JP4756165B2 - アルミニウム−セラミックス接合基板 - Google Patents
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Description
図1に示すように、黒鉛鋳型10の上部の凹部12内に、ケイ素1重量%とホウ素0.04重量%と残部のアルミニウムとからなるアルミニウム合金原料14を入れて黒鉛ピストン16を設置するとともに、鋳型10の下部の空洞18内に、高強度窒化アルミニウム(AlN)からなる48mm×38mm×0.635mmの大きさのセラミックス基板20(3点曲げの抗折強度500MPa)を設置し、鋳型10を800℃に加熱した炉の中に入れた。アルミニウム合金原料14が溶けてピストン16の重量で空洞18内に入り込んだ後に、鋳型10を炉から取り出し、室温まで冷却し、セラミックス基板20の両面にそれぞれ厚さ0.5mmのアルミニウム合金層が接合したアルミニウム−セラミックス接合基板を作製した。このようにして作製したアルミニウム−セラミックス接合基板を機械研磨および電解研磨した。なお、黒鉛鋳型10の酸化を防ぐために、加熱および冷却は窒素雰囲気中で行った。
セラミックス基板として四窒化三ケイ素(Si3N4)からなる48mm×38mm×0.32mmの大きさのセラミックス基板(3点曲げの抗折強度600MPa)を使用した以外は実施例1と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv35.8であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板に異常はなく、アルミニウム合金層にも異常がなかった。
セラミックス基板として17重量%の酸化ジルコニウム(ZrO2)を添加したアルミナ(Al2O3)からなる48mm×38mm×0.25mmの大きさのセラミックス基板(3点曲げの抗折強度600MPa)を使用した以外は実施例1と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv35.8であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板に異常はなく、アルミニウム合金層にも異常がなかった。
ケイ素2重量%とホウ素0.04重量%と残部のアルミニウムとからなるアルミニウム合金原料を使用した以外はそれぞれ実施例1、2および3と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv41.2であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板に異常はなく、アルミニウム合金層にも異常がなかった。
ケイ素0.5重量%とホウ素0.04重量%と残部のアルミニウムとからなるアルミニウム合金原料を使用した以外はそれぞれ実施例1、2および3と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv30.9であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板に異常はなかったが、アルミニウム合金層のセラミックス基板との接合界面に近い部分にクラックが生じた。
銅1重量%と残部のアルミニウムとからなるアルミニウム合金原料を使用した以外はそれぞれ実施例1、2および3と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv37.5であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板に異常はなく、アルミニウム合金層にも異常がなかった。
銅0.5重量%と残部のアルミニウムとからなるアルミニウム合金原料を使用した以外はそれぞれ実施例1、2および3と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv31.6であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板に異常はなかったが、アルミニウム合金層の一部にクラックが生じた。
銅2重量%と残部のアルミニウムとからなるアルミニウム合金原料を使用した以外はそれぞれ実施例1、2および3と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv49.1であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板に貝殻状のクラックが生じた。但し、絶縁異常はなかった。
セラミックス基板として3点曲げの抗折強度が350MPaの窒化アルミニウム(AlN)からなるセラミックス基板を使用した以外は比較例1と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv30.9であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、アルミニウム合金層にクラックが生じた。
セラミックス基板として3点曲げの抗折強度が420MPaの窒化アルミニウム(AlN)からなるセラミックス基板を使用した以外は比較例1と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv30.9であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、アルミニウム合金層にクラックが生じた。
セラミックス基板として3点曲げの抗折強度が350MPaの窒化アルミニウム(AlN)からなるセラミックス基板を使用した以外は比較例7と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv49.1であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板の表裏を貫通するクラックが生じた。
セラミックス基板として3点曲げの抗折強度が420MPaの窒化アルミニウム(AlN)からなるセラミックス基板を使用した以外は比較例7と同様の方法により、アルミニウム−セラミックス接合基板を作製し、アルミニウム−セラミックス接合基板のアルミニウム合金層のビッカース硬度を測定したところ、Hv49.1であった。また、このアルミニウム−セラミックス接合基板を使用した以外は実施例1と同様の方法により作製したアルミニウム−セラミックス回路基板について、実施例1と同様のヒートサイクル3000回を行ったところ、セラミックス基板の表裏を貫通するクラックが生じた。
12 凹部
14 アルミニウム合金原料
16 黒鉛ピストン
18 空洞
20 セラミックス基板
Claims (13)
- セラミックス基板にアルミニウム部材が接合したアルミニウム−セラミックス接合基板において、セラミックス基板の3点曲げの抗折強度が450MPa以上であり、アルミニウム部材が、ケイ素とホウ素と残部のアルミニウムからなり且つビッカース硬度が32〜49のアルミニウム合金からなることを特徴とする、アルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム合金が0.6〜3.0重量%のケイ素と0.01〜1.0重量%のホウ素を含むことを特徴とする、請求項1に記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム合金が1.0〜2.0重量%以上のケイ素と0.03〜0.05重量%のホウ素を含むことを特徴とする、請求項1に記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム合金のビッカース硬度が35〜45であることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板の抗折強度が470MPa以上であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板の抗折強度が500MPa以上であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記セラミックス基板が、窒化アルミニウム、窒化珪素、ジルコニア添加アルミナまたは高純度アルミナからなることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム部材が、前記セラミックス基板に直接接触して接合していることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム部材が、ろう材を介して前記セラミックス基板に接合していることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム−セラミックス接合基板が、半導体チップを搭載する回路基板として使用されることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記半導体チップが、SiC、AlGaNまたはGaNからなる半導体チップであることを特徴とする、請求項10に記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム−セラミックス接合基板が、インバータまたはコンバータ用の回路基板として使用されることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
- 前記アルミニウム−セラミックス接合基板が、自動車用部品の回路基板として使用されることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれかに記載のアルミニウム−セラミックス接合基板。
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