JPH1186346A - 光ディスク、光ディスクの製造方法及び光ディスク原盤の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ハブを正確な位置に接合することができる光
ディスク、光ディスクの製造方法及び光ディスク原盤の
製造方法を提供する。 【解決手段】 光ディスク１は、情報記録領域２の内周
側に、情報記録領域２のトラックピッチよりも大なるピ
ッチで同心円状あるいはスパイラル状の連続又は不連続
な溝部４ａが形成されている。光ディスクの製造方法
は、光ディスク基板の略中央部にハブ５を取り付けるに
際し、上記溝部４ａを基準マーカとしてハブ５を光ディ
スク基板に対して位置合わせする。光ディスク原盤の製
造方法としては、表面にレジスト層１１が形成された基
板１０を回転させるとともにレーザ光を基板１０の径方
向に走査しながら、レーザ光を選択的にオン・オフする
ことにより、上記レジスト層１１を露光する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、環状の情報記録領
域を有し、略中心部に支持部材であるハブを有する光デ
ィスク、光ディスクの製造方法及びこの光ディスクの基
板を成形するために用いられる光ディスク原盤の製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスクは、基本構造としてプラスチ
ック等からなる円板状の基板と、この上に形成された記
録層とから主に構成される。その中でも、略中心部に支
持部材としてハブを有する光ディスクがある。

【０００３】例えば、直径が１３０ｍｍ（５．２５イン
チ）の光ディスクに関して、感磁性ハブを有する光ディ
スクが、ＩＳＯ規格により定められている。この光ディ
スクは、中央に中心孔を有し、少なくとも一方に記録層
が設けられた二枚の円板状の樹脂基板が記録層を内側に
して接合されている、エアーサンドイッチ構造の光ディ
スクであり、その両面にハブが接合されている。

【０００４】ハブは、情報の記録及び／又は再生時に、
このハブを介して光ディスク装置内のディスクテーブル
に光ディスクをチャキングするものであり、光ディスク
の確実な装着、固定を保証するディスククランプとして
の役割を果たすものである。詳しくは、ハブは、金属材
料よりなり、中央部にスピンドル軸が挿入するセンター
ホールが形成されており、ディスクテーブル内のマグネ
ットに吸引されて、光ディスクをチャッキングするよう
になされている。

【０００５】従って、このようなハブを有する光ディス
クの製造に際しては、ハブの回転中心がディスク基板に
形成された情報記録領域の回転中心と精度良く合致する
ように、ハブを光ディスクに接合しなくてはならない。

【０００６】従来、ハブを光ディスクに接合する方法と
して、例えば以下に示す２つの方法が挙げられる。

【０００７】第１の方法としては、光ディスク基板の中
心に、その中心が情報記録領域の回転中心と同心となる
ように中心孔を設け、この中心孔を基準として、ハブを
嵌合させ接着させる方法である。しかしながら、この方
法は、ハブの接合自体は比較的簡単であるが、光ディス
ク基板の中心孔を情報記録領域の回転中心に対して偏心
のないように、また中心孔の直径が正確になるように製
造しなくてはならず、困難である。

【０００８】第２の方法としては、光ディスクの情報記
録領域とその内周部との境目を基準にしてＸＹテーブル
を利用して、情報記録領域の回転中心とハブの中心が合
致するようにハブを接着する方法である。

【０００９】この第２の方法を利用した例は、特開昭６
３−７６１３１号や特開平４−４９５４３号に提案され
ている。詳しくは、この方法の原理は、図１５に示すよ
うな光ディスク１００において、凹凸が形成された情報
記録領域１０１と、この情報記録領域１０１の内周側に
位置し凹凸が形成されていないミラー領域１０２におけ
る光の散乱による反射光量の差を利用して、情報記録領
域１０１とミラー領域１０２との境界線を検出するもの
である。なお、通常の光ディスクは、図１５に示す光デ
ィスク１００のような構成からなり、略中心部に中心孔
１０３を有する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、光ディスク
は、年々高密度化が要求されており、情報記録領域のト
ラックピッチの間隔が狭くされる傾向にある。例えば、
上述の直径１３０ｍｍの光ディスクでは、技術革新に伴
い、情報記録領域のトラックピッチが１．６μｍから、
１．３９μｍ、１．１５μｍ、更には０．８５μｍにま
で小さくされてきており、高密度化が図られてきてい
る。

【００１１】ところが、上記の第２の方法においては、
このようにトラックピッチが小さくされると、情報記録
領域の凹凸による光の散乱状態が変化し、検出される情
報記録領域からの反射光量が低下してしまう。このた
め、第２の方法では、情報記録領域とミラー部の反射光
量の差を検出するのが困難となり、正確なハブ付けの基
準である情報記録領域とミラー部との境界を判別するの
に支障をきたしてしまう。

