JP4688463B2

JP4688463B2 - スライダ支持体、およびこのスライダ支持体を用いた磁気素子の検査方法、並びに、スライダの支持方法

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Publication number: JP4688463B2
Application number: JP2004291562A
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Inventors: 完次沢井; 道治本西
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Filing date: 2004-10-04
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Description

本発明は、磁気素子が形成されたスライダを支持するための支持体に関し、特に前記支持体に形成された電気回路と前記スライダとの電気的接続を良好にでき、スライダを保持するための工程を容易に効率良く行うことが可能であり、さらには汎用性の高い支持体に関する。

また本発明は、前記支持体を用いた磁気素子の検査方法に関し、特にスライダをフレキシャやロードビームにアセンブリした状態（ＨＧＡ）前に、スライダの動的電気特性を検査できる磁気素子の検査方法に関する。

以下に示す特許文献１（特開平９−２１３０３６号公報）の図１や図９には、磁気素子が形成されたスライダ４を支持するための支持体として機能するサスペンション３が開示されている。このサスペンション３は配線一体型であり、ジンバル部３ｂ、３ｂ´を備えている。サスペンション３の前記ジンバル部３ｂ、３ｂ´にはスライダ搭載部３ａが形成されており、このスライダ搭載部３ａの上面に前記スライダ４の上面が接着固定されることによって、前記スライダ４が前記サスペンション３に支持される。そして、前記サスペンション３と前記スライダ４とで、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ（ＨＧＡ）が構成されている。

この特許文献１に開示されたサスペンション３は、前記スライダ搭載部３ａの上面に形成されたサスペンション上の電極１３と、この電極１３と電気的に接続するリード１を有しているが、このリード１は前記スライダ搭載部３ａの上面から上方（スライダ４に向かう方向）側に立ち上がった状態で構成されている。そして、このリード１と、スライダ４のトレーリング側端面に形成されたスライダ上の電極１２とが、加熱下超音波ボンディングにより電気的に接続されることによって、前記ＨＧＡアセンブリが構成されている。一方、前記スライダ４のリーディング側端面には何らの部材も接触しておらず、開放端面として構成されている。

また、以下に示す特許文献２（特開平６−２０３５０７号公報）には、コアチップ２を有する磁気ヘッドスライダ１と、この磁気ヘッドスライダ１を支持するための支持体として機能する支持バネ４で構成されるヘッド・ジンバル組立体（ＨＧＡ）が開示されている。

このＨＧＡを構成する前記磁気ヘッドスライダ１の側面には、支持バネ固定用溝３が形成されている。

また、前記ＨＧＡを構成する前記支持バネ４の先端部には、開放端を有する係止凹部４ａが形成されており、この係止凹部４ａの両側には、左右１対で構成される嵌入用凸片４ｂが形成されている。

前記特許文献２に開示されたＨＧＡでは、前記支持バネ４に形成された前記係止凹部４ａに、開放端側から前記磁気ヘッドスライダ１が挿入されて係止される。このとき、前記支持バネ４に形成された１対の前記嵌入用凸片４ｂが、前記磁気ヘッドスライダ１に形成された前記支持バネ固定用溝３に両側方から嵌合し、この状態で前記磁気ヘッドスライダ１が、前記支持バネ４に形成された前記係止凹部４ａに係止する。そして、前記支持バネ固定用溝３内に形成されたエポキシ樹脂などの接合手段を介して、前記磁気ヘッドスライダ１が前記支持バネ４に固定される。
特開平９−２１３０３６号公報特開平６−２０３５０７号公報

しかし、前記特許文献１に開示されたサスペンション３は、前記スライダ４の上面を接着することのみでスライダ４の保持を行っているため、スライダ４に外力が加わったときに、サスペンション３上に形成されたリード１とスライダ４上の電極１２との電気的接続が切断され易い。特に、スライダ４がリーディング側方向へ移動してしまうと、前記電気的接続が切断され易い。

また、前記リード１と前記スライダ上の電極１２とを接続する際には、まず前記リード１と前記電極１２との間に所定の間隔が空くように前記スライダ４をスライダ搭載部３ａに載置した後、前記リード１と前記電極１２とが当接される位置に前記スライダ４を移動せて、前記リード１と前記電極１２とを接続する。このとき、前記特許文献１に開示されたサスペンション３では、前記リード１と前記電極１２との接続が完全になされるまで、さらには前記スライダ４と前記スライダ搭載部３ａとの接着固定が完全になされるまで、前記スライダ４を前記リード１と前記電極１２とが当接される位置に保持しておかなければならない。そのため、前記リード１と前記電極１２との接続作業が煩雑になるとともに、作業時間も多く必要とするため、効率的な製造を行うには限界があった。

また、前記特許文献１に開示されたサスペンション３では、前記スライダ４が前記スライダ搭載部３ａ上に接着固定され、さらには前記電極１２が前記リード１に加熱下超音波ボンディングによって接続されているため、前記スライダ４を前記サスペンション３に対し着脱を容易に行えるものではない。

また、前記特許文献２に開示されたＨＧＡでは、前記磁気ヘッドスライダ１が、前記嵌合凹部４ａに開放端側から挿入された状態で前記支持バネ４に係止しているため、前記磁気ヘッドスライダ１が開放端側に位置ずれし易い。特に、前記特許文献２の図４には、前記磁気ヘッドスライダ１に設けられたコアチップ２には導電体が設けられており、この導電体は前記コアチップ２から前記開放端側と反対側に延出するように設けられているが、前記磁気ヘッドスライダ１が前記開放端側に位置ずれすると、前記コアチップ２から延出する導電体が切断されてしまい、あるいは前記コアチップ２と前記導電体との電気的接続が切断されてしまうという問題が生じる。

また、前記特許文献２に開示された前記ＨＧＡでは、前記支持バネ固定用溝３内においてエポキシなどの接合手段を介し、前記磁気ヘッドスライダ１と前記支持バネ４との固定が行われている。このように、前記磁気ヘッドスライダ１と前記支持バネ４との接合がエポキシなどの接合手段を介して行われているのは、前記磁気ヘッドスライダ１が、前記支持バネ固定用溝３において側方から前記嵌入用凸片４ｂが挿入された状態のみで前記係止凹部４ａに係止されているだけであることから、前記磁気ヘッドスライダ１が前記係止凹部４ａから開放端側へ位置ずれし易い構造を有しているため、この位置ずれを防止するためであると考えられる。このように、前記特許文献２に開示された前記ＨＧＡでは、前記磁気ヘッドスライダ１が前記係止凹部４ａから位置ずれし易いことから、エポキシなどの接合手段が固化するまで、前記磁気ヘッドスライダ１が前記開放端側に移動しないように固定しておく必要がある。

したがって、前記磁気ヘッドスライダ１と前記支持バネ４との固定作業が煩雑となるとともに、作業時間を多く必要とするため効率的な製造を行うことには限界があった。

さらに、前記特許文献２に開示されたＨＧＡでは、前記磁気ヘッドスライダ１と前記支持バネ４との固定を確実に行うために、前記磁気ヘッドスライダ１の前記支持バネ固定用溝３内に形成されたエポキシなどの接合手段を介して前記支持バネ４の前記嵌入用凸片４ｂとを接合しているため、前記支持バネ４に対し、前記磁気ヘッドスライダ１の着脱を容易に行えるものではない。

また、前記特許文献２に開示された前記ＨＧＡでは、前記コアチップから延出する導電体と前記コアチップ２との電気的接続を良好にするための手段に関しては、何らの記載や示唆もなされていない。

