KR101440130B1 - 자기 전사 성능이 개선된 마스터 기록 매체 - Google Patents

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Abstract

자기 기록 매체에 서보 패턴을 자기 전사하는 마스터 기록 매체가 개시된다. 개시된 마스터 기록 매체는 서보 영역과 데이터 영역으로 구분되는 복수의 영역을 가지는 기판; 상기 서보 영역 위에 형성된 것으로, 자기 기록 매체에 형성하고자 하는 서보 패턴 형상을 자기 전사하도록 패턴된 자성층을 포함하며, 상기 서보 영역에 대응하는 영역이 양각 돌출된 것을 특징으로 한다.

Description

자기 전사 성능이 개선된 마스터 기록 매체{Master recording medium having a improved magnetic transfer performance}
본 발명은 자기기록기술에 관련되며, 특히, 자기 기록 매체에 서보 정보를 담은 서보 패턴을 자기 전사하기 위한 마스터 기록 매체에 관한 것이다.
자기 기록 매체를 사용하는 하드 디스크 드라이브(Hard Disc Drive, HDD)는 대용량이면서 고속 액세스(access) 등의 특성을 가지고 있기 때문에, 컴퓨터뿐만 아니라 각종 디지털 기기의 정보 기억 장치로서 주목받고 있으며, 최근, 산업화 및 정보화가 빠르게 이루어지면서 취급되는 정보의 양이 급격히 증가함에 따라 하드디스크 드라이브의 고밀도화가 요구되고 있다.
한편, 자기 기록 매체에는 HDD 구동을 위해, 자기 헤드를 자기 기록 매체 상의 원하는 위치에 올바로 위치될 수 있도록 하기 위한 서보 정보가 미리 기록되어 있어야 한다. 서보 정보는 자기 기록 매체의 기록층을 소정 패턴으로 자화(magnetization)시킨 서보 패턴으로 기록되며, 이러한 서보 패턴은 상기 패턴에 대응하는 형상이 형성된 마스터 기록 매체를 자기 전사하는 방법으로 이루어진다.
HDD가 고밀도화됨에 따라 서보 패턴의 선폭도 이에 대응하여 작아져야 하므로, 고밀도 기록에 부합하는 서보 패턴을 효과적으로 자기 전사할 수 있는 구조의 마스터 기록 매체에 대한 연구가 필요하다.
본 발명은 상술한 필요성에 의해 도출된 것으로, 미세 선폭을 갖는 서보 패턴을 자기 기록 매체에 자기 전사하는 성능이 개선되는 구조의 마스터 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 마스터 기록 매체는 서보 영역과 데이터 영역으로 구분되는 복수의 영역을 가지는 기판; 상기 서보 영역 위에 형성된 것으로, 자기 기록 매체에 형성하고자 하는 서보 패턴 형상을 자기 전사하도록 패턴된 자성층을 포함하며, 상기 서보 영역에 대응하는 영역이 양각 돌출된 것을 특징으로 한다.
상기 서보 영역과 상기 자성층 사이에 버퍼층이 형성될 수 있다.
상기 버퍼층은 자기 전사시 자기 기록 매체와의 긴밀한 접촉을 가능하게 하는 물질로, 상기 자성층에 비해 유연한 성질을 가지는 물질로 이루어질 수 있다.
상기 버퍼층은 자기 전사를 촉진할 수 있도록 자성물질로 이루어질 수 있다.
상기 패턴된 자성층은 나노 임프린트 공정을 사용하여 형성될 수 있다.
상기 자성층은 상기 서보 패턴이 양각된 형상으로 형성될 수 있으며, 또는 상기 서보 패턴 형상이 음각된 폴리머층의 음각된 패턴 내부를 채우는 형태로 마련될 수 있다. 상기 서보 패턴 형상으로 양각된 폴리머층의 표면을 따라 형성될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.
본원 발명에 의한 마스터 기록 매체 및 이의 제조 방법을 설명하기에 앞서, 먼저 도 1 및 도 2를 참조하여, 하드디스크 드라이브에 사용되는 자기 기록 매체에 서보 패턴을 형성하는 방법을 설명한다.
