ’に上面に突き当る高さ調整ネジ１００を螺合して前記支持体２２ａに対して高さ調整可能になっている。
クランパ支体２２ｃには、ガイドレールＧＬ、ＧＬを左右に一対間隔をおいて横設し、そのガイドレールＧＬ、ＧＬに前記中間支体２２ｂの垂直面部２２ｂ’に突設した突部２２ｂ’−２がＸ軸線方向に制御動可能に係合し、中間支体２２ｂの端面に設けたアクチュエータＭ３でＸ軸線方向に制御動するように構成されている。

クランパ３２は、図３に示すように前記するクランパ支体２２ｃの先端左右端からＹ軸線方向、即ち切断加工機方向を向いて、クランパ体３２ａ、３２ａを延設した構成になっている。

前記ワークホルダ用シートＷＨは、図７等に示すように金属板、プラスチック板、紙繊維に合成樹脂を含浸した合成紙等切断可能、切断不能を問わず０．１〜０．３ｍｍ程度の薄肉な所定の平面積（矩形状（好ましくは正方形））に形成してなり、ワークＷである生素地段階（セラミックスグリーンシート間に所定の電極等の導体層を印刷して多層状に積層した）の各種積層基板の外形と同形もしくはほぼ同形の面積の孔Ｗ１を開設した孔面積を異にする複数タイプが製作用意されている。
また、生ゴム、合成ゴム等の弾性のある膜板で形成されていても良いものであるが、伸びの少ない腰のある材料で成形するのが好ましいものである。

前記ワークＷには、その表面や端面等に図８に示すように所定ピッチでマークＷＭが付されており、該当する面積の孔Ｗ１を開孔しワークホルダ用シートＷＨのその孔Ｗ１に挿入した後、コーナー等を前記ワークホルダ用シートＷＨに剥離可能なテープ（仮止手段）Ｗ２で仮止めされている。
このワークＷが仮止めされるワークホルダ用シートＷＨは、このワークＷを挟んで同軸上に備設する上下一対の各々の切断刃Ｃ１、Ｃ２でハーフカットする際、各々の切断刃Ｃ１、Ｃ２に接触しないようにワークＷ厚の中途域（好ましくは中間）に位置するように仮止めされて、ワーク支持構造を構成している。

そして、前記ワークホルダ用シートＷＨには、仮止めされたワークＷ周囲に所要幅寸法の環状板部Ｗ’を残してその縁に耐強度を付与するために縁部材４が設けられ、その縁部材４を移動装置２先端のクランパ３２で解除可能にクランプして、その移動装置２の機能でハーフカット対象となるワークＷを制御動できるようになっている。
尚、ワークＷの裏面は、ワークホルダ用シートＷＨに仮止めした状態で前記縁部材４の下面と同一高さもしくはそれより若干低い高さになるように形成されている。

クランパ体３２ａは、図３、図７等に示すように水平片部３２ａ’−１を前記ワークホルダ用シートＷＨの縁部材４における左右の枠体１４、１４外半部用の載承片とするＬ形片３２ａ’と、そのＬ形片３２ａ’の立ち上がり片部３２ａ’−２上端に回動可能に軸着した回動片３２ａ”とで左右の枠体１４、１４を挟持可能とし、その回動片３２ａ”に開閉用のアクチュエータＭ４を連絡して、クランプを解除可能にしている。
そして、図１に示すように切断加工機１のテーブルＴの手前位置である待機時のワークＷ直下にはインデックステーブル３が上下動可能に設置されている。

前記インデックステーブル３は、前記移動装置２のクランパ３２で解除可能にクランプされる待機状態のワークＷを保持するワークホルダ用シートＷＨの縁部材４における前後の枠体１４、１４を載置する高さ位置から所定高さまで上昇し、その上昇高さ位置で９０度回動可能に構成してなり、テーブル上下用のシリンダと回転モータからなるアクチュエータＭ５を作動させて、前記回動片３２ａ”を上方に回動したクランプ解除状態で移動装置２に干渉しないようにワークＷを上方に上昇させ、その高さ位置でワークＷを９０度回転させ、再び下降させて再度左右の枠体１４、１４を移動装置２にクランプできるようになっている。

