KR101786436B1 - 기판의 스크라이브 장치 - Google Patents

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KR101786436B1
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아키라 시라이
히데오 스에히로
다카아키 시라이
도시우키 이쿠타
기요히코 가사하라
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가부시키가이샤 시라이텍크
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    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

(과제) 커터에 의하여 형성되는 절단선의 정확한 라인을 보장하도록 한다.
(해결수단) 기판을 지지하는 선회수단(2)를 구비하는 테이블(3)의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 가이드 레일(22)에 횡방향 이동수단에 의하여 각각이 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 슬라이더와, 이 각 슬라이더에 승강수단(24)에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 슬라이더에 상기 기판의 각 스크라이브 마크(a) 및 얼라인먼트 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라(31)로 이루어지고, 상기 카메라에 의한 얼라인먼트 마크의 읽기와 그 인식에 따른 가공 차이량에 의거하여 선회수단에 의하여 테이블을 선회시키고 또한 카메라에 의한 스크라이브 마크와 상기 스크라이브 치구에 의한 짧은 시험 절단선의 읽기와 그 인식에 따른 스크라이브 가공 차이량에 의거하여 횡방향 이동수단에 의하여 보정위치로 상기 슬라이더를 이동시키도록 연동시켜서 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 하고, 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준 중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 하는 구성을 채용한다.

Description

기판의 스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS OF THE SUBSTRATE}
본 발명은, 대형(大型)의 액정 패널(液晶 panel) 등의 글라스 기판(glass 基板)이나 막(膜)이 부착된 기판, 그 이외의 기판에 제품 사이즈의 소형절단용의 절단선을 동시에 다수개 형성하는 기판의 스크라이브 장치에 관한 것이다.
대형의 액정 패널의 글라스 기판으로부터 한번에 다수 매의 제품 사이즈의 기판을 동시에 얻음으로써 생산성을 높일 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 왕복주행 하는 테이블상에 대형의 글라스 기판을 재치한 후에, 테이블을 주행시키면서 테이블의 주행로의 바로 위에 좌우로 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 커터(cutter)나 니들(needle), 레이저선(laser線) 등의 스크라이브 치구(scribe 治具)의 강하(降下)에 의하여 글라스 기판의 표면(상면)에 한번에 다수개의 평행하는 소형절단용의 절단선을 형성한다. 이 소형절단용 절단선은, X축방향으로만 또는 X축방향 및 Y축방향으로 형성된다.
그리고 병렬의 각 스크라이브 치구는, 제품 사이즈의 치수에 맞도록 수치제어(數値制御)에 의하여 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다(예를 들면 특허문헌1 참조).
또한 상기 이외에 카메라에 의하여 정확한 스크라이브가 가능하도록 한 것이 있다(예를 들면 특허문헌2,3 참조).
일본국 공개특허공보 특개평11-343133호 공보 일본국 공개특허 특개2009-73714호 공보 일본국 공개실용신안 실공평6-415호 공보
상기 특허문헌1의 판유리(板 glass)의 절단방식에 의하면, 대형의 글라스 기판으로부터 한번에 다수 매의 제품 사이즈의 기판을 동시에 얻을 수 있는 절단선을 형성하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
그런데 특허문헌1의 절단방식에서는, 초기의 단계에 있어서 머더기판(mother 基板)에 시험절단(절단선을 형성)을 하고, 형성된 각 절단선이 스크라이브 위치에 있는지 아닌지의 확인을 하고, 절단선이 스크라이브 위치에 없을 경우에 커터의 위치조정을 한다. 또 이 커터의 위치조정은, 순차적으로 글라스 기판을 공급하여 절단선을 형성함으로써 이루어진다.
그러나 시험절단을 하면, 대형이고 고가인 머더기판을 사용하게 되므로, 낭비가 되어 불필요한 지출이 되는 문제가 발생했다.
또한 절단선이 변경될 때마다 시험절단을 하기 때문에, 대폭적인 비용지출이 되는 이외에 스크라이브 위치의 확인작업 등에 의하여 기계의 가동율이 현저하게 저하하는 문제도 있었다.