本発明は前記従来の課題を解決するものであり、支持体に形成された電気回路とスライダとの電気的接続を良好にでき、スライダを保持するための工程を容易に効率良く行うことが可能であり、さらにはスライダの着脱が可能なため汎用性の高い支持体を提供することを目的とする。

また、磁気ヘッド装置製造時にコスト的損失を低減できるとともに効率的な製造を行うことに寄与する、前記支持体を用いた検査方法を提供することを目的とする。

本発明は、第１支持部と、前記第１支持部に固定された第２支持部とを有し、スライダを記録媒体に対し浮上した状態で支持するためのスライダ支持体において、前記第２支持部には導電パターンが形成され、前記導電パターンは絶縁層を介して弾性を有する板ばね材に形成され、前記第２支持部には記録及び／または再生用の磁気素子を有する前記スライダが保持される保持部を有しており、
前記保持部には複数の固定部が形成され、
前記固定部のうち、前記スライダのスライダ端子部と対向する側に形成された前記固定部の先端部には、前記導電パターンの先端部が露出しており、前記保持部の表面から所定の角度にて傾き前記スライダ端子部と対向する前記固定部が前記スライダの位置決め部となり、
前記スライダが前記複数の固定部間で挟持されたときに、前記固定部の弾性によって生じる押圧力で前記保持部に保持されるとともに、前記所定の角度にて傾いた状態で前記固定部の先端から露出する前記導電パターンの先端部が前記スライダ端子部と接触して前記スライダが前記導電パターンと電気的に接続されることを特徴とするものである。

また、前記固定部は、前記保持部に形成された切欠き片で形成されたものとして構成しても良い。

また、前記スライダが、前記保持部に着脱可能に保持されているものとして構成することや、前記スライダが、前記保持部に保持された状態で前記保持部に接合されているものとして構成することができる。

また、前記スライダのリーディング側端面には、前記固定部と係止可能な係止手段が形成されており、前記係止手段と前記固定部とが係止した状態で、前記スライダが前記保持部に保持されているものとして構成することができる。

この場合、前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面へ向かって凹み、前記スライダの両側面間に位置する凹部であるものとして構成することができる。

または、前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面へ向かって凹み、前記スライダの一方の側面から他方の側面まで連続して形成された凹溝であるものとして構成することができる。

または、前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面と反対方向へ向かって突出し、前記スライダの両側面間に位置する突部であるものとして構成することができる。

または、前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面と反対方向へ向かって突出し、前記スライダの一方の側面から他方の側面まで連続して形成された突条であるものとして構成することができる。

また本発明では、前記導電パターンは、前記板ばね材の記録媒体との対向面側と反対面側に設けられることが好ましい。
また本発明では、前記スライダ端子部と対向する以外の前記固定部の先端部には、前記絶縁層が露出しており、前記スライダ端子部と対向する固定部以外の前記固定部は、前記絶縁層が前記スライダに当接する構成にできる。
また本発明の検査方法は、スライダを記録媒体に対し浮上した状態で支持するためのスライダ支持体が、第１支持部と、前記第１支持部に固定された第２支持部とを有して構成され、前記第２支持部には導電パターンが形成され、前記導電パターンは絶縁層を介して弾性を有する板ばね材に形成され、前記第２支持部には記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダが保持される保持部を有しており、
前記保持部には複数の固定部が形成され、
前記固定部のうち、前記スライダのスライダ端子部と対向する側に形成された前記固定部の先端部には、前記導電パターンの先端部が露出しており、前記保持部の表面から所定の角度にて傾き前記スライダ端子部と対向する前記固定部が前記スライダの位置決め部となり、
前記スライダを前記複数の固定部間で挟持し、このとき、前記固定部の弾性によって生じる押圧力で前記保持部に保持するとともに、前記所定の角度にて傾いた状態を維持して前記固定部の先端から露出する前記導電パターンの先端部を前記スライダ端子部と接触させて前記スライダを前記導電パターンと電気的に接続させ、
前記スライダ支持体を用いて前記スライダを記録媒体上に走査し、前記スライダの動特性評価検査を行うことを特徴とするものである。
また本発明は、第１支持部と、前記第１支持部に固定された第２支持部とを有するスライダ支持体にスライダを支持するためのスライダの支持方法において、
前記第２支持部には導電パターンが形成され、前記導電パターンは絶縁層を介して弾性を有する板ばね材に形成され、前記第２支持部には記録及び／または再生用の磁気素子を有する前記スライダが保持される保持部を有しており、
前記保持部には複数の固定部が形成され、
前記固定部のうち、前記スライダのスライダ端子部と対向する側の前記固定部は、前記保持部の表面から所定の角度にて傾いて形成されるとともに前記固定部の先端部には、前記導電パターンの先端部が露出しており、
前記スライダを前記保持部上に設置する工程と、
前記スライダを前記固定部の弾性によって生じる押圧力で、前記固定部間で挟持して前記保持部に保持し、このとき、前記所定の角度にて傾いた状態を維持して前記固定部の先端から露出する前記導電パターンの先端部を前記スライダ端子部と接触させて前記スライダを前記導電パターンと電気的に接続させるとともに前記スライダの位置決めを、前記スライダ端子部と対向する前記固定部にて行う工程と、
を有することを特徴とするものである。

この場合、記録用の磁気素子を有するスライダを前記保持部に保持するものとして構成できる。

本発明の支持体では、スライダが複数の固定部に挟持された状態で第２支持部に保持されるため、前記スライダの端子部と第２支持体に形成された導電パターンとの電気的接続を確実に行うことが可能となる。

また、スライダを固定部間に装着するだけでスライダが第２支持部に形成された保持部に確実に保持されるので、位置ずれが生じ難く、スライダの保持が容易になる。

また、スライダを着脱可能な状態で保持することや、接合した状態で保持することも可能なので、汎用性の高い支持体とすることができる。

図１は本発明の実施形態の支持体、およびこの支持体に支持されたスライダを記録媒体との対向面側から示す部分斜視図、図２は図１に示す支持体およびスライダを記録媒体との対向面を図示下側にした状態で記録媒体とともに示す部分側面図、図３は図１に示す支持体およびスライダを記録媒体との対向面側から示す分解斜視図、図４は図１に示す支持体に保持されるスライダの斜視図である。なお、各図においては、図示Ｚ１方向が記録媒体との対向面側となる。

図１に示すように、支持体１１０は、第１支持部であるロードビーム１１２と、このロードビーム１１２に固定された第２支持部であるフレキシャ１１１とで構成されている。前記フレキシャ１１１は前記ロードビーム１１２に支持されており、このフレキシャはスライダ３０を保持する。

前記スライダ３０は、例えばアルミナチタンカーバイト（Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣ）などのセラミック材料により形成されており、前記スライダ３０のトレーリング側端面３０ｂには、磁気素子３１と端子部Ｐ１，Ｐ１及び端子部Ｐ２，Ｐ２が形成されている。

前記磁気素子３１は、スパッタ技術を用いて薄膜形成されものであり、例えばスピンバルブ膜に代表されるＧＭＲ素子やＡＭＲ素子の磁気抵抗効果素子を有するＭＲヘッド（再生ヘッド）と、記録用のインダクティブヘッドとが積層されて構成されている。

