JP4550504B2 - 記録媒体の製造方法 - Google Patents
記録媒体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4550504B2 JP4550504B2 JP2004214556A JP2004214556A JP4550504B2 JP 4550504 B2 JP4550504 B2 JP 4550504B2 JP 2004214556 A JP2004214556 A JP 2004214556A JP 2004214556 A JP2004214556 A JP 2004214556A JP 4550504 B2 JP4550504 B2 JP 4550504B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk substrate
- mold
- recording medium
- resist film
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Description
Claims (10)
- レジスト膜を有するディスク基板に凹凸パターンを有するモールドを押し付けて前記レジスト膜に凹凸パターンを転写するようにした転写工程を含む記録媒体の製造方法において、
前記モールドの前記ディスク基板の外円周近傍又は内円周近傍に相当する位置に、前記ディスク基板の回転中心と同じ中心をもつ同芯円の少なくとも一部をなし直径が異なる複数の線で構成され、かつ前記複数の線は前記ディスク基板の加工精度に応じて、直径、間隔及び本数が決定されるアライメントマークを形成し、
前記アライメントマークを構成する前記複数の線のうち、少なくとも1つが他の線と異なる形態を持ち、かつ前記ディスク基板の外円周端或いは内円周端に最も近い同芯円の線を基準線に選んで、この基準線と前記ディスク基板の外円周端或いは内円周端の位置を複数の箇所で合わせ、
その後、前記ディスク基板に前記モールドを押し付けて前記モールドの凹凸パターンを前記レジスト膜に転写するようにしたことを特徴とする記録媒体の製造方法。 - 請求項1において、前記アライメントマークを構成する複数の線がいずれも円をなしていることを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項1において、前記アライメントマークを構成する複数の線がいずれも円の一部をなしていることを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項3において、前記円の一部をなす複数の線によって構成されるアライメントマークを複数の個所に設けたことを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項1において、前記位置合わせを行う際に2台以上のカメラを用い、前記カメラで観察される基準線と前記ディスク基板の外円周端或いは内円周端との相対位置が等しくなるように調整することを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項1において、前記モールドの中央に穴をあけ、この穴と前記ディスク基板の中央に設けられている穴に支柱を通した後、前記アライメントマークを用いて前記モールドと前記ディスク基板の位置を調整するようにしたことを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項1において、前記モールドの中央に前記ディスク基板の中央に設けられる穴の径よりも小さい突起部を設け、この突起部を前記ディスク基板の穴に通した後、前記アライメントマークを用いて前記モールドと前記ディスク基板の位置を調整するようにしたことを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項1において、前記モールドの凹凸パターンを前記レジスト膜に転写した後に前記レジスト膜をマスクとしてエッチングを行い、前記レジスト膜に転写された凹凸パターンを前記ディスク基板の記録面に形成し、その後、前記ディスク基板の前記凹凸パターンを有する記録面に記録層を形成するようにしたことを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項1において、前記モールドの凹凸パターンを前記レジスト膜に転写した後に、前記レジスト膜に転写された凹凸パターンの凹部底のレジストを除去して前記ディスク基板の記録面を露出させ、そこに記録層を形成した後、前記レジスト膜を除去するようにしたことを特徴とする記録媒体の製造方法。
- 請求項1において、前記モールドに形成された凹凸パターンにおける凹パターンの底面部を上面部よりも狭くし、凸パターンの底面部を上面部よりも広くしたことを特徴とする記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004214556A JP4550504B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004214556A JP4550504B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006040321A JP2006040321A (ja) | 2006-02-09 |
JP4550504B2 true JP4550504B2 (ja) | 2010-09-22 |
Family
ID=35905168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004214556A Expired - Fee Related JP4550504B2 (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | 記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4550504B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080020303A1 (en) * | 2006-07-24 | 2008-01-24 | Wei Wu | Alignment for contact lithography |
JP4871809B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2012-02-08 | キヤノン株式会社 | パターンドメディア、磁気記録媒体の製造方法及び基体の製造方法 |
JP5186114B2 (ja) * | 2007-02-14 | 2013-04-17 | 東芝機械株式会社 | 転写装置および転写方法 |
JP2008276906A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Fujifilm Corp | モールド構造体、及びそれを用いたインプリント方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 |
US7837907B2 (en) * | 2007-07-20 | 2010-11-23 | Molecular Imprints, Inc. | Alignment system and method for a substrate in a nano-imprint process |
DE102008020645A1 (de) * | 2008-04-24 | 2010-05-12 | Sonopress Gmbh | Verfahren zum justierten Fügen der Flächen von zwei Werkstücken |
KR101440130B1 (ko) * | 2008-05-27 | 2014-09-15 | 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 | 자기 전사 성능이 개선된 마스터 기록 매체 |
JPWO2010082341A1 (ja) * | 2009-01-16 | 2012-06-28 | パイオニア株式会社 | 転写装置 |
WO2010086986A1 (ja) | 2009-01-29 | 2010-08-05 | パイオニア株式会社 | モールド及びその作製方法 |
JP5337672B2 (ja) * | 2009-11-10 | 2013-11-06 | 東芝機械株式会社 | メモリ素子およびメモリ素子の製造方法 |
JP5470417B2 (ja) * | 2012-05-15 | 2014-04-16 | 東芝機械株式会社 | 転写装置および転写方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63273232A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-11-10 | Seiko Epson Corp | 光記録ディスク |
JPH04291256A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-15 | Fujitsu Ltd | フォトマスク |