前記テーブルＴは、図１、図４等に示すように前記待機状態のワークＷのＹ軸線方向前方位置にインデックステーブル３と同一高さ位置に縁部材４における左右の枠体１４、１４の内半部下面間の横幅寸法をもって水平状に設けられており、サーボモータＭ１を駆動させて移動装置２をＹ軸線方向に前進させると、インデックステーブル３からワークＷ裏面全面が摺接するように乗り移らせることができるようになっている。
尚、前記の高さ調整ネジ１００の進退で、中間支体２２ｂ、クランパ支体２２ｃ、クランパ３２と共に、ワークＷが高さ調整可能であるので、ワークＷの肉厚に応じて高さ調整して、ワークＷ裏面全面をテーブル面ｔに摺接するように乗り移らせることができるようになっている。

前記切断加工機１は、図１、図２、図４、図５等に示すように本体枠１１の左右枠１１ａ、１１ａ内面の上半部、下半部に外側ガイドレールＧＬ、ＧＬ各々を縦設し、本体枠１１の上枠１１ｂと下枠１１ｃに各々個別に設けたサーボモータＭ６、Ｍ６を駆動源とするボールネジｍで連結される上Ｚ軸線サドル２１、下Ｚ軸線ラム３１を上枠１１ｂの真下、下枠１１ｃの真上に各々配設し、上Ｚ軸線サドル２１、下Ｚ軸線ラム３１の両端に前記ガイドレールＧＬ、ＧＬに摺動可能に外嵌合する案内部２１ａ、３１ａを突設して、上Ｚ軸線サドル２１、下Ｚ軸線ラム３１を上下スライド可能とし、上Ｚ軸線サドル２１を下面を開放した内部中空に形成すると共にその下端に上ストリッパＳＴ１を設け、上Ｚ軸線サドル２１内面に設けたガイドレールＧＬ、ＧＬに上Ｚ軸線ラム４１をスライド可能に係合すると共に上Ｚ軸線サドル２１の上端に設けたサーボモータＭ７にその上Ｚ軸線ラム４１に連結し、該上Ｚ軸線ラム４１にカッターホルダＣＨを介して上切断刃Ｃ１を、また下Ｚ軸線ラム３１にカッターホルダＣＨを介して下切断刃Ｃ２を各々取付け、更に本体枠１１における左右枠１１ａ、１１ａの途中にワークＷの表面縁に所定ピッチ毎に施したマークＷＭを撮像するマーク位置検出手段５であるカメラを出入り可能に装設し、更にそのテーブルＴにおいて、上ストリッパＳＴ１と対応してワーク当たり面である下ストリッパＳＴ２をテーブルＴと同一高さに移動不能に固定的に設けている。
また、切断加工機１は、上下切断刃Ｃ１、Ｃ２相互の刃幅方向に位置ズレを検出する第１刃先検出手段Ｄ１と、切断刃Ｃ１、Ｃ２の刃渡り方向の傾斜具合を検出する第２刃先検出手段Ｄ２とを具備している。
この第１刃先検出手段Ｄ１は、切断加工作業の前段階でサーボモータＭ６、Ｍ６、Ｍ７を制御して、刃先同士を接近もしくは当接間係にした状態の両刃先を撮像し、画像回析によって位置ズレを検出するようになっている。本実施の形態では前記マーク位置検出手段５であるカメラを使用して、両刃先の刃幅方向の位置ズレを検出するようになっている。本実施の形態では前記マーク位置検出手段５であるカメラを上下回動可能とし、上方に所要の角度で回動させて両刃先を撮像するようになっている。
第２刃先検出手段Ｄ２は、図２等に示すようにテーブルＴに設けた光センサーやカメラであり、Ｘ軸線方向に走行してテーブル面ｔやストリッパＳＴ１、ＳＴ２に対する刃先の平行度を検出するようになっている。
前記検出結果で、カッターホルダＣＨに対する切断刃Ｃ１、Ｃ２の取付が微調整される。
また、前記切断加工機１は、上Ｚ軸線ラム４１、下Ｚ軸線ラム３１に設けたセットポスト５１をカッターホルダＣＨにも開孔したセットポスト孔６１に密嵌合して、ダイセットを構成するようになっている。
この実施の形態では、前記テーブル面ｔまたは下ストリッパＳＴ２表面、もしくはそのテーブル面ｔと下ストリッパＳＴ２表面とを加熱手段（図示せず）で加熱して、ハーフカット対象であるワークＷを加熱して柔らかくして切断し易くしている。
前記上下一対の切断刃Ｃ１、Ｃ２は、前記最も大形な孔Ｗ１に仮止めされるワークＷの幅寸法より長いが平行する枠体１４、１４間よりも短い所要長さ刃渡り長さである。

