JP4689070B2 - 半導体素子試験装置およびこれを用いた半導体素子試験方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数のプローブ針を半導体ウエハの半導体素子に接触させる形式の半導体素子試験装置、およびそれを用いた半導体素子試験方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC、LSIなどの半導体集積回路の製造過程には、一般にウエハテスト工程と呼ばれる試験工程がある。このウエハテスト工程では、一般に図8に示すように、プローバ2に取り付けられたプローブカード1の複数のプローブ針7を、ステージ4上に載置された半導体ウエハ5の半導体素子に接触させる形式の半導体素子試験装置が用いられる。図8において、プローバ2には、テストヘッド10が設けられ、このテストヘッド10は、コンピュータで構成されるテスタ3にケーブル15を介して接続されている。
【0003】
この試験装置では、図9に示すように、半導体ウエハ5内に形成された複数の半導体素子(半導体チップ)6の各電極パッド8に対して、プローブ針7をコンタクト(接触)した状態で、テスタ3からの電気的なテスト入力信号を、ケーブル15、プローブ針7を介して半導体素子6に送り、半導体素子6で処理されたテスト出力信号を、再びプローブ針7、ケーブル15を介してテスタ3に送って、各半導体素子6が良品か不良品かをテストする。図10は、プローブ針7と電極パッド8との接触状態を示す。ステージ4は、テスト時には、プローブ針7に向かって押し上げられ、電極パッド8をプローブ針7に接触させ、またテストが完了すると、押し下げられて電極パッド8をプローブ針7から離す。
【0004】
図11はステージ4を押し下げた状態のプローバ2の構成を示す側面図、図12はプローブ針7を搭載したプローブカード1を示す斜視図、図13はそのプローブカード1の上面図である。プローバ2には、プローブカード1が取り付けられる。このプローブカード1は、多数のプローブ針7を支持するプローブカード基板12を有し、プローバ2には、このプローブカード12に協働するテストヘッド10が設けられている。プローブカード基板12は、下面に多数のプローブ針7を支持しており、その上面にはプローブカード基板12を補強する補強部材13と、複数のZIFコネクタ11が配置されている。テストヘッド10の下面には、各ZIFコネクタ11に対応する複数のZIFソケット9が設けられており、半導体素子6へのテスト入力信号および半導体素子6からのテスト出力信号は、これらのZIFコネクタ11とZIFソケット9の結合により、これらを通じてテスタ3とやり取りされる。なお、ZIFソケット9は、ばねを内臓したソケットであり、ZIFコネクタ11とは、噛み込みによって接続される。
【0005】
図14に示すように、プローブカード基板12は補強部材13とともにプローブカード保持部材26に取り付けられ、この取り付けには、図15に示すように、ねじ17が使用される。図15に示すように、プローバ2には、プローブカード保持部材26が付属しており、このプローブカード保持部材26は、可動腕27に取り付けられていて、プローブカード1を外部からプローバ2内に搬入し、またプローバ2内のプローブカード1を外部に搬出するのに使用される。またこのプローブカード保持部材26はプローブカード1をプローバ2内で固定するためにも使用される。プローブカード保持部材26はリング状に形成されており、プローブカード1のプローブカード基板12は、プローブ針7がリング状のプローブカード保持部材26の開口から突出するようにして、補強部材13とともにプローブカード保持部材26に取り付けられている。このプローブカード1はプローブカード保持部材26に取り付けられた状態で、図16に示すように、プローバ2の上部の開口25から突出する状態に保持され、テストヘッド10の位置決めピン14によって位置決めされ、この状態で、ステージ4上の半導体ウエハ5と所定の間隔を介して対向する。
【0006】
ねじ17を使用した従来の装置において、テストを実施する際にステージ4を押し上げ、半導体ウエハ5をプローブ針7に押し当てた時に、ねじ17による取り付け部分に集中的に応力がかかり、プローブカード1に歪みを与えるような負荷がかかる。このため、プローブカード基板12に部分的に反りが発生し、プローブカード1を長期間に亘り使用すると、プローブ針7の先端の位置が初期値からずれ、各半導体素子6に対して均等な接触が保てなくなり、一部の半導体素子6に対して接触不良が起こり、良品の半導体素子6であっても、不良品と判定するような不都合がある。