【００１２】例えば、このことは、図１６及び図１７を
用いて、つぎのように説明される。図１６は、情報記録
領域２０１のトラックピッチが大きい光ディスク２００
に対して、光源２０３から光を照射させ、この光ディス
ク２００により反射される反射光の様子、及びその反射
光をＣＣＤ２０４により検出した際のディスクプレー２
０５上の表示を示す図である。

【００１３】一方、図１７は、情報記録領域３０１のト
ラックピッチが小さい光ディスク３００に対して、光源
２０３から光を照射させ、この光ディスク３００により
反射される反射光の様子、及びその反射光をＣＣＤ２０
４により検出した際のディスクプレー３０５上の表示を
示す図である。

【００１４】図１６及び図１７に示すディスプレー表示
２０５、３０５から明らかなように、情報記録領域２０
１のトラックピッチが大きい光ディスク２００において
は、ＣＣＤ２０４により検出される光の反射光、つまり
散乱光が大きいが、トラックピッチが小さい光ディスク
３００においては、散乱角等の変化により、同位置に設
置されたＣＣＤ２０４により検出される反射光が小さく
なっている。

【００１５】このように、情報記録領域のトラックピッ
チの大きさが小さくされると、検出される情報記録領域
からの反射光量が減少してしまうため、上記第２の方法
では、トラックピッチの大きさに応じてハブ付け装置の
光源の入射角度や入射光量を調整しなければ、情報記録
部とミラー部との境界を正確に判別することができない
といった不都合が生じる。

【００１６】そこで、本発明は、従来の実情に鑑みて提
案されたものであり、比較的容易に、かつより正確に、
情報記録領域とミラー部との境界を判別することができ
て、ハブを正確に接合することができる光ディスク、光
ディスクの製造方法及びこのような光ディスクの基板成
形に用いられる光ディスク原盤の製造方法を提供するこ
とを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために完成された本発明に係る光ディスクは、環状の情
報記録領域を有するとともに、略中央部にハブが取り付
けられているものである。

【００１８】特に、本発明に係る光ディスクでは、上記
情報記録領域の内周側に、この情報記録領域のトラック
ピッチよりも大なるピッチで同心円状あるいはスパイラ
ル状の連続又は不連続な溝部が形成されていることを特
徴とするものである。

【００１９】以上のように構成された本発明に係る光デ
ィスクでは、情報記録領域の内周側に上述の溝部が形成
されており、この溝部のピッチが情報記録領域のトラッ
クピッチよりも大きくされているため、ハブ付け時にハ
ブ付け装置から光を照射した際、情報記録領域のトラッ
クピッチの大きさに依ってハブ付け装置の光源の入射角
や光量を変えなくても、溝部を有する領域から十分検出
可能な一定の反射光が得られる。

【００２０】その結果、この反射光に基づいて、溝部を
有する領域を基準マーカとして情報記録領域の内周側の
境界を容易に判別することができ、ハブを正確な位置に
接合することができる。

【００２１】また、上述した目的を達成するために完成
された本発明に係る光ディスクの製造方法では、環状の
情報記録領域を有する光ディスク基板の略中央部にハブ
を取り付けるに際し、上記情報記録領域の内周側に、こ
の情報記録領域のトラックピッチよりも大なるピッチで
同心円状あるいはスパイラル状の連続又は不連続な溝部
を形成しておき、この溝部を基準マーカとしてハブを光
ディスク基板に対して位置合わせすることを特徴とする
ものである。

【００２２】以上のようになされる光ディスクの製造方
法では、情報記録領域の内周側に形成された溝部を基準
マーカとしてハブを光ディスク基板に対して位置合わせ
するため、情報記録領域のトラックピッチの大きさに依
らずに、ハブを正確に光ディスクに接合することができ
る。

【００２３】また、上述した目的を達成するために完成
された本発明に係る光ディスク原盤の製造方法では、表
面にレジスト層が形成された基板を回転させるととも
に、レーザ光を基板の径方向に走査しながら上記レジス
ト層を露光する方法であり、特に、上記レーザ光を選択
的にオン・オフすることにより、情報記録領域の内周側
に対応する領域に、情報記録領域のトラックピッチＴｐ
よりも大なるピッチの同心円状あるいはスパイラル状の
連続又は不連続な溝部を露光形成することを特徴とする
ものである。

【００２４】以上のように構成された本発明に係る光デ
ィスク原盤の製造方法では、レーザ光を基板の径方向に
走査しながらレジスト層を露光する際に、レーザ光を選
択的にオン・オフすることにより、情報記録領域のトラ
ックピッチよりも大なるピッチの同心円状あるいはスパ
イラル状の連続又は不連続な溝部を露光形成するため、
ハブ付け時にハブ付け装置から光を照射した際、情報記
録領域のトラックピッチの大きさに応じてハブ付け装置
の光源の入射角及び光量を変えなくても、上記溝部を有
する領域から十分検出可能な一定の反射光を得ることが
できる。

