JP4706516B2 - セラミック積層体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
このような中空部を設けたセラミック積層体9として、図16に示すごとく、2枚のセラミックシート92を、接合中間層93を介して積層し、該接合中間層93の内側であって上記2枚のセラミックシート92の間に中空部94を形成したものがある(特許文献1、2参照)。
これにより、2枚のセラミックグリーンシート920間に応力が発生し、シート割れ99や剥離が生じるおそれがある。
上記接合中間層は、2層以上の単位中間層からなる多層構造を有すると共に、上記溝部を備えたセラミックシート上に直接配置される単位中間層の内側端部が最も外側に後退した状態となるよう、互いの内側端部をずらした階段状で積層されていることを特徴とするセラミック積層体にある(請求項1)。
本発明においては、互いに線熱膨張係数が異なる材料組成からなる2枚のセラミックシートと、両者の間に配された接合中間層と、上記中空部と、上記一方のセラミックシートに形成された溝部とを有するセラミック積層体であって、上記接合中間層は、2層以上の単位中間層からなる多層構造を有すると共に、上記溝部を備えたセラミックシート上に直接配置される単位中間層の内側端部が最も外側に後退した状態となるよう、互いの内側端部をずらした階段状で積層されている。
そのため、上記セラミック積層体を製造する際の焼成工程において、セラミックシートに割れや剥離が生じることを防ぐことができる。
また、2枚のセラミックシートは、線熱膨張係数が互いに異なる材料組成を有するため、焼成工程におけるセラミック積層体の冷却時には、両者の材料の熱膨張係数差に起因する収縮差が生じることがある。これにより、冷却時においても、上記接合中間層を介して2枚のセラミックシートの間に応力が発生することがある。
しかし、本発明においては、上記接合中間層が上記のごとく多層構造を有すると共に、少なくとも隣合う一組の上記単位中間層同士が、互いの内側端部をずらした階段状で積層されている。そのため、上記の応力が分散することとなり、セラミックシートの割れや剥離を防ぐことができる。
上記溝部を備えたセラミックシートとなるセラミックグリーンシートを積層して未焼成積層体となし、
次いで該未焼成積層体を焼成することを特徴とするセラミック積層体の製造方法にある
そのため、焼成工程において、セラミックグリーンシートに割れや剥離が生じることを防ぐことができる。
この応力は、特に接合層層ペーストの内側端部付近における接合境界部に集中する。そして、これらの応力が割れや剥離の原因となる。
これにより、異なる脱脂収縮率を有する隣合う上記接合層ペースト同士の間においても応力を生じさせることにより、応力が分散する。そのため、セラミックグリーンシートの割れや剥離を防ぐことができる。
このようにして、セラミックグリーンシートとの脱脂収縮率の差に起因する応力を分散させて、セラミックグリーンシートの割れや剥離を防ぐことが可能となる。
この場合には、充分に応力を分散させることができる。
上記単位中間層の厚みが5μm未満の場合には、上記2枚のセラミックシートを生産効率よく、充分に接合することが困難となるおそれがある。一方、上記単位中間層の厚みが100μmを超える場合には、焼成時において、大きな応力が生じるおそれがあり、割れや剥離を充分に防ぐことが困難となるおそれがある。
この場合には、焼成時に発生する応力を充分に分散させて、割れや剥離を充分に防ぐことができる。
この場合にも、割れや剥離を防ぐセラミック積層体を得ることができる。
これにより、割れや剥離を防ぐガスセンサ素子を提供することができる。
この場合には、上記セラミックペーストによって応力を緩和すると共に、上記接着剤ペーストによって、2枚のセラミックグリーンシートを容易に接合することができる。それ故、割れや剥離を防ぐセラミック積層体を容易に製造することができる。
この場合には、上記第2の発明の作用効果に加えて、上記第1の発明において説明した作用効果をも発揮することができる。これにより、応力の分散を一層効果的に行い、割れや剥離をより効果的に防ぐことができる。
この場合には、割れや剥離を防ぐガスセンサ素子を容易に製造することができる。
(参考例1)
本発明の参考例にかかるセラミック積層体及びその製造方法につき、図1〜図5を用いて説明する。
本例のセラミック積層体1は、互いに異なる材料組成からなる2枚のセラミックシート21、22と、該2枚のセラミックシート21、22の間に配された接合中間層3と、該接合中間層3の内側であって上記2枚のセラミックシート21、22の間に形成した中空部4とを有する。
上記接合中間層3を構成する単位中間層31、32の厚みt1、t2は、5〜100μmである。
また、上記2枚のセラミックシート21、22のうちの一方のセラミックシート21はジルコニアを主成分としてなり、他方のセラミックシート22はアルミナを主成分としてなる。
また、接合中間層3の単位中間層31、32の内側端部311、321は、それぞれ、断面が緩やかな略円弧状に形成されている。そして、セラミックシート21側の単位中間層31の内側端部311は、その先端がセラミックシート21の表面に配置するような略円弧状に形成されている。また、セラミックシート22側の単位中間層32の内側端部321は、その先端が上記単位中間層31との積層面に配置するような略円弧状に形成されている。
