CN1317710C - 支承体以及使用了该支承体的磁性元件的检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够使支承体的导电图形与滑动体的电连接良好、能够容易且高效率地进行滑动体的保持工序，并且通用性好的支承体以及使用了该支承体的检查方法。其中，形成有导电图形(41a、41b)的支承体(110)的第2支承部(111)上具有保持具备记录和/或再生用的磁性元件(31)的滑动体(30)的保持部(14)。上述保持部(14)上形成有多个固定部(15、16)，当上述滑动体(30)被夹持在上述多个固定部(15、16)之间时，上述滑动体(30)与上述导电图形(41a、41b)电连接。

Description

支承体以及使用了该支承体的磁性元件的检查方法

技术领域

本发明涉及用来支承形成有磁性元件的滑动体的支承体，特别涉及能够使上述支承体上形成的电路与上述滑动体的电连接良好、能够容易且高效率地进行保持滑动体的工序，而且通用性好的支承体。

而且，本发明还涉及使用了上述支承体的磁性元件的检查方法。特别涉及在将滑动体装配到挠性板(フレキシヤ)或载重梁上的状态(HGA)之前能够检查滑动体的动态电气特性的磁性元件的检查方法。

背景技术

下述专利文献1(日本特开平9-213036号公报)的图1或图9公开了起支承形成有磁性元件的滑动体4用的支承体的作用的悬架装置3。该悬架装置3为配线一体型，包括万向支架3b、3b′。在悬架装置3的上述万向支架3b、3b′上形成有滑动体安装部3a，通过将上述滑动体4的上表面粘接固定在该滑动体安装部3a的上表面，将上述滑动体4支承在上述悬架装置3上。并且，用上述悬架装置3和上述滑动体4构成万向架装配头(HGA)。

该专利文献1中公开的悬架装置3虽然具有形成在上述滑动体安装部3a的上表面的悬架上的电极13以及与该电极13电连接的引线1，但该引线1的结构为从上述滑动体安装部3a的上表面向上(向滑动体4的方向)竖起的状态。并且，该引线1和滑动体4的尾侧端面上形成的滑动体上的电极12在加热下通过超声波焊接而电连接，由此构成上述HGA组件。而上述滑动体4的前面一侧的端面不与任何部件接触，构成开放的端面。

并且，下述专利文献2(日本特开平6-203507号公报)公开了一种用具有磁心芯片2的磁头滑动体1和起支承该磁头滑动体1的支承体作用的支承弹簧4构成的万向架装配头组装体(HGA)。

构成该HGA的上述磁头滑动体1的侧面形成有支承弹簧固定用沟槽3。

并且，在构成上述HGA的上述支承弹簧4的顶端形成有具有开放端的卡合凹部4a，在该卡合凹部4a的两侧形成有左右一对构成的嵌入用凸片4b。

上述专利文献2所公开的HGA从上述开放端将上述磁头滑动体1插入上述支承弹簧4上形成的上述卡合凹部4a内进行卡合。此时，上述支承弹簧4上形成的一对上述嵌入用凸片4b从两侧嵌入上述磁头滑动体1上形成的上述支承弹簧固定用沟槽3内，在此状态下上述磁头滑动体1与上述支承弹簧4上形成的上述卡合凹部4a相卡合。并且，上述磁头滑动体1通过上述支承弹簧固定用沟槽3内形成的环氧树脂等的结合机构被固定在上述支承弹簧4上。

但是，上述专利文献1所公开的悬架装置3由于仅靠粘接上述滑动体4的上表面来保持滑动体4，因此当滑动体4上被施加外力时，悬架装置3上形成的引线1和滑动体4上的电极12的电连接容易切断。特别是当滑动体4向前侧方向移动时，上述电连接容易切断。

并且，在连接上述引线1和上述滑动体上的电极12时，首先将上述滑动体4安放到滑动体安装部3a上并使上述引线1与上述电极12之间隔开预定的间隔，然后移动上述滑动体4到使上述引线1与上述电极12相抵接的位置，连接上述引线1和上述电极12。此时，上述专利文献1所公开的悬架装置3必须将上述滑动体4保持在上述引线1和上述电极12相抵接的位置直到上述引线1与上述电极12完全连接，并且直到上述滑动体4与上述滑动体安装部3a完全粘接固定。因此，不仅上述引线1与上述电极12的连接作业繁杂，而且也需要很长的作业时间，所以进行高效率的制造受到限制。

并且，上述专利文献1所公开的悬架装置3由于上述滑动体4被粘接固定在上述滑动体安装部3a上，而且上述电极12通过在加热下超声波焊接连接在上述引线1上，因此不能容易地使上述滑动体4在上述悬架装置3上装卸。

而专利文献2所公开的HGA由于上述磁头滑动体1在从开放端一侧插入上述嵌合凹槽4a的状态下与上述支承弹簧4相卡合，因此上述磁头滑动体1容易在上述开放端侧错位。特别是上述专利文献2的图4在上述磁头滑动体1上设置的磁心芯片2中设置有导电体，虽然该导电体从上述磁心芯片2向与上述开放端侧相反的一侧延伸地设置，但如果上述磁头滑动体1与上述开放端错位，则存在从上述磁心芯片2延伸出的导电体被切断或上述磁心芯片2与上述导电体的电连接被切断的问题。

并且，上述专利文献2所公开的上述HGA通过环氧树脂等结合机构在上述支承弹簧固定用沟槽3内进行上述磁头滑动体1与支承弹簧4的固定。之所以这样通过环氧树脂等结合机构进行上述磁头滑动体1与支承弹簧4的结合，是因为上述磁头滑动体1仅在上述嵌入用凸片4b从侧面插入的状态下在上述支承弹簧固定用沟槽3内与上述卡合凹部4a相卡合，因此这种结构容易使上述磁头滑动体1从上述卡合凹部4a向开放端一侧错位，所以为了防止这种错位而考虑通过环氧树脂结合。这样一来，上述专利文献2所公开的上述HGA由于上述磁头滑动体1容易从上述卡合凹部4a错位，因此有必要固定上述磁头滑动体1使其不向上述开放端移动，直到环氧树脂等结合机构固化。