도 1은 자기 기록 매체의 일반적인 영역 구조를 보인다. 자기 기록 매체는 정보가 복수의 원형 트랙을 따라 기록되도록 디스크 형상을 가지며, 그 영역은 데이터가 기록되는 데이터 영역(D)과 트랙에 대한 서보 정보가 기록된 서보 영역(S)으로 나뉘어져 있다. 서보 영역(S)에는 그 영역이 특정 패턴으로 자화되어 이루어진 서보 패턴이 형성되어 있다. 서보 패턴은 예를 들어, 서보 동기를 제공하는 프리앰블, 서보 섹터의 시작을 알려 이어지는 그레이 코드를 읽기 위한 동기를 제공하는 서보 어드레스 마크(servo address mark, SAM), 트랙 아이디를 제공하는 그레이 코드, 트랙 추종을 위해 요구되는 위치 오차 신호를 계산하기 위한 정보를 제공하는 버스트를 포함할 수 있다. 도시된 패턴들의 구체적인 형상은 예시적인 것으로, 그 형상은 트랙에 따라 서로 다르며, HDD가 자기 기록 매체에 대한 기록 재생시, 서보 영역(S)의 서보 패턴으로부터 서보 정보를 읽음으로써 트랙 탐색 및 트랙 추종을 수행하게 된다.
도 2는 자기 기록 매체에 이와 같은 서보 패턴을 형성하는 방법을 보여준다. 자기 기록 매체(M)에 서보 패턴을 형성하기 위해, 형성하고자 하는 서보 패턴 형상을 자기전사(magnetic transfer) 할 수 있는 마스터 기록 매체(master recording medium:MRM)를 사용한다. 예를 들어, 마스터 기록 매체(MRM)는 서보 패턴 형상이 양각된 기판(10) 및 상기 패턴이 형성된 표면을 따라 CoFe와 같은 물질로 형성된 자성층(20)을 포함한다. 서보 패턴을 형성하고자 하는 자기 기록 매체(M) 위에 마스터 기록 매체(MRM)를 올려놓고 외부 자기장(B)을 인가한다. 외부 자기장(B)에 따라 마스터 기록 매체(MRM)의 자성층(20) 및 자기 기록 매체(M)의 상층부의 기록층이 자화되며, 이 때, 자화된 패턴은 마스터 기록 매체(M)의 양각된 형상과 같게 된다.
한편, 상술한 방법에 따라 서보 패턴을 자기 전사함에 있어서, 마스터 기록 매체(MRM)의 자성층(20)이 자기 기록 매체(M)의 표면에 긴밀하게 접촉되어야 한다. 그런데, 일반적으로 마스터 기록 매체(MRM)의 자성층(20)이나 자기 기록 매체(M)는 모두 유사한 단단함(hardness) 특성을 가지며, 이는 두 물질이 긴밀하게 접촉하는 것을 용이하지 않게 한다. 두 물질 간에 긴밀한 접촉을 유도하기 위해, 압력을 인가하는 경우 마스터 기록 매체(MRM)나 자기 기록 매체(M)를 모두 손상시킬 수 있다.
본 발명은 상기 발생 가능한 문제점에 착안한 것으로, 마스터 기록 매체(MRM)와 자기 기록 매체(M) 간에 긴밀한 접촉을 유도하고 자기전사 성능을 개선할 수 있게 하는 마스터 기록 매체의 영역 구조를 제시하고자 하는 것이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 마스터 기록 매체의 영역 구조를 보인다. 본 발명의 마스터 기록 매체는 서보 영역(S)과 데이터 영역(D)을 포함한다. 서보 영역(S)은 자기 기록 매체에 형성할 서보 패턴 형상을 자기 전사하기 위한 패턴된 자성층을 포함하는 영역으로, 데이터 영역(D)에 비해 양각 돌출되어 있다. 도시된 형상은 서보 영역(S)이 양각 돌출된 것을 예시하기 위한 것으로, 구체적인 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 도면에서는 디스크 형상의 마스터 기록 매체에 반경 방향으로는 연속되고 원주 방향으로는 이격된 복수의 서보 영역(S)이 돌출 형성된 것으로 도시되어 있으나, 복수의 서보 영역(S)이 원주 방향뿐 아니라 반경 방향으로도 이격된 형태로 형성될 수도 있다. 또한, 서보 영역(S)의 돌출된 유닛 하나에는 기본 단위의 서보 패턴 한 개에 해당하는 자성층 패턴 또는 복수 개에 해당하는 자성층 패턴이 형성될 수 있다. 이와 같이 서보 영역(S) 만이 양각 돌출되고 데이터 영역(D)이 음각된 요철 구조의 마스터 기록 매체(MRM)를 사용하여 도 2와 같은 방법에 따라 서보 패턴을 자기 기록 매체에 자기 전사하는 경우, 서보 영역(S)과 자기 기록 매체(M)가 보다 긴밀하게 접촉될 수 있다. 또한, 필요에 따라 진공 흡입 등의 방법으로 적절한 압력을 가하더라도 서보 영역(S) 이외의 다른 영역은 자기 기록 매체(M)에 접촉되지 않아 자기 기록 매체(M)나 마스터 기록 매체(MRM)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 서보 영역(S)을 돌출시키기 위해, 접촉 유도나 자기 전사 유도에 유리한 특징을 갖는 물질로 된 기능성 버퍼층을 도입할 수도 있어 자기 전사 성능을 개선할 수 있다.