磁気素子３１を構成するインダクティブヘッドのコイル層（図示せず）は、リード層（図示せず）を介して前記端子部Ｐ１，Ｐ１に接続されている。また、端子部Ｐ２，Ｐ２からＭＲヘッドに検出電流が与えられ、且つ端子部Ｐ２，Ｐ２からＭＲヘッドの再生磁気信号が得られる。

なお、前記磁気素子３１は再生ヘッドとインダクティブヘッドの一方のみが設けられたものでもよい。

前記支持体１１０は、前記スライダ３０を支持するフレキシャ１１１と、このフレキシャ１１１を支持するロードビーム１１２とで構成されている。前記ロードビーム１１２はステンレスなどの板ばね材料により形成されている。ロードビーム１１２にはその両側端部に折り曲げ部１１２ａが形成され、この折り曲げ部１１２ａ部分が剛性を有する構造となっている。前記折り曲げ部１１２ａの終端１１２ａ１から前記ロードビーム１１２の基端領域１１２ｃにかけては、前記折り曲げ部１１２ａを有しない板ばね機能部が形成され、この板ばね機能部での弾性力により前記スライダ３０が記録媒体上で弾性支持される。

また前記ロードビーム１１２の基端領域１１２ｃはマウント部であり、このマウント部がハードディスク装置側の駆動手段（図示しない）に取付けられる。

図２に示すように、前記駆動手段により、前記支持体１１０に支持されたスライダ３０は、記録媒体であるディスクＤが回転駆動部による作用によって回転し始めると、ディスクＤの移動方向に沿ってスライダ３０とディスクＤの表面の間に空気流が導かれ、スライダ３０の記録媒体との対向面（ＡＢＳ面）３０ｃが空気流による浮上力を受けて、記録媒体であるディスクＤ上を所定間隔δ１（スペーシング）だけ浮上しながら移動させられる。

図５は、前記フレキシャ１１１の先端近傍を記録媒体との対向面側から示す部分平面図、図６は図５に示すＶＩ−ＶＩ線で切断した切断断面を、上方に図示したスライダ３０とともに模式的に示した図である。図５に示すように、前記フレキシャ１１１の先端付近には、切欠部１１１ａが形成され、この切欠部１１１ａによって分離された２本の腕部１１１ｂ，１１１ｂが先端まで延び、前記２本の腕部１１１ｂ，１１１ｂは先端で連結部１１１ｇによって繋がっている。さらに前記連結部１１１ｇからは、基端部方向（図示Ｙ２方向）へ延びる連結アーム部１１１ｃが設けられており、この連結アーム部１１１ｃと一体になって、保持部１４が形成されている。

この保持部１４にはその両側端部に折り曲げ部１４ｄが形成され、この折り曲げ部１４ｄ部分が剛性を有する構造となっている。

また、前記保持部１４には切欠き部１４ａ，１４ｂが形成されている。この切欠き部１４ａによって分離された切欠き片で第１固定部１５が形成されており、また前記切欠き部１４ｂによって分離された切欠き片で第２固定部１６が形成されている。

図６に示すように、前記第１固定部１５は、図５に示す基端部１５ａを結ぶ切起こし線２０から、記録媒体との対向面３０ｃ側（図示Ｚ１方向側）に向かって、前記保持部１４の表面１４ｃから所定角度θ１を有して立ち上がるように構成されている。また、前記第２固定部１６も、図５に示す基端部１６ａを結ぶ切起こし線２１から、記録媒体との対向面側（図示Ｚ１方向側）に向かって、前記保持部１４の表面１４ｃから所定角度θ２を有して立ち上がるように構成されている。
この保持部１４に、前記スライダ３０が保持されるが、この説明については後述する。

図５および図６に示すように、前記フレキシャ１１１は、再生用導電パターン４１ａ，４１ａおよび記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂを有する配線部材４３が設けられたものである。図６に示すように、配線部材４３は、ステンレスなどからなる弾性を有する薄い板ばね４０の記録媒体との対向面３０ｃ側と反対側（図示Ｚ２方向側）にポリイミドなどの絶縁性材料からなる絶縁層４２を介して、Ｃｕ等の導電性材料からなる再生用導電パターン４１ａ，４１ａおよび記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂが形成されたものである。

前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａおよび記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂの下には、前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａおよび記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂを覆う保護層４４が形成されている。

図５および図６に示すように、前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａの先端部４１ａ１，４１ａ１、および前記記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂの先端部４１ｂ１，４１ｂ１は、前記第２固定部１６の先端から露出している。なお、この先端部４１ｂ１，４１ｂ１は、Ａｕなどの高導電性材料によって被覆されていても良い。

図１および図２に示すように、前記フレキシャ１１１は前記ロードビーム１１２の記録媒体との対向面３０ｃ側に位置し、図１に示すように、このロードビーム１１２の記録媒体との対向面３０ｃ側の面１１２ｂに、接合部５０で例えばスポット溶接などの手段により接合されて固定されている。

図２に示すように、前記ロードビーム１１２の前記面１１２ｂには、例えば半球状のピボット５１が突出形成されており、前記ピボット５１が前記保持部１４に接することで、前記保持部１４に保持された前記スライダ３０が、前記ピボット５１の頂点を中心として弾性自在に支持された状態になっている。

前記したように、前記フレキシャ１１１に形成された前記保持部１４に、前記スライダ３０が装着されて保持される。この保持部１４に前記スライダ３０を装着して保持する方法を説明する。

図６に示すように、前記保持部１４からは前記第１固定部１５および第２固定部１６が、記録媒体との対向面側に向かって立ち上がるように形成されている。前記スライダ３０は、前記保持部１４の表面１４ｃで、前記第１固定部１５および第２固定部１６の間に位置する領域Ｒ１に載置する。このとき、前記第１固定部１５と第２固定部１６との間隔のうち最も短い部分の間隔Ｌ１は、前記スライダ３０のリーディング側端面３０ａからトレーリング側端面３０ｂに形成された前記端子部Ｐ１（Ｐ２）の側面までの間隔Ｌ２よりも大きく形成されている。したがって、前記スライダ３０を記録媒体との対向面側（図示Ｚ１方向側）から、前記領域Ｒ１に載置させることが可能である。

次に、前記スライダ３０の前記リーディング側端面３０ａを前記第１固定部１５方向（図示Ｙ２方向）へ移動させて、前記リーディング側端面３０ａを前記第１固定部に当接させる。

次に、前記第２固定部１６を図示矢印で示すように、スライダ３０方向（図示α方向）に折り曲げて前記角度θ２を大きくして行き、前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａの先端部４１ａ１，４１ａ１、および前記記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂの先端部４１ｂ１，４１ｂ１を、前記スライダ３０の前記端子部Ｐ１，Ｐ２に当接させて、前記スライダ３０が前記領域Ｒ１内で、前記第１固定部１５と第２固定部１６とで挟持された状態とする。この状態を示したのが図７である。

図７に示すように前記スライダ３０が前記領域Ｒ１内で前記第１固定部１５および第２固定部１６に挟持された状態では、前記第１固定部１５には、前記スライダ３０のリーディング側端面３０ａ方向へ弾性によって生じる押圧力（弾性押圧力）が働いている。一方、第２固定部１６には、前記スライダ３０の前記トレーリング側端面３０ｂ方向へ弾性押圧力が働いている。これは、前記第１固定部１５および第２固定部１６を構成している前記板ばね４０が弾性を有するため、前記第１固定部１５および第２固定部１６も弾性を有して構成されるからである。特に、前記フレキシャ１１１では、前記スライダ３０方向（図示Ｚ１方向）側の面に前記板ばね４０が位置するように構成されているため、前記第１固定部１５および第２固定部１６に弾性を与え易くなっている。