JPH10261246A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Seiko Epson Corp | 情報記録担体の製造方法 |
JPH10269566A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスター情報担体およびこれを用いて情報信号を磁気記録媒体に記録するマスター情報磁気記録装置 |
JPH1186346A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Sony Corp | 光ディスク、光ディスクの製造方法及び光ディスク原盤の製造方法 |
JPH11175973A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスター情報磁気記録装置 |
JP2000298822A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-10-24 | Tdk Corp | 磁気記録媒体 |
JP2002100079A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toshiba Corp | 転写装置及び転写方法 |
JP2003157520A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Toshiba Corp | 加工方法、磁気転写方法及び記録媒体 |
-
2004
- 2004-07-22 JP JP2004214556A patent/JP4550504B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63273232A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-11-10 | Seiko Epson Corp | 光記録ディスク |
JPH04291256A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-15 | Fujitsu Ltd | フォトマスク |
JPH10261246A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Seiko Epson Corp | 情報記録担体の製造方法 |
JPH10269566A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスター情報担体およびこれを用いて情報信号を磁気記録媒体に記録するマスター情報磁気記録装置 |
JPH1186346A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Sony Corp | 光ディスク、光ディスクの製造方法及び光ディスク原盤の製造方法 |
JPH11175973A (ja) * | 1997-12-08 | 1999-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスター情報磁気記録装置 |
JP2000298822A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-10-24 | Tdk Corp | 磁気記録媒体 |
JP2002100079A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Toshiba Corp | 転写装置及び転写方法 |
JP2003157520A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Toshiba Corp | 加工方法、磁気転写方法及び記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006040321A (ja) | 2006-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4735280B2 (ja) | パターン形成方法 | |
JP4815464B2 (ja) | 微細構造転写スタンパ及び微細構造転写装置 | |
JP3850718B2 (ja) | 加工方法 | |
US7803304B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing plate-like structure | |
JP4478164B2 (ja) | 微細構造転写装置、スタンパおよび微細構造の製造方法 | |
JP4550504B2 (ja) | 記録媒体の製造方法 | |
JP2008276919A (ja) | インプリント装置およびインプリント方法 | |
JP5053007B2 (ja) | インプリント用モールド構造体、及び該インプリント用モールド構造体を用いたインプリント方法、並びに、磁気記録媒体 | |
JP5427389B2 (ja) | 樹脂スタンパの製造方法及び製造装置とインプリント方法 | |
JP2009006619A (ja) | ナノインプリント用モールドおよび記録媒体 | |
US20060222967A1 (en) | Reticle, method for manufacturing magnetic disk medium using reticle, and magnetic disk medium | |
JP5024464B2 (ja) | パターン形成方法およびモールド | |
JP2010009729A (ja) | インプリント用スタンパ、インプリント用スタンパの製造方法、磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法及び磁気ディスク装置 | |
US20110008535A1 (en) | Apparatus and method for resist application | |
WO2003105145A1 (ja) | フォトレジスト原盤の製造方法、光記録媒体製造用スタンパの製造方法、スタンパ、フォトレジスト原盤、スタンパ中間体及び光記録媒体 | |
WO2010082298A1 (ja) | 転写装置及び転写方法 | |
JP2010080010A (ja) | 情報記録媒体基板の製造方法 | |
US20100003473A1 (en) | Method for producing original master used to produce mold structure, original master and method for producing mold structure | |
JP2010055672A (ja) | インプリント用モールド構造体、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP2010080011A (ja) | モールド構造体及びその製造方法、被転写用基板及びその製造方法、並びにインプリント方法、磁気記録媒体及びその製造方法 | |
EP2019333B1 (en) | Production of stamps, masks or templates for semiconductor device manufacturing | |
JP2006286122A (ja) | 転写用原盤及びその製造技術 | |
JP2006286120A (ja) | 転写用原盤及びその製造技術 | |
JP2010170594A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、樹脂スタンパー、及び位置決めピン | |
WO2010035594A1 (ja) | インプリント型およびそれを用いた情報記録媒体基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060803 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090811 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091013 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100416 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100517 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100706 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100708 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130716 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |