JP4693450B2 - 磁気抵抗効果素子および磁気メモリ - Google Patents
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0≦z≦0.8; FezNi1−z
いずれかであることを特徴とする。
本発明の第1実施形態による磁気抵抗効果素子の構成を図1に示す。この実施形態の磁気抵抗効果素子1は、下部電極となる下地層2と、下地層2上に設けられた反強磁性層3と、反強磁性層3上に設けられ磁化の方向が固着された第1磁化固着層4と、第1磁化固着層4上に設けられたトンネルバリア層5と、トンネルバリア層5上に設けられ磁気記録層となる磁化の方向が可変な磁化自由層6と、磁気記録層6上に設けられた非磁性層7と、非磁性層7上に設けられ第1磁化固着層4と向きが約180度異なる方向に磁化が固着された第2磁化固着層8と、第2磁化固着層8上に設けられた反強磁性層9と、反強磁性層9上に設けられた上部電極となる電極層10とを備え、下部下地層2と上部電極10間に電流を流す構成となっている。第1磁化固着層4は反強磁性層3との交換結合により磁化が固着されている。また、第2磁化固着層8は反強磁性層9との交換結合により磁化が固着されている。なお、本実施形態の磁気抵抗効果素子においては、トンネルバリア層5や磁気記録層6等は連続膜である。
次に、本発明の第2実施形態による磁気抵抗効果素子の構成を図3に示す。この実施形態の磁気抵抗効果素子1は、図1に示す第1実施形態の磁気抵抗効果素子において、第2磁化固着層8の磁化の向きが第1磁化固着層4の磁化の向きと略平行となるように構成したものである。
また、本実施形態において、第1および第2磁化固着層として、図4に示すようにSAF構造を採用することもできる。すなわち、第1磁化固着層4が反強磁性結合した強磁性層41、43間に非磁性層42を挟んだ構造からなり、第2磁化固着層8が反強磁性結合した強磁性層81、83間に非磁性層82を挟んだ構造からなっていてもよい。この場合、図4に示すように、第1および第2磁化固着層の磁気記録層6に最も近い強磁性層43、81の磁化の向きが略平行となっている。このSAF構造を用いると、磁化固着層4、8の特性が安定し、信頼性ある磁気抵抗効果素子を得ることができる。なお、本変形例においては、第1および第2磁化固着層が共にSAF構造であったが、どちらか一方がSAF構造であってもよい。
次に、本発明の第3実施形態による磁気抵抗効果素子の構成を図5に示す。第1および第2実施形態の磁気抵抗効果素子においては、トンネルバリア層5や磁気記録層6等は連続膜であった。本実施形態による磁気抵抗効果素子1Aは、第1実施形態において、トンネルバリア層5および磁気記録層6は積層されて柱状の積層構造部を構成し、この柱状の積層構造部が複数個、第1磁化固着層4上にそれぞれ離間して設けられた構成となっている。そして、複数の柱状に積層された構造部はお互いに絶縁体11によって絶縁されている。さらにこの柱状構造部の上部には非磁性層7および第2磁化固着層8、反強磁性層9、電極層10が積層されている。なお、トンネルバリア層5は第1磁化固着層4上に設けられ、第1磁化固着層4は反強磁性層3上に設けられ、反強磁性層3は下地層2上に設けられている。なお、本実施形態においては、柱状の積層構造部の磁気記録層6は強磁性粒からなるように構成されていてもよい。この場合、強磁性粒6は絶縁体11によって隔てられることになる。
次に、本実施形態の第1変形例による磁気抵抗効果素子の構成を図6に示す。この第1変形例による磁気抵抗効果素子1Aは、図5に示す第3実施形態において、第2磁化固着層8をSAF構造とした構成となっている。すなわち、第2磁化固着層8は反強磁性結合した強磁性層81、83の間に非磁性層82を挟んだ構造を有している。そして、第1磁化固着層4と強磁性層81との磁化の向きは略反平行となっている。このSAF構造を用いると、磁化固着層8の特性が安定し、信頼性ある磁気抵抗効果素子を得ることができる。なお、本変形例においては、第2磁化固着層がSAF構造であったが、第1磁化固着層4がSAF構造であってもよいし、第1および第2磁化固着層が共にSAF構造であってもよい。