【００２５】その結果、この原盤を用いて成形した光デ
ィスクでは、溝部を有する領域からの反射光に基づい
て、溝部を基準マーカとして情報記録領域の内周側の境
界を容易に判別することができ、ハブを正確な位置に接
合することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００２７】図１は、本発明を適用した光ディスクの構
成を示す平面図である。また、図２は、本発明を適用し
た光ディスクの断面図である。

【００２８】本発明を適用した光ディスク１は、図１及
び図２に示すように、凹凸が形成された環状の情報記録
領域２と、情報記録領域２の内周側に凹凸が形成されて
いないミラー部３と、上記ミラー部３の内周側に光ディ
スク１の略中心部に形成された中心孔３ａを中心とする
同心円状またはスパイラル状の連続または不連続の溝部
が形成されたマーカ部４とを備えるものである。

【００２９】特に、本発明を適用した光ディスク１は、
中心孔３ａを有するとともに、図２に示すように、中心
孔３ａの周辺部、つまり光ディスク１の略中央部にこの
中心孔３ａを中心として支持部材であるハブ５が接合さ
れている。

【００３０】情報記録領域２は、情報信号に応じた所定
パターンの凹凸が形成されたものである。例えば、光磁
気ディスクでは、この情報記録領域２として、凸部のラ
ンドと凹部のグルーブから構成され情報を記録するデー
タ領域と、位置情報を得るためのピットが形成されたプ
リフォーマット領域とを有する。このような光磁気ディ
スクでは、例えば、グルーブに情報が記録されて、それ
に連続して形成されたプリフォーマット領域のピットで
位置情報を得るグルーブ記録方式のものや、ランドに情
報が記録され、かつピットもランド部に形成されてこの
ピットから位置信号を得るランド記録方式のもの等があ
る。

【００３１】ミラー部３は、情報記録領域２の内周側に
形成されており、凹凸が形成されていない領域である。

【００３２】図３は、マーカ部４の溝部４ａ及び情報記
録領域２のトラックピッチＴｐの要部を示す模式図であ
る。

【００３３】本発明を適用した光ディスク１において形
成されるマーカ部４は、図３に示すように、光ディスク
１の略中心部に形成された中心孔３ａを中心としたスパ
イラル状の連続または不連続の溝部４ａが形成されてい
るものである。

【００３４】特に、本発明を適用した光ディスク１にお
ける溝部４ａでは、図２に示すように、溝部４ａ₁と溝
部４ａ₂のそれぞれの中点を結ぶ間隔、つまり溝部４ａ
のピッチＴが、情報記録領域２のトラックピッチＴｐよ
りも大きくなされている。

【００３５】なお、溝部４ａは、例えば図３に示すよう
に、ミラー部３と隣接するため、そのピッチＴがミラー
部３と判別がつく程度の大きさで形成されている。例え
ば、溝部４のピッチＴとしては、少なくとも約１．１μ
ｍ以上であれば、好ましくは約１．６μｍであれば、ハ
ブ付け時にハブ付け装置の光源から光を照射した際、マ
ーカ部４からの反射光を十分検出することができる。

【００３６】また、溝部４ａは、後述する方法により製
造される光ディスク原盤を用いて成形されることによ
り、情報記録領域２のトラックピッチをＴｐとすると、
溝部４ａのピッチＴが（ｎ＋１）×Ｔｐとなるように形
成される。

【００３７】また、溝部４ａは、後述する他の方法によ
り製造される光ディスク原盤を用いて成形されることに
より、溝部４ａのピッチＴが（２ｎ＋１）／２×Ｔｐと
なるようにも形成される。

【００３８】このように、本発明を適用した光ディスク
１では、情報記録領域２の内周側に、情報記録領域２の
トラックピッチＴｐよりもピッチＴが大きいスパイラル
状の溝部４ａを有するマーカ部４が形成されているた
め、高密度化に伴って情報記録領域２のトラックピッチ
Ｔｐが小さい場合でもこの溝部４ａのピッチＴが大きい
ことから、ハブ付け時にハブ付け装置の光源から光を照
射した際、情報記録領域２のトラックピッチＴｐに応じ
て当該光源の入射角や光量を変えなくても、溝部４ａを
有するマーカ部４から十分検出可能な一定の反射光量を
得ることができる。

【００３９】その結果、マーカ部４からの反射光に基づ
いて、マーカ部４を基準として情報記録領域２の内周側
の境界を容易に判別することができ、ハブを正確な位置
に接合することができる。