또한 특허문헌2의 글라스 기판의 절단장치에 의하면, 기판별로 또는 검사별로 그 때마다 카메라에 의하여 스크라이브의 가공위치의 어긋남을 보정하도록 스크라이브 치구의 위치결정을 하기 때문에, 택트 가동(tact 稼動)이 대폭적으로 저하하는 문제가 있었다.
또한 특허문헌1, 2 및 3의 글라스 기판의 절단방식에 있어서는, 한번에 복수 매의 제품 사이즈의 스크라이브를 커터 및 테이블을 이동시켜서 할 수 있다.
그러나 병렬 커터의 Y축방향(테이블의 주행방향과 교차하는 횡방향)의 위치결정을 할 수 있는 반면, 각 커터의 X축방향(테이블의 주행방향)의 조정을 할 수 없다. 즉 X축방향의 위치조정 기능이 없는 것에 기인한다.
그러면, 병렬 커터의 위치 어긋남이 (X축에 대하여) 있으면, 도13에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 한 각 패턴의 제품(T)의 테이블 방향 끝이 X축선상에 있어서 나란하지 않은 어긋남(X)이 발생한다. 이 때문에 불량품이 만들어진다. 즉 제품(T)의 전극면(電極面)의 불일치가 발생하게 되기 때문이다.
따라서, 본 발명은 상기의 문제를 해결하는 기판의 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 왕복주행 하도록 설치한 주행체와, 이 주행체상에 선회수단에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치한 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블과, 이 테이블의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 가이드 레일에 횡방향 이동수단에 의하여 각각이 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 슬라이더와, 이 각 슬라이더에 승강수단에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 슬라이더에 상기 기판의 각 스크라이브 마크 및 얼라인먼트 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고, 상기 카메라에 의한 상기 기판의 얼라인먼트 마크의 읽기 및 그 인식에 따른 가공 차이량(어긋난 양)에 의거하여 선회수단에 의하여 테이블을 선회시키고 또한 카메라에 의한 상기 기판의 스크라이브 마크와 커터에 의한 짧은 시험 절단선의 읽기에 따른 스크라이브 가공 차이량을 산출하여 상기 횡방향 이동수단에 의하여 스크라이브 라인 좌표에 상기 슬라이더를 이동시키도록 연동시켜서 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 하고, 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 하는 것을 특징으로 하는 구성을 채용한다.
또한 왕복주행 하도록 설치한 주행체와, 이 주행체상에 선회수단에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치한 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블과, 이 테이블의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 수평한 바에 횡방향 이동수단에 의하여 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 위치조정수단을 구비하는 슬라이더와, 이 각 슬라이더의 베이스에 종방향 이동수단에 의하여 상기 테이블의 주행방향으로 슬라이드 하도록 설치한 이동대와, 이 각 이동대에 승강수단에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 이동대에 상기 기판의 얼라인먼트 마크 및 각 패턴 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고, 이 카메라에 의한 얼라인먼트 마크의 읽기에 따라 상기 선회수단에 의하여 상기 테이블을 선회시키고, 각 카메라에 의한 각 패턴 마크의 읽기에 따라 상기 이동수단에 의하여 이동대를 이동시켜서 정상인 스크라이브 위치에 상기 스크라이브 치구를 이동시키도록 하는 것을 특징으로 하는 구성을 채용한다.
이상과 같이, 본 발명의 기판의 스크라이브 장치에 의하면, 카메라에 의하여 얼라인먼트 마크의 읽기(인식)에 따른 글라스 기판의 좌우 양변 테두리에 대한 가공 차이량을 선회수단에 의하여 테이블을 선회시켜서 보정하고, 또 커터를 강하시키고 또한 테이블을 약간 주행시켜서 기판에 형성하는 짧은 시험 절단선과 스크라이브 마크를 카메라에 의하여 각각 읽어 인식하고, 그 인식에 따른 스크라이브 마크에 대한 시험절단선과의 차이량을, 횡방향 이동수단에 의하여 슬라이더를 좌 또는 우방향으로 슬라이드 시켜서 보정하기 때문에 머더기판을 사용한 시험절단선이 불필요하게 된다.
