JP4715921B2 - 積層型セラミック電子部品の製造方法及び積層型セラミック電子部品 - Google Patents
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Description
キャリアフィルムに支持された第1のセラミックグリーンシートを形成する工程と、
キャリアフィルムに支持された、表面に内部電極が形成された第2のセラミックグリーンシートを形成する工程と、
前記第1のセラミックグリーンシートを支持体上に圧着してキャリアフィルムを剥離することにより、第1層目のセラミックグリーンシートとする工程と、
前記第1層目のセラミックグリーンシート上に、前記第1のセラミックグリーンシート又は前記第2のセラミックグリーンシートを順次圧着してキャリアフィルムを剥離することにより、前記第1のセラミックグリーンシート及び前記第2のセラミックグリーンシートを順次積層して積層体を形成する工程と、
前記積層体を焼成して焼結体を得る工程と、
前記焼結体の表面に外部電極を形成する工程と、を備え、
前記第1のセラミックグリーンシートのうち、第1層目のセラミックグリーンシートは厚さ方向にバインダ量が変化し、キャリアフィルムに支持されたキャリアフィルム側の面のバインダ量より、前記キャリアフィルム側の面とは反対の開放面のバインダ量が多いこと、
を特徴とする。
セラミック層と内部電極層とが積層されてなる積層体と、該積層体の表面に設けた外部電極とを備え、
前記積層体の少なくとも一方の表面の粒子濃度が、前記積層体の内部の粒子濃度に対して、0.45〜0.90倍であること、
を特徴とする。
Claims (5)
- キャリアフィルムに支持された第1のセラミックグリーンシートを形成する工程と、
キャリアフィルムに支持された、表面に内部電極が形成された第2のセラミックグリーンシートを形成する工程と、
前記第1のセラミックグリーンシートを支持体上に圧着してキャリアフィルムを剥離することにより、第1層目のセラミックグリーンシートとする工程と、
前記第1層目のセラミックグリーンシート上に、前記第1のセラミックグリーンシート又は前記第2のセラミックグリーンシートを順次圧着してキャリアフィルムを剥離することにより、前記第1のセラミックグリーンシート及び前記第2のセラミックグリーンシートを順次積層して積層体を形成する工程と、
前記積層体を焼成して焼結体を得る工程と、
前記焼結体の表面に外部電極を形成する工程と、を備え、
前記第1のセラミックグリーンシートのうち、第1層目のセラミックグリーンシートは厚さ方向にバインダ量が変化し、キャリアフィルムに支持されたキャリアフィルム側の面のバインダ量より、前記キャリアフィルム側の面とは反対の開放面のバインダ量が多いこと、
を特徴とする積層型セラミック電子部品の製造方法。 - 前記第1層目のセラミックグリーンシートは厚さ方向にC濃度が変化し、キャリアフィルムに支持されたキャリアフィルム側の面のC濃度に対して、前記キャリアフィルム側の面とは反対の開放面のC濃度が1.5〜4.0倍であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の積層型セラミック電子部品の製造方法。
- 前記支持体上には表面が粗面であるシートが載置されていることを特徴とする請求の範囲第1項又は第2項に記載の積層型セラミック電子部品の製造方法。
- 前記第1のセラミックグリーンシート及び前記第2のセラミックグリーンシートは、セラミック材、バインダ樹脂及び分散剤を含み、前記第1層目のセラミックグリーンシートとなる第1のセラミックグリーンシートに含まれる分散剤は、立体障害型の分散剤であることを特徴とする請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の積層型セラミック電子部品の製造方法。
- セラミック層と内部電極層とが積層されてなる積層体と、該積層体の表面に設けた外部電極とを備え、
前記積層体の少なくとも一方の表面の粒子濃度が、前記積層体の内部の粒子濃度に対して、0.45〜0.90倍であること、
を特徴とする積層型セラミック電子部品。
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