【００４０】なお、溝部４ａは、情報記録領域２の内周
に接して形成されていても良い。つまり、マーカ部４
は、情報記録領域２の内周側の領域で、かつＩＳＯ規格
内の範囲であれば、どの位置に形成されていても良く、
溝部４ａのピッチＴが情報記録領域２のトラックピッチ
Ｔｐよりも大きければ良い。

【００４１】また、溝部４ａは、中心孔３ａを中心とす
る同心円状に形成されていても良い。このときも、溝部
のピッチが情報記録領域２のトラックピッチＴｐよりも
大きければ良い。

【００４２】また、溝部４ａは、不連続な凹部、つまり
ピット列をなしていても良く、ピット列のピットが情報
記録領域２のトラックピッチＴｐより大きければ良い。

【００４３】ハブ５は、上述したように、マーカ部４の
反射光の検出に基づいて判別される情報記録領域２の境
界を基準にして、ＸＹテーブルを利用して情報記録領域
２の回転中心とハブ５の回転中心とが合致するように、
光ディスク１の略中心部に接合されるものである。

【００４４】つぎに、以上のような構成を有する光ディ
スクの製造方法について以下に詳細を述べる。

【００４５】特に、上述の構造の光ディスクを製造す
る、本発明を適用した光ディスクの製造方法では、環状
の情報記録領域２を有する光ディスク基板の略中央部に
ハブ５を取り付ける際に、情報記録領域２の内周側に、
この情報記録領域２のトラックピッチＴｐよりも大なる
ピッチで同心円状あるいはスパイラル状の連続又は不連
続の溝部４ａを形成しておき、この溝部４ａを有するマ
ーカ部４を基準マーカとして、ハブ５を光ディスク基板
に対して位置合わせするものである。

【００４６】このように、情報記録領域２の内周側に形
成された溝部４ａを有するマーカ部４からは、情報記録
領域２のトラックピッチＴｐの大きさに依らずに、ハブ
付け装置の光源から光を照射した際に、十分検出可能な
一定の反射光量を検出することができる。

【００４７】その結果、このマーカ部４からの光量に基
づいて、溝部４ａを有するマーカ部４を基準マーカとし
て情報記録領域２の内周側の境界を正確に判別すること
ができ、ハブ５を正確に位置合わせすることができる。

【００４８】つぎに、以上述べたような構成を有する光
ディスクの基板成形に用いられる原盤の具体的な製造方
法について、詳細を説明する。以下では、グルーブとピ
ットを有する光ディスク原盤を対象とするが、これに限
られるものではない。

【００４９】先ず、レジスト塗布工程として、図４に示
すように、カップリング剤を含有するガラス基板１０上
に、スピンコート法によりレジストを塗布してレジスト
層１１を形成する。

【００５０】次に、レーザ露光工程として、図５に示す
ように、レジスト層１１上にレーザ光を露光する。以下
に、レーザ光の露光工程の詳細を説明する。

【００５１】レーザ露光工程においては、図５に示すよ
うに、上記ガラス基板１０を回転しながら、情報記録領
域に対応するレジスト層１１の部分に、第１のレーザ光
源１２からレーザ光を露光してグルーブ用の潜像を形成
するとともに、第２のレーザ光源１３からレーザ光を露
光してピット用の潜像を形成する。このときの第１のレ
ーザ光源１２と第２のレーザ光源１３との関係を図６に
示す。

【００５２】図６に示すように、第２のレーザ光源１３
は、第１のレーザ光源１２から１／２×Ｔｐ離れた所に
配されている。ここで、第１のレーザ光源１２と第２の
レーザ光源１３とは、連動するようになされている。

【００５３】そして、情報記録領域に対応するレジスト
層の部分１１ａに、第１のレーザ光源１２によりレーザ
光が露光されてピット用の潜像１２ａが形成されるとと
もに、第２のレーザ光源１３によりレーザ光が露光され
てグルーブ用の潜像１３ａが形成される。

【００５４】ここで、露光するレーザ光を集光させる対
物レンズは、第１のレーザ光源１２及び第２のレーザ光
源１３と共に連動して、ガラス基板１回転でＴｐだけ径
方向方向に移動するようになっている。

【００５５】さらに、本発明におけるレーザ露光工程で
は、上述したように情報記録領域２に対応するレジスト
層上の部分１１ａにピット用潜像１２ａ及びグルーブ用
潜像１３ａが形成されるだけでなく、レジスト層１１上
の情報記録領域２の内周側に対応する領域１１ｂに、つ
まりレジスト層１１上のマーカ部４に対応する領域に、
以下の図７に示すようなレーザ光の露光を行い、上述の
溝部４ａに対応する潜像４０ａ（以下、溝部用潜像と称
する。）が形成される。