因此不仅上述磁头滑动体1与上述支承弹簧4的固定作业变得繁杂，而且需要很长的作业时间，所以进行高效率的制造受到限制。

而且，上述专利文献2所公开的HGA为了确实地固定上述磁头滑动体1和上述支承弹簧4，通过上述磁头滑动体1的上述支承弹簧固定用沟槽3内形成的环氧树脂等结合机构与上述支承弹簧4的上述嵌入用凸片4b结合，因此不能容易地使上述磁头滑动体1相对于上支承弹簧4进行装卸。

并且，上述专利文献2所公开的上述HGA对于使从上述磁心芯片延伸出来的导电体与上述磁心芯片2良好地电连接用的方法、机构没作任何记载或提示。

[专利文献1]日本特开平9-213036号公报

[专利文献2]日本特开平6-203507号公报

发明内容

因此本发明就是为了解决上述以往的问题，其目的是提供一种能够使支承体上形成的电路与滑动体的电连接良好，能够容易且高效率地进行保持滑动体的工序，而且能够装卸滑动体因此通用性好的支承体。

而且，本发明的另一个目的是提供一种能够降低磁头装置制造时的成本损失，而且能够高效率地进行制造的、使用了上述支承体的检查方法。

为了达到上述目的，本发明的支承体具有载重梁和被固定在上述载重梁上的挠性板，其特征在于，在上述支承体上形成有导电图形，上述挠性板上具有保持着滑动体的保持部，该滑动体具备记录和/或再生用的磁性元件，上述保持部上形成有多个固定部，当上述滑动体被夹持在上述多个固定部之间时，上述滑动体与上述导电图形电连接；上述保持部上的多个固定部由在保持部上形成的切片形成，上述切片向与记录媒体相对的面一侧翘起、与上述保持部的表面形成预定的夹角，上述滑动体位于上述固定部之间，当上述滑动体被上述固定部夹持时，滑动体的连接端子与形成在其中一个固定部顶端的导电图形的顶端电连接。

此时，可以采用上述固定部具有弹性，上述滑动体由上述固定部的弹性所产生的推压力而被保持在上述保持部上的结构。

并且，优选上述多个固定部由第1固定部和第2固定部形成，上述第1固定部或第2固定部中的任一方成为上述滑动体的定位部的结构。

或者，也可以采用上述滑动体被可装卸地保持在上述保持部上的结构或上述滑动体在被保持在上述保持部上的状态下结合在上述保持部上的结构。

并且，优选在上述滑动体的前侧端面上形成有能够与上述第1固定部相卡合的卡合机构，在上述卡合机构与上述第1固定部相卡合的状态下，上述滑动体被保持在上述保持部上的结构。

此时，可以采用上述卡合机构是向上述滑动体的尾侧端面凹陷、且位于上述滑动体的两侧面之间的凹陷部的结构。

或者，也可以采用上述卡合机构是向上述滑动体的尾侧端面凹陷、且从上述滑动体的一个侧面连续地形成到另一个侧面的凹槽的结构。

或者，也可以采用上述卡合机构是向与上述滑动体的尾侧端面相反的方向突起、且位于上述滑动体的两侧面之间的凸起部的结构。

或者，也可以采用上述卡合机构是向与上述滑动体的尾侧端面相反的方向突起、且从上述滑动体的一个侧面连续地形成到另一个侧面的凸条的结构。

本发明的检查方法的特征在于，将具备记录和/或再生用的磁性元件的滑动体，保持在上述支承体上所形成的保持部上，用上述支承体使上述滑动体在记录媒体上扫描，进行上述滑动体的动态特性评价检查。

此时，可以采用将具备记录用的磁性元件的滑动体保持在上述保持部上的结构。

本发明的支承体由于在滑动体被夹持在多个固定部上的状态下被保持在挠性板上，因此能够确实地进行上述滑动体的端子与支承体上形成的导电图形的电连接。

并且，由于只需将滑动体安装在固定部之间就能够确实地将滑动体保持在挠性板上形成的保持部上，因此不容易产生错位，滑动体的保持变得容易。

并且，由于可以在能够装卸的状态下保持滑动体或在结合了的状态下进行保持，因此可以成为通用性高的支承体。

附图说明

图1是表示本发明的支承体以及支承在该支承体上的滑动体的与记录媒体相对的一面的局部透视图。

图2是在将与记录媒体相对的面作为图示的下侧的状态下与记录媒体一起表示图1所示的支承体和滑动体的局部侧视图。

图3是表示图1所示的支承体和滑动体的与记录媒体相对的面的分解透视图。

图4是保持在图1所示的支承体上的滑动体的透视图。

图5是表示图1所示的支承体的第2固定部的顶端附近的与记录媒体相对的面的局部俯视图。

图6是与图4所示的滑动体一起模式地表示沿图5所示的VI-VI线剖开的剖面的局部剖视图。

图7是表示图4所示的滑动体被保持在图1所示的支承体上的状态的局部剖视图。

图8是表示支承在图1所示的支承体上的滑动体的其他实施方式的前侧的透视图。

图9是表示图8所示的滑动体被保持在图1所示的支承体上的状态的局部剖视图。

图10是表示支承在图1所示的支承体上的滑动体的其他实施方式的前侧的透视图。

图11是表示图10所示的滑动体被保持在图1所示的支承体上的状态的局部剖视图。

图12是表示支承在图1所示的支承体上的滑动体的其他实施方式的前侧的透视图。

图13是表示图12所示的滑动体被保持在图1所示的支承体上的状态的局部剖视图。

图14是表示支承在图1所示的支承体上的滑动体的其他实施方式的前侧的透视图。

图15是表示图14所示的滑动体被保持在图1所示的支承体上的状态的局部剖视图。

图16是表示支承在图1所示的支承体上的滑动体的其他实施方式的前侧的透视图。

图17是表示图15所示的滑动体被保持在图1所示的支承体上的状态的局部剖视图。

图18是表示支承在图1所示的支承体上的滑动体的其他实施方式的前侧的透视图。

图19是表示图18所示的滑动体被保持在图1所示的支承体上的状态的局部剖视图。

具体实施方式

图1为表示本发明的实施方式的支承体以及被支承在该支承体上的滑动体的与记录媒体相对的一面的局部透视图，图2为在将与记录媒体相对的面作为图示的下侧的状态下与记录媒体一起表示图1所示的支承体和滑动体的局部侧视图，图3为表示图1所示的支承体和滑动体的与记录媒体相对的面的分解透视图，图4为被保持在图1所示的支承体上的滑动体的透视图。另外，在各图中，图示Z1方向为与记录媒体相对的面。