次に、本実施形態の第2変形例による磁気抵抗効果素子の構成を図7に示す。この第1変形例による磁気抵抗効果素子1Aは、図5に示す第3実施形態において、第1および第2磁化固着層4、8の磁化の向きを略平行となるように構成したものである。したがって、非磁性層7は第2実施形態で説明したように第2磁化固着層8の材料に応じて選択した材料を用いれば、スピン書き込み時の電流を低減することができる。
次に、本実施形態の第3変形例による磁気抵抗効果素子の構成を図8に示す。この第3変形例による磁気抵抗効果素子1Aは、図7に示す第2変形例において、第1および第2磁化固着層4、8をSAF構造とした構成となっている。すなわち、第1磁化固着層4は反強磁性結合した強磁性層41、43の間に非磁性層42を挟んだ構造を有しており、第2磁化固着層8は反強磁性結合した強磁性層81、83の間に非磁性層82を挟んだ構造を有している。そして、第1および第2磁化固着層4、8の磁気記録層6に最も近い強磁性層43、81の磁化の向きが略平行となっている。このSAF構造を用いると、磁化固着層4、8の特性が安定し、信頼性ある磁気抵抗効果素子を得ることができる。なお、本変形例においては、第1および第2磁化固着層が共にSAF構造であったが、第1および第2磁化固着層の一方がSAF構造であってもよい。
次に、本発明の第4実施形態による磁気抵抗効果素子の製造方法を図9(a)乃至図13(b)を参照して説明する。この実施形態の製造方法は、第3実施形態で説明した磁気抵抗効果素子の製造方法であって、図9(a)乃至図13(b)にその製造工程を示す。本実施形態の製造方法は、パターンドメディアの製造プロセスを応用したものである。
次に、本発明の第5実施形態による磁気メモリの構成を図14に示す。本実施形態の磁気メモリは少なくとも1個のメモリセルを有し、このメモリセルは、磁気記憶素子40と、読み出し/書き込み兼用の選択トランジスタ60とを備えている。磁気記憶素子40は第1乃至第2実施形態およびそれらの変形例のいずれかの磁気抵抗効果素子であって、一端がビット線46に接続され、他端が引き出し電極48に接続されるように配置される。選択トランジスタ60は、ゲート電極61と、このゲート電極61の両側に設けられたソースおよびドレイン領域63、65とを備えている。引き出し電極48は接続部50を介して、選択トランジスタ60のソース63に接続される。選択トランジスタ60のゲート電極61はメモリセルを選択するためのワード線を兼ねている。したがって、メモリセルはビット線46と、ワード線61が交差する領域に対応して設けられている。
まず、本発明の実施例1として、図2に示すTMR構造を有する磁気抵抗効果素子の試料を作製した。
次に、本発明の実施例2として、実施例1と同様の構造であって、非磁性層7と第2磁化固着層8の材質の組み合わせを変えて素子作製を行い、スピン注入書き込みに要する電流密度を検証した。この実施例2においては、実施例1と同様に磁化固着層4と磁化固着層8の磁気記録層側の強磁性層の磁化の向きは略反平行となっている。比較例として、非磁性層7をCuに換えたサンプルを作製した。なお、素子のサイズは0.1×0.15μm2に固定した。
また、第2磁化固着層8がFeリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Pt、Ir、Alから選ばれる少なくとも1種の元素を含む金属であることが好ましく、
また、第2磁化固着層8がNiリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Zr、Hf、Auから選ばれる少なくとも1種の元素を含む金属であることが好ましく、これらの組み合わせを用いればスピン注入書き込み時の電流を低減することができる。