以上のように構成されている切断加工装置Ａは、図１に示す移動装置２先端のクランパ３２でワークホルダ用シートＷＨ周縁の縁部材４の左右枠体１４、１４外半部を解除可能にクランプしている待機状態でサーボモータＭ１を作動させて、テーブルＴ上をワークＷが摺接するように、所定送りピッチ、即ちマークＷＭのピッチをもってワークホルダ用シートＷＨをＹ軸線方向に制御動する度に、図６に示すように出入りするマーク位置検出手段（カメラ）５で表面の平行縁部同一位置に存在するマークＷＭを撮像し、画像処理して、各々のマークＷＭの記憶座標値Ｘ０−Ｙ０、Ｘ０−Ｙ０と、実測座標値Ｘ１−Ｙ１、Ｘ１−Ｙ１とを比較演算して得られた送り誤差の修正データをもって移動装置２、即ちワークホルダ用シートＷＨをＹ軸線方向、θ方向に制御して送り誤差によるマークＷＭの位置を補正してから、マーク位置検出手段（カメラ）５を後退させ、図７に示すように上ストリッパＳＴ１をワークＷの表面に接近もしくは接触するように制御によって下降させてから、上下切断刃Ｃ１、Ｃ２を、ワークＷの表裏同一位置から切込量Ｖ１、Ｖ１を分担するように同期して制御動させて、ワークホルダ用シートＷＨの表面、裏面に接触する寸前まで同時または時間差をおいて切込みを入れる。
例えば、ワークＷの肉厚が０．４ｍｍにあっては、例えば肉厚を０．１ｍｍ程度とするワークホルダ用シートＷＨを使用し、またワークＷの肉厚を１ｍｍ〜５ｍｍとするものにあっては、例えば肉厚を０．３ｍｍ程度のワークホルダ用シートＷＨを使用して、上下一対の切断刃Ｃ１、Ｃ２の切込分担量を上切断刃Ｃ１の刃先がワークホルダ用シートＷＨの表面に、また下切断刃Ｃ２の刃先がワークホルダ用シートＷＨの裏面に各々接触する寸前に設定して、前記のように切込むようになっている。
前記マーク位置検出手段５でのマークＷＭの撮像、θ方向への制御動、マーク位置検出手段５の所定位置への復帰、上ストリッパＳＴ２の所定高さ位置までの下降、切込みを、マークピッチでのワークホルダ用シートＷＭのＹ軸線方向への制御動の度に行う。
そして、左右の枠体１４、１４がインデックステーブル３に載承されるようにＹ軸線方向に後退させた後、クランパ３２を解除してから、インデックステーブル３を上昇させ９０度回動し下降させて再びワークホルダ用シートＷＭ周縁の左右の枠体１４、１４外半部を挟持させてから上述のように所定送りピッチ、即ちマークＷＨのピッチをもってワークホルダ用シートＷＨをＹ軸線方向に制御動する度に、マーク位置検出手段５でのマークＷＨの撮像、θ方向への制御動、マーク位置検出手段５の所定位置への復帰、上ストリッパＳＴ１の所定高さ位置までの下降、切込みを、マークピッチでのワークホルダ用シートＷＨのＹ軸線方向への制御動の度に行って、ワークＷを、端切れを作り出さずに碁盤目状にハーフカットする（図８参照）。
上切断刃Ｃ１をワークＷから抜取る時まで上ストリッパＳＴ１はワークＷの表面に接近または接触させて使用すること当然である。
また、前記仮止め手段であるテープＷ２を剥離すれば、ワークホルダ用シートＷＨは耐用期まで使用可能に碁盤目状にハーフカットされたワークＷから分離される。
碁盤目状にハーフカットされたワークＷは、焼成後にその切込み部分から切断砥石（図示せず）で分断して、平面視矩形状の積層基板や積層型電子部品からなるチップ状物を得るようになっている。