このように、前記スライダ３０が前記第１固定部および第２固定部１６に挟持された状態では、前記第１固定部１５および第２固定部１６には、前記スライダ３０を押圧する方向に弾性力が働いているため、前記スライダ３０は前記保持部１４に確実に保持されることとなる。したがって、前記第２固定部１６の先端に形成された前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａの先端部４１ａ１，４１ａ１、および前記記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂの先端部４１ｂ１，４１ｂ１を、前記スライダ３０の前記端子部Ｐ１，Ｐ２に確実に当接できるため、前記先端部４１ａ１，４１ａ１、および４１ｂ１，４１ｂ１と前記端子部Ｐ１，Ｐ２との電気的接続を良好にすることができる。

また、前記スライダ３０を前記領域Ｒ１内に装着するだけで前記スライダ３０が前記保持部に確実に保持されるので、位置ずれが生じ難く、前記スライダ３０の前記フレキシャ１１１への保持が容易になる。

また、前記第２固定部１６には、前記スライダ３０を押圧する方向に弾性力が働いているため、前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａの先端部４１ａ１，４１ａ１、および前記記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂの先端部４１ｂ１，４１ｂ１を、前記端子部Ｐ１，Ｐ２に確実に当接できるため、前記先端部４１ａ１，４１ａ１、および４１ｂ１，４１ｂ１と前記端子部Ｐ１，Ｐ２との電気的接続を良好にすることができる。

なお、前記スライダ３０を前記保持部１４に挟持させる工程では、前記第２固定部１６のみをスライダ３０方向に折り曲げ、前記第１固定部１５はスライダ３０方向に折り曲げないことが好ましい。これは、前記第１固定部１５を前記スライダ３０の位置決め部として機能させるためである。すなわち、前記第１固定部１５を折り曲げてしまうと、前記スライダ３０の前記リーディング側端面３０ａの位置がその都度変化してしまうため、前記位置決め機能を担保することができなくなるからである。したがって、前記第１固定部１５はスライダ３０方向に折り曲げないこととすると、前記第１固定部は前記スライダ３０の位置決め部となる。前記第１固定部をスライダ３０の位置決め部とすると、前記スライダ３０を精度良くバラつき無く前記保持部１４に配置できる。

前記スライダ３０は、前記第１固定部１５および第２固定部１６の弾性押圧力によって前記保持部１４に保持されており、接着剤などの接合手段は用いられていない。このように構成すると、前記スライダ３０を、前記保持部１４に対し着脱自在とすることが可能となる。

前記スライダ３０を前記保持部１４に対し着脱自在に保持されていると、前記支持体１１０をスライダ３０の検査装置として使用することができる。これについて以下に説明する。

一般的に、スライダ３０は、まずウェハー工程、スライダ工程、およびヘッド・ジンバル・アッセンブリ（ＨＧＡ）工程を経て、製品化された磁気素子装置の一部となる。前記ウエハ工程では、基板に磁気素子３１が多数形成されたウエハを製造し、その後のスライダ工程では前記ウエハを切削し、磁気素子３１が多数連なって構成されたスライダバーを製造する。その後、このスライダバーを個々のスライダにダイシングすると、図４に示すスライダ３０が製造される。そして、前記スライダ３０を、フレキシャに固定し、このフレキシャをロードビームに固定するＨＧＡ工程によって、前記スライダ３０が搭載された磁気素子装置が製造される。

このように、スライダ３０は、磁気素子装置に組み込まれて製品化されるが、この間にスライダ３０に形成された磁気素子３１の電気特性検査を行うことが一般的である。この電気特性検査では、前記スライダ工程で行う静特性評価検査と、動特性評価検査とが行われる。この静特性評価検査とは、スライダ３０単体の状態で磁界をかけ、このときの磁気素子３１の電気特性を検査するものである。一方、動特性評価検査とは、前記スライダ３０を実際に記録媒体上を走査させ、このときの磁気素子３１の電気特性を検査するものである。

前記静特性評価検査はスライダ３０単体で検査を行うものであるため、前記スライダ工程でスライダ３０を形成した後、前記ＨＧＡ工程前に行われる。また前記動特性評価試験は、前記スライダ３０を実際に記録媒体上に走査させるため、スライダ３０がフレキシャおよびロードビームにアッセンブリされた状態のときに行われる必要があるため、前記ＨＧＡ工程の後に行われる。

静特性評価検査では、スライダ３０に磁界を与えて電気特性を検査するものであるため、ＭＲヘッド（再生ヘッド）の電気特性のみしか検査できず、記録用のインダクティブヘッドの電気特性の検査はできない。一方、前記動特性評価検査では、実際に記録媒体上にスライダ３０を走査させて行うため、ＭＲヘッド（再生ヘッド）の電気特性に加え、記録用のインダクティブヘッドの電気特性の検査をも行うことができる。

ここで、前記スライダ３０が、ＭＲヘッド（再生ヘッド）と記録用のインダクティブヘッドの双方を有する場合や、記録用のインダクティブヘッドのみを有する場合には、記録用のインダクティブヘッドの電気特性の評価検査は必要であるため、必ずＨＧＡ工程後に行わざるを得ない動特性評価検査が必要となる。しかし、この動特性評価検査結果によって規格外の不良品が見つかった場合には、これを淘汰しなければならない。しかし、この淘汰されたスライダ３０は、フレキシャやロードビームなどにアッセンブリされているため、スライダ３０とともに、フレキシャやロードビームも淘汰しなければならず、コスト的に非常に損失が大きい。また、ＨＧＡ工程に費やした時間も無駄になってしまうため、効率的な製造ができない。

したがって、前記動特性評価検査を前記ＨＧＡ工程の前に、スライダ３０単体のみで行えれば、コスト的損失を低減できるとともに、効率的な製造を行えることとなる。

ここで、本発明の前記支持体１１０では、前記フレキシャ１１１の前記保持部１４に、前記スライダ３０が着脱自在に保持されている。したがって、前記スライダ工程の後、前記ＨＧＡ工程の前に、前記スライダ３０を前記支持体１１０のフレキシャ１１１に装着して保持し、記録媒体上を走査して前記スライダ３０の動特性評価検査を行った後、前記スライダ３０を前記フレキシャ１１１から取り外せば、前記スライダ３０単体のみで動特性評価検査を行うことができるため、コスト的損失を低減できるとともに、効率的な製造を行えることとなる。特に、ＨＧＡ工程の前に記録用のインダクティブヘッドの動特性評価検査を行うことが可能となるので、前記スライダ３０に記録用のインダクティブヘッドが形成されている場合に適している。

ただし、本発明の前記支持体１１０では、前記スライダ３０を前記フレキシャ１１１の前記保持部１４に装着する際に、前記スライダ３０と前記保持部１４とを接着剤などの接合手段によって接合しても良い。また、前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａの先端部４１ａ１，４１ａ１、および前記記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂの先端部４１ｂ１，４１ｂ１を、前記スライダ３０の前記端子部Ｐ１，Ｐ２に当接させた後、加熱下超音波ボンディングや接着剤などの接合手段によって接合しても良い。このように構成すると、前記スライダ３０とフレキシャ１１１とを確実に保持でき、または前記再生用導電パターン４１ａ，４１ａの先端部４１ａ１，４１ａ１、および前記記録用導電パターン４１ｂ，４１ｂの先端部４１ｂ１，４１ｂ１と、前記スライダ３０の前記端子部Ｐ１，Ｐ２との電気的接続をより確実なものとできるため、前記支持体１１０と前記スライダ３０とでハードウエアに搭載可能な磁気素子装置として製品化することもできる。