【００５６】図７は、形成される溝部用潜像４１、４
２、４３を示す図である。図８は、レーザ光源を制御す
るパルスを示す図である。

【００５７】パルス４５は、レーザ光源内の光学変調素
子へ印加される制御パルスを示している。このパルス４
５がＨｉｇｈレベルの時に同期してレーザ光が出力され
るようになされている。

【００５８】溝部用潜像を形成するには、例えば、図７
及び図８に示すように、パルス４５のような制御パルス
によりレーザ光を、ガラス基板がｎ回転する毎に１回転
分だけ露光させる。

【００５９】このとき、例えば図７に示すように、第１
のパルス波４１ａにより、１回転分レーザ光を露光して
溝部用潜像４１を形成する。そして、露光せずに１回転
させた後に第２のパルス波４２ａにより、再び１回転分
レーザ光を露光して溝部用潜像４２を形成する。更に、
露光させずに１回転させた後に第３のパルス波４３ａに
より、再び１回転分レーザ光を露光して溝部用潜像４３
を形成する。このような工程を繰り返すと、スパイラル
状の溝部用潜像が形成されていく。

【００６０】図７では、１回転毎にレーザ光の露光を行
うことにより、溝部同士の中心間隔Ｔが２Ｔｐとなるよ
うな溝部用潜像が形成されている。

【００６１】このように、図５に示すレーザ露光工程で
は、レーザ光の送りピッチを情報記録領域２のトラック
ピッチに等しくした状態で、１つのレーザ光の露光をｎ
回転毎に切り換えて、つまりレーザ光の出力をオン・オ
フさせて露光することにより、（ｎ＋１）Ｔｐのピッチ
Ｔを有する溝部用潜像を、レジスト層１１上のマーカ部
４に対応する領域に形成することができる。

【００６２】以上、本発明に適用されるレーザ露光工程
を説明した。

【００６３】次に、上述のレーザ露光工程の後に、現像
工程として、図９に示すように、アルカリ性の現像液を
用いて、上述のレーザ露光工程で形成されたグルーブ用
の潜像１３ａ、ピット用の潜像１２ａ及び溝部用の潜像
４０ａを除去し、グルーブに対応する凹部１４ａ、ピッ
トに対応する凹部１４ｂ及び図示しないが溝部４ａに対
応する凹部を形成する。

【００６４】次に、メッキ処理工程として、図１０に示
すように、現像工程後のレジスト層１１の表面を化学的
メッキ法等により導電化処理した後、このレジスト層に
対してメッキ処理を施して金属板からなるスタンパ１２
を形成する。

【００６５】次に、研磨工程として、金属板からなるス
タンパ１２の表面１２ａを研磨して、図１１に示すよう
に平滑化する。

【００６６】最終的に、スタンパ剥離工程として、図１
２に示すように、スタンパ１２をガラス基板１０及びレ
ジスト層１１から剥離して、スタンパ１２を製造する。
そして、本発明を適用した光ディスク１の基板は、この
スタンパ１２を用いて成形される。

【００６７】つぎに、本発明を適用した光ディスク原盤
の製造方法におけるレーザ露光工程で、特に溝部用潜像
の形成方法について詳細を以下に説明する。

【００６８】本発明を適用した光ディスク原盤の製造方
法では、上述したように、レーザ露光工程において、表
面上にレジスト層１１が形成された基板を回転させ、こ
の基板をｎ回転する毎に、当該レジスト層１１に対して
レーザ光の露光を選択的に切り換えて、つまりレーザ光
の出力をオン・オフしながらレーザ光を露光する。

【００６９】そして、これにより、レジスト層１１の情
報記録領域に対応する領域１１ａに、所定パターンの凹
凸、例えば、グルーブ用潜像１２ａ及びピット用潜像１
３ａを形成するとともに、レジスト層１１の上記情報記
録領域２の内周側に対応する所定領域１１ｂ、つまりレ
ジスト層１１のマーカ部４に対応する領域に、原盤の中
心孔を中心とした同心円状またはスパイラル状の連続ま
たは不連続の溝部、詳しくは溝部用潜像４０ａを形成す
るものである。

【００７０】さらに、これら潜像は、現像工程にて現像
され、情報記録領域２上のグルーブに対応する凹部、情
報記録領域２上のピットに対応する凸部及びマーカ部４
上の溝部４ａに対応する溝部が形成される。

【００７１】ここで、特に本発明に係る光ディスク原盤
の製造方法によれば、レーザ露光工程及び現像工程の後
に形成される溝部のピッチを、情報記録領域２のトラッ
クピッチＴｐよりも大きくなるようにすることができ
る。