従って、この第１の実施の形態では、ワークＷをハーフカットする時の上切断刃Ｃ１の押し下げ力を受けてワークＷが変形するのを防止し、またワークホルダ用シートＷＨを切断することなくワークＷを全幅に亘ってハーフカットすることができる。

形態例２

次に、切断加工方法を実施する切断加工装置の形態例を図９に基づいて説明すると、この実施の形態のクランパ３２は、縁部材４におけるＹ軸線方向前後の枠体１４、１４を解除可能にクランプしたものである。
クランパ３２は、詳細には前記クランプ支体２２ｃに、各Ｙ軸線方向に平行な構成片３２ｂ’を平板状とし、その構成片３２ｂ’両端間を連設する構成片３２ｂ”をＬ型状とする矩形枠３２ｂを切断加工機方向に延設し、その前後の構成片３２ｂ”に回動体３２ａ”を軸着する一方、その前後の構成片３２ｂ”の水平片部３２ｂ”−１に対応して、その水平片部３２ｂ”−１を収容する凹窪部１４ａを縁部材４における前記前後の枠体１４、１４に凹設して、前後の構成片３２ｂ”、３２ｂ”と、その回動体３２ａ”、３２ａ”とで前後のクランパ体３２ａ、３２ａを構成し、前後の構成片３２ｂ”、３２ｂ”における水平片部３２ｂ”−１、３２ｂ”−１を各々凹窪部１４ａ、１４ａに収容した状態で、前後の水平片部３２ｂ”−１、３２ｂ”−１とその回動体３２ａ”、３２ａ”とで前後の枠体１４、１４を挟持可能にして、ワークＷの裏面と同一高さ位置またはそれよりも高い位置に前記する前後の構成片３２ｂ”の水平片部３２ｂ”−１が位置するように構成されている。
また、ワークＷの裏面は、前記第１の実施の形態と同様にワークホルダ用シートＷＨに仮止めした状態で縁部材４の下面と同一高さもしくはそれより若干低い高さになるようにしてある。

それ故、前記第１の実施の形態と同様に、移動装置２をＹ軸線方向に前進させると、インデックステーブル３からワークＷ裏面全面が摺接するようにテーブルＴに乗り移るようになっている。

形態例３

次に、切断加工方法を実施する切断加工装置の形態例を図１０に基づいて説明すると、この実施の形態はワーク支持構造の変形例を示すものである。
この実施の形態は、ワークホルダ用シートＷＨを弾性変形を許容する合成樹脂材等で成形している。
このようにワークホルダ用シートＷＨを弾性変形を許容する合成樹脂材で成形した場合には、その弾性変形機能でワークＷ裏面がテーブル面ｔに対して完全に摺接する関係になっていない場合でもワークＷ自重で弾性変形しテーブル面ｔに摺接することが可能になり、ワークホルダ用シートＷＨのワークＷに対する取付位置に高精度を要求されなくなる。

形態例４

次に、切断加工方法を実施する切断加工装置の形態例を図１１に基づいて説明すると、この実施の形態は、ワークＷ厚の増減間係なくクランパ３２を共用できるワーク支持構造を示している。
ワークホルダ用シートＷＨの縁部材４は、前記ワークホルダ用シートＷＨの縁に設けた縁体２４と、移動装置２のクランパ３２でワークＷを間接的にクランプする本体３４とを備えている。

