JP4317202B2 - スライダ支持装置とその製造方法 - Google Patents

Description

この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に使用されるハードディスクドライブ等の磁気ヘッドのスライダを支持するためのスライダ支持装置と、その製造方法に関する。

記録媒体としての磁気ディスクにデータを書込んだり読取ったりするために、磁気ヘッドを備えたディスクドライブ用サスペンションが使われている。
例えば図９に示すハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１は、記録媒体としての複数枚のディスク２と、ディスクドライブ用サスペンション（単にサスペンションと称する）３と、サスペンション３を取付けるアーム（アクチュエータアーム）４などを備えている。サスペンション３の先端部に、磁気ヘッドを構成するスライダ５が取付けられている。サスペンション３は、アーム４に固定されるベースプレート６と、ロードビーム７と、フレキシャ８と、ばね材料からなるヒンジ部材９などを備えている。ディスク２が回転すると、ディスク２とスライダ５との間を流れる空気によって、スライダ５がディスク２から僅かに浮上する。

従来より、スライダの良否を判断するために、スライダをサスペンションに取付けた状態で、スライダ試験装置によって、読取り／書込み特性や浮上特性等の検査が行なわれている。検査の結果、良品と判断されたスライダは、サスペンションと共に実際のディスクドライブに組込まれるが、不合格と判断されたスライダは、サスペンションごと廃棄される。このためスライダが不良品と判断された場合にはサスペンションも無駄になってしまい、コストが上昇する原因となる。不合格と判断されたスライダをサスペンションから剥がし取り、サスペンションのみを再使用することも考えられるが、手数がかかるだけでなくサスペンションが損傷する可能性があるため好ましくない。

そこで、スライダを単体で検査することができるようなスライダ試験機が開発された（例えば下記特許文献１参照）。特許文献１等に記載されている従来のスライダ試験機は、実際のサスペンションと同等の条件となるようにスライダを支持するように構成されている。そして磁気ディスクに相当する記録媒体を回転させてスライダを浮上させ、その状態のもとで読取り／書込み特性やスライダの浮上特性等を測定している。この試験機を使用すれば、不合格と判断されたスライダのみを廃棄すればよいから、コスト的には有利である。

しかしながら前記スライダ試験機は、あくまでサスペンションを模した擬似的なものにすぎないため、スライダに与える荷重やジンバル部の剛性などを実際のサスペンションと同一にすることには限界がある。

そこで、実際のサスペンションと同等の構成のロードビームとフレキシャ等を有し、かつ、スライダを着脱することができるスライダ支持装置が開発された（例えば下記特許文献２参照）。この種のスライダ支持装置は、図１０に示すように、ばね性を有する薄い金属板からなるフレキシャ１０の一部に、タング１１を含むジンバル部１２と、ばねとして機能する一対の蛇腹部１３と、第１の支持部１４と、第２の支持部１５などを備えている。

蛇腹部１３は、フレキシャ１０の一部を板厚方向に波形に曲げる塑性加工によって、山と谷を交互に成形したものである。この蛇腹部１３を治具によって矢印Ｔで示す方向に伸ばし、タング１１上にスライダ５（２点鎖線で示す）を乗せたのち、蛇腹部１３に対する張力を解除することにより、支持部１４，１５の間にスライダ５が挾持される。このスライダ５に対してスライダ試験装置のディスクを回転させ、スライダ５をディスクから浮上させた状態で各種の検査が行われる。検査終了後、蛇腹部１３を治具によって伸ばすことにより、スライダ５が支持部１４，１５間から取り出される。この検査において不合格と判断されたスライダは廃棄される。
特開２００４−８６９７６公報 特開２００５−３２２３７７公報