【００７２】したがって、本発明に係る製造方法により
製造された原盤、詳しくはスタンパ１２を用いて成形し
た光ディスク１においては、ハブ付けの際に、溝部４ａ
が形成されたマーカ部４から一定の反射光を検出するこ
とができるため、情報記録領域２のトラックピッチＴｐ
の大きさに依らずに、マーカ部４を基準として情報記録
領域２の境界をより容易に判別することができ、ハブを
より高精度に接合することができる。

【００７３】特に、上述の図７に示したレーザ露光工程
では、１つのレーザ光源、例えばグルーブ用の第１のレ
ーザ光源１２またはピット用の第２のレーザ光源１３の
何れかを用いて、レーザ光の送りピッチを情報記録領域
のトラックピッチに等しくして、ｎ回転おきに１回転の
割合で露光を繰り返すことにより、（ｎ＋１）×Ｔｐの
ピッチを有する溝部用潜像４０ａを作成することができ
る。よって、現像後には、（ｎ＋１）×Ｔｐのピッチを
有する溝部４ａを形成することができる。

【００７４】なお、上述の図７に示す方法に限らず、以
下に示すような溝部用潜像の作成方法も例として挙げら
れる。

【００７５】つまり、２つのレーザ光源、例えばグルー
ブ用の第１のレーザ光源１２及びピット用の第２のレー
ザ光源１３の両方を用いてレーザ光を露光し、溝部用潜
像を作成する方法である。

【００７６】図１３は、形成される溝部用潜像を示す図
である。図１４は、レーザ光源を制御するパルスを示す
図である。

【００７７】具体的には、図１３に示すパルス５０、５
１は、レーザ光源内の光学変調素子へ印加される制御パ
ルスを示している。このパルス５０、５１がＨｉｇｈレ
ベルの時に同期してレーザ光が出力されるようになされ
ている。

【００７８】ここで、第２のレーザ光源１３は、第１の
レーザ光源１２よりも１／２Ｔｐ径方向に離れた所、例
えば図１３ではディスク中心側に１／２Ｔｐ離れた所に
配されており、共に連動するようになされている。

【００７９】溝部用潜像を形成するには、例えば、図１
３に示すように、パルス５０により、第１のレーザ光源
１２からの第１のレーザ光を５回転間隔で１回転出力す
るとともに、パルス５１により、第１のレーザ光源１２
から１／２Ｔｐ離れた所に配された第２のレーザ光源１
３からの第２のレーザ光を同様な周期で位相を３回転分
ずらして出力する。

【００８０】すなわち、第１のレーザ光源１２からの第
１のレーザ光を５回転間隔で１回転分露光し溝部用潜像
５２、５３が形成されるとともに、第２のレーザ光の露
光周期を第１のレーザ光の露光周期と同じにし、更に第
１のレーザ光が露光されてから２回転後に、第１のレー
ザ光源１２から１／２Ｔｐ離れた位置に配される第２の
レーザ光源１３から第２のレーザ光を露光して溝部用潜
像５４を形成する。

【００８１】このように、第１のレーザ光及び第２のレ
ーザ光を用いて、交互に露光すると、図１４に示すよう
に、第１のレーザ光と第２のレーザ光の発光周期は３Ｔ
ｐ間隔となるが、上述したように、第２のレーザ光源１
３が第１のレーザ光源１２よりも１／２Ｔｐ離れた所に
配されているため、図１３に示す場合には、形成される
溝部５２、５４のピッチＴは、以下に示す式に基づいて
５／２Ｔｐとなる。

【００８２】３Ｔｐ−１／２Ｔｐ＝５／２Ｔｐ そして、この溝部用潜像５２、５３、５４が、上述した
ような現像工程により現像され、溝部のピッチが５／２
Ｔｐの溝部を構成する。

【００８３】以上のように、２つのレーザ光源を用い
て、レジスト層が形成された基板をｎ回転する毎に、第
１のレーザ光源１２と、この第１のレーザ光源１２から
１／２Ｔｐ径方向に離れた所に配された第２のレーザ光
源１３とを切り換え、レーザ光の送りピッチが情報記録
領域のトラックピッチと等しい状態で、レーザ光の露光
を交互に行うことにより、溝部のピッチが（２ｎ＋１）
／２×Ｔｐ（但し、ｎ＞０とする。）とされた溝部４
ａ、詳しくは溝部用潜像を、上記レジスト層１１上の情
報記録領域の内周側に対応する部分１１ｂ、つまりレジ
スト層１１上のマーカ部４に対応する領域に形成するこ
とができる。