如图1所示，支承体110由作为第1支承部的载重梁112和固定在该载重梁112上的作为第2支承部的挠性板(フレキシヤ)111构成。上述挠性板111支承在上述载重梁112上，该挠性板保持着滑动体30。

上述滑动体30用例如氧化铝碳化钛(Al₂O₃-TiC)等陶瓷材料形成，上述滑动体30的尾侧端面30b上形成有磁性元件31和端子P1、P1及端子P2、P2。

上述磁性元件31为使用喷镀技术形成薄膜的元件，由层叠具有例如自旋阀(スピンバルブ)膜所代表的GMR元件或AMR元件等磁阻效果元件的MR磁头(再生磁头)和记录用电感头构成。

构成磁性元件31的电感头的线圈层(图中没有示出)通过引线层(图中没有示出)与上述端子P1、P1连接。并且，从端子P2、P2给MR头输出检测电流，而且从端子P2、P2获得MR头的再生磁信号。

另外，上述磁性元件31也可以仅设置再生头和电感头中的一方。

上述支承体110由支承上述滑动体30的挠性板111和支承该挠性板111的载重梁112构成。上述载重梁112用不锈钢等板簧材料形成。上述载重梁112在其两侧端形成折弯部112a，该折弯部112a部分为具有刚性的结构。从上述折弯部112a的末端112a1到上述载重梁112的基端区域112c形成没有上述折弯部112a的起板簧作用的部分，利用该起板簧作用的部分的弹力将上述滑动体30弹性支承在记录媒体上。

并且，上述载重梁112的基端区域112c为安装部，该安装部可以被安装在硬盘装置侧的驱动机构(图中没有示出)上。

如图2所示，当记录媒体即磁盘D在旋转驱动部的作用下开始旋转时，空气流被沿磁盘D的移动方向导入滑动体30与磁盘D的表面之间，滑动体30的与记录媒体相对的面(ABS面)30c受空气流产生的上浮力的作用，被支承在上述支承体110上的滑动体30上浮离开记录媒体即磁盘D预定的间隔δ1(间隔)并在上述驱动机构的作用下移动。

图5为表示上述挠性板111的顶端附近的与记录媒体相对的面的局部俯视图，图6为与上方图示的滑动体30一起模式地表示沿图5所示的VI-VI线剖开的剖面的图。如图5所示，在上述挠性板111的顶端附近形成有缺口111a，被该缺口111a分离的2根横梁111b、111b一直延伸到顶端，上述2根横梁111b、111b在顶端用连接部111g连接。而且，还设置有从上述连接部111g向基端方向(图示Y2的方向)延伸的连接臂111c，与该连接臂111c成为一体地形成有保持部14。

该保持部14在其两侧端形成有折弯部14d，该折弯部14d部分为具有刚性的结构。

并且，在上述保持部14上形成有缺口14a、14b。被该缺口14a分开的切片形成第1固定部15，并且被上述缺口14b分开的切片形成第2固定部16。

如图6所示，上述第1固定部15从图5所示的连接基端15a的裁切(切起こし)线20向与记录媒体相对的面30c(图示Z1的方向)一侧翘起，与上述保持部14的表面14c有预定的夹角θ1。并且，上述第2固定部16也从图5所示的连接基端16a的裁切线21向与记录媒体相对的面(图示Z1的方向)一侧翘起，与上述保持部14的表面14c有预定的夹角θ2。

该保持部14保持上述滑动体30，有关它的说明后述。

如图5和图6所示，上述挠性板111为设置了具有再生用导电图形41a、41b及记录用导电图形41b、41b的布线部件43的板。如图6所示，布线部件43为在由不锈钢等形成的具有弹性的薄板簧40的与记录媒体相对的面30c一侧和相反面(图示Z2方向)一侧上隔着由聚酰亚胺等绝缘性材料制成的绝缘层42形成有用Cu等导电性材料制成的再生用导电图形41a、41a和记录用导电图形41b、41b的部件。

在上述再生用导电图形41a、41a及记录用导电图形41b、41b的下面形成有覆盖上述再生用导电图形41a、41a及记录用导电图形41b、41b的保护层44。

如图5及图6所示，上述再生用导电图形41a、41a的顶端41a1、41a1及上述记录用导电图形41b、41b的顶端41b1、41b1从上述第2固定部16的顶端露出。另外，该顶端41b1、41b1也可以被覆Au等高导电性材料。

如图1及图2所示，上述挠性板111位于上述载重梁112的与记录媒体相对的面30c一侧，如图1所示，用结合部50通过例如点焊等方法结合并被固定在该载重梁112的与记录媒体相对的面30c一侧的表面112b上。

如图2所示，上述载重梁112的上述表面112b上突出形成例如半球状的支点51，通过上述支点51与上述保持部14接触，保持在上述保持部14上的上述滑动体30处于以上述支点51的顶点为中心被弹性自如地支承的状态。