【0007】
このプローブカード基板12の使用中における反りを防ぐために、平坦であって、硬度の高い材料の平板からなる補強部材13が図17に示すように用いられている。しかしこの補強部材13をプローブカード基板12とプローブカード保持部材26に取り付ける構造は、具体的には図18に示されるように、補強部材13の4つの取り付け腕13A、13B、13C、13Dの中の2つの取り付け腕13A、13Cでは、取り付けねじ17のための座ぐり13aが設けられるのに対し、残りの取り付け腕13B、13Dにはこの座ぐり13aが設けられず、取り付け構造が不均一となっている。これは、テストヘッド10の位置決めピン14との関係に起因しており、この位置決めピン14を避けるために、取り付け腕13A、13Cにだけ座ぐり13aを設けている。しかし、この取り付け構造が不均一であるために、プローブカード基板12の反りを防ぐには充分でなかった。なお、符号16は、取り付けねじ17が貫通する穴である。
【0008】
テストヘッド10は、テスタ3とプローブカード1とを接続するための多数の端子が集中した筐体であり、図15、図16に示すように、プローバ2の上部に開閉可能に取り付けられている。このテストヘッド10の位置決めピン14は、テストヘッド10とプローブカード1とプローバ2とがいつも同一個所で毎回接続されるようにするために設けられているが、そのためにプローブカード基板12に設けている位置決め穴21(図16)が取り付け腕13A、13Cの端部に接近しているため、取り付け腕13A、13Cだけに座ぐり13aを設けた構造となっている。
【0009】
この取り付け構造の不均一さのために、ねじ17も図18に示すように、取り付け腕13A、13Cでは長さの短いねじが、また取り付け腕13B、13Dでは長さの長いねじが使用され、このねじの違いもプローブカード基板12の反りを生む原因となっている。また長さの異なる2種類のねじを使用しているために、ねじ17の取り付け、取り外しが複雑になり、余分な時間がかかる不都合も発生する。
【0010】
通常、半導体素子6の電極パッド8にプローブ針7を接触させる場合、電極パッド8の表面に自然に生じる酸化膜を除去するため、電極パッド8にプローブ針7を当てた後にさらにステージ4を押し上げ、電極パッド8の表面を擦る(スクラブさせる)動作を実施する。それでも、ウエハテストを繰り返す中に、プローブ針7の針先に絶縁物質が付着することにより、接触抵抗が増大し、良品の半導体素子6が不良品と判定され、半導体素子の製造歩留まりが不要に低下するような不都合がある。この不都合を改善するため、プローブ針7の針先の研磨、クリーニングを定期的に実施しているが、その針先の位置精度や、研磨、クリーニングの状況検査のために、プローブカード保持部材26からプローブカード基板12を補強部材13とともに、ねじ17を外すことにより、取り外し、検査後に再び取り付ける作業が必要になる。
【0011】
前記2種類のねじの使用は、このような取り外し、取り付け作業を複雑にし、作業時間を長くする不都合がある。また従来、ねじ17は、図19のように、頭部17Aが平らな平ねじを使用しているが、この平ねじは、ねじの回転操作のためのねじ操作穴17aが浅く、ねじ操作穴がつぶれ易いため、ねじ取り付け、取り外し作業が重なると、ねじを交換する必要がある。また従来は、ねじ17には、錆びにくく、硬度の高いステンレス製のねじが使用されていたが、取り付け、取り外し作業時に、ドライバに磁気的に吸着できないことから、作業性も悪い。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、プローブカードの補強部材の、プローブカード保持部材に対する取り付け構造を改善し、プローブカード基板における反りを軽減することのできる半導体素子試験装置を提案するものである。
【0013】
また、この発明は、プローブカードの補強部材の、プローブカード保持部材に対する取り付け構造を改善し、併せて取り付けに使用するねじの共通化により、プローブカード基板における反りを軽減することができる半導体素子試験装置を提案するものである。
【0014】
また、この発明は、プローブカードの補強部材の、プローブカード保持部材に対する取り付け構造を改善し、プローブカード基板における反りを軽減するとともに、取り付けねじの改良により、ねじの交換頻度を少なくすることのできる半導体素子試験装置を提案するものである。
【0015】