【００８４】なお、上述したように、レーザ光の露光の
切り換えは、１つのレーザ光源を用いても良いし、複数
のレーザ光源を用いても良い。

【００８５】また、同心円状の溝部を形成するには、対
物レンズの移動を調節して、露光中の１回転分は静止す
るように制御すれば良い。

【００８６】また、従来汎用されている原盤露光機で
は、光学ヘッドの送りピッチを可変できないことから、
情報記録領域２のトラックピッチＴｐと異なるトラック
ピッチを有する溝部４ａを形成するためには、一度装置
をリセットし、光学ヘッドを含む系を一度０点に待機さ
せる必要があった。このため、生産性が低下してしまっ
た。

【００８７】よって、本発明を適用した光ディスク原盤
の製造方法では、レーザ光の送りピッチが情報記録領域
のトラックピッチと等しいままでも、ｎ回転毎に露光を
切り換える、つまりレーザ光の出力をオン・オフさせる
だけで、情報記録領域２の内周側の領域に情報記録領域
２のトラックピッチＴｐよりも大きいピッチＴを有する
溝部４ａを形成することが可能なため、生産性の向上を
図ることができる。

【００８８】つぎに、本発明を適用した光ディスク原盤
の製造方法により光ディスク原盤を製造し、その光ディ
スク原盤を用いて光ディスクを製造した。

【００８９】まず、情報記録領域のトラックピッチＴｐ
が１．１５μｍである光ディスク（ＩＳＯ１３０ｍｍ、
２．６ＧＢ）においては、本発明に適用されるレーザ露
光工程において、図１３に示すような２つのレーザ光の
露光を１回転（ｎ＝１）毎に切り換えることにより、溝
部のピッチが約１．７３μｍ（３／２×Ｔｐ）である溝
部を形成することができた。これにより、トラックピッ
チＴｐが１．１５μｍの光ディスクに対しても、従来の
ハブ付け装置を用いて情報記録領域の境界を判別でき、
ハブを正確な位置に接合することができた。

【００９０】一方、情報記録領域のトラックピッチＴｐ
が０．８５μｍである光ディスク（ＩＳＯ１３０ｍｍ、
５．２ＧＢ）においては、本発明に適用されるレーザ露
光工程において、図７に示すような１つのレーザ光の露
光を１回転（ｎ＝１）毎に切り換えることにより、溝部
同士の中心間距離が約１．７μｍ（２Ｔｐ）である溝部
を形成することができた。これにより、トラックピッチ
Ｔｐが０．８５μｍの光ディスクに対しても、従来のハ
ブ付け装置を用いて情報記録領域の境界を判別でき、ハ
ブを正確な位置に接合することができた。

【００９１】以上の結果から、本発明を適用した光ディ
スク原盤の製造方法によれば、情報記録領域のトラック
ピッチの大きさに依らずに、反射光量の検出可能な約
１．６μｍ位に中心間距離が設定された溝部を形成する
ことができる。

【００９２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る光ディスクでは、情報記録領域の内周側に上述の溝部
が形成されており、この溝部のピッチが情報記録領域の
トラックピッチよりも大きくされているため、ハブ付け
時にハブ付け装置から光を照射した際、情報記録領域の
トラックピッチの大きさに依ってハブ付け装置の光源の
入射角や光量を変えなくても、溝部を有する領域から十
分検出可能な一定の反射光が得られる。

【００９３】その結果、この反射光に基づいて、溝部を
有する領域を基準マーカとして情報記録領域の内周側の
境界を容易に判別することができ、ハブを正確な位置に
接合することができる。

【００９４】また、以上詳細に説明したように、本発明
に係る光ディスクの製造方法では、情報記録領域の内周
側に形成された溝部を基準マーカとしてハブを光ディス
ク基板に対して位置合わせするため、情報記録領域のト
ラックピッチの大きさに依らずに、ハブを正確に光ディ
スクに接合することができる。

【００９５】さらに、以上詳細に説明したように、本発
明に係る光ディスク原盤の製造方法では、レーザ光を基
板の径方向に走査しながらレジスト層を露光する際に、
レーザ光を選択的にオン・オフすることにより、情報記
録領域のトラックピッチよりも大なるピッチの同心円状
あるいはスパイラル状の連続又は不連続な溝部を露光形
成するため、ハブ付け時にハブ付け装置から光を照射し
た際、情報記録領域のトラックピッチの大きさに応じて
ハブ付け装置の光源の入射角及び光量を変えなくても、
上記溝部を有する領域から十分検出可能な一定の反射光
を得ることができる。

【００９６】その結果、この原盤を用いて成形した光デ
ィスクでは、溝部を有する領域からの反射光に基づい
て、溝部を基準マーカとして情報記録領域の内周側の境
界を容易に判別することができ、ハブを正確な位置に接
合することができる。