도 4 내지 도 9는 도 3의 A-A' 단면에서 도시한 본 발명의 다양한 실시예의 마스터 기록 매체(101~106)의 구조를 보인다. 이에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 4를 참조하면, 마스터 기록 매체(101)는 서보 영역(S)과 데이터 영역(D)으로 구분되는 복수의 영역을 가지는 기판(110)과 서보 영역(S) 위에 형성된 것으로, 자기 기록 매체에 형성하고자 하는 서보 패턴 형상을 자기 전사하도록 패턴된 자성층(140)을 포함한다. 마스터 기록 매체(101)는 상기 서보 영역(S)에 대응하는 영역이 양각 돌출되어 있으며, 본 실시예에서는 기판(110)의 서보 영역(S) 위에 버퍼층(120)이 형성되고, 버퍼층(120) 위에 패턴된 자성층(140)이 형성되어 있다. 폴리머층(130)은 서보 패턴 형상이 음각된 형태로 마련되어 상기 음각된 내부를 자성층(140)이 채우는 형태로 되어 있다. 이러한 형상은 예를 들어, 버퍼층(120) 위에 폴리머층(130)을 평탄하게 코팅하고, 서보 패턴 형상이 양각된 나노 스탬프를 이용한 나노 임프린트 공정에 의해 폴리머층(130)을 음각한 후, 음각된 부분에 자성층(140)을 도금 또는 증착하는 방법으로 형성할 수 있다. 나노 임프린트 공정을 사용하는 것은 자성층(140) 패턴의 선폭을 보다 미세하게 구현하는 것을 가능하게 하므로, 이렇게 제조된 마스터 기록 매체(101)는 고기록 밀도용 자기 기록 매체의 서보 패턴을 전사하기에 적합하다.
기판(110)은 Ni합금, Co합금, Fe합금과 같은 자성 물질로 형성될 수 있으며, 비자성물질로 형성될 수도 있다. 기판(110)이 자성 물질로 형성되는 경우, 자기 전사를 보다 용이하게 할 수 있다.
버퍼층(120)은 자기 기록 매체나 자성층(140)에 비해 유연한(soft) 특성을 가지는 물질로 형성될 수 있다. 이 경우, 기계적 충격 방지와 함께, 본 발명의 마스터 기록 매체(101)가 도 2에서 예시한 방법에 따라 마스터 기록 매체(MRM)로 사용될 때 자기 기록 매체(M)와의 접착력을 보다 향상시킬 수 있다. 버퍼층(120)의 재질로는 예를 들어, 레진(resin), 폴리머(polymer), 고무(rubber) 재질이 채용될 수 있다. 또한, 버퍼층(120)은 자성물질로 형성될 수 있으며, 이 경우, 자성층(140) 패턴이 자기 전사되는 것을 촉진할 수 있다. 자성층(140)은 예를 들어, CoFe, CoNiFe, NiFe와 같은 물질로 형성될 수 있다.