図１０に示されたスライダ支持装置の蛇腹部１３は、フレキシャ１０を板厚方向に曲げる塑性加工によって波形の山と谷を交互に形成しているため、ジンバル部１２の限られた長さ範囲内で蛇腹の高さや数を多くするには限界がある。このため蛇腹部１３のばね定数を下げることが難しく、伸縮可能なストロークが小さかった。このためスライダ５をタング１１上にセットする際に、支持部１４，１５間の距離を十分広げることができず、スライダ５が支持部１４，１５と干渉することがあった。しかも蛇腹部１３の形状によっては、スライダ５の後端が矢印Ｒで示す方向（ピッチ方向）にリフトしてしまうようなモーメントが生じ、ジンバル部１２のＰＳＡ（Pitch Static Attitude）が変化することがあった。その場合、実際のサスペンションとは条件が異なってしまう。

従ってこの発明の目的は、スライダを着脱可能に保持するためのジンバルのばね部のばね定数を下げることができ、ばね部のストロークを大きくとることが可能なスライダ支持装置を提供することにある。

本発明のスライダ支持装置は、ばね性を有する金属板からなるフレキシャを備えたスライダ支持装置であって、前記フレキシャは、スライダを取付けるためのタングを含むジンバル部と、前記タング上に置かれた前記スライダの長さ方向の一方の端部を支持する第１の支持部と、前記第１の支持部に対して前記スライダの長さ方向に移動可能で前記スライダの他方の端部を支持する第２の支持部と、前記第２の支持部を第１の支持部に向けて付勢するためのばね部を具備している。このばね部は、前記タングの両側に該フレキシャの面方向に沿って複数の山と谷を交互に形成してなる一対の平面ばねからなり、引張り荷重を与えた状態において前記第１および第２の支持部間に前記スライダを挿入可能な長さに伸張し、引張り荷重を与えない状態において前記第１および第２の支持部間に前記スライダを挟み込む長さに縮む。

本発明の好ましい形態では、前記平面ばねは、前記山と谷との間の中間部が細く、該中間部から山と谷のそれぞれの先端部に向けて太くなるテーパ形状をなしている。この構成によれば、平面ばねの各部の応力が均等化することによって、ばね定数をさらに下げることができる。同様の目的を果たすために、前記平面ばねは、前記山と谷との間に幅が一定の中間部を有し、該中間部の幅よりも山と谷の先端部の幅が大きくてもよい。

前記フレキシャは、例えば、該フレキシャの両側部に前記平面ばねに沿って形成された一対のアウトリガー部と、前記平面ばねと前記アウトリガー部との間にエッチングによって形成された第１のスリットと、前記平面ばねと前記タングとの間にエッチングによって形成された第２のスリットと、前記タングと前記第２の支持部との間に形成された第３のスリットとを有している。すなわちこの形態では、前記平面ばねはエッチングによって形成される。

前記フレキシャに配線部が設けられ、該配線部は、前記スライダが前記第１および第２の支持部間に挟まれた状態において前記スライダの端子部と電気的に導通する先端部分を有し、該先端部分が前記第１の支持部を兼ねていてもよい。

また、本発明のスライダ支持装置は、スライダを検査するための試験装置に固定されるベース部と、該ベース部にばね性を有するヒンジ部材を介して厚み方向に変位可能に取付けられたロードビームと、該ロードビームに重ねて配置され該ロードビームの先端部に前記ジンバル部が設けられた前記フレキシャとを具備してもよい。この構成によれば、スライダが使用されるディスクドライブ用サスペンションと同一の条件でスライダの検査を行なうことができる。

前記フレキシャを構成する前記金属板をエッチングすることにより、前記平面ばねと前記ジンバル部の輪郭を形成すれば、複雑で精密な形状の平面ばねを有するスライダ支持装置を、精密プレス等の機械加工による場合と比較して、容易にかつ正確に成形することができる。

本発明によれば、スライダを着脱可能に保持するためのフレキシャを備えたスライダ支持装置において、フレキシャの一部に形成されるばね部のばね定数を小さくすることができ、大きな伸縮ストロークを得ることができる。このためスライダをタング上に乗せる際に第１および第２の支持部間の距離を十分広げることができ、スライダと支持部とが干渉することを回避できる。

また、従来の蛇腹部（フレキシャを板厚方向に曲げて波形の山と谷を交互に形成したもの）と比較して、第１および第２の支持部間にスライダをクランプしたときのＰＳＡ変化を抑制することができる。