如上所述，上述滑动体30被安装保持在上述挠性板111上形成的上述保持部14上。下面说明将上述滑动体30安装保持在该保持部14上的方法。

如图6所示，上述第1固定部15和第2固定部16从上述保持部14向与记录媒体相对的一面翘起地形成。上述滑动体30安置在上述保持部14的表面14c的位于上述第1固定部15与第2固定部16之间的区域R1。此时，上述第1固定部15与第2固定部16之间的间隔中最短部分的间隔L1形成为比上述滑动体30的前侧端面30a到尾侧端面30b上形成的上述端子P1(P2)的侧面之间的间隔L2大。因此，能够将上述滑动体30从与记录媒体相对的面一侧(图示Z1方向侧)安置到上述区域R1中。

接着，向上述第1固定部15的方向(图示Y2的方向)移动上述滑动体30的前侧端面30a，使上述前侧端面30a与上述第1固定部相抵接。

然后，沿图示箭头所示的方向向滑动体30的方向(图示α方向)弯曲上述第2固定部16，增大上述角度θ2，使上述再生用导电图形41a、41a的顶端41a1、41a1及上述记录用导电图形41b的顶端41b1、41b1抵接在上述滑动体30的上述端子P1、P2上，使上述滑动体30为在上述区域R1内被上述第1固定部15和第2固定部16夹持的状态。表示这种状态的是图7。

如图7所示，在上述滑动体30被上述第1固定部15和第2固定部16夹持在上述区域R1内的状态下，上述第1固定部15由于弹性产生向上述滑动体30的前侧端面30a方向的推压力(弹性推压力)。而第2固定部16产生向上述滑动体30的上述尾侧端面30b方向的弹性推压力。这是因为构成上述第1固定部15及第2固定部16的上述板簧40具有弹性，因此上述第1固定部15和第2固定部16也是具有弹性的结构的缘故。特别是由于上述挠性板111采用使上述板簧40位于上述滑动体30方向(图示Z1的方向)侧的面上结构，因此容易给上述第1固定部15和第2固定部16施加弹性。

在这样上述滑动体30被上述第1固定部和第2固定部16所夹持的状态下，由于上述第1固定部15和第2固定部16作用挤压上述滑动体30的方向的弹力，因此上述滑动体30被稳固地保持在上述保持部14上。因此，能够使上述第2固定部16的顶端形成的上述再生用导电图形41a、41a的顶端41a1、41a1及上述记录用导电图形41b、41b的顶端41b1、41b1确实地与上述滑动体30的上述端子P1、P2相抵接，因此能够使上述顶端41a1、41a1及41b1、41b1与上述端子P1、P2的电连接良好。

并且，由于只需将上述滑动体30安装在上述区域R1内就能够将上述滑动体30确实地保持在上述保持部上，因此不容易产生错位，将上述滑动体30保持在上述挠性板111上变得容易。

并且，由于上述第2固定部16产生挤压上述滑动体30的方向的弹力，因此能够使上述再生用导电图形41a、41a的顶端41a1、41a1及上述记录用导电图形41b、41b的顶端41b1、41b1稳固地与上述端子P1、P2相抵接，所以能够使上述顶端41a1、41a1及41b1、41b1与上述端子P1、P2的电连接良好。

另外，在将上述滑动体30夹持在上述保持部14上的工序中，优选仅向滑动体30的方向折弯上述第2固定部16，而不向滑动体30的方向折弯上述第1固定部15。这是因为使上述第1固定部15起确定上述滑动体30的位置的定位部分的作用的缘故。即，如果折弯上述第1固定部15，则上述滑动体30的上述前侧端面30a的位置相应地变化了，因此不能承担上述定位的功能。因此，如果不向滑动体30的方向折弯上述第1固定部15，则上述第1固定部成为上述滑动体30的定位部分。如果将上述第1固定部作为滑动体30的定位部分，则能够高精度地、不错位地将上述滑动体30配置在上述保持部14上。

上述滑动体30被上述第1固定部15及第2固定部16的弹性推压力保持在上述保持部14上，不使用粘接剂等结合方式。如果采用这样的结构，能够使上述滑动体30在上述保持部14上装卸自如。

如果使上述滑动体30装卸自如地保持在上述保持部14上，则能够将上述支承体110作为滑动体30的检查装置来使用。有关这一点以后说明。

一般地，滑动体30为经过晶片工序、滑动体工序以及万向架装配头组装(HGA)工序制成的磁性元件装置的一部分。在上述晶片工序中，制造在基板上形成有很多磁性元件31的晶片，在其后的滑动体工序中切削上述晶片制造很多磁性元件31相连而构成的滑动条(スライダバ一)。然后，将该滑动条切割成单个的滑动体，就制造成图4所示的滑动体30。然后经过将上述滑动体30固定在挠性板上，将该挠性板固定在载重梁上的HGA过程，制成了安装有上述滑动体30的磁性元件装置。

虽然这样将滑动体30组装到磁性元件装置中制成制品，但期间一般要进行形成在滑动体30上的磁性元件31的电气特性的检查。此电气特性检查进行在上述滑动体工序中进行的静态特性评价检查和动态特性评价检查。该静态特性评价检查是在滑动体30单个元件的状态下施加磁场，检查此时磁性元件31的电气特性。而动态特性评价检查是使上述滑动体30在记录媒体上实际扫描，检查此时磁性元件31的电气特性。

由于上述静态特性评价检查是用单个滑动体30进行检查，因此在上述滑动体工序形成滑动体30后、上述HGA工序之前进行。并且，由于上述动态特性评价实验是使上述滑动体30实际在记录媒体上扫描，因此有必要在将滑动体30组装到挠性板及载重梁上的状态下进行，因此在上述HGA工序后进行。

由于静态特性评价检查是给滑动体30施加磁场来检查电气特性，因此只能检查MR头(再生头)的电气特性，不能检查电感头的电气特性。而上述动态特性评价检查是使滑动体30实际在记录媒体上扫描，因此不仅能检查MR头(再生头)的电气特性，还能检查记录用电感头的电气特性。