이 때문에 대형이고 고가인 머더기판을 사용하기 때문에 쓸데 없는 지출을 없앨 수 있음과 아울러, 시험절단과 그 후의 스크라이브 위치의 확인 때문에 발생하는, 기계의 대폭적인 가동율이 저하하는 문제도 없앨 수 있다.
특히 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 되어 있기 때문에, 순차적으로 스크라이브 하는 택트 운전의 가동율을 대폭적으로 향상시켜서 생산율의 현저한 향상을 도모함과 아울러, 스크라이브 정밀도가 안정되고 또한 수율을 향상시킨다.
또한 이동대에 스크라이브 치구와 카메라를 설치하고, 이 이동대를 종방향 이동수단에 의하여 테이블의 주행방향 전후로 이동하면서 카메라에 의하여 패턴 마크를 읽어내고 인식하고, 그 인식에 의한 어긋남에 따른 보정량에 따라 이동대를 이동시키도록 되어 있기 때문에, 각 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 한 패턴의 제품의 테이블 주행방향 앞쪽 가장자리의 어긋남이 없고, 즉 불량품이 발생하지 않는 패턴의 제품의 스크라이브를 할 수 있다.
도1은, 본 발명의 제1실시예를 나타내는 평면도.
도2는, 상기의 측면도.
도3은, 상기의 요부를 나타내는 종단 확대 측면도.
도4는, 글라스 기판의 평면도.
도5는, 시험 절단선과 스크라이브 마크의 관계를 나타내는 확대 평면도.
도6은, 시험 절단선과 스크라이브 마크와의 관계를 나타내는 확대 평면도.
도7은, 정확한 스크라이브를 나타내는 확대 평면도.
도8은, 제2실시예를 나타내는 평면도.
도9는, 상기의 종단 측면도.
도10은, 상기의 요부를 나타내는 확대 평면도.
도11은, 상기의 종단 확대 측면도.
도12은, 제품의 패턴을 나타내는 평면도.
도13은, 제품의 차이량을 나타내는 평면도.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다.
본 발명의 제1실시예에서는 도1에서부터 도6에 나타나 있는 바와 같이, 왕복주행 하는 주행체(1)상에는 선회수단(2)에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판(A)을 지지하는 테이블(3)이 설치되어 있다.
상기의 기판(A)으로서는, 예를 들면 유리로 만든 것으로서 액정용 기판이나 막이 부착된 기판 등 스크라이브 가공하기 위한 기판이다.
상기 주행체(1)의 왕복주행은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 부설된 2가닥의 레일(4)에 주행체(1)의 양측 하면에 설치되어 있는 슬라이더(5)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 레일(4) 사이에 배치하여 양단을 회전하도록 축지지(軸支持) 한 볼트(6)에 주행체(1)의 하면에 부착되어 있는 너트(7)를 나사결합 하고, 제1모터(8)의 운전에 의하여 볼트(6)를 가역구동(可逆驅動) 하여 주행체(1)를 전후방향으로 주행시키도록 하고 있지만, 이것에 한정되지 않고 그 이외의 구성에 의하여 전후방향으로 주행시켜도 좋다.
상기의 선회수단(2)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 주행체(1)상에 가역 모터(可逆motor)를 설치하고, 이 가역 모터의 출력축을 테이블(3)의 하면 중심에 고정하고 있지만, 이에 한정되지 않는다.
상기 테이블(3)상에 재치되는 기판(A)의 지지는, 테이블(3)을 박스(box)로 하고 박스내를 흡인하여, 박스의 정상벽(頂上壁)에 다수의 연통소공(連通小孔)(35)을 형성하고 흡인에 의하여 지지하도록 하고 있다.
그 때에, 테이블(3)상의 하나의 코너를 에워싸는 2변에 위치하는 핀(9)에 글라스 기판(A)의 변을 접촉시켜서 위치결정 하도록 하고 있다.
또한 테이블(3)의 주행로를 가로 지르는 수평재(水平材)(21)의 양단간에 가이드 레일(22)을 설치하고, 이 가이드 레일(22)에 복수의 슬라이더(23)를 슬라이드 하도록 결합하고, 이 각 슬라이더(23)에는 실린더 등의 승강수단(24)에 의하여 승강하는 스크라이브 치구(25)가 설치되어 있다.