また、この発明は、プローブカードの補強部材の、プローブカード保持部材に対する取り付け構造を改善し、プローブカード基板における反りを軽減するとともに、取り付けねじの改良により、ねじの取り付け、取り外し作業を容易にすることのできる半導体素子試験装置を提案するものである。
【0016】
また、この発明は、プローブカードの補強部材の、プローブカード保持部材に対する取り付け構造を改善し、プローブカード基板における反りを軽減するとともに、あわせて、補強部材を改善し、より補強強度を増大して、プローブカード基板の反りを軽減できる半導体素子試験装置を提案するものである。
【0017】
また、この発明は、プローブカードの補強部材の、プローブカード保持部材に対する取り付け構造を改善し、プローブカード基板における反りを軽減するとともに、あわせて、補強部材とプローブカード基板との固着強度を増大して、プローブカード基板の反りを軽減できる半導体素子試験装置を提案するものである。
【0018】
さらに、この発明は、プローブカードの補強部材の、プローブカード保持部材に対する取り付け構造を改善し、プローブカード基板における反りを軽減することのできる半導体素子試験装置を用いて、半導体素子の製造歩留まりが不要に低下するのを防止できる半導体素子試験方法を提案するものである。
【0019】
【課題を解決するための手段】
この発明による半導体素子試験装置は、半導体素子を含んだ半導体ウエハを載置するステージ、および前記半導体ウエハに対向する複数のプローブ針を有するプローブカードを備え、前記複数のプローブ針を前記半導体ウエハの半導体素子に接触させて、前記半導体素子を試験する半導体素子試験装置であって、前記プローブカードは前記複数のプローブ針を支持するプローブカード基板と、このプローブカード基板に対する補強部材とを有し、前記半導体素子試験装置はプローブカード保持部材を有し、前記プローブカード基板は、複数の取り付け位置において前記補強部材を通して、ねじにより前記プローブカード保持部材に取り付けられており、前記複数の取り付け位置のそれぞれにおいて、前記補強部材には、互いに実質的に同じ深さと形状を有する座ぐりが設けられ、これらの座ぐりを介して前記ねじによる取り付けが行われていることを特徴とすることを特徴とするものである。
【0020】
また、この発明による半導体素子試験装置は、前記複数の取り付け位置のそれぞれにおいて、同じ長さのねじが使用されるものである。
【0021】
また、この発明による半導体素子試験装置は、前記複数の取り付け位置のそれぞれにおいて、同じ種類のねじが使用されるものである。
【0022】
また、この発明による半導体素子試験装置は、前記ねじとして、ねじの頭部が膨らんだ鍋ねじが使用されるものである。
【0023】
また、この発明による半導体素子試験装置は、前記ねじとして、磁性体のねじが使用されるものである。
【0024】
また、この発明による半導体素子試験装置は、前記補強部材が、複数の補強腕の各端部の取り付け位置において、ねじにより前記プローブカード保持部材に取り付けられており、これらのそれぞれの取り付け位置において、各補強腕の端部には、その幅よりも幅の狭い座ぐりがその補強腕の幅方向のほぼ中央に形成されているものである。
【0025】
また、この発明による半導体素子試験装置は、前記補強部材が、前記複数の取り付け位置を有する周辺部分と、この周辺部分よりも厚く形成された中央部分とを有するものである。
【0026】
また、この発明による半導体素子試験試験装置は、前記補強部材が、それぞれ前記取り付け位置を有する複数の補強腕を形成した周辺部分と、枠形状の中央部分とを有し、この中央部分には、前記枠形状の対向する2辺を結ぶ補強片が設けられているものである。
【0027】
また、この発明による半導体素子試験装置は、前記補強部材が、前記複数の取り付け位置を有する周辺部分と、この周辺部分の中央に位置する中央部分とを有し、この中央部分において前記補強部材とプローブカード基板が固着されているものである。
【0028】
さらに、この発明による半導体素子試験方法は、プローブカードに設けられた複数のプローブ針を半導体ウエハの半導体素子に接触させる形式の試験装置を用いた半導体素子試験方法であって、前記プローブカードは前記複数のプローブ針を支持するプローブカード基板と、このプローブカード基板に対する補強部材を有し、前記半導体素子試験装置は前記プローブカードが取り付けられたプローブカード保持部材を有し、前記補強部材は、複数の取り付け位置において、ねじにより前記プローブカード基板とともに前記プローブカード保持部材に取り付けられており、前記複数の取り付け位置のそれぞれにおいて、前記補強部材には、互いに実質的に同じ深さと形状を有する座ぐりが設けられ、これらの座ぐりを介して前記ねじによる取り付けが行われていることを特徴とする。