这里，由于无论在上述滑动体30同时具有MR头(再生头)和记录用电感头两者还是在仅有记录用电感头的情况下，都有必要评价检查记录用电感头的电气特性，因此务必在HGA工序后评价检查动态特性。但是，在根据该动态评价检查的结果发现不符合规格的不良品时，必须将其淘汰。但是，由于该被淘汰的滑动体30已经组装到挠性板或载重梁等上，因此挠性板和载重梁也必须与滑动体30一起被淘汰，成本损失非常大。并且，也浪费HGA工序中耗费的时间，因此不能高效率地制造。

因此，如果在上述HGA工序之前仅就单个滑动体30进行上述动态特性评价检查的话，则不仅能够降低成本损失，而且还能高效率地进行制造。

这里，本发明的上述支承体110将上述滑动体30装卸自如地保持在上述挠性板111的上述保持部14上。因此，如果在上述滑动体工序之后、上述HGA工序之前将上述滑动体30安装保持到上述支承体110的挠性板111上，在记录媒体上扫描来进行上述滑动体30的动态特性评价检查，然后再从上述挠性板111上取下上述滑动体30的话，则能够在单个上述滑动体30上进行动态特性评价检查，因此不仅能够降低成本损失，而且能够进行高效率的制造。特别是由于能够在HGA工序之前进行记录用电感头的动态特性评价检查，因此适用于在上述滑动体30上形成记录用电感头的情况。

但是，本发明的上述支承体110在将上述滑动体30安装到上述挠性板111的上述保持部14上时，也可以用粘接剂等粘接方式结合上述滑动体30和上述保持部14。并且，也可以在使上述再生用导电图形41a、41a的顶端41a1、41a1及上述记录用导电图形41b、41b的顶端41b1、41b1与上述滑动体30的上述端子P1、P2相抵接后在加热下用超声波焊接或粘接剂等结合方式进行结合。如果采用这种结构，由于能够确实地保持上述滑动体30和挠性板111，并且能够使上述再生用导电图形41a、41a的顶端41a1、41a1及上述记录用导电图形41b、41b的顶端41b1、41b1与上述滑动体30的上述端子P1、P2的电连接更加稳固，因此也能够用上述支承体110和上述滑动体30制造出能够安装到硬件上的磁性元件装置。

在用粘接剂等结合方式结合上述滑动体30和上述保持部14的情况下，或者在使上述顶端41a1、41a1及41b1、41b1与上述端子P1、P2相抵接后在加热下用超声波焊接或粘接剂等结合方式进行结合的情况下，本发明的支承体110在维持用上述第1固定部15进行定位的状态下用上述第1固定部15和上述第2固定部16夹持上述滑动体30将其固定在上述区域R1中。因此，即使在例如在加热下超声波焊接或用粘接剂将顶端41a1、41a1及41b1、41b1与上述端子P1、P2结合的情况下，也不需要在顶端41a1、41a1及41b1、41b1与上述端子P 1、P2完全连接之前一直保持上述滑动体30使其不产生错位的工序或保持时间，因此能够进行高效率的制造。而且即使在用粘接剂等结合上述滑动体30和上述保持部14的情况下也不需要在完全粘接固定之前一直保持上述滑动体30使其不产生错位的工序或保持时间，因此能够进行高效率的制造。

这样一来，由于本发明的上述支承体110不仅能够作为评价检查滑动体30的动态特性的检查装置来使用，而且还能够作为安装在硬件上的磁性元件装置来使用，因此通用性非常高。

图8为表示支承在本发明的上述支承体110上的滑动体的其他实施方式的前面一侧的透视图。

图8所示的滑动体230用与图4所示的上述滑动体30相同的材料构成，并且部分结构与图4所示的上述滑动体30的相同。因此下面以与图4所示的上述滑动体30不同的部分为中心进行说明。

图8所示的上述滑动体230与图4所示的上述滑动体30不同的部分在于，如图8所示，在前侧端面230a上形成有用来将上述滑动体230卡合到上述挠性板111上的卡合结构即凹陷部230e。在图8所示的实施方式中，上述凹陷部230e在上述前侧端面230a上形成有2个。

如图8所示，上述凹陷部230e形成在上述前侧端面230a的上述滑动体230的一个侧面231和另外一个侧面232的内侧的位置上。

图9为表示上述滑动体230被上述挠性板111上形成的上述第1固定部15和第2固定部16夹持在上述挠性板111的上述区域R1内、被保持在上述保持部14上的状态的剖视图，相当于表示图4所示的上述滑动体30固定在上述挠性板111上的状态的图7的剖视图。另外，由于图9中的挠性板111与图7所示的相同，因此在图9中添加相同的附图标记，省略其说明。

如图9所示，上述凹陷部230e的内表面230e1被形成为向上述滑动体230的上述尾侧端面230b的方向凹陷成圆弧状的形状。

如图9所示，在上述滑动体230被固定在上述挠性板111上的状态下，上述第1固定部15的顶端15b位于上述凹陷部230e内。并且，上述第1固定部15的顶端15b在与上述凹陷部230e的内表面230e1相抵接的状态下与上述凹陷部230e卡合。并且，上述第1固定部15的上表面15c与上述凹陷部230e的上缘230e2相抵接。

因此，上述滑动体230在被上述第1固定部15的上述顶端15b和上述上表面15c双方同时定位的状态下被稳固地固定在上述保持部14上。

因此，通过采用上述滑动体230的结构，上述滑动体230能够确实地被定位并被确实地固定在上述挠性板111上。

另外，虽然无论上述滑动体230被保持在上述挠性板111上的状态是上述第1固定部的顶端15b顶在述凹陷部230e的上述内表面230e1上与上述凹陷部230e相卡合的状态还是上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹陷部230e的上述上缘230e2相抵接的状态的哪一方都能确实地确定上述滑动体230的位置从而牢固地固定在上述挠性板111上，但优选使上述第1固定部的顶端15b顶在上述凹陷部230e的上述内表面230e1上同时使上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹陷部230e的上述上缘230e2相抵接的状态这两者状态，由此能够更确实地确定上述滑动体230的位置并牢固地固定。