まず、図2に示すごとく、ジルコニアを主成分とする第1のセラミックグリーンシート210の一方の面に、第1の接合層ペースト310を塗布する。このとき、セラミックグリーンシート210における中空部4(図1)に面する部分を除く部分に、周状に接合層ペースト310を塗布する。接合層ペースト310は、アルミナセラミックを含むペーストであり、後述する接合層ペースト320よりもバインダの量が少なく、脱脂収縮率が小さい。
塗布後、接合層ペースト310を乾燥する。
塗布後、接合層ペースト320を乾燥する。
次いで、この未焼積層体10を焼成して、セラミック積層体1を得る(図1)。この焼成工程においては、最高到達温度約1500℃に到達後、徐々に常温まで冷却を行う。
なお、セラミックグリーンシート210、220がそれぞれセラミックシート21、22となり、接合層ペースト310、320がそれぞれ単位中間層31、32となる。
上記接合中間層3は、2層の単位中間層31、32からなる多層構造を有すると共に、単位中間層31、32同士は、互いの内側端部311、321をずらした状態で積層されている。これにより、セラミック積層体1を製造する際の焼成工程において、セラミックシート21、22(セラミックグリーンシート210、220)に割れや剥離が生じることを防ぐことができる。
しかし、本参考例においては、上記接合中間層3(接合層ペースト310、320)が上記のごとく多層構造を有すると共に、少なくとも隣合う一組の上記単位中間層31、32(接合層ペースト310、320)同士が、互いの内側端部311、321をずらした状態で積層されている。これにより、上記の応力が分散することとなり、セラミックシート21、22(セラミックグリーンシート210、220)の割れや剥離を防ぐことができる。
即ち、上述のごとく、上記焼成工程の昇温過程におけるセラミックグリーンシート210、220や接合層ペースト310、320の脱脂収縮率の差により、割れや剥離が発生することがある。そこで、2層の接合層ペースト310、320同士が異なる脱脂収縮率を有することにより、接合層ペースト310、320同士の間においても応力を生じさせることにより、応力が分散することとなり、セラミックグリーンシート210、220の割れや剥離を防ぐことができる。
また、単位中間層31、32同士の内側端部311、321のズレ量L1は、突出側の単位中間層31の厚みt1以上である。そのため、焼成時に発生する応力を充分に分散させて、割れや剥離を充分に防ぐことができる。
本例は、図6に示すごとく、接合中間層3を三層の単位中間層31、32、33によって構成したセラミック積層体1の例である。図6は、基本的にはセラミック積層体1の断面図を表すが、括弧内の符号は、未焼積層体10の状態における各部の符号である。後述する図7〜図9についても同様である。
本例においては、上記第2の単位中間層32と第2のセラミックシート22との間に、第3の単位中間層33を配設している。該単位中間層33は、第1の単位中間層31及び第2の単位中間層32よりも、内側端部331をより内側に配置している。そして、第3の単位中間層33の内側端部331と第2の単位中間層32の内側端部321とのズレ量L2は、第3の単位中間層33の厚みt3よりも大きい。また、単位中間層33の厚みt3は5〜100μmである。
一方、第3の単位中間層33を形成する接合層ペースト330を、セラミックシート22を形成する第2のセラミックグリーンシート220に塗布する。この第3の接合層ペースト330は、第1の接合層ペースト310と同等の脱脂収縮率を有し、第2の接合層ペースト320とセラミックグリーンシート210、220との間の脱脂収縮率を有する。
その後、接合層ペースト320と接合層ペースト330とを重ね合わせるように、2枚のセラミックグリーンシート210、220を積層する。
その他は、参考例1と同様である。
そして、セラミックグリーンシート210、220に近い側の接合層ペースト310、330を、遠い側の接合層ペースト320よりも、セラミックグリーンシート210、220に近い脱脂収縮率とすることにより、応力を効果的に緩和させることができる。
その他、参考例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図7に示すごとく、第3の単位中間層33の内側端部331を、第2の単位中間層32の内側端部321よりも外側に配置したセラミック積層体1の例である。
第3の単位中間層33の内側端部331と第2の単位中間層32の内側端部321とのズレ量L3は、単位中間層33の厚みt3の厚みよりも大きい。
その他は、参考例1と同様の構成を有し、同様の作用効果を有する。
本例は、図8に示すごとく、第2の単位中間層32の内側端部321の断面形状が、第1の単位中間層31の内側端部311とは逆向きの略円弧形状となっているセラミック積層体1の例である。
即ち、2つの単位中間層31、32の双方が、セラミックシート21、22との接触面側に内側端部311、321の先端を有する。
その他は、参考例1と同様の構成を有し、同様の作用効果を有する。
(実施例1)
本実施例は、図9に示すごとく、第2のセラミックシート22に溝部224を形成することにより、中空部4を大きくしたセラミック積層体1の例である。
即ち、セラミックシート22における接合中間層3を配置する側の面であって、接合中間層3よりも内側の位置に、溝部224を形成する。