【0029】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
この発明による半導体素子試験装置の実施の形態1において、図8に示す装置の全体構成、図9に示す半導体素子とプローブ針との接触状態、図10に示す電極パッドとプローブ針との接触状態、図11に示すプローバの構成、および図15に示すプローブカード保持部材の構成は、そのまま採用される。
【0030】
実施の形態1においては、図1に示すような、改良されたプローブカード1が使用される。このプローブカード1は、改良された補強部材113を持ったプローブカード基板12を有する。この補強部材113は、均一な厚さの平板を打ち抜いて構成され、十字形状を有している。この補強部材113は、互いに直交する4つの補強腕113A、113B、113C、113Dを持ち、この各補強腕の先端部には、同じ深さで、同じ形状の座ぐり114が形成されている。
【0031】
各補強腕113A、113B、113C、113Dに、同じ深さ、同じ形状の座ぐり114を形成することにより、各補強腕は同一の互いに揃った構造を有する結果となり、この構造の揃った補強腕113A、113B、113C、113Dの使用により、それぞれの補強腕において、互いに揃った補強をプローブカード基板12に与えることができ、プローブカード基板12にかかるプローブ針7やZIFコネクタ11からの圧力を均等に分散させ、プローブカード基板12の強度と耐久性を増大して、長期間の使用によっても、反りの発生を軽減することが可能となる。
なお、テストヘッド10の位置決めピン14は、それに対応する補強腕113A、113Cの先端部に設けられた座ぐり114によって、補強腕に当たるのが回避され、位置決めピン14によるプローブカード基板12の位置決めにも支障はない。
【0032】
この実施の形態1では、1つの種類のねじを使用して、補強部材113がプローブカード基板12とともに、図15に示すプローブカード保持部材26に取り付けられる。この1種類のねじとして、図2に示す鍋ねじ117が使用される。このねじ117は、図3に示すように、各補強腕の座ぐり114の部分をそれぞれ取り付け位置として取り付けられる。このねじ117は、それぞれの取り付け位置において、座ぐり114を貫通し、さらにその下のプローブカード基板12を貫通して、リング状のプローブカード保持部材26に取り付けられる。この各取り付け位置において、同じ種類で、同じ長さの図2に示す鍋ねじ117が使用され、各取り付け位置に均一な取り付け強度を与える。この均一な取り付け強度は、プローブカード基板12における反りの発生を軽減するのに有効である。なお、符号16は、各座ぐり114に設けられた、ねじ117の取り付け穴を示す。同じ種類のねじの使用は、ねじの取り付け、取り外し作業を簡単化し、その作業時間を短縮するのに有効である。
【0033】
鍋ねじ117は、ねじ頭部117Aが膨らんだねじである。膨らんだ頭部117Aは、ねじ操作穴117aの深さを増大するのに有効であり、これは、ねじ117の取り付け、取り外しによるねじ操作穴117aのつぶれを防止するのに効果があり、ねじ117の寿命を長くして、単位期間におけるねじ117の交換頻度を小さくする。
【0034】
この鍋ねじ117には、図2(b)に示すように、六角形状のねじ操作穴117aを持っている。この六角形状のねじ操作穴117aは、従来の図19(b)に示す十字形状のねじ操作穴17aに比べて、ねじ操作穴117aの耐久性を向上するのに有効である。六角形状のねじ操作穴117aは、操作穴にかかるトルクを、より多くのポイントで受けるので、耐久性が増大するのである。
【0035】
鍋ねじ117には、磁性体材料、例えば鉄系の材料で作られたねじが使用される。この磁性体のねじ117を使用することにより、ねじ117をドライバに磁力で付着させて運ぶことができ、座ぐり114の空間が例え小さくても、ねじ117の取り付け、取り外しが容易となる。この場合、ドライバとしては、磁化されたビットを有するものを使用する。
【0036】
なお、鍋ねじ117は、一部のねじに限って使用してもよく、また磁性体のねじも一部のねじに限って使用することもできる。ともに、使用されたねじにおいて、前述の効果が得られる。
【0037】
実施の形態2.