图10为表示被支承在本发明的上述支承体110上的滑动体的其他实施方式的前侧的透视图。

图10所示的滑动体330也与图8所示的滑动体230一样用与图4所示的上述滑动体30相同的材料构成，并且，部分结构与图4所示的上述滑动体30的相同。因此，下面以与图4所示的上述滑动体30不同的部分为中心进行说明。

图10所示的上述滑动体330与图4所示的上述滑动体30不同的部分为，如图10所示，在前侧端面330a上形成有用来将上述滑动体330卡合到上述挠性板111上用的卡合机构即凹陷部330e。在图11所示的实施方式中，上述凹陷部330e在上述前侧端面330a上形成有2个。

如图10所示，上述凹陷部330e形成在上述前侧端面330a的上述滑动体330的一个侧面231和另外一个侧面232的内侧的位置上。

图11为表示上述滑动体330被上述挠性板111上形成的上述第1固定部15和第2固定部16夹持在上述挠性板111的上述区域R1内、被保持在上述保持部14上的状态的剖视图，相当于表示图4所示的上述滑动体30固定在上述挠性板111上的状态的图7的剖视图。另外，由于图11中的挠性板111与图7所示的相同，因此在图11中添加相同的附图标记，省略其说明。

如图11所示，上述凹陷部330e的内表面330e1形成为向上述滑动体330的上述尾侧端面330b的方向凹陷成矩形的形状。

如图11所示，在上述滑动体330被固定在上述挠性板111上的状态下，上述第1固定部15的顶端15b位于上述凹陷部330e内。并且，上述第1固定部15的顶端15b与上述凹陷部330e的内表面330e1相抵接使上述第1固定部15与上述凹陷部330e相卡合。

另外，图11所示的实施方式在上述第1固定部15的顶端面15e也顶住上述凹陷部330e的上述内表面330e1的状态下卡合上述第1固定部15与上述凹陷部330e。并且，上述第1固定部15的上表面15c与上述凹陷部330e的上缘330e2相抵接。

因此，上述滑动体330在被上述第1固定部15的上述顶端15b和上述上表面15c同时定位的状态下被稳固地固定在上述保持部14上。

因此，通过采用上述滑动体330的结构，上述滑动体330能够确实地被定位并被确实地固定在上述挠性板111上。

另外，虽然无论上述滑动体330保持在上述挠性板111上的状态是上述第1固定部的顶端15b顶在述凹陷部330e的上述内表面330e1上与上述凹陷部330e相卡合的状态、还是上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹陷部330e的上述上缘330e2相抵接的状态的哪一种状态都能确实地确定上述滑动体330的位置并牢固地固定在上述挠性板111上，但优选使上述第1固定部的顶端15b顶在上述凹陷部330e的上述内表面330e1上同时使上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹陷部330e的上述上缘330e2相抵接的状态双方，由此能够更稳固地确定上述滑动体330的位置并牢固地固定。

图8所示的上述滑动体230或图10所示的上述滑动体330在上述前侧端面230a或330a上形成有上述凹陷部230e、330e。

但是，也可以像图12至图14所示那样采用形成有凹槽430e或530e来取代上述凹陷部230e、330e的滑动体430、530的结构。图12所示的上述滑动体430及图14所示的上述滑动体530将上述凹槽430e、530e成为将上述滑动体430、530卡合在上述挠性板111上的卡合机构。

图12所示的滑动体430在前侧端面430a上形成有凹槽430e。上述凹槽430e从上述滑动体430的一个侧面431连续形成到另一个侧面432。

与图8或图10所示的滑动体230、330上形成的上述凹陷部230e、330e与上述凹槽430e的不同之处在于，上述凹槽430e从上述一个侧面431连续形成到另一个侧面432，而上述凹陷部230e、330e不是从滑动体230、330的侧面231连续地形成到侧面232或从侧面331连续地形成到侧面332的结构，而是如图8或图10所示，形成在上述前侧端面230a、330a的上述滑动体230、330的一个侧面231、331与另一个侧面232、332的内侧的位置。

表示上述滑动体430被上述挠性板111上形成的上述第1固定部15和第2固定部16夹持在上述挠性板111的上述区域R1内、被保持在上述保持部14上的状态的剖视图表示在图13中。另外，由于图13中的挠性板111与图7所示的相同，因此在图13中添加相同的附图标记，省略其说明。

如图13所示，上述凹槽430e的内表面430e1被形成为向上述滑动体430的上述尾侧端面430b的方向凹陷成圆弧状的形状。

如图13所示，在上述滑动体430被固定在上述挠性板111上的状态下，上述第1固定部15的顶端15b位于上述凹槽430e内。并且，在上述第1固定部15的顶端15b与上述凹槽430e的上述内表面430e1相抵接的状态下与上述凹槽430e相卡合。并且，上述第1固定部15的上表面15c与上述凹槽430e的上缘430e2相抵接。

因此，上述滑动体430在被上述第1固定部15的上述顶端15b和上述上表面15c同时定位的状态下被固定在上述保持部14上。

因此，通过采用上述滑动体430的结构，上述滑动体430能够确实地被定位并被确实地固定在上述挠性板111上。

另外，虽然无论上述滑动体430被保持在上述挠性板111上的状态是上述第1固定部的顶端15b顶在述凹槽430e的上述内表面430e1上而与上述凹槽430e相卡合的状态还是上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹槽430e的上述上缘430e2相抵接的状态的哪一个都能确实地确定上述滑动体430的位置并牢固地固定在上述挠性板111上，但优选使上述第1固定部的顶端15b顶在上述凹槽430e的上述内表面430e1上同时使上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹槽430e的上述上缘430e2相抵接的状态双方，由此能够更确实地确定上述滑动体430的位置并被牢固地固定。