本体３４は、図示するように移動装置２のクランパ３２で解除可能にクランプされる矩形部３４ａの内端上部から内向きにアーム板部３４ｂを突設して、アーム板部３４ｂ下方にスペースＳを確保し、そのアーム板部３４ｂに適宜間隔をおいて凹部３４ｂ’を凹設し、該凹部３４ｂ’底に通孔を開孔している。

一方、前記アーム板部３４ｂに対応する左右の縁体２４、２４部分には螺子孔２４ａを開孔し、前記凹部３４ｂ’に頭部が収容されるネジ６の軸部をその螺子孔２４ａに螺嵌して、ネジ６の回動で前記スペースＳを利用してワークＷの高さを調整している。
この構成を採用すると、切断対象となるワークＷ厚が変化しても、クランパ３２位置を変化させずにワークＷを切断加工機１のテーブル面を基準面とするテーブルに摺接させることができる。

形態例５

次に、図１２、図１３に示す形態例を説明すると、この形態は、前記縁部材４で周縁を補強することなく移動装置２のクランパ３２でワークホルダ用シートＷＨを直接解除可能にクランプするワーク支持構造を示している。

形態例６

更に、図１４、図１５に示す形態例を説明すると、ワークＷを全幅に亘ってフルカットする場合のワーク支持構造を示し、ワークホルダ用シートＷＨを切断可能な材料（例えば合成紙（紙繊維に合成樹脂を含浸した））で成形した点以外は前記する第１の実施の形態と同様である。
この形態では、移動装置２のクランパ３２で解除可能にクランプすると共に上下一対の切断刃Ｃ１、Ｃ２両端部が環状板部Ｗ’の上方に臨む態様にして、ワークＷを水平方向に所定ピッチ宛移動させてその上下一対の切断刃Ｃ１、Ｃ２でワークＷと共にワークホルダ用シートＷＨを完全切断（フルカット）するようになっている。
この形態の場合には、前記する実施の形態と同様に端切れを作りだすことなくワークＷを全幅に亘って碁盤目状にフルカットしてチップ状物を得た後、そのワークホルダ用シートＷＨは廃棄される。
尚、ワークＷを水平に移動させて、ワークを９０度水平方向に回動させる前、９０度回動させた後にその切断刃Ｃ１、Ｃ２を作動させて切断すること前記する実施の形態と同様である。
また、図面では、ワークホルダ用シートＷＨをクランパ３２で直接クランプした状態を示している。

形態例７

図１６〜図１９は、ワークホルダ用シートの例の斜視図を示し、図１６は、直接クランプする例、図１７は、直接クランプするワークホルダ用シートＷＨに開孔した孔Ｗ１のコーナーにワーク載せ段部Ｗ１’を段設形成して、そのワーク載せ段部Ｗ１’にワークＷを剥離可能に載置する例を、図１８は、図６や図７で示す例を、図１９は、図１１の例を示している。

形態例８

また、図２０は矩形枠状のワークホルダＷＨ１の上面に周縁部を載置してテープ等の仮止手段Ｗ２でワークＷを着脱可能に保持したワーク支持構造を使用して上下切断刃Ｃ１、Ｃ２で分担してフルカットまたはハーフカットする切断加工方法を実施する切断加工装置の要部を示すものであり、図２０はその切断加工時の状態を部分的に拡大して示している。
図２０は、前記形態の切断加工機においてワーク当たり面である下ストリッパＳＴ２を、テーブルＴを刳り貫いて下切断刃Ｃ２と独立して上下高さ制御可能に設けている。テーブルＴ上を所定ピッチ宛移動する際にワークホルダＷＨ１との干渉を避けるべく、その下ストリッパＳＴ２を制御動させて、下位に位置させる。そしてワークカット時に下ストリッパＳＴ２をワークＷ裏面高さ位置まで制御動させて、上切断刃Ｃ１切り込み時の上切断刃Ｃ１によるワークＷの押し下げを下ストリッパＳＴ２で防止し、そして下切断刃Ｃ２切り込み時の下切断刃Ｃ２によるワークＷの押し上げをワークＷの表面に接近または接触するように制御動させた上ストリッパＳＴ１で防止するように構成されている。
上切断刃Ｃ１をワークＷから抜取る時まで上ストリッパＳＴ１はワークＷの表面に接近または接触させ、下切断刃Ｃ２をワークＷから抜取る時にも下ストリッパＳＴ２はワークＷの裏面の高さ位置を維持されること前記形態と同じである。
尚、図２０で示す実施の形態は、上下切断刃Ｃ１、Ｃ２を同時に切り込んだり、時間差をおいて切り込むものである。