前記スライダ３０と前記保持部１４とを接着剤などの接合手段によって接合した場合や、前記先端部４１ａ１，４１ａ１、および４１ｂ１，４１ｂ１を、前記端子部Ｐ１，Ｐ２に当接させた後、加熱下超音波ボンディングや接着剤などの接合手段によって接合した場合には、本発明の支持体１１０では、前記スライダ３０は、前記第１固定部１５によって位置決めされた状態を維持したまま、前記第１固定部１５と前記第２固定部１６とで挟持されて前記領域Ｒ１に固定される。したがって、例えば先端部４１ａ１，４１ａ１、および４１ｂ１，４１ｂ１と前記端子部Ｐ１，Ｐ２とを、加熱下超音波ボンディングや接着剤による接合を行ったような場合でも、先端部４１ａ１，４１ａ１、および４１ｂ１，４１ｂ１と前記端子部Ｐ１，Ｐ２との接続が完全になされるまで、前記スライダ３０の位置ずれが生じないように保持する工程や保持時間が不用になり、効率良く製造を行うことができる。さらには前記スライダ３０と前記保持部１４とを接着剤などによって接合した場合でも、接着固定が完全になされるまで前記スライダ３０の位置ずれが生じないように保持する工程や保持時間が不要になり、効率良く製造を行うことができる。

このように、本発明の前記支持体１１０は、スライダ３０の動特性評価検査の検査装置として使用できる他、ハードウエアに搭載される磁気素子装置としても使用できるため、非常に汎用性が高い。

図８は、本発明の前記支持体１１０に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図である。

図８に示すスライダ３３０は図４に示す前記スライダ３０と同じ材料によって構成され、また同じ図４に示す前記スライダ３０と同じ構成部分を有して構成されている。したがって、以下には図４に示す前記スライダ３０と異なる部分を中心に説明する。

図８に示す前記スライダ２３０が図４に示す前記スライダ３０と異なる部分は、図８に示すように、リーディング側端面２３０ａに、前記スライダ２３０を前記フレキシャ１１１に係止するための係止手段である凹部２３０ｅが形成されている点である。図８に示す実施形態では、前記凹部２３０ｅは、前記リーディング側端面２３０ａに２個形成されている。

図８に示すように、前記凹部２３０ｅは前記リーディング側端面２３０ａにおいて、前記スライダ２３０の一方の側面２３１と他方の側面２３２の内側に位置して形成されている。

図９は、前記スライダ２３０が、前記フレキシャ１１１の前記領域Ｒ１内で、前記フレキシャ１１１に形成された前記第１固定部１５および第２固定部１６に挟持されて、前記保持部１４に保持された状態を示した断面図であり、図４に示す前記スライダ３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態を示す図７に相当する断面図である。なお、図９における前記フレキシャ１１１は図７に示すものと同じであるため、図９においても同じ符号を付して説明は省略する。

図９に示すように、前記凹部２３０ｅの内面２３０ｅ１は、前記スライダ２３０の前記トレーリング側端面２３０ｂ方向に円弧状に凹む形状に形成されている。

図９に示すように、前記スライダ２３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが前記凹部２３０ｅ内に位置している。そして、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記凹部２３０ｅの内面２３０ｅ１に当接した状態で前記凹部２３０ｅと係止している。また、前記第１固定部１５の上面１５ｃが、前記凹部２３０ｅの上縁２３０ｅ２と当接している。

したがって、前記スライダ２３０が、前記第１固定部１５の前記先端１５ｂと前記上面１５ｃとの双方によって位置決めされた状態で前記保持部１４に確実に固定されている。

そのため、前記スライダ２３０の構造とすることによって、前記スライダ２３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定されることとなる。

なお、前記スライダ２３０が前記フレキシャ１１１に保持された状態では、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹部２３０ｅの前記内面２３０ｅ１に当接して前記凹部２３０ｅと係止している状態か、若しくは前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹部２３０ｅの前記上縁２３０ｅ２に当接している状態のどちらか一方の状態であっても、前記スライダ２３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定することができるが、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹部２３０ｅの前記内面２３０ｅ１に当接している状態と、前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹部２３０ｅの前記上縁２３０ｅ２に当接している状態との双方の状態とすることによって、より確実に前記スライダ２３０が位置決めされて確実に固定されるため好ましい。

図１０は、本発明の前記支持体１１０に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図である。

図１０に示すスライダ３３０も図８に示すスライダ２３０と同様に、図４に示す前記スライダ３０と同じ材料によって構成され、また同じ図４に示す前記スライダ３０と同じ構成部分を有して構成されている。したがって、以下には図４に示す前記スライダ３０と異なる部分を中心に説明する。

図１０に示す前記スライダ３３０が図４に示す前記スライダ３０と異なる部分は、図１０に示すように、リーディング側端面３３０ａに、前記スライダ３３０を前記フレキシャ１１１に係止するための係止手段である凹部３３０ｅが形成されている点である。図１１に示す実施形態では、前記凹部３３０ｅは、前記リーディング側端面３３０ａに２個形成されている。

図１０に示すように、前記凹部３３０ｅは前記リーディング側端面３３０ａにおいて、前記スライダ３３０の一方の側面３３１と他方の側面３３２の内側に位置して形成されている。

図１１は、前記スライダ３３０が、前記フレキシャ１１１の前記領域Ｒ１内で、前記フレキシャ１１１に形成された前記第１固定部１５および第２固定部１６に挟持されて、前記保持部１４に保持された状態を示した断面図であり、図４に示す前記スライダ３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態を示す図７に相当する断面図である。なお、図１１における前記フレキシャ１１１は図７に示すものと同じであるため、図１１においても同じ符号を付して説明は省略する。

図１１に示すように、前記凹部３３０ｅの内面３３０ｅ１は、前記スライダ２３０の前記トレーリング側端面２３０ｂ方向に矩形に凹む形状に形成されている。

図１１に示すように、前記スライダ３３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが前記凹部３３０ｅ内に位置している。そして、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記凹部３３０ｅの内面３３０ｅ１に当接して、前記第１固定部１５が前記凹部３３０ｅと係止している。

なお、図１１に示す実施形態では、前記第１固定部１５の先端面１５ｅも前記凹部３３０ｅの前記内面３３０ｅ１に当接した状態で、前記第１固定部１５と前記凹部３３０ｅとが係止している。また、前記第１固定部１５の上面１５ｃが、前記凹部３３０ｅの上縁３３０ｅ２と当接している。

したがって、前記スライダ３３０が、前記第１固定部１５の前記先端１５ｂと前記上面１５ｃとの双方によって位置決めされた状態で前記保持部１４に確実に固定されている。

なお、前記スライダ２３０が前記フレキシャ１１１に保持された状態では、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹部３３０ｅの前記内面３３０ｅ１に当接して前記凹部３３０ｅと係止している状態か、若しくは前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹部３３０ｅの前記上縁３３０ｅ２に当接している状態のどちらか一方の状態であっても、前記スライダ３３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定することができるが、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹部３３０ｅの前記内面３３０ｅ１に当接している状態と、前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹部３３０ｅの前記上縁２３０ｅ２に当接している状態との双方の状態とすることによって、より確実に前記スライダ３３０が位置決めされて確実に固定されるため好ましい。