图14所示的滑动体530在前侧端面530a上形成有凹槽530e。上述凹槽530e从上述滑动体530的一个侧面531连续形成到另一个侧面532。

图8或图10所示的滑动体230、330上形成的上述凹陷部230e、330e与上述凹槽530e的不同之处在于，上述凹槽530e从上述一个侧面531连续形成到另一个侧面532，而上述凹陷部230e、330e不是从滑动体230、330的侧面231连续地形成到侧面232或从侧面331连续地形成到侧面332的结构，而是如图8或图10所示，形成在上述前侧端面230a、330a的上述滑动体230、330的一个侧面231、331与另一个侧面232、332的内侧的位置。

表示上述滑动体530被上述挠性板111上形成的上述第1固定部15和第2固定部16夹持在上述挠性板111的上述区域R1内、被保持在上述保持部14上的状态的剖视图表示在图15中。另外，由于图15中的挠性板111与图7所示的相同，因此在图15中添加相同的附图标记，省略其说明。

如图15所示，上述凹槽530e的内表面530e1被形成为向上述滑动体530的上述尾侧端面530b的方向凹陷成矩形的形状。

如图15所示，在上述滑动体530被固定在上述挠性板111上的状态下，上述第1固定部15的顶端15b位于上述凹槽530e内。并且，上述第1固定部15的顶端15b与上述凹槽530e的上述内表面530e1相抵接，从而使上述第1固定部15与上述凹槽530e相卡合。

另外，图15所示的实施方式在上述第1固定部15的顶端面15e也与上述凹槽530e的上述内表面530e1相抵接的状态下卡合上述第1固定部15与上述凹槽530e。并且，上述第1固定部15的上表面15c与上述凹槽530e的上缘530e2相抵接。

因此，上述滑动体530在被上述第1固定部15的上述顶端15b和上述上表面15c双方同时定位的状态下被固定在上述保持部14上。

因此，通过采用上述滑动体530的结构，上述滑动体530能够确实地被定位并被确实地固定在上述挠性板111上。

另外，虽然无论上述滑动体530被保持在上述挠性板111上的状态是上述第1固定部的顶端15b顶在述凹槽530e的上述内表面530e1上与上述凹槽530e相卡合的状态还是上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹槽530e的上述上缘530e2相抵接的状态的哪一个都能确实地确定上述滑动体530的位置并牢固地固定在上述挠性板111上，但优选成为使上述第1固定部的顶端15b顶在上述凹槽530e的上述内表面530e1上的状态同时使上述第1固定部15的上述上表面15c与上述凹槽530e的上述上缘530e2相抵接的状态这两个状态，由此能够更确实地确定上述滑动体530的位置并被牢固地固定。

通过用上述凹槽430e或503e取代上述凹陷部230e或330e能够容易地形成上述滑动体430、530与上述挠性板111的卡合机构。

图16为表示被支承在本发明的上述支承体110上的滑动体其他实施方式的前侧的透视图。

图16所示的滑动体630用与图4所示的上述滑动体30相同的材料构成，并且，部分结构与图4所示的上述滑动体30的相同。因此，下面以与图4所示的上述滑动体30不同的部分为中心进行说明。

图16所示的上述滑动体630与图4所示的上述滑动体30不同的部分为，如图16所示，在前侧端面630a上形成有用来将上述滑动体630卡合到上述挠性板111上的卡合机构即凸起部630e。在图16所示的实施方式中，上述凸起部630e在上述前侧端面630a上形成有2个。

如图16所示，上述凸起部630e被形成在上述前侧端面630a的上述滑动体630的一个侧面631和另外一个侧面632的内侧的位置上。

图17为表示上述滑动体630被上述挠性板111上形成的上述第1固定部15和第2固定部16夹持在上述挠性板111的上述区域R1内、被保持在上述保持部14上的状态的剖视图，相当于表示图4所示的上述滑动体30固定在上述挠性板111上的状态的图7的剖视图。另外，由于图17中的挠性板111与图7所示的相同，因此在图17中也添加相同的附图标记，省略其说明。

如图16及17所示，上述凸起部630e从上述前侧端面630a向外，即向与上述尾侧端面的方向相反的方向(图示Y2的方向)突出地形成。在图16及图17所示的实施方式中，上述凸起部630e的结构为长方体形状，但上述凸起部630e的结构也可以是其他的形状。

如图17所示，在上述滑动体630被固定在上述挠性板111上的状态下，上述第1固定部15的顶端15b顶在上述前侧端面630a上。在图17所示的实施方式中，上述第1固定部15的顶端15b与上述前侧端面630a的下缘630a1相抵接。但是，也可以是上述第1固定部15的顶端15b位于上述前侧端面630a的上述下缘630a1的上方(图示Z2的方向)与上述前侧端面630a相抵接。

并且，上述第1固定部15的上表面15c与上述凸起部630e的下缘630f相抵接。

由于上述滑动体630处于不仅第1固定部15的上述顶端15b顶在上述前侧端面630a上，而且上述第1固定部15的上表面15c与上述凸起部630e的上述下缘630f相抵接的状态，因此上述滑动体630被确实地定位并被确实地固定在上述挠性板111上。

图18为表示被支承在本发明的上述支承体110上的滑动体其他实施方式的前侧的透视图。

图18所示的滑动体730用与图4所示的上述滑动体30相同的材料构成，并且，部分结构与图4所示的上述滑动体30的相同。因此，下面以与图4所示的上述滑动体30不同的部分为中心进行说明。

图18所示的上述滑动体730与图4所示的上述滑动体30不同的部分为，如图18所示，在前侧端面730a上形成有用来将上述滑动体730卡合到上述挠性板111上的卡合机构即凸条730e。在图18所示的实施方式中，上述凸条730e被形成在上述前侧端面730a上。

上述凸条730e从上述滑动体730的一个侧面731连续形成到另外一个侧面732。

图16所示的滑动体630上形成的上述凸起部630e与上述凸条730e的不同之处在于，上述凸条730e从上述一个侧面731连续形成到另一个侧面732，而图16所示的滑动体630上形成的上述凸起部630e不是从滑动体630的侧面631连续地形成到侧面632的结构，而是如图16所示，形成在上述前侧端面630a的上述滑动体630的一个侧面631与另一个侧面632的内侧的位置。