この実施の形態2は、実施の形態1にさらに改良を加えたものである。この実施の形態2では、補強部材113の4つの補強腕113A、113B、113C、113Dの各先端に、改良された座ぐり115が形成されている。図4は1つの補強腕113Aの先端部を示しているが、他の補強腕113B、113C、113Dの先端部にも、座ぐり115と同じ深さ、同じ形状の座ぐり115が形成されている。
【0038】
各補強腕は、その先端部が同じ厚さと同じ幅を持って形成されており、図4では補強腕113Aについて、その厚さTと幅Wを図示している。座ぐり115は、瓢箪形状をして、各補強腕の先端部に形成されている。この座ぐり115は、中央の大きな円形穴115aと、その内側に連接する小さな円形穴115bと、円形穴115aから補強腕の先端面に延びる直線穴115cを持っており、いずれの穴115a、115b、115cも同じ深さを持って形成されている。円形穴115aの中心には、テストヘッド10の位置決めピン14が挿入される穴21が形成されており、また円形穴115bの中心と、直線穴115cの内端部には、それぞれ取り付けねじ117を挿入する取り付け穴16が形成されている。この実施の形態2では、各補強腕毎に2つの取り付けねじ117が使用され、合計8つの取り付けねじ117で、より強固に取り付けが行われる。なお、この実施の形態2では、プローブカード保持部材26において、2つの取り付け穴16の対応した2つのねじ穴が都合4箇所、合計8つ設けられる。
【0039】
円形穴115aの直径W1は、この円形穴115aが形成された部分の補強腕の幅Wよりも小さく、約1/2Wとなっている。この円形穴115aは、補強腕の幅Wの中央に形成されているので、円形穴115aの両側には、座ぐり115が形成されずに、補強腕がそのままの厚さTで残った残存部分113rが形成されている。この残存部分113rは、座ぐり115の両側に、強度の大きな部分を与え、補強腕の強度を充分に大きくするのに有効であり、これはプローブカード基板12の反りを、より軽減するのに有効である。
【0040】
実施の形態3.
この実施の形態3も、実施の形態1をさらに改良したものである。この実施の形態3では、図5に示す改良された補強部材131が使用される。この補強部材131は、中央部分131Aと周辺部分131Bを有する。この補強部材131は、補強材131aとその中央部分に結合された中央補強材131bから構成されている。補強材131aは、平板を打ち抜いて、図1に示した補強部材113と同様に形成され、4つの補強腕113A、113B、113C、113Dを有する。周辺部分131Bには、この補強腕113A、113B、113C、113Dが延びている。中央部分131Aでは、補強材131aの中央部分の上に、同じく平板を打ち抜いて形成した中央補強材131bが結合されている。
【0041】
この実施の形態3によれば、実施の形態1と同様の効果が得られる上に、補強部材131の強度を、より大きくして、補強効果をさらに増大することができる。
【0042】
中央補強材131bと補強材131aとの結合には、接着材が使用されるほか、溶接、ねじ付けも使用できる。図6は、ねじ付けの例であり、ねじ22により、中央補強材131bが補強材131aに結合されるだけでなく、ねじ22によって、プローブカード基板12との結合も行われる。
【0043】
実施の形態4.