상기의 스크라이브 치구(25)로서는, 커터휠(cutter wheel)이나 니들(needel), 레이저 광선(laser 光線) 등이 있다.
그리고 각 슬라이더(23)는, 횡방향 이동수단(26)에 의하여 단독으로 좌우측방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.
상기의 횡방향 이동수단(26)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 수평재(21)의 대략 전체 길이에 래크(rack)(27)를 부설(敷設)하고 각 슬라이더(23)의 베이스(base)(28)에 부착되어 있는 제2모터(29)의 출력축에 고정된 피니언(pinion)(30)을 맞물리게 하고, 제2모터(29)의 가역운전에 의하여 슬라이더(23)를 좌측방향, 우측방향으로 슬라이드 시키도록 되어 있다.
그리고 각 스크라이브 치구(25)의 근방에는 베이스(28)에 부착된 카메라(31)가 설치되어 있다.
상기의 카메라(31) 및 스크라이브 치구(25)는 스크라이브 라인 방향의 동축선(同軸線)상의 전후에 배치되어 있다.
이 카메라(31)는, 횡방향 이동수단(26)에 의하여 양 사이드의 슬라이더(23)를 기판(A)의 상면 양측 모서리의 얼라인먼트 마크(a)의 위치로 이동시켜서 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 또 기판(A)의 상면에 형성되어 있는 스크라이브 마크(B) 및 각 스크라이브 치구(25)의 커터휠 등에 의하여 글라스 기판(A)의 주변부 상면에 형성된 짧은 시험 절단선(C)을 읽어낸다.
도면에서 41은 스크라이브 치구(25)의 승강을 가이드 하는 가이드 수단이다.
상기한 바와 같이 구성하면, 테이블(3)상에 기판(A)을 재치하고, 주행체(1)를 왕복주행 시켜서, 카메라(31)에 의하여 기판(A)의 네 모서리의 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 그 읽기에 따른 가공 차이량(어긋난 양)을 카메라(31)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 선회수단(2)을 운전하여 테이블(3)을 시계, 반시계방향으로 보정량에 따른 각도만큼 선회시킨다.
또한 기판(A)의 대향하는 양측 2변의 테두리 사이에 스크라이브 치구(25)에 의하여 절단선을 형성(스크라이브)하기 전에, 우선 테이블(3)과 함께 지지 기판(A)을 약간 전방으로 주행시킨다.
이 때에, 승강수단(24)에 의하여 각 스크라이브 치구(25)를 강하시켜서 도4에 나타내는 기판(A)이 필요로 하는 테두리부의 표면에 인쇄되어 있는 각 스크라이브 마크(B)의 전방의 (스크라이브 마크(B)로부터 벗어난) 부분에 도5나 도6에 나타내는 짧은 시험 절단선(C)을 형성하고, 시험 절단선(C)을 형성한 뒤에 승강수단(24)에 의하여 각 스크라이브 치구(25)를 상승복귀 시킨다.
이 때에, 각 카메라(31)에 의하여 스크라이브 마크(B)와 시험 절단선(C)을 읽어 인식하고, 그 인식에 따라 시험 절단선(C)이 스크라이브 마크(B)의 설정된 정규의 위치(도5에 나타낸다)에 있는지, 아니면 도6에 나타나 있는 바와 같이 비정규의 위치에 있는지를 감지하고, 감지에 따라 비정규의 위치(도6에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 라인(X)에 대하여 시험 절단선(C)의 어긋남 거리(Z)가 있으면, 스크라이브 라인(X)에 스크라이브 치구(25)가 합치하도록)로부터 스크라이브 치구(25)의 슬라이더(23)를 횡방향 이동수단(26)에 의하여(제2모터(29)의 운전에 의하여) 이동시켜 차이량에 맞는 수정을 하여 정규의 위치로 이동시킨다(보정한다).
상기의 보정방식은, 카메라(31)에 접속된 연산장치에 의하여 차이량을 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 제2모터(29)를 정회전, 역방향 운전한다.