溝部224の形成は、焼成前のセラミックグリーンシート220に対して、切削或いはプレス加工等によって行うことができる。
その他は、参考例1と同様の構成を有し、同様の作用効果を有する。
本例は、図10に示すごとく、上記実施例1のセラミック積層体1を用いたガスセンサ素子5の例である。
ガスセンサ素子5は、酸素イオン伝導性の固体電解質体51と、該固体電解質体51の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極52及び基準ガス側電極53とを有する。また、被測定ガスを拡散透過させる拡散抵抗層54が被測定ガス側電極52を覆うように形成され、拡散抵抗層54における固体電解質体51とは反対側の面に、ガスを透過しない緻密な遮蔽層55が積層されている。
更に、チャンバ層56における固体電解質体51とは反対側の面に、発熱体571を設けたヒータ57が積層されている。
また、上記接合中間層3は、実施例5と同様に、2層の単位中間層31、32からなり、互いの内側端部311、321をずらした状態で配置されている。
その他は、参考例1と同様である。
その他、参考例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図11に示すごとく、焼成工程における冷却時に生ずる最大応力を、本発明のセラミック積層体と従来のセラミック積層体について比較した例である。
本発明のセラミック積層体としては、図12に示すごとく、実施例1(図9)に示したセラミック積層体1を有するガスセンサ素子5を用いた。ここで、単位中間層31、32の厚みt1、t2は、何れも15μm、単位中間層31、32同士の内側端部311、321のズレ量L1は、0.2mmとした。
なお、各ガスセンサ素子におけるその他の構成については、実施例2(図10)に示すものと同様である。ただし、図12、図13においては、電極やヒータ等の記載を省略している。
そして、従来例のセラミック積層体9における最大発生応力を1として、これに対する比率で最大発生応力を示したのが、図11である。同図に示すごとく、本発明のセラミック積層体1は、従来品に比べて最大発生応力が低減している。
本例は、図15に示すごとく、単位中間層31、32同士の内側端部311、321のズレ量L1と、冷却時における最大発生応力との関係を調べた例である。
評価に使用したセラミック積層体は、上記実施例3と同様のガスセンサ素子1(図12)である。
ただし、このガスセンサ素子1における上記ズレ量L1を、種々変化させて評価を行った。このズレ量L1の変化は、第1の単位中間層31の長さを変更することにより行い、。第2の単位中間層32の長さL4は、1.6mmで一定とした。
評価結果を図15に示す。同図において、プロットP2が、L1=t1となる場合の測定値である。
10 未焼積層体
21、22 セラミックシート
210、220 セラミックグリーンシート
3 接合中間層
31、32 単位中間層
310、320 接合層ペースト
311、321 内側端部
4 中空部
5 ガスセンサ素子
Claims (6)
- 互いに線熱膨張係数が異なる材料組成からなる2枚のセラミックシートと、該2枚のセラミックシートの間に配された接合中間層と、該接合中間層の内側であって上記2枚のセラミックシートの間に形成した中空部と、上記一方のセラミックシートに形成された溝部とを有するセラミック積層体であって、
上記接合中間層は、2層以上の単位中間層からなる多層構造を有すると共に、上記溝部を備えたセラミックシート上に直接配置される単位中間層の内側端部が最も外側に後退した状態となるよう、互いの内側端部をずらした階段状で積層されていることを特徴とするセラミック積層体。 - 請求項1において、上記接合中間層を構成する上記単位中間層の厚みは、5〜100μmであることを特徴とするセラミック積層体。
- 請求項1又は2において、上記単位中間層同士の内側端部のズレ量は、突出側の上記単位中間層の厚み以上であることを特徴とするセラミック積層体。
- 請求項1〜3のいずれか一項において、上記2枚のセラミックシートの一方はアルミナを主成分としてなり、他方はジルコニアを主成分としてなることを特徴とするセラミック積層体。
- 被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するための積層型のガスセンサ素子であって、該ガスセンサ素子の一部は、請求項1〜4のいずれか一項に記載のセラミック積層体によって構成され、上記溝部を備えたセラミックシートはチャンバ層をなし、他方のセラミックシートは固体電解質体をなすことを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のセラミック積層体を製造する方法であって、
上記2枚のセラミックシートとなるセラミックグリーンシートを準備し、上記溝部を備えないセラミックシートとなるセラミックグリーンシート上に、上記単位中間層となる接合層ペーストを互いの内側端部をずらした状態で順次塗布した後、
上記溝部を備えたセラミックシートとなるセラミックグリーンシートを積層して未焼成積層体となし、
次いで該未焼成積層体を焼成することを特徴とするセラミック積層体の製造方法。
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