この実施の形態4も、実施の形態1をさらに改良するものである。この実施の形態4では、図7(a)または(b)に示される補強部材132、132Aが使用される。これらの補強部材132、132Aは、中央枠部分133と、周辺部分134を有する。中央枠部分133は、長方形状をした枠部分であって、この枠部分は互いに直角をなす4つの辺133a、133b、133c、133dを有する。この4つの辺の中央から、外側に、4つの補強腕134A、134B、134C、134Dが、互いに直交する方向に延びており、この4つの補強腕が周辺部分134を構成する。これらの補強腕の先端部には、図1と同様な座ぐり114が、互いに同じ深さ、同じ形状で形成され、実施の形態1と同様の効果をもたらす。
【0044】
図7(a)(b)に示す補強部材132、132Aは、さらに、中央枠部分133の中に、補強片135を有する。図7(a)の補強部材132は、相対向する辺133bと133dとの間に、一本の補強片135を有し、また図7(b)の補強部材132Aは、互いに平行な二本の補強片135を有する。これらの補強片135は、中央枠部分133とともに、補強部材132、132Aの強度をさらに増大し、プローブカード基板12の反りを軽減する。なお、これらの補強部材132、132Aは、すべての部分を一枚の平板を打ち抜いて、同じ厚さで構成される。
図7において、符号23は中央枠部分133と補強片135で囲まれた領域を示し、この領域23の下部には、プローブカード基板12にプローブ針7の針立てが行われる。図7(b)の領域24は、プローブカード基板12の開口位置を示す。図7(a)は、開口を持たないプローブカード基板12に対応し、図7(b)は、開口を有するプローブカード基板12に対応する。いずれも、補強部材132、132Aに、かかる領域23、24を必要とするときに形成されるが、補強辺135の補強効果は前述した通りである。
【0045】
実施の形態5.
この実施の形態5は、上記各実施の形態1から4による半導体素子試験装置を用いて、半導体素子6のテストを行う半導体素子試験方法である。この試験方法において、試験装置が、プローブカード基板12の反りを軽減するので、この反りに起因する不要な製造歩留まりの低下を防止しながら、半導体素子のテストを実施できる効果がある。
【0046】
【発明の効果】
以上のようにこの発明の半導体素子試験装置によれば、プローブカード基板と補強部材とのプローブカード保持部材に対する複数の取り付け位置において、実質的に同様な取り付け構造を与えることができ、プローブカード基板における反りを軽減することができる。
【0047】
また、この発明により、取り付けに使用するねじに同じ長さのねじを使用し、または同じ種類のねじを使用するものでは、このねじの共通化により、さらにプローブカード基板の反りの軽減を図ることができる。
【0048】
また、この発明により、取り付けねじとして、ねじの頭部が膨らんだ鍋ねじを使用するものでは、さらにねじの耐久性を向上し、ねじの交換頻度を少なくできる。
【0049】
また、この発明により、取り付けねじとして、磁性体からなるねじを使用するものでは、さらにねじの取り付け、取り外し作業を容易にすることができる。
【0050】
また、この発明により、補強腕の端部のほぼ中央に、補強腕の端部の幅よりも幅の狭い座ぐりを設けるもの、または、補強部材の中央部分をその周辺部分よりも厚く形成するもの、または枠形状の中央部分に補強片を追加したものでは、補強部材の強度の増大により、プローブカード基板の反りをさらに軽減することができる。
【0051】
また、この発明により、補強部材の中央部分をプローブカード基板と結合したものでは、補強部材とプローブカード基板との固着強度を増大し、プローブカード基板の反りをさらに軽減できる。
【0052】
さらに、この発明による半導体素子試験方法によれば、プローブカード基板とプローブカード保持部材に対する複数の取り付け位置において、実質的に同様な取り付け構造を与えることのできる半導体試験装置を使用するので、プローブカード基板の反りによる不要な製造歩留まりの低下を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明による半導体素子試験装置の実施の形態1におけるプローブカードの構成を示す斜視図。
【図2】 実施の形態1で使用される取り付けねじを示し、(a)図は側面図、(b)図は上面図。
【図3】 実施の形態1のプローブカードの取り付け状態を説明する斜視図。
【図4】 この発明による半導体素子試験装置の実施の形態2における補強部材の先端部を示す斜視図。
【図5】 この発明による半導体素子試験装置の実施の形態3における補強部材の側面図。