图19为表示上述滑动体730被上述挠性板111上形成的上述第1固定部15和第2固定部16夹持在上述挠性板111的上述区域R1内、被保持在上述保持部14上的状态的剖视图，相当于表示图4所示的上述滑动体30固定在上述挠性板111上的状态的图7的剖视图。另外，由于图19中的挠性板111与图7所示的相同，因此在图19中也添加相同的附图标记，省略其说明。

如图18及19所示，上述凸条730e从上述前侧端面730a向外，即向与上述尾侧端面的方向相反的方向(图示Y2的方向)突出地形成。在图18及图19所示的实施方式中，上述凸条730e的结构为长方体形状，但上述凸条730e的结构也可以是其他的形状。

如图19所示，在上述滑动体730被固定在上述挠性板111上的状态下，上述第1固定部15的顶端15b顶在上述前侧端面730a上。在图19所示的实施方式中，上述第1固定部15的顶端15b与上述前侧端面730a的下缘730a1相抵接。但是，也可以是上述第1固定部15的顶端15b位于上述前侧端面730a的上述下缘730a1的上方(图示Z2的方向)而与上述前侧端面730a相抵接。

并且，上述第1固定部15的上表面15c与上述凸条730e的下缘730f相抵接。

由于上述滑动体730处于不仅第1固定部15的上述顶端15b顶在上述前侧端面730a上，而且上述第1固定部15的上表面15c与上述凸条730e的上述下缘730f相抵接的状态，因此上述滑动体730被确实地定位并被确实地固定在上述挠性板111上。

上述凹陷部230e、330e，上述凹槽430e、530e，上述凸起部630e，上述凸条730e可以通过在上述滑动体230、330、430、530、630、730的上述前侧端面230a、330a、430a、530a、630a、730a上施加使用了磨具等的研磨等机械加工或激光加工而形成。

另外，上述滑动体230、330、430、530、630及730当然也与上述滑动体30一样不仅能够成为使用了上述支承体110的检查装置的检查对象，同时还能够在将上述滑动体230、330、430、530、630及730固定在上述支承体110上的状态下构成装载在硬件中的磁性元件装置。

并且，起卡合上述滑动体30、230、430、530、630与上述挠性板111的卡合机构的作用的上述凹陷部230e、330e或上述凹槽430e、503e、上述凸起部630e或上述凸条730e的形态并不局限于图8至图19所示的形态，只要是能够将上述第1固定部15与上述凹陷部230e、330e或上述凹槽430e、503e或上述凸起部630e或上述凸条730e卡合，也可以用其他的方式来实施。

并且，本发明对上述第1固定部15或上述第2固定部的数量也没有限制。

并且，虽然图8所示的上述凹陷部230e，图10所示的330e，或图16所示的上述凸起部630e的数量分别为2个，但本发明对上述凹陷部230e、330e、上述凸起部630e的数量并没有限制，可以是1个或3个以上，但优选仅形成与上述第1固定部15的数量相对应的数，使各凹陷部230e、330e或凸起部630e分别与第1固定部15相卡合。

另外，虽然以在上述保持部14上形成第1固定部15和第2固定部16的2个固定部为例进行了说明，但本发明并不局限于此，固定部也可以是3个以上。此时，上述滑动体30被安装在各固定部之间，由各固定部夹持。

Claims (11)

1.一种支承体，其具有载重梁和被固定在上述载重梁上的挠性板，其特征在于，在上述支承体上形成有导电图形，上述挠性板上具有保持着滑动体的保持部，该滑动体具备记录和/或再生用的磁性元件，上述保持部上形成有多个固定部，当上述滑动体被夹持在上述多个固定部之间时，上述滑动体与上述导电图形电连接；上述保持部上的多个固定部由在保持部上形成的切片形成，上述切片向与记录媒体相对的面一侧翘起、与上述保持部的表面形成预定的夹角，上述滑动体位于上述固定部之间，当上述滑动体被上述固定部夹持时，滑动体的连接端子与形成在其中一个固定部顶端的导电图形的顶端电连接。

2.如权利要求1所述的支承体，其中，上述固定部具有弹性，上述滑动体由上述固定部的弹性所产生的推压力而被保持在上述保持部上。

3.如权利要求1所述的支承体，其中，上述多个固定部由第1固定部和第2固定部形成，上述第1固定部或第2固定部中的任一方成为上述滑动体的定位部。

4.如权利要求1所述的支承体，其中，上述滑动体被可装卸地保持在上述保持部上。

5.如权利要求1所述的支承体，其中，上述滑动体在被保持在上述保持部上的状态下结合在上述保持部上。

6.如权利要求3所述的支承体，其中，在上述滑动体的前侧端面上形成有能够与上述第1固定部相卡合的卡合机构，在上述卡合机构与上述第1固定部相卡合的状态下，上述滑动体被保持在上述保持部上。

7.如权利要求6所述的支承体，其中，上述卡合机构是向上述滑动体的尾侧端面凹陷、且位于上述滑动体的两侧面之间的凹陷部。

8.如权利要求6所述的支承体，其中，上述卡合机构是向上述滑动体的尾侧端面凹陷、且从上述滑动体的一个侧面连续地形成到另一个侧面的凹槽。

9.如权利要求6所述的支承体，其中，上述卡合机构是向与上述滑动体的尾侧端面相反的方向突起、且位于上述滑动体的两侧面之间的凸起部。

10.如权利要求6所述的支承体，其中，上述卡合机构是向与上述滑动体的尾侧端面相反的方向突起、且从上述滑动体的一个侧面连续地形成到另一个侧面的凸条。

11.一种检查方法，其特征在于，将具备记录和/或再生用的磁性元件的滑动体，保持在权利要求1～10所述的支承体上所形成的保持部上，用上述支承体使上述滑动体在记录媒体上扫描，进行上述滑动体的动态特性评价检查。

Images