次に、本発明の実施例3として、第1および第2磁化固着層の磁気モーメントが略平行である図3に示す第2実施形態の磁気抵抗効果素子を作製した。SiO2基板上に、Ta(50nm)/Ru(10nm)の積層膜からなる下地電極2、PtMn(20nm)からなる反強磁性層3、Co90Fe10(5nm)からなる第1磁化固着層4、AlOx(1.4nm)からなるトンネルバリア層5、Co90Fe10(3.0nm)からなる磁気記録層6、膜厚が5nmの各種の材料からなる非磁性層7、膜厚が5nmの強磁性材料からなる第2磁化固着層8、PtMn(20nm)からなる反強磁性層9、Ta(150nm)からなるコンタクト層10をスパッタにより順次成膜した。なお、括弧内の数値は膜厚を示す。素子の作製方法は実施例1と同様である。比較例として、非磁性層7をRuに換えたサンプルを作製した。なお、素子のサイズは0.1×0.15μm2に固定した。
第2磁化固着層8がFeリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Mn、Cr、V、Moから選ばれる少なくとも1種の元素を含む金属であることが好ましく、
第2磁化固着層8がNiリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Cr、Rh、Ru、Irから選ばれる少なくとも1種の元素を含む金属であることが好ましく、これらの組み合わせを用いればスピン注入書き込み時の電流を低減することができる。
次に、本発明の実施例4として、第4実施形態で説明した製造方法を用いて、下地層2、反強磁性層3、第1磁化固着層4、トンネルバリア層5、磁気記録層6、非磁性層7、および第2磁化固着層8を備え、素子サイズ(接合面積)が異なる試料を作製し、それぞれの電流密度を測定した。これらの試料はいずれも、下地層2が膜厚50nmのTaおよび膜厚10nmのRu、反強磁性層3が膜厚15nmのPtMn、磁化固着層4が膜厚5nmのCo90Fe10、トンネルバリア層5が膜厚1.4nmのAlOxからなっている。そして、磁気記録層6、非磁性層7、および第2磁化固着層8は図13(b)に示すように、柱状に積層された構成となっている。また、比較例として、非磁性層7の材料をCuに置き換えたものを作製した。なお、本実施例においては、第1磁化固着層4と第2磁化固着層8の磁化の向きは略反平行となっている。
次に、本発明の実施例5として、実施例4で作製したと同じ構造の磁気抵抗効果素子であって、非磁性層7と第2磁化固着層8の材質の組み合わせを変えて素子作製を行い、スピン注入書き込みに要する電流密度を検証した。なお、素子のサイズは0.1×0.15μm2に固定した。比較例として、非磁性層7をCuに換えたサンプルを作製した。なお、本実施例および比較例においては、第1磁化固着層4と第2磁化固着層8の磁化の向きは略反平行となっている。その結果、図20に示す組み合わせにおいて低電流書き込みが可能であることを見出した。
また、第2磁化固着層8がFeリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Pt、Ir、Alから選ばれる少なくとも1種の元素を含むか、またはそれらの合金であることが好ましく、
また、第2磁化固着層8がNiリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Zr、Hf、Auから選ばれる少なくとも1種の元素を含むか、またはそれらの合金であることが好ましく、これらの組み合わせを用いればスピン注入書き込み時の電流を低減することができる。
本発明の実施例6として、第1および第2磁化固着層の磁化の向きが略平行である図8に示す構造の磁気抵抗効果素子を作製した。この実施例の磁気抵抗効果素子は次のように作製される。まず、SiO2基板上に、Ta(50nm)/Ru(10nm)の積層膜からなる下地電極2、PtMn(20nm)からなる反強磁性層3、Co90Fe10(3nm)/Ru(0.9nm)/Co90Fe10(5nm)からなる第1磁化固着層4、AlOx(1.4nm)からなるトンネルバリア層5、Co80Pt20(2.5nm)からなる磁気記録層、膜厚5nmの図21に示す各種材料からなる非磁性層7、強磁性材料(3nm)/Ru(0.9nm)/強磁性材料(5nm)からなる第2磁化固着層8、PtMn(20nm)からなる反強磁性層9、Ta(150nm)からなるコンタクト層10をスパッタにより順次成膜した。なお、括弧内の数値は膜厚を示す。素子の作製方法は実施例1と同様である。素子のサイズは0.1×0.15μm2に固定した。比較例として非磁性層7がRuからなるサンプルを作製した。その結果、図21に示す材質の組み合わせにおいて低電流書き込みが可能であることを見出した。
