JP4759733B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 50
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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Description
Magnetic Domain Observation Device for JEM−1000(accepted Nov.21,1979)
図1は本発明の一実施の形態例を示す構成図である。図3と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、1は電子線、2は該電子線1を偏向させる第1偏向器、15は第2偏向器コイル・ヨーク・ギャップからなる電磁偏向器である。ギャップは、電子線1の方向から見て第2偏向器コイル・ヨーク・ギャップ15の下側に作られている。14は第2偏向器コイル・ヨーク・ギャップ15のヨークに巻回された励磁コイルである。
2 第1偏向器
4 第1偏向主面
5 第2偏向主面
6 試料
7 磁場印加ステージ
8 磁場印加コイル・ヨーク・ギャップ
9 対物レンズ
10 対物レンズ像
11 印加補正角
13 コイル
14 励磁コイル
15 第2偏向器コイル・ヨーク・ギャップ
Claims (1)
- 光軸に沿って進んできた電子線を光軸外に偏向させる第1の偏向器と、
前記第1の偏向器によって偏向された電子線を光軸方向に振り戻す第2の偏向器と、
前記第2の偏向器の後段に配置され、試料に磁場を印加するための磁場印加手段と、
前記磁場印加手段の後段に配置された対物レンズとを備え、
前記試料への前記磁場印加に拘らず、前記試料を透過した電子線が光軸に沿って前記対物レンズに入射するように、電子線を前記第1の偏向器と第2の偏向器によって偏向させるようにした電子顕微鏡において、
前記第2の偏向器は、電磁石を持つ磁気回路のヨークにギャップを設けた構造となっており、
前記ギャップは前記磁場印加手段の直上に位置していて、前記ギャップから吹き出した磁力線によって電子線が光軸方向に振り戻されることを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005268267A JP4759733B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005268267A JP4759733B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007080724A JP2007080724A (ja) | 2007-03-29 |
JP4759733B2 true JP4759733B2 (ja) | 2011-08-31 |
Family
ID=37940791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005268267A Active JP4759733B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4759733B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011003533A (ja) | 2009-05-20 | 2011-01-06 | Jeol Ltd | 磁区観察装置 |
JP2012129137A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Hitachi Ltd | 磁場印加試料保持装置およびそれを用いた荷電粒子線装置 |
JP6061771B2 (ja) | 2013-04-25 | 2017-01-18 | 株式会社日立製作所 | 試料ホルダおよびそれを用いた荷電粒子線装置 |
US11067649B2 (en) | 2017-01-24 | 2021-07-20 | Tohoku University | Method for creating electron-beam hologram, magnetic field information measurement method and magnetic field information measuring device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0896737A (ja) * | 1994-09-29 | 1996-04-12 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
JPH08264146A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | 透過電子顕微鏡 |
EP1120809B1 (en) * | 2000-01-27 | 2012-02-22 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Objective lens for a charged particle beam device |
JP3469213B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2003-11-25 | 株式会社日立製作所 | 磁場印加試料観察システム |
-
2005
- 2005-09-15 JP JP2005268267A patent/JP4759733B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007080724A (ja) | 2007-03-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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