JP4735280B2 - パターン形成方法 - Google Patents
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Description
25ナノメートル以下の微細構造を転写により形成可能であることが開示されている。
t(n−1)=λ/2(1+a) (n:モールドの屈折率、t:パターン深さ、λ:照 射光波長)
の関係を満たすことにより、より高い検出信号強度をうる事ができるため特に好ましい。また、本発明のアライメントマークは円弧状であることが好ましい。円弧状にすることでディスク状基板中心部の円形開口部と位置合わせする際に、円形開口部端部との形状が相似形になるためにより高精度に認知できる。円弧の中心角θは0°<θ≦360°の範囲のものを用いることができる。
製にも適用できる。
(c)。その後、残っている樹脂膜及び樹脂膜上に形成されている磁性層をリフトオフ技術で取り除いた(d)。
上面部の直径が25ナノメートル,高さ50ナノメートルの断面を有する柱状構造の磁性層がパターン中心間隔40ナノメートルで並べられている微細な凹凸パターンが形成された。磁性層及びディスク基板表面を覆うように保護膜および潤滑膜を形成して、ディスク基板上の凸部が記録ビットとして動作する、記録密度が約300ギガビット/平方インチの磁気記録媒体を作製した。
11に対して、パターンが形成されたモールド15をウエハ11の上方から接近させ、接触する前に、モールド15とウエハ11の位置を合わせ(アライメント)した後に、両者を相対的に押し付けてパターンを形成する(II)。モールド15は、石英でできており、光を透過する。モールド15を押し付けた後に、モールド15背面から紫外線を照射して樹脂膜の凹凸パターン2を硬化させる(III) 。モールド15を除去し、パターン凹の底に残るベース層を除去すると、樹脂パターン16が形成されている(IV)。この樹脂パターン16をマスクとして下地の配線膜をエッチングすれば配線パターン17が形成される
(V)。
μm上空で停止した位置から、接触するまでの領域においてモールド15の表面に予め形成されている金型アライメントマーク23の位置とウエハ上のアライメントマーク24の位置を位置検出器22a,22bを用いて測定できる。これによりウエハと金型の相対位置のアライメントが可能となる。さらに、この位置検出器22a,22bは、装置の基準位置に固定されており、金型の装置基準の絶対位置を測定する。また、試料であるウエハ11は、Si基板に限らず、GaAs基板,ガラス基板、またはプラスチック基板であっても良い。
90%以上を維持し、良好な結果を得ることが出来た。これらの金型は基板の外周よりの部分を一旦エッチングして段差を設けることで異なる高さの平面を形成し、低い面に合わせマークを高い面に転写パターンを形成することにより、金型を製作している。
(a)のように転写パターン1100と異なる面に第1の位置合わせマーク1101を設けると、位置合わせ用マークは転写パターンと同時に形成することが出来ないので、位置合わせマーク1101と転写パターン1100間の相対位置誤差が大きくなりやすい。従って、転写パターンと同じ面内にも第2の位置合わせマーク1102を設けることが有効となる。すなわち、第1の位置合わせマーク1101の位置を検出して転写したパターンの位置を転写パターンと同じ面内の第2の位置合わせマーク1102の転写結果を用いて校正するのである。一度両マークの関係を計測しておけば転写パターン面の位置合わせ用マークが損傷しても大きな問題とはならない。なお、転写パターン面と異なる面に形成する位置検出用マークは本実施例のような段差マークに限らず、基板と異なる材料により形成されたものでも良く、より高いマーク検出信号を得られることも可能となる。また、図11(b),(c)に示したように、モールドを段差形状とし、突出した転写パターン面に対して高さの低い奥の面に位置合わせマークを形成することも同様に有効である。
11…ウエハ、12,17…配線パターン、13…配線膜、14…光硬化型樹脂、15…モールド、16…樹脂パターン、18…ステージ、19…レーザ測長器、20…Zセンサ、21a…水銀ランプ、21b…照明光学系、22…位置検出器、23…金型アライメントマーク(位置合わせ用マーク)、24…ウエハアライメントマーク、25…金型ステージ、26…ステージ駆動手段、800…転写パターン領域、801…位置合わせ用マーク、802…欠損した位置合わせ用マーク、803…樹脂の付着した位置合わせ用マーク、
901,1001,1100…転写パターン、902…凹凸合わせパターン、903…金属膜パターン、904…蛍光体パターン、1002…裏面凹凸パターン、1003…裏面金属膜パターン、1004…裏面蛍光体パターン、1101…反対側の面の第1の位置合わせマーク、1102…転写パターン面の第2の位置合わせマーク、1103…奥まった面の第1の位置合わせマーク。
Claims (8)
- 凹凸形状のパターンが形成されたモールドを樹脂膜が塗布された基板に押し付けて、該凹凸パターンを基板表面に転写するパターン形成方法において、前記モールドは、基板とモールドとの相対位置関係を決定するためのアライメントマークを同心円上に2箇所以上有し、前記アライメントマークと基板の円形開口部の端部との相対位置関係よりモールドと基板との位置合わせを行うことを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項1に記載のパターン形成方法において、前記アライメントマークは、前記同心円の中心に対して対称の位置に形成されていることを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項2に記載のパターン形成方法において、前記対称の位置に形成されたアライメントマークを少なくとも2組以上有することを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項1に記載のパターン形成方法において、前記アライメントマークは前記モールドの前記凹凸形状のパターンが形成されたパターン面および前記パターン面とは反対側の面の上に形成されていることを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項1に記載のパターン形成方法において、
前記モールドは、第1の面と、前記第1の面から突出した第2の面と、前記第1,第2の面とは反対側の第3の面とを備え、前記第2の面に前記凹凸形状のパターンが形成された段差形状であり、
前記第1〜第3の面のうち少なくとも2つ以上の面上に前記アライメントマークが形成されていることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法において、前記アライメントマークが段差形状のマークであり、前記転写のための微細な凹凸パターンと前記アライメントマークとは深さが異なることを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項1に記載のパターン形成方法において、前記アライメントマークは円弧状であることを特徴とするパターン形成方法。
- 請求項1に記載のパターン形成方法において、前記アライメントマークが形成されている同心円半径は前記基板円形開口部半径よりも小さいことを特徴とするパターン形成方法。
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