【００９７】また、溝部が形成された偏心あわせ用のマ
ーカ部が情報記録領域よりも内周側にあるため、境界ま
でのＸＹステージの移動量が少なくなり、ハブ付け工程
の効率を向上することができる。

【００９８】また、従来の原盤露光機を用いて、送りピ
ッチを変えずに情報記録領域のトラックピッチとは異な
る大きさの中心間距離を有する溝部を形成することがで
きる。その結果、一端原盤露光機を停止させて異なる大
きさのトラックピッチを形成するといった手間が省け、
生産性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した光ディスクの一例を示す平面
図である。

【図２】本発明を適用した光ディスクの一例を示す断面
図である。

【図３】本発明を適用した光ディスクのマーカ部の一例
を示す要部平面図である。

【図４】レジスト塗布工程を示す模式図である。

【図５】レーザ露光工程を示す模式図である。

【図６】レーザ露光工程の詳細を示す模式図である。

【図７】本発明において形成される溝部の一例を示す平
面図である。

【図８】レーザ露光工程における溝部形成時の制御パル
スを示すタイミングチャートである。

【図９】現像工程を示す模式図である。

【図１０】メッキ処理工程を示す模式図である。

【図１１】研磨工程を示す模式図である。

【図１２】スタンパ剥離工程を示す模式図である。

【図１３】本発明において形成される溝部の他の例を示
す平面図である。

【図１４】レーザ露光工程における溝部形成時の制御パ
ルスを示すタイミングチャートである。

【図１５】従来の光ディスクの一例を示す平面図であ
る。

【図１６】情報記録領域のトラックピッチが大きい従来
の光ディスクにおける反射光の様子を説明する模式図で
ある。

【図１７】情報記録領域のトラックピッチが小さい従来
の光ディスクにおける反射光の様子を説明する模式図で
ある。

【符号の説明】

１ 光ディスク、２ 情報記録領域、３ ミラー部、４
マーカ部、４ａ 溝部、１０ ガラス基板、１１ レ
ジスト層

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 環状の情報記録領域を有するとともに、
   略中央部にハブが取り付けられてなる光ディスクにおい
   て、 上記情報記録領域の内周側には、この情報記録領域のト
   ラックピッチよりも大なるピッチで同心円状あるいはス
   パイラル状の連続又は不連続な溝部が形成されているこ
   とを特徴とする光ディスク。
2. 【請求項２】 上記溝部のピッチは、上記情報記録領域
   のトラックピッチをＴｐとすると、（ｎ＋１）×Ｔｐで
   あることを特徴とする請求項１記載の光ディスク。
3. 【請求項３】 上記溝部のピッチは、上記情報記録領域
   のトラックピッチをＴｐとすると、（２ｎ＋１）／２×
   Ｔｐであることを特徴とする請求項１記載の光ディス
   ク。
4. 【請求項４】 上記情報記録領域のトラックピッチが
   １．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の
   光ディスク。
5. 【請求項５】 環状の情報記録領域を有する光ディスク
   基板の略中央部にハブを取り付けるに際し、 上記情報記録領域の内周側に、この情報記録領域のトラ
   ックピッチよりも大なるピッチで同心円状あるいはスパ
   イラル状の連続又は不連続な溝部を形成しておき、この
   溝部を基準マーカとしてハブを光ディスク基板に対して
   位置合わせすることを特徴とする光ディスクの製造方
   法。
6. 【請求項６】 表面にレジスト層が形成された基板を回
   転させるとともに、レーザ光を基板の径方向に走査しな
   がら上記レジスト層を露光する光ディスク原盤の製造方
   法において、 上記レーザ光を選択的にオン・オフすることにより、情
   報記録領域の内周側に対応する領域に、情報記録領域の
   トラックピッチＴｐよりも大なるピッチの同心円状ある
   いはスパイラル状の連続又は不連続な溝部を露光形成す
   ることを特徴とする光ディスク原盤の製造方法。
7. 【請求項７】 レーザ光の径方向における送りピッチを
   情報記録領域のトラックピッチＴｐと略等しくし、 ｎ回転おきに１回転の割合で露光を繰り返し、（ｎ＋
   １）×Ｔｐなるピッチの溝部を露光形成することを特徴
   とする請求項６記載の光ディスク原盤の製造方法。
8. 【請求項８】 一対のレーザ光を情報記録領域のトラッ
   クピッチＴｐの１／２の間隔で径方向に配置するととも
   に、これらレーザ光の径方向における送りピッチを情報
   記録領域のトラックピッチＴｐと略等しくし、 ｎ回転おきに１回転の割合で交互に露光を繰り返し、
   （２ｎ＋１）／２×Ｔｐなるピッチの溝部を露光形成す
   ることを特徴とする請求項６記載の光ディスク原盤の製
   造方法。