本発明に関連する形態例の切断加工装置の側面断面図で、待機状態を示す。 同横断平面図。 移動装置、クランパ部分を示す斜視図で一部切欠して示す。 ワークを切断加工機に所定ピッチ宛移動させて切断する状態を示す切断加工装置の側面断面図。 切断加工機の縦断面図で拡大示し、左半部はカット（ハーフカット）前の状態を、右半部はカット（ハーフカット）時の状態を示している。 出入りするマーク位置検出手段でマークに付されているマークを撮像する状態を拡大して示す。 ワーク支持構造とワーク当たり面、上ストリッパの間係を示す部分拡大断面図でカット（ハーフカット）している状態を示す。 碁盤目状にカット（ハーフカット）されたワーク支持構造の平面図。 他の形態例の切断加工装置において、ワーク支持構造のクランプ状態を示す部分拡大断面図。 他の形態例の切断加工装置におけるワーク支持構造の拡大断面図。 他の形態例の切断加工装置におけるワーク支持構造のクランプ状態を示す部分拡大断面図。 他の形態例の切断加工装置におれるワーク支持構造の拡大断面図。 カット（ハーフカット）状態を示すワーク支持構造の拡大断面図。 他の実施例の形態の切断加工装置におけるワーク支持構造の拡大断面図。 カット（フルカット）状態を示すワーク支持構造の拡大断面図。 他の形態例の切断加工装置におけるワークホルダ用シートの斜視図で、縁部材で補強しないワークホルダ用シートを示す。 同ワークホルダ用シートの変形例で開孔された孔コーナーにワーク載せ段部を形成した場合を示す。 同ワークホルダ用シートの変形例で図７で使用される縁部材で補強したワークホルダ用シートを示す。 同ワークホルダ用シートの変形例で図１１で使用される縁部材で補強したワークホルダ用シートを示す。 他の形態例の切断加工装置におけるワークホルダ、ワーク、上下ストリッパの間係を示す部分拡大断面図。

Ａ：切断加工装置 １：切断加工機
ＷＨ：ワークホルダ用シート Ｗ：ワーク
Ｗ１：孔 Ｗ２：仮止手段（テープ）
Ｃ１、Ｃ２：上下切断刃 ２：移動装置
３２：クランパ Ｔ：テーブル
ＳＴ１：上ストリッパ ＳＴ２：ワーク当たり面（下ストリッパ）
３：インデックステーブル ＷＭ：マーク
５：マーク位置検出手段 ４：縁部材
２４：縁体 ３４：本体
Ｗ’：環状板部 ＷＨ１：ワークホルダ
ｔ：テーブル面 Ｄ１：第１刃先検出手段
Ｄ２：第２刃先検出手段 ６１:セットポスト孔
５１：セットポスト ３１、４１:ラム（上Ｚ軸線ラム、下Ｚ軸線ラム）
ＣＨ：カッターホルダ

Claims (9)