도 5의 마스터 자기 기록 매체(102)는 자성층(140)의 패턴에서 도 4의 자기 기록 매체(101)와 차이가 있다. 자성층(140)은 서보 패턴 형상이 직접 양각된 형태로 되어 있다. 이와 같은 형상은, 예를 들어, 서보 패턴 형상인 양각된 나노 스탬프를 이용한 나노 임프린트에 의해 서보 패턴 형상이 음각된 폴리머 레플리카를 만들고, 상기 음각된 내부를 자성 물질로 채운 후 자성물질로부터 폴리머 레플리카를 필링 오프(peeling off)하여 분리하는 과정으로 형성할 수 있다.
도 6의 마스터 기록 매체(103)는 서보 패턴 형상이 양각된 형태로 마련된 폴리머층(130)의 표면을 따라 자성층(140)이 형성되어 있다. 이와 같은 형상은, 예를 들어, 버퍼층(120) 위에 폴리머층(130)을 평탄하게 코팅한 후, 서보 패턴 형상이 음각된 나노 스탬프를 이용한 나노 임프린트에 의해 폴리머층(130)에 서보 패턴 형상이 양각되게 한 후 폴리머층(130)의 표면을 따라 자성물질을 증착하는 방법으로 형성될 수 있다.
이상의 실시예에서는 서보 영역(S)에 형성된 자성층(140) 패턴의 구체적인 형상을 예시하여 설명하였다. 다만, 자성층(140) 패턴은 자기 기록 매체에 서보 패턴을 자기 전사할 수 있는 패턴이면 되고, 구체적인 형상은 마스터 기록 매체를 제작함에 있어 자성층(140)을 미세 선폭으로 패턴 형성하는 공정에 따라 상기 예시된 형상들과 조금씩 달라질 수 있다.
또한, 버퍼층(120)은 자기전사 성능 개선을 위한 기능성 물질로 개선하고자 하는 특성 사양에 알맞은 물질로 선택될 수 있음을 설명하였다. 예를 들어, 버퍼층(120)은 기판(110)과 동일한 물질로 형성될 수도 있으며, 이 경우, 버퍼층(120)과 기판(110)이 일체로 형성되는 구조를 채택할 수 있다.
도 7 내지 도 9의 마스터 기록 매체(104~106)는 각각 도 4 내지 도 6의 마스터 기록 매체(101~103)와 기판(110)과 버퍼층(120)이 일체로 형성된 점에서 차이가 있다. 즉, 마스터 기록 매체(104~106)는 기판(110)의 데이터 영역(D)이 음각되어 서보 영역(S)을 양각 돌출시키는 구조로 되어 있다. 이와 같은 구조는 예를 들어, 서보 영역(S) 형상에 대응하는 형상을 가진 식각 마스크를 이용한 식각 공정으로 형성될 수 있으며, 또한, 기판(110)을 자성물질로 선택하여, 자기 전사를 효율적으로 하기 위하여 채택될 수 있다.
이상의 실시예들에 설명한 마스터 기록 매체(101~106)는 도 2에서 설명한 자기 전사 방법의 마스터 기록 매체(MRM)로 채용되어 서보 정보를 담은 서보 패턴을 자기 기록 매체에 전사할 수 있으며, 서보 영역만이 양각 돌출된 구조를 채택하여 자기 전사시 접촉성을 향상시키면서도 마스터 기록 매체나 전사 대상인 자기 기록 매체를 손상시키지 않는다. 또한, 기능성 버퍼층을 도입하여 보다 효과적인 자기전사를 수행할 수 있다.
이러한 본원 발명인 마스터 기록 매체 및 이의 제조방법은 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
이러한 기록은 적어도 다음의 개념들을 개시하고 있다.
개념 1. 마스터 기록 매체로서,
복수의 서보 영역들 및 복수의 데이터 영역들을 포함하는 기판; 및
상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되고, 자기 기록 매체 상에 형성될 서보 패턴의 형상으로 패터닝된 자성층을 포함하고,
상기 서보 영역들은 상기 데이터 영역들에 대해 돌출되는,
마스터 기록 매체.
개념 2. 제 1 개념에 있어서,
상기 서보 영역들 및 상기 자성층 사이에 개재된 버퍼층을 더 포함하는,
마스터 기록 매체.