이렇게 하여 주행체(1)를 전진주행 시키면서, 테이블(3)상의 기판(A)에 승강수단(24)에 의하여 하강되어 있는 스크라이브 치구(25)에 의하여 절단선을 형성한다.
또한 절단선은, 동일한 순서를 거쳐 앞의 절단선 사이에도 한번 혹은 여러번 형성할 수 있고, 또 테이블(3)과 함께 지지상태인 기판(A)을 90도 선회시켜서, 직각으로 교차하는 절단선을 형성할 수 있다.
또한 주지된 바와 같이 기판(A)의 두께(판의 두께)에 따라 스크라이브 치구(25)의 강하량 즉 스크라이브 깊이를 결정한다.
이러한 방법에 의하여 각 스크라이브 치구(25)의 이동치를 읽어내고, 상기한 방법에 의하여 보정을 함으로써 각각의 스크라이브 치구(25) 위치 모두가 스크라이브 마크(B)의 기준값의 위치에 위치결정 될 수 있다.
그 후 다시 스크라이브 치구(25)가 스크라이브 마크(B) 위치로 이동하여 그 위치에서 기판(A)의 한 부분에 스크라이브 라인을 형성한다.
또한 상기한 조건이 만족되고 각 스크라이브 치구(25)가 첫번째의 스크라이브를 완료한 후에 실제로 스크라이브가 되어 있는지의 확인을 하더라도 좋다.
그러면, 도7에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 마크(B)의 중심과 일치한 스크라이브 라인(X)을 스크라이브 할 수 있다.
도면에서 S는 스크라이브 라인의 폭이다.
또한 스크라이브의 완료후에 스크라이브 라인(X)의 중심과 스크라이브 기준 중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리를 가감산 하기 때문에 순차적으로 스크라이브 하는 택트 운전의 가동율을 대폭적으로 향상시켜서 생산성의 현저한 향상은 물론 스크라이브 정밀도가 안정되고 또한 수율을 향상시킨다.
본 발명의 제2실시예에서는 도8에서부터 도11에 나타나 있는 바와 같이, 왕복주행 하는 주행체(1)상에는 선회수단(2)에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판(A)을 지지하는 테이블(3)이 설치되어 있다.
상기한 기판(A), 주행체(1)의 왕복주행, 테이블(3)의 선회수단(2) 및 테이블(3)에 재치되는 기판(A)의 지지방식의 구성은, 제1실시예와 같은 것에 대하여는 상세한 설명을 생략한다.
또한 테이블(3)의 바로 위를 가로 지르는 수평의 바(61)에는, 횡방향 이동수단(62)에 의하여 좌우방향으로 슬라이드 하는 복수의 위치조정수단(63)을 구비하는 병렬 슬라이더(64)가 설치되어 있다.
상기의 횡방향 이동수단(62)의 구성은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 바(61)의 후면 전체 길이에 설치한 레일(65)에 수평한 횡재(橫材)(66)의 전면에 설치되어 있는 슬라이더(67)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 바(61)의 양단간에 축지지된 볼트(68)를 횡재(66)의 너트(69)에 나사결합 하고, 모터(70)의 가역운전에 의하여 볼트(68)를 드라이브 함으로써 횡재(66)가 가로로 이동하고, 또 복수의 슬라이더(64)는, 횡재(66)의 후면의 전체 길이에 설치되어 있는 레일(71)에 슬라이드 하도록 결합되어 있고, 또한 위치조정수단(63)은, 횡재(66)의 상면 전체 길이에 설치되어 있는 래크(72)에 각 슬라이더(64)에 축지지 된 피니언(73)을 맞물리게 함과 아울러 각각의 피니언(73)을 모터(74)에 의하여 가역구동 함으로써 각 슬라이더(64)를 좌우방향으로 슬라이드 하여 위치조정 할 수 있다.
여기에서 본 실시예는 상기 구성에 한정되지 않고, 그 이외의 구성에 의하여 목적을 달성할 수도 있다.