1. ワークを着脱可能に支承するワークホルダと、該ワークホルダをクランプして所定ピッチずつ移動させる移動装置と、上切断刃と下切断刃を備えた切断加工機とを備え、該移動装置が前記ワークホルダを所定ピッチずつ移動させる度に前記上切断刃と前記下切断刃でワークをハーフカットする切断加工装置において、
   前記切断加工機は、前記上切断刃の切り込み位置周囲でワークの表面に近接又は接触する上ストリッパと、当該上ストリッパと対応して前記ワークの裏面側の当たり面となる下ストリッパとを備え、
   前記上ストリッパを前記上切断刃とは独立して上下高さ制御可能にすると共に、
   前記ワークホルダをワークの厚さよりも薄肉なワークホルダ用シートで構成し、
   前記ワークホルダ用シートは、ワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を備え、前記ワークホルダ用シートの孔にワークを挿入して当該ワークを前記ワークホルダ用シートに仮止めし、前記上切断刃と前記下切断刃とでワークをハーフカットする際に前記上切断刃と前記下切断刃の両方が前記ワークホルダ用シートに接触しないように、前記ワークホルダ用シートをワーク厚の中途域に位置させており、
   前記移動装置が前記ワークホルダ用シートをクランプして移動させる際に前記切断加工機のテーブル面にワーク裏面全面が摺接するように構成し、前記下ストリッパを前記切断加工機のテーブル面高さに固定していることを特徴とする切断加工装置。
2. ワークを着脱可能に支承するワークホルダと、該ワークホルダをクランプして所定ピッチずつ移動させる移動装置と、上切断刃と下切断刃を備えた切断加工機とを備え、該移動装置が前記ワークホルダを所定ピッチずつ移動させる度に前記上切断刃と前記下切断刃とで分担してワークをフルカットする切断加工装置において、
   前記切断加工機は、前記上切断刃の切り込み位置周囲でワークの表面に近接又は接触する上ストリッパと、当該上ストリッパと対応して前記ワークの裏面側の当たり面となる下ストリッパとを備え、
   前記上ストリッパを前記上切断刃とは独立して上下高さ制御可能にすると共に、
   前記ワークホルダをワークの厚さよりも薄肉なワークホルダ用シートで構成し、
   前記ワークホルダ用シートは、ワークの外形と同形もしくはほぼ同形の孔を備え、前記ワークホルダ用シートの孔にワークを挿入して当該ワークを前記ワークホルダ用シートに仮止めし、前記上切断刃と前記下切断刃とで分担してワークをフルカットし、
   前記移動装置が前記ワークホルダ用シートをクランプして移動させる際に前記切断加工機のテーブル面にワーク裏面全面が摺接するように構成し、前記下ストリッパを前記切断加工機のテーブル面高さに固定していることを特徴とする切断加工装置。
3. 前記切断加工機は、ワークに所定間隔をおいて付されているマークを検出するマーク位置検出手段を具備し、
   前記移動装置がワークを所定ピッチずつ移動させる度に、前記マークの位置ズレを前記マーク位置検出手段が検出し、前記移動装置を前記切断加工機への移動方向であるＹ軸線方向、θ方向またはＹ軸線方向、θ方向、Ｘ軸線方向に補正動可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の切断加工装置。
4. 前記移動装置のクランパまたはテーブル面を高さ調整可能に構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の切断加工装置。
5. 前記ワークホルダ用シートに縁部材を設け、該縁部材は、ワークホルダ用シートの縁に設けた縁体と、前記移動装置のクランパでワークが間接的にクランプされる本体と備え、前記本体に前記縁体を高さ調整可能に連結していることを特徴とする請求項１または２に記載の切断加工装置。
6. 前記切断加工機のテーブル面または前記下ストリッパ表面もしくは前記テーブル面と前記下ストリッパ表面とを、加熱手段で加熱することを特徴とする請求項１又は２に記載の切断加工装置。
7. 前記切断加工機は、カッターホルダに設けたセットポスト孔にＺ軸線方向に制御動されるラムのセットポストを高精度嵌合してダイセットを構成していることを特徴とする請求項１又は２に記載の切断加工装置。
8. 前記切断加工機は、前記上切断刃と前記下切断刃の刃先相互の刃幅方向の位置を検出する第１刃先検出手段を具備することを特徴とする請求項１又は２に記載の切断加工装置。
9. 前記切断加工機は、前記上切断刃又は前記下切断刃の刃渡り方向の傾斜具合を検出する第２刃先検出手段を具備することを請求項１又は２に記載の切断加工装置。

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