図８に示す前記スライダ２３０、あるいは図１０に示す前記スライダ３３０では、前記リーディング側端面２３０ａ、あるいは３３０ａに、前記凹部２３０ｅ、３３０ｅが形成されていた。

しかし、前記凹部２３０ｅ、３３０ｅに換えて、図１２あるいは図１４に示すように凹溝４３０ｅ、あるいは５３０ｅが形成されたスライダ４３０、５３０として構成しても良い。図１２に示す前記スライダ４３０、および図１４に示す前記スライダ５３０では、前記凹溝４３０ｅ、５３０ｅが、前記スライダ４３０、５３０を前記フレキシャ１１１に係止するための係止手段となる。

図１２に示すスライダ４３０は、リーディング側端面４３０ａに凹溝４３０ｅが形成されている。前記凹溝４３０ｅは、前記スライダ４３０の一方の側面４３１から他方の側面４３２まで連続して形成されている。

図８や図１０に示すスライダ２３０、３３０に形成された前記凹部２３０ｅ、３３０ｅと前記凹溝４３０ｅとの違いは、前記凹溝４３０ｅが前記一方の側面４３１から他方の側面４３２まで連続して形成されているのに対し、前記凹部２３０ｅ、３３０ｅはスライダ２３０、３３０の側面２３１から側面２３２まで、あるいは側面３３１から側面３３２まで連続して形成された構造ではなく、図８、あるいは図１０に示すように、前記リーディング側端面２３０ａ、３３０ａにおいて、前記スライダ２３０、３３０の一方の側面２３１、３３１と他方の側面２３２、３３２の内側に位置して形成されている点である。

前記スライダ４３０が、前記フレキシャ１１１の前記領域Ｒ１内で、前記フレキシャ１１１に形成された前記第１固定部１５および第２固定部１６に挟持されて、前記保持部１４に保持された状態を示した断面図を図１３に示す。なお、図１３における前記フレキシャ１１１は図７に示すものと同じであるため、図１３においても同じ符号を付して説明は省略する。

図１３に示すように、前記凹溝４３０ｅの内面４３０ｅ１は、前記スライダ４３０の前記トレーリング側端面４３０ｂ方向に円弧状に凹む形状に形成されている。

図１３に示すように、前記スライダ４３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが前記凹溝４３０ｅ内に位置している。そして、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記凹溝４３０ｅの前記内面４３０ｅ１に当接した状態で前記凹溝４３０ｅと係止している。また、前記第１固定部１５の上面１５ｃが、前記凹溝４３０ｅの上縁４３０ｅ２と当接している。

したがって、前記スライダ４３０が、前記第１固定部１５の前記先端１５ｂと前記上面１５ｃとの双方によって位置決めされた状態で前記保持部１４に固定されている。

そのため、前記スライダ４３０の構造とすることによって、前記スライダ４３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定されることとなる。

なお、前記スライダ４３０が前記フレキシャ１１１に保持された状態では、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹溝４３０ｅの前記内面４３０ｅ１に当接して前記凹溝４３０ｅと係止している状態か、若しくは前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹溝４３０ｅの前記上縁４３０ｅ２に当接している状態のどちらか一方の状態であっても、前記スライダ４３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定することができるが、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹溝４３０ｅの前記内面４３０ｅ１に当接している状態と、前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹溝４３０ｅの前記上縁４３０ｅ２に当接している状態との双方の状態とすることによって、より確実に前記スライダ４３０が位置決めされて確実に固定されるため好ましい。

図１４に示すスライダ５３０は、リーディング側端面５３０ａに凹溝５３０ｅが形成されている。前記凹溝５３０ｅは、前記スライダ５３０の一方の側面５３１から他方の側面５３２まで連続して形成されている。

図８や図１０に示すスライダ２３０、３３０に形成された前記凹部２３０ｅ、３３０ｅと前記凹溝５３０ｅとの違いは、前記凹溝５３０ｅが前記一方の側面５３１から他方の側面５３２まで連続して形成されているのに対し、前記凹部２３０ｅ、３３０ｅはスライダ２３０、３３０の側面２３１から側面２３２まで、あるいは側面３３１から側面３３２まで連続して形成された構造ではなく、図８、あるいは図１０に示すように、前記リーディング側端面２３０ａ、３３０ａにおいて、前記スライダ２３０、３３０の一方の側面２３１、３３１と他方の側面２３２、３３２の内側に位置して形成されている点である。

前記スライダ５３０が、前記フレキシャ１１１の前記領域Ｒ１内で、前記フレキシャ１１１に形成された前記第１固定部１５および第２固定部１６に挟持されて、前記保持部１４に保持された状態を示した断面図を図１５に示す。なお、図１５における前記フレキシャ１１１は図７に示すものと同じであるため、図１５においても同じ符号を付して説明は省略する。

図１５に示すように、前記凹溝５３０ｅの内面５３０ｅ１は、前記スライダ５３０の前記トレーリング側端面５３０ｂ方向に矩形に凹む形状に形成されている。

図１５に示すように、前記スライダ５３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが前記凹溝５３０ｅ内に位置している。そして、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記凹溝５３０ｅの内面５３０ｅ１に当接して、前記第１固定部１５が前記凹溝５３０ｅと係止している。

なお、図１１に示す実施形態では、前記第１固定部１５の先端面１５ｅも前記凹溝５３０ｅの前記内面５３０ｅ１に当接した状態で、前記第１固定部１５と前記凹溝５３０ｅとが係止している。また、前記第１固定部１５の上面１５ｃが、前記凹溝５３０ｅの上縁５３０ｅ２と当接している。

したがって、前記スライダ５３０が、前記第１固定部１５の前記先端１５ｂと前記上面１５ｃとの双方によって位置決めされた状態で前記保持部１４に固定されている。

そのため、前記スライダ５３０の構造とすることによって、前記スライダ５３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定されることとなる。

なお、前記スライダ５３０が前記フレキシャ１１１に保持された状態では、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹溝５３０ｅの前記内面５３０ｅ１に当接して前記凹溝５３０ｅと係止している状態か、若しくは前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹溝５３０ｅの前記上縁５３０ｅ２に当接している状態のどちらか一方の状態であっても、前記スライダ５３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定することができるが、前記第１固定部の先端１５ｂが前記凹溝５３０ｅの前記内面５３０ｅ１に当接している状態と、前記第１固定部１５の前記上面１５ｃが前記凹溝５３０ｅの前記上縁５３０ｅ２に当接している状態との双方の状態とすることによって、より確実に前記スライダ５３０が位置決めされて固定されるため好ましい。

前記凹部２３０ｅ、あるいは３３０ｅに換えて、前記凹溝４３０ｅ、あるいは５３０ｅとすることによって、前記スライダ４３０、５３０と前記フレキシャ１１１との係止手段を容易に形成することができる。

図１６は、本発明の前記支持体１１０に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図である。

図１６に示すスライダ６３０は図４に示す前記スライダ３０と同じ材料によって構成され、また同じ図４に示す前記スライダ３０と同じ構成部分を有して構成されている。したがって、以下には図４に示す前記スライダ３０と異なる部分を中心に説明する。

図１６に示す前記スライダ６３０が図４に示す前記スライダ３０と異なる部分は、図１６に示すように、リーディング側端面６３０ａに、前記スライダ６３０を前記フレキシャ１１１に係止するための係止手段である突部６３０ｅが形成されている点である。図８に示す実施形態では、前記突部６３０ｅは、前記リーディング側端面６３０ａに２個形成されている。