또한 각 슬라이더(64)에는 종방향 이동수단(75)에 의하여 테이블(3)의 주행방향으로 슬라이드 하는 이동대(76)가 설치되어 있고, 각 이동대(76)에는 승강수단(77)에 의하여 승강하는 스크라이브 치구(78)가 설치되어 있다.
상기의 승강수단(77) 및 스크라이브 치구(78)는, 제1실시예와 동일한 것에 관한 설명을 생략한다.
상기의 종방향 이동수단(75)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 슬라이더(64)의 베이스(79)의 레일(80)에 이동대(76)의 슬라이더(81)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 베이스(79)에 설치된 모터(91)의 가역구동에 의하여 회전하는 볼트(82)를 이동대(76)에 지지되어 있는 너트(83)에 나사결합 하여 구성했지만, 이에 한정되지 않고 그 이외의 구성에 의하여 이동대(76)를 (전후방향으로) 이동시켜도 좋다.
또한 이동대(76)에는, 기판(A)의 얼라인먼트 마크(a) 및 각 스크라이브 제품별 패턴 마크(s)(제품 패턴(T)별)를 읽어내는 카메라(84)가 설치되어 있다.
상기한 바와 같이 구성하면, 양측 이동대(76)의 카메라(84)에 의하여 기판(A)의 양 모서리의 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 그 읽기에 따른 가공 차이량을 카메라(84)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 선회수단(2)을 운전하여 테이블(3)을 시계, 반시계방향으로 보정량에 따른 각도만큼 선회시킨다.
다음에 각 카메라(84)에 의하여 각 스크라이브 제품별 패턴 마크(s)를 읽어내고, 읽기에 따른 스크라이브 치구(78)와 스크라이브 제품(T)의 테이블(3)의 주행방향 앞쪽 가장자리와의 가공(스크라이브 라인)차이량을 카메라(84)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 종방향 이동수단(75)에 의하여 이동대(76)를 테이블의 주행방향 전방 또는 후방으로 (보정량에 따라) 이동시킨다.
그 후에 승강수단(77)에 의하여 스크라이브 치구(78)를 강하시켜, 횡방향 이동수단(62)에 의한 스크라이브 치구(78)의 가로 이동, 테이블(3)의 세로 이동에 의하여 스크라이브 하여 패턴대로의 제품(T)을 얻는다.
A 기판
a 얼라인먼트 마크
B 스크라이브 마크
C 시험 절단선
1 주행체
2 선회수단
3 테이블
4 레일
5 슬라이더
6 볼트
7 너트
8 제1모터
9 핀
21 수평재
22 레일
23 슬라이더
24 승강수단
25스크라이브 치구
26 횡방향 이동수단
27 래크
28 베이스
29 제2모터
30 피니언
31 카메라
61 바
62 횡방향 이동수단
63 위치조정수단
64 슬라이더
65 레일
66 횡재
67 슬라이더
68 볼트
69 너트
70 모터
71 레일
72 래크
73 피니언
74 모터
75 종방향 이동수단
76 이동대
77 승강수단
78 스크라이브 치구
79 베이스
80 레일
81 슬라이더
82 볼트
83 너트
84 카메라
s 패턴 마크

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 왕복주행 하도록 설치한 주행체와, 이 주행체상에서 선회수단에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블과, 이 테이블의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 수평한 바(bar)에 횡방향 이동수단에 의하여 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치되고 위치조정수단을 구비하는 복수의 슬라이더와, 이 각 슬라이더의 베이스에 종방향 이동수단(縱方向移動手段)에 의하여 상기 테이블의 주행방향으로 슬라이드 하도록 설치한 이동대(移動臺)와, 이 각 이동대에 승강수단에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 이동대에 상기 기판의 얼라인먼트 마크 및 각 패턴 마크(pattern mark)를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고,
    상기 카메라에 의한 얼라인먼트 마크의 읽기에 따라 상기 선회수단에 의하여 상기 테이블을 선회시키고, 각 카메라에 의한 각 패턴 마크의 읽기에 따라 상기 이동수단에 의하여 이동대를 이동시켜서 정상인 스크라이브 위치에 상기 스크라이브 치구를 이동시키도록 하는 것을 특징으로 하는 기판의 스크라이브 장치.
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