第2磁化固着層8がFeリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Mn、Cr、V、Moから選ばれる少なくとも1種の元素を含む金属であることが好ましく、
第2磁化固着層8がNiリッチである強磁性材料からなっている場合は、非磁性層7の材料は、Rh、Ru、Irから選ばれる少なくとも1種の元素を含む金属であることが好ましく、これらの組み合わせを用いればスピン注入書き込み時の電流を低減することができる。
本発明の実施例7として、第1および第2磁化固着層の磁化の向き(磁気モーメント)が平行である図8に示す構造の磁気抵抗効果素子を作製し、スピン注入によるスピン反転電流密度(書き込み電流密度)の、非磁性層7と第2磁化固着層8の材料依存性を調べた。この実施例の磁気抵抗効果素子は次のようにして作製される。まず、SiO2基板上に、Ta(50nm)/Ru(10nm)の積層膜からなる下地電極2、PtMn(20nm)からなる反強磁性層3、Co75Fe25(4nm)/Ru(0.9nm)/(Co75Fe25)80B20(5nm)からなる第1磁化固着層4、MgOx(0.9nm)からなるトンネルバリア層5、(Co75Fe25)80B20(4nm)からなる磁気記録層6、膜厚5nmの各種非磁性材料からなる非磁性層7、強磁性材料(5nm)/Ru(0.9nm)/Co75Fe25(4nm)からなる第2磁化固着層8、PtMn(20nm)からなる反強磁性層9、Ta(150nm)からなるコンタクト層10をスパッタにより順次成膜した。なお、括弧内の数値は膜厚を示す。素子の作製方法は実施例1と同様である。素子のサイズは0.1×0.15μm2に固定した。また、非磁性層7としてRu、第2磁化固着層の磁気記録層側の磁性層の磁性材料としてCoxFe1−x(5nm)を用いた比較例も作製した。
0.5≦x≦1; CoxFe1−x
0≦y≦1; CoyNi1−y
0≦z≦0.475; FezNi1−z
0.3≦x≦1; CoxFe1−x
0≦y≦1; CoyNi1−y、
0≦z≦0.7; FezNi1−z
0≦x≦0.64; CoxFe1−x
0.4≦z≦1.0; FezNi1−z
0≦x≦0.64; CoxFe1−x
0.375≦z≦1.0; FezNi1−z
0≦x≦0.62; CoxNi1−x
0≦z≦0.63; FezNi1−z
0≦x≦1.0; CoxNi1−x
0≦z≦0.8; FezNi1−z
次に、本発明の実施例8として、第1および第2磁化固着層の磁気モーメントが反平行である図28に示す構造を作製し、スピン注入反転電流密度の反射膜として作用する非磁性層7と第2磁化固着層8の材料依存性を調べた。この実施例は、磁気記録層6が連続膜となっている。SiO2基板上に、Ta(50nm)/Ru(10nm)の積層膜からなる下地電極2、PtMn(20nm)からなる反強磁性層3、Co75Fe25(4nm)/Rh(0.9nm)/(Co75Fe25)80B20(5nm)からなる第1磁化固着層4、MgOx(0.9nm)からなるトンネルバリア層5、(Co75Fe25)80B20(4nm)からなる磁気記録層6、各種材料からなる非磁性層(5nm)7、磁性層(5nm)/Ru(0.9nm)/Co75Fe25(4nm)(4nm)からなる第2磁化固着層8、PtMn(20nm)からなる反強磁性層9、Ta(150nm)からなるコンタクト層10をスパッタにより順次成膜した。なお、括弧内の数値は膜厚を示す。素子の作製方法は実施例1と同様である。素子のサイズは0.1×0.15μm2に固定した。また、比較例として反射膜非磁性層としてCu、第2磁化固着層の磁性層の材料としてCoxFe1−x(5nm)を用いたものも作製した。