図１６に示すように、前記突部６３０ｅは前記リーディング側端面６３０ａにおいて、前記スライダ６３０の一方の側面６３１と他方の側面６３２の内側に位置して形成されている。

図１７は、前記スライダ６３０が、前記フレキシャ１１１の前記領域Ｒ１内で、前記フレキシャ１１１に形成された前記第１固定部１５および第２固定部１６に挟持されて、前記保持部１４に保持された状態を示した断面図であり、図４に示す前記スライダ３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態を示す図７に相当する断面図である。なお、図１７における前記フレキシャ１１１は図７に示すものと同じであるため、図１７においても同じ符号を付して説明は省略する。

図１６および１７に示すように、前記突部６３０ｅは、前記リーディング側端面６３０ａから外方、すなわち前記トレーリング側端面方向と反対方向（図示Ｙ２方向）に突出するように形成されている。図１６および図１７に示す実施形態では、前記突部６３０ｅは直方体形状で構成されているが、前記突部６３０ｅが他の形状で構成されていても良い。

図１７に示すように、前記スライダ６３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが前記リーディング側端面６３０ａに当接している。図１７に示す実施形態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記リーディング側端面６３０ａの下縁６３０ａ１に当接している。ただし、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記リーディング側端面６３０ａの前記下縁６３０ａ１よりも上方側（図示Ｚ２方向）に位置して前記リーディング側端面６３０ａに当接していても良い。

また、前記第１固定部１５の上面１５ｃは、前記突部６３０ｅの下縁６３０ｆに当接している。

前記スライダ６３０では、第１固定部１５の前記先端１５ｂが前記リーディング側端面６３０ａに当接するとともに、前記第１固定部１５の上面１５ｃが、前記突部６３０ｅの前記下縁６３０ｆに当接した状態であるので、前記スライダ６３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定されることとなる。

図１８は、本発明の前記支持体１１０に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図である。

図１８に示すスライダ７３０は図４に示す前記スライダ３０と同じ材料によって構成され、また同じ図４に示す前記スライダ３０と同じ構成部分を有して構成されている。したがって、以下には図４に示す前記スライダ３０と異なる部分を中心に説明する。

図１８に示す前記スライダ７３０が図４に示す前記スライダ３０と異なる部分は、図１８に示すように、リーディング側端面７３０ａに、前記スライダ７３０を前記フレキシャ１１１に係止するための係止手段である突条７３０ｅが形成されている点である。図１８に示す実施形態では、前記突条７３０ｅは、前記リーディング側端面７３０ａに形成されている。

前記突条７３０ｅは、前記スライダ７３０の一方の側面７３１から他方の側面７３２まで連続して形成されている。

図１６に示すスライダ６３０に形成された前記突部６３０ｅと前記突条７３０ｅとの違いは、前記突条７３０ｅが前記一方の側面７３１から他方の側面７３２まで連続して形成されているのに対し、図１６に示すスライダ６３０に形成された前記突部６３０ｅはスライダ６３０の側面６３１から側面６３２まで連続して形成された構造ではなく、図１６に示すように、前記リーディング側端面６３０ａにおいて、前記スライダ６３０の一方の側面６３１と他方の側面６３２の内側に位置して形成されている点である。

図１９は、前記スライダ７３０が、前記フレキシャ１１１の前記領域Ｒ１内で、前記フレキシャ１１１に形成された前記第１固定部１５および第２固定部１６に挟持されて、前記保持部１４に保持された状態を示した断面図であり、図４に示す前記スライダ３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態を示す図７に相当する断面図である。なお、図１９における前記フレキシャ１１１は図７に示すものと同じであるため、図１９においても同じ符号を付して説明は省略する。

図１８および１９に示すように、前記突条７３０ｅは、前記リーディング側端面７３０ａから外方、すなわち前記トレーリング側端面方向と反対方向（図示Ｙ２方向）に突出するように形成されている。図１８および図１９に示す実施形態では、前記突条７３０ｅは直方体形状で構成されているが、前記突条７３０ｅが他の形状で構成されていても良い。

図１９に示すように、前記スライダ７３０が前記フレキシャ１１１に固定された状態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが前記リーディング側端面７３０ａに当接している。図１９に示す実施形態では、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記リーディング側端面７３０ａの下縁７３０ａ１に当接している。ただし、前記第１固定部１５の先端１５ｂが、前記リーディング側端面７３０ａの前記下縁７３０ａ１よりも上方側（図示Ｚ２方向）に位置して前記リーディング側端面７３０ａに当接していても良い。

また、前記第１固定部１５の上面１５ｃは、前記突条７３０ｅの下縁７３０ｆに当接している。

前記スライダ７３０では、第１固定部１５の前記先端１５ｂが前記リーディング側端面６３０ａに当接するとともに、前記第１固定部１５の上面１５ｃが、前記突条７３０ｅの前記下縁７３０ｆに当接した状態であるので、前記スライダ７３０が確実に位置決めされて前記フレキシャ１１１に確実に固定されることとなる。

前記凹部２３０ｅ、３３０ｅ、前記凹溝４３０ｅ、５３０ｅ、前記突部６３０ｅ、前記突条７３０ｅは、前記スライダ２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０の前記リーディング側端面２３０ａ、３３０ａ、４３０ａ、５３０ａ、６３０ａ、７３０ａに、砥石などを用いた研磨などの機械加工やレーザ加工を施すことによって形成することができる。

なお、前記スライダ２３０、３３、４３０、５３０、６３０、および７３０においても、前記スライダ３０と同様に、前記支持体１１０を用いた検査装置による検査対象になるとともに、前記スライダ２３０、３３、４３０、５３０、６３０、および７３０を前記支持体１１０に固定した状態で、ハードウエアに搭載される磁気素子装置を構成することもできるのは当然である。

また、前記スライダ３０、２３０、４３０、５３０、６３０と前記フレキシャ１１１との係止手段として機能する前記凹部２３０ｅ、３３０ｅ、あるいは前記凹溝４３０ｅ、５３０ｅ、前記突部６３０ｅ、あるいは前記突条７３０ｅの形態は、図８ないし図１９に示すものに限定されるものではなく、前記第１固定部１５が前記凹部２３０ｅ、３３０ｅ、あるいは前記凹溝４３０ｅ、５３０ｅ、あるいは前記突部６３０ｅ、あるいは前記突条７３０ｅと係止可能であれば、他の形態で実施されるものであっても良い。

また、本発明では、前記第１固定部１５や前記第２固定部の数が限定されるものではない。

また、図８に示す前記凹部２３０ｅ、図１０に示す３３０ｅ、あるいは図１６に示す前記突部６３０ｅの数はそれぞれ２個であるが、本発明では前記凹部２３０ｅ、３３０ｅ、前記突部６３０ｅの数が限定されるものではなく、１個あるいは３個以上形成されていても良いが、前記第１固定部１５の数に対応した数だけ形成され、それぞれの凹部２３０ｅ、３３０ｅ、あるいは突部６３０ｅが第１固定部１５と係止することが好ましい。

なお、前記保持部１４に第１固定部１５と第２固定部１６の２つの固定部が形成されたものを例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、固定部が３つ以上形成されていても良い。この場合、前記スライダ３０は各固定部間に装着され、各固定部によって挟持される。