개념 3. 제 2 개념에 있어서,
상기 버퍼층은 상기 자성층을 형성하는데 사용되는 물질보다 더 유연한 재료로 형성되는,
마스터 기록 매체.
개념 4. 제 3 개념에 있어서,
상기 버퍼층은 레진(resin), 폴리머(polymer) 및 고무(rubber) 중 어느 하나로 형성되는,
마스터 기록 매체.
개념 5. 제 2 개념에 있어서,
상기 버퍼층은 자성 물질로 형성되는,
마스터 기록 매체.
개념 6. 제 1 개념에 있어서,
상기 기판의 상기 데이터 영역은 상기 서보 영역에 대해 오목한,
마스터 기록 매체.
개념 7. 제 1 개념에 있어서,
상기 자성층은 CoFe, CoNiFe 및 NiFe 중 어느 한 물질로 형성되는,
마스터 기록 매체.
개념 8. 제 1 개념에 있어서,
상기 자성층은 나노 임프린팅에 의해 형성되는,
마스터 기록 매체.
개념 9. 제 1 개념에 있어서,
상기 서보 패턴의 형상은 상기 자성층에서 양각화되는,
마스터 기록 매체.
개념 10. 제 1 개념에 있어서,
상기 폴리머층 상에 양각화된 서보 패턴의 형상을 갖도록 상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되는 폴리머층을 더 포함하고,
상기 자성층은 상기 폴리머층의 표면 상에 형성되는,
마스터 기록 매체.
개념 11. 제 1 개념에 있어서,
상기 폴리머층 상에 양각화된 서보 패턴의 형상을 갖도록 상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되는 폴리머층을 더 포함하고,
상기 자성층은 상기 폴리머층의 표면 상에 형성되는,
마스터 기록 매체.
도 1은 자기 기록 매체의 일반적인 영역 구조를 보인다.
도 2는 자기 기록 매체에 서보 패턴을 자기 전사하는 방법을 보인다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 마스터 기록 매체의 영역 구조를 보인다.
도 4 내지 도 9는 도 3의 A-A' 단면에서 도시한 본 발명의 다양한 실시예에 의한 마스터 기록 매체의 구조를 보인다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
101~106...마스터 기록 매체 110...기판
120...버퍼층 130...폴리머층
140...자성층

Claims (30)

  1. 마스터 기록 매체로서,
    복수의 서보 영역들 및 복수의 데이터 영역들을 포함하는 기판;
    상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되고, 자기 기록 매체 상에 형성될 서보 패턴의 형상으로 패터닝된 자성층; 및
    상기 서보 영역들 및 상기 자성층 사이에 개재된 버퍼층을 포함하고,
    상기 서보 영역들은 상기 데이터 영역들에 대해 돌출되고, 상기 버퍼층은 자성 물질로 형성되는,
    마스터 기록 매체.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼층은 상기 자성층을 형성하는데 사용되는 물질보다 더 유연한 물질로 형성되는,
    마스터 기록 매체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 버퍼층은 레진(resin), 폴리머(polymer) 및 고무(rubber) 중 어느 하나로 형성되는,
    마스터 기록 매체.
  5. 삭제
  6. 제 1 항, 제 3 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 데이터 영역은 상기 서보 영역에 대해 오목한,
    마스터 기록 매체.
  7. 제 1 항, 제 3 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자성층은 CoFe, CoNiFe 및 NiFe 중 어느 한 물질로 형성되는,
    마스터 기록 매체.
  8. 제 1 항, 제 3 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자성층은 나노 임프린팅에 의해 형성되는,
    마스터 기록 매체.
  9. 제 1 항, 제 3 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 서보 패턴의 형상은 상기 자성층에서 양각화되는,
    마스터 기록 매체.
  10. 제 1 항, 제 3 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되고, 상기 서보 패턴의 형상에 대응하는 음각화된 패턴을 갖는 폴리머층을 더 포함하고,
    상기 자성층은 상기 음각화된 패턴을 채우는,
    마스터 기록 매체.
  11. 제 1 항, 제 3 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    폴리머층 상에 양각화된 서보 패턴의 형상을 갖도록 상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되는 상기 폴리머층을 더 포함하고,
    상기 자성층은 상기 폴리머층의 표면 상에 형성되는,
    마스터 기록 매체.