0≦x≦1; CoxFe1−x
0≦y≦1; CoyNi1−y、
0≦z≦1; FezNi1−z
0≦x≦1; CoxFe1−x、
0≦y≦1; CoyNi1−y、
0≦z≦1; FezNi1−z
0≦x≦1; CoxFe1−x
次に、本発明の実施例9として、第1および第2磁化固着層の磁気モーメントが反平行である図32に示す構造を作製し、スピン注入反転電流密度の反射膜として作用する非磁性層7と第2磁化固着層8の材料依存性を調べた。この実施例は、磁気記録層6が絶縁体によって分断された構成となっている。SiO2基板上に、Ta(50nm)/Ru(10nm)の積層膜からなる下地電極2、PtMn(20nm)からなる反強磁性層3、Co75Fe25(4nm)/Rh(0.9nm)/(Co75Fe25)80B20(5nm)からなる第1磁化固着層4、MgOx(0.9nm)からなるトンネルバリア層5、(Co75Fe25)80B20(4nm)からなる磁気記録層6、各種材料からなる非磁性層(5nm)7、磁性層(5nm)/Ru(0.9nm)/Co75Fe25(4nm)(4nm)からなる第2磁化固着層8、PtMn(20nm)からなる反強磁性層9、Ta(150nm)からなるコンタクト層10をスパッタにより順次成膜した。なお、括弧内の数値は膜厚を示す。素子の作製方法は実施例1と同様である。素子のサイズは0.1×0.15μm2に固定した。また、比較例として反射膜非磁性層としてCu、第2磁化固着層の磁性層の材料としてCoxFe1−x(5nm)を用いたものも作製した。
0≦x≦1; CoxFe1−x
0≦y≦1; CoyNi1−y、
0≦z≦1; FezNi1−z
0≦x≦1; CoxFe1−x、
0≦y≦1; CoyNi1−y、
0≦z≦1; FezNi1−z
0≦x≦1; CoxFe1−x
1A 磁気抵抗効果素子
2 下地層(下部電極)
3 反強磁性層
4 第1磁化固着層
5 トンネルバリア層
6 磁気記録層
7 非磁性層
8 第2磁化固着層
9 反強磁性層
10 電極層(上部電極)
Claims (3)
- 磁化の方向が固着された第1磁化固着層と、磁化の方向が可変な磁化自由層と、前記第1磁化固着層と前記磁化自由層との間に設けられたトンネルバリア層と、前記磁化自由層の前記トンネルバリア層とは反対側に設けられ前記第1磁化固着層の磁化と略反平行となる方向に磁化が固着された第2磁化固着層と、前記磁化自由層と前記第2磁化固着層の間に設けられた非磁性層とを備え、前記第1磁化固着層と前記第2磁化固着層間に電流を流すことにより前記磁化自由層の磁化の方向が可変となり、
前記第2磁化固着層が、一番多く含まれる元素がCoである強磁性材料からなっている場合には、前記非磁性層の材質にZr、Hfから選ばれた少なくとも1種の元素を含む金属であり、
前記第2磁化固着層が、一番多く含まれる元素がFeである強磁性材料からなっている場合には、前記非磁性層にIrを含む金属であり、
前記第2磁化固着層が、一番多く含まれる元素がNiである強磁性材料からなっている場合には、前記非磁性層にZr、Hfから選ばれた少なくとも1種の元素を含む金属であることを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記磁化自由層は、誘電体もしくは絶縁体で隔てられた1つ以上の強磁性粒もしくは直径1nm〜100nm程度の強磁性体の柱状構造を有する層であることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果素子。
- 請求項1または2のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子を有するメモリセルと、
前記磁気抵抗効果素子の一端が電気的に接続される第1配線と、
前記磁気抵抗効果素子の他端が電気的に接続される第2配線と、
を備えたことを特徴とする磁気メモリ。
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