本発明の支持体、およびこの支持体に保持されたスライダを記録媒体との対向面側から示す部分斜視図、図１に示す支持体およびスライダを記録媒体との対向面を図示下側にした状態で記録媒体とともに示す部分側面図、図１に示す支持体およびスライダを記録媒体との対向面側から示す分解斜視図、図１に示す支持体に保持されるスライダの斜視図、図１に示す支持体の第２支持部の先端近傍を記録媒体との対向面側から示す部分平面図、図５に示すＶＩ−ＶＩ線で切断した切断断面を、図４に示すスライダとともに模式的に示した部分切断断面図、図４に示すスライダが図１に示す支持体に保持された状態を示す部分断面図、図１に示す支持体に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図、図８に示すスライダが図１に示す支持体に保持された状態を示す部分断面図、図１に示す支持体に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図、図１０に示すスライダが図１に示す支持体に保持された状態を示す部分断面図、図１に示す支持体に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図、図１２に示すスライダが図１に示す支持体に保持された状態を示す部分断面図、図１に示す支持体に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図、図１４に示すスライダが図１に示す支持体に保持された状態を示す部分断面図、図１に示す支持体に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図、図１５に示すスライダが図１に示す支持体に保持された状態を示す部分断面図、図１に示す支持体に支持されるスライダの他の実施形態を、リーディング側から示す斜視図、図１８に示すスライダが図１に示す支持体に保持された状態を示す部分断面図、

符号の説明

１４保持部
１４ａ切欠き部
１４ｂ切欠き部
１５第１固定部
１５ｂ先端
１５ｃ上面
１５ｅ先端面
１６第２固定部
３０，２３０，３３０，４３０，５３０，６３０，７３０スライダ
３０ａ，２３０ａ，３３０ａ，４３０ａ，５３０ａ，６３０ａ，７３０ａリーディング側端面、
３１磁気素子
４０板ばね
４１ａ再生用導電パターン
４１ｂ記録用導電パターン
１１０支持体
１１１フレキシャ
１１２ロードビーム
２３０ｅ，３３０ｅ凹部
２３０ｅ１，３３０ｅ１内面
２３０ｅ２，３３０ｅ２上縁
４３０ｅ，５３０ｅ凹溝
４３０ｅ１，５３０ｅ１内面
４３０ｅ２，５３０ｅ２上縁
６３０ｅ突部
６３０ｅ１下縁
６３０ｆ下縁
７３０ｅ突条
７３０ｆ下縁

Claims

第１支持部と、前記第１支持部に固定された第２支持部とを有し、スライダを記録媒体に対し浮上した状態で支持するためのスライダ支持体において、前記第２支持部には導電パターンが形成され、前記導電パターンは絶縁層を介して弾性を有する板ばね材に形成され、前記第２支持部には記録及び／または再生用の磁気素子を有する前記スライダが保持される保持部を有しており、
前記保持部には複数の固定部が形成され、
前記固定部のうち、前記スライダのスライダ端子部と対向する側に形成された前記固定部の先端部には、前記導電パターンの先端部が露出しており、前記保持部の表面から所定の角度にて傾き前記スライダ端子部と対向する前記固定部が前記スライダの位置決め部となり、
前記スライダが前記複数の固定部間で挟持されたときに、前記固定部の弾性によって生じる押圧力で前記保持部に保持されるとともに、前記所定の角度にて傾いた状態で前記固定部の先端から露出する前記導電パターンの先端部が前記スライダ端子部と接触して前記スライダが前記導電パターンと電気的に接続されることを特徴とするスライダ支持体。
前記固定部は、前記保持部に形成された切欠き片で形成された請求項１記載のスライダ支持体。
前記スライダが、前記保持部に着脱可能に保持されている請求項１又は２に記載のスライダ支持体。
前記スライダが、前記保持部に保持された状態で前記保持部に接合されている請求項１又は２に記載のスライダ支持体。
前記スライダのリーディング側端面には、前記固定部と係止可能な係止手段が形成されており、前記係止手段と前記固定部とが係止した状態で、前記スライダが前記保持部に保持されている請求項１ないし４のいずれかに記載のスライダ支持体。
前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面へ向かって凹み、前記スライダの両側面間に位置する凹部である請求項５記載のスライダ支持体。
前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面へ向かって凹み、前記スライダの一方の側面から他方の側面まで連続して形成された凹溝である請求項５記載のスライダ支持体。
前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面と反対方向へ向かって突出し、前記スライダの両側面間に位置する突部である請求項５記載のスライダ支持体。
前記係止手段は、前記スライダのトレーリング側端面と反対方向へ向かって突出し、前記スライダの一方の側面から他方の側面まで連続して形成された突条である請求項５記載のスライダ支持体。
前記導電パターンは、前記板ばね材の記録媒体との対向面側と反対面側に設けられる請求項１ないし９のいずれかに記載のスライダ支持体。
前記スライダ端子部と対向する以外の前記固定部の先端部には、前記絶縁層が露出しており、前記スライダ端子部と対向する固定部以外の前記固定部は、前記絶縁層が前記スライダに当接する請求項１ないし１０のいずれかに記載のスライダ支持体。
スライダを記録媒体に対し浮上した状態で支持するためのスライダ支持体が、第１支持部と、前記第１支持部に固定された第２支持部とを有して構成され、前記第２支持部には導電パターンが形成され、前記導電パターンは絶縁層を介して弾性を有する板ばね材に形成され、前記第２支持部には記録及び／または再生用の磁気素子を有するスライダが保持される保持部を有しており、
前記保持部には複数の固定部が形成され、
前記固定部のうち、前記スライダのスライダ端子部と対向する側に形成された前記固定部の先端部には、前記導電パターンの先端部が露出しており、前記保持部の表面から所定の角度にて傾き前記スライダ端子部と対向する前記固定部が前記スライダの位置決め部となり、
前記スライダを前記複数の固定部間で挟持し、このとき、前記固定部の弾性によって生じる押圧力で前記保持部に保持するとともに、前記所定の角度にて傾いた状態を維持して前記固定部の先端から露出する前記導電パターンの先端部を前記スライダ端子部と接触させて前記スライダを前記導電パターンと電気的に接続させ、
前記スライダ支持体を用いて前記スライダを記録媒体上に走査し、前記スライダの動特性評価検査を行うことを特徴とする検査方法。
記録用の磁気素子を有するスライダを前記保持部に保持する請求項１２記載の検査方法。
第１支持部と、前記第１支持部に固定された第２支持部とを有するスライダ支持体にスライダを支持するためのスライダの支持方法において、
前記第２支持部には導電パターンが形成され、前記導電パターンは絶縁層を介して弾性を有する板ばね材に形成され、前記第２支持部には記録及び／または再生用の磁気素子を有する前記スライダが保持される保持部を有しており、
前記保持部には複数の固定部が形成され、
前記固定部のうち、前記スライダのスライダ端子部と対向する側の前記固定部は、前記保持部の表面から所定の角度にて傾いて形成されるとともに前記固定部の先端部には、前記導電パターンの先端部が露出しており、
前記スライダを前記保持部上に設置する工程と、
前記スライダを前記固定部の弾性によって生じる押圧力で、前記固定部間で挟持して前記保持部に保持し、このとき、前記所定の角度にて傾いた状態を維持して前記固定部の先端から露出する前記導電パターンの先端部を前記スライダ端子部と接触させて前記スライダを前記導電パターンと電気的に接続させるとともに前記スライダの位置決めを、前記スライダ端子部と対向する前記固定部にて行う工程と、
を有することを特徴とするスライダの支持方法。