  12. 마스터 기록 디바이스로서,
    복수의 서보 영역들 및 복수의 데이터 영역들을 포함하는 자성 기판;
    상기 서보 영역들 각각의 위에 형성된 패터닝된 자성층 및 자기 기록 디바이스 상에 형성될 적어도 하나의 서보 패턴의 형상으로 상기 서보 영역들 각각의 위에 형성된 적어도 하나의 자성층 패턴; 및
    상기 서보 영역들 각각을 돌출시키기 위해 상기 자성층 아래에 형성된 버퍼층을 포함하고,
    상기 서보 영역들은 상기 데이터 영역들에 대해 돌출되고,
    상기 서보 패턴은 상기 데이터 영역들의 상부 표면으로부터 축 방향으로 이격되고,
    상기 버퍼층은 자성 물질로 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 버퍼층은 레진, 폴리머 및 고무 중 어느 하나로 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 기판의 데이터 영역은 상기 서보 영역에 대해 오목한,
    마스터 기록 디바이스.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 자성층은 CoFe, CoNiFe, NiFe 중 어느 한 물질로 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 자성층은 나노 임프린팅에 의해 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  17. 제 12 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 서보 패턴의 형상은 상기 자성층에서 양각화되는,
    마스터 기록 디바이스.
  18. 제 12 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되고, 상기 서보 패턴의 형상에 대응하는 음각화된 패턴을 갖는 폴리머층을 더 포함하고,
    상기 자성층은 상기 음각화된 패턴을 채우는,
    마스터 기록 디바이스.
  19. 제 12 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,
    폴리머층 상에 양각화된 서보 패턴의 형상을 갖도록 상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되는 상기 폴리머층을 더 포함하고,
    상기 자성층은 상기 폴리머층의 표면 상에 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  20. 마스터 기록 디바이스로서,
    복수의 서보 영역들 및 복수의 데이터 영역들을 포함하는 기판;
    상기 서보 영역들 각각의 위에 형성된 패터닝된 자성층 및 자기 기록 디바이스 상에 형성될 적어도 하나의 서보 패턴의 형상으로 상기 서보 영역들 각각의 위에 형성된 적어도 하나의 자성층 패턴; 및
    상기 데이터 영역들에 대해 돌출되도록 상기 서보 영역들 각각에 대해 적응된, 상기 기판의 표면과 상기 자성층 사이에 형성된 버퍼층을 포함하고,
    상기 버퍼층은 자성 물질을 포함하는,
    마스터 기록 디바이스.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 버퍼층은 상기 기판과 상이한 물질을 포함하는,
    마스터 기록 디바이스.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 버퍼층은 상기 기판과 동일한 물질을 포함하는,
    마스터 기록 디바이스.
  23. 삭제
  24. 제 20 항에 있어서,
    상기 버퍼층은 레진, 폴리머 및 고무 중 어느 하나로 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  25. 제 20 항 내지 제 22 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 서보 패턴은 상기 데이터 영역들의 상부 표면으로부터 축 방향으로 이격되는,
    마스터 기록 디바이스.
  26. 제 20 항 내지 제 22 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자성층은 CoFe, CoNiFe 및 NiFe 중 어느 한 물질로 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  27. 제 20 항 내지 제 22 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 서보 패턴의 형상은 상기 자성층에서 양각화되는,
    마스터 기록 디바이스.
  28. 제 20 항 내지 제 22 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되고, 상기 서보 패턴의 형상에 대응하는 음각화된 패턴을 갖는 폴리머층을 더 포함하고,
    상기 자성층은 상기 음각화된 패턴을 채우는,
    마스터 기록 디바이스.
  29. 제 20 항 내지 제 22 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
    폴리머층 상에 양각화된 서보 패턴의 형상을 갖도록 상기 서보 영역들 각각의 위에 형성되는 상기 폴리머층을 더 포함하고,
    상기 자성층은 상기 폴리머층의 표면 상에 형성되는,
    마스터 기록 디바이스.
  30. 제 20 항에 있어서,
    상기 버퍼층은 상기 자성층을 형성하는데 사용된 물질보다 더 유연한,
    마스터 기록 디바이스.
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