【図6】 この発明による半導体素子試験装置の実施の形態3における他の補強部材の側断面図。
【図7】 (a)(b)ともに、この発明による半導体素子試験装置の実施の形態4における補強部材の上面図。
【図8】 従来の半導体素子試験装置の全体構成を示す斜視図。
【図9】 その半導体素子とプローブ針の接触状況を示す斜視図。
【図10】 その電極パッドとプローブ針の接触状況を示す斜視図。
【図11】 従来のプローバの構成を示す側面図。
【図12】 そのプローブカードを示す斜視図。
【図13】 そのプローブカードを示す上面図。
【図14】 そのプローバの一部の構成を示す斜視図。
【図15】 そのプローバの全体の構成を示す斜視図。
【図16】 そのプローバの一部の構成を示す斜視図。
【図17】 そのプローブカードのZIFコネクタを除いた斜視図。
【図18】 そのプローブカードの取り付けねじの取り付け状態を示す斜視図。
【図19】 その取り付けねじを示し、(a)図は側面図、(b)図は上面図。
【符号の説明】
2 プローバ、 3 テスタ、 4 ステージ、 5 半導体ウエハ、6 半導体素子、 7 プローブ針、 8 電極パッド、 10 テストヘッド、 1 プローブカード、 12 プローブカード基板、 13、113、131、132、132A 補強部材、 14 位置決めピン、15 ケーブル、 17、117 取り付けねじ、 114、115 座ぐり、 113A、113B、113C、113D 補強腕、 131A、133 中央部分、 131B、134 周辺部分、 133 中央枠部分。
Claims (9)
- 半導体素子を含んだ半導体ウェハを載置するステージ、
前記半導体ウェハに対向する複数のプローブ針と、前記複数のプローブ針を支持するプローブカード基板と、このプローブカード基板における前記複数のプローブ針が支持された面に対向した面上に設けられた補強基板とを有するプローブカード、及び、
前記プローブカード基板が取り付けられるプローブカード保持部材を備え、
前記補強部材は、同じ第1の直線方向に延びる第1及び第2の補強腕と、前記第1の直線方向とは直交する同じ第2の直線方向に延びる第3及び第4の補強腕とを有し、
前記第1〜第4の補強腕には互いに同じ深さと形状の座ぐりが設けられ、
各補強腕の座ぐりを介してねじにより前記補強基板とともに前記プローブカード基板が前記プローブカード保持部材にねじ留めされることを特徴とする半導体素子試験装置。 - 前記第1〜第4の座ぐりを介してねじ留めするねじとして、同じ長さのねじが使用されることを特徴とする請求項1記載の半導体素子試験装置。
- 前記第1〜第4の座ぐりを介してねじ留めするねじとして、同じ種類のねじが使用されることを特徴とする請求項1記載の半導体素子試験装置。
- 前記第1〜第4の座ぐりを介してねじ留めするねじとして、ねじの頭部が膨らんだ鍋ねじが使用されることを特徴とする請求項3記載の半導体素子試験装置。
- 前記第1〜第4の座ぐりを介してねじ留めするねじとして、磁性体からなるねじが使用されることを特徴とする請求項3記載の半導体素子試験装置。
- 前記第1〜第4の補強腕各々において、座ぐりの形成されていない部分として第1の厚みをもつ第1の部分と、その座ぐりにより該第1の厚みよりも肉薄となっている第2の厚みをもつ第2の部分とを有し、
前記第1〜第4の補強腕各々において、前記第1の部分は、補強腕の延びる直線方向及び座ぐりの深さの方向のいずれにも直交する幅方向から前記第2の部分を挟みこんだ構造を有することを特徴とする請求項1記載の半導体素子試験装置。 - 前記補強部材は、前記第1〜第4の補強腕が連結する枠形状の部分と、この枠形状の対向する2辺を結ぶ補強片とをさらに有することを特徴とする請求項1記載の半導体素子試験装置。
- 請求項1〜7の何れか1項に記載の半導体素子試験装置を用いた半導体素子試験方法であって、
外部のテスタと接続されたテストヘッドを前記プローブカード基板の前記補強部材が設けられた面と同じ面に設けられたコネクタに結合させる工程、
前記プローブカード基板の前記複数のプローブ針を前記ステージに搭置された半導体ウェハに形成された半導体素子の電極に接触させる工程、及び、
前記テスタを使って前記半導体素子をテストする工程を備えたことを特徴とする半導体素子試験方法。 - 前記テストヘッドは、前記プローブカード基板と対向する面に設けれらた2つの位置決めピンを有し、テストヘッドを前記コネクタに結合する際に前記2つの位置決めピンを前記第1及び第2の座ぐり内に挿入することを特徴とする請求項8記載の半導体素子試験方法。
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