以下に本発明の第１の実施形態について、図１から図５を参照して説明する。
図１に示すスライダ支持装置２０は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）用の前記スライダ５を検査するためのスライダ試験装置（図示せず）に使用される。スライダ試験装置は、記録媒体としてのディスクと、該ディスクを高速回転させるための駆動機構と、スライダ５の浮上特性や読取り／書込み特性等を検査するための測定部を有し、前記ディスクを回転させることにより、ディスク上にスライダ５を浮上させることができるようになっている。

図１に示すスライダ支持装置２０は、前述した図９のディスクドライブ用サスペンション３と同様に、ベースプレート２１を備えたベース部２２と、ベースプレート２１に固定されたヒンジ部材２３と、ヒンジ部材２３の端部に基部が固定されたロードビーム２４と、ロードビーム２４に重ねて配置されたフレキシャ２５などを備えている。ベース部２２は、前述したスライダ試験装置のワーク支持部に固定される。

ロードビーム２４の厚さは例えば２５〜１００μｍ前後である。ベースプレート２１の厚さは一般にロードビーム２４の厚さよりも大きく、例えば１５０〜２００μｍ前後である。ヒンジ部材２３の厚さはロードビーム２４の厚さよりも小さく、例えば２５〜４０μｍ前後である。ヒンジ部材２３はばね性を有し、厚さ方向に弾性的に撓むことができる。

フレキシャ２５は、ロードビーム２４の表面と裏面のうち、ヒンジ部材２３を設ける側に重ねて配置されている。フレキシャ２５は一般的にヒンジ部材２３よりも薄い（例えば１５μｍ〜２５μｍ前後）のばね性のあるステンレス鋼板などの金属板からなり、この金属板の一部に沿って配線部２６が形成されている。

図２と図３に示されるように、フレキシャ２５の先端部にジンバル部３０が設けられている。ジンバル部３０は、スライダ５を乗せるタング３１と、タング３１の左右両側に形成された一対のアウトリガー部３２と、ジンバル部３０の一端側（前部）に設けられた第１の支持部３３と、ジンバル部３０の他端側（後部）に形成された第２の支持部３４と、左右一対の平面ばね３５からなるばね部などを有している。タング３１と、アウトリガー部３２と、第２の支持部３４と、平面ばね３５の厚さは互いに同等である。

第１の支持部３３は、後述するように、配線部２６の一部である銅板製の複数の導電部材の先端部分を、図５に示すように斜めに成形することによって構成されている。配線部２６は、読取り用の導電部材と、書込み用の導電部材と、ポリイミドなどの電気絶縁材料からなる絶縁層とを有している。第１の支持部３３として機能する配線部２６の先端部分は、前記絶縁層が取除かれて前記導電部材だけが露出している。

一対のアウトリガー部３２と平面ばね３５との間に、エッチングによって第１のスリット３７が形成されている。一対の平面ばね３５とタング３１との間に、エッチングによって第２のスリット３８が形成されている。タング３１と第２の支持部３４との間にエッチングによる第３のスリット３９が形成されている。

第１の支持部３３は、タング３１上に置かれたスライダ５の長さ方向の一方の端部５ａを支持する。第２の支持部３４は、第１の支持部３３と対向するように形成され、第１の支持部３３に対してスライダ５の長さ方向に相対的に移動することができる。第２の支持部３４は、スライダ５の他方の端部５ｂを支持する機能を担っている。

スライダ５の先端部に、トランスジューサとして機能する磁電変換素子等の読取り／書込み用の素子４０ａ（図２に示す）が設けられている。スライダ５の端部５ａには、前記素子４０ａに電気的に導通する端子部４０が設けられている。スライダ５が支持部３３，３４間に挟まれた状態において、第１の支持部３３として機能する配線部２６の前記導電部材のそれぞれの先端部分が端子部４０に接触することにより、配線部２６とスライダ５との電気的な接続がなされるとともに、スライダ５の一方の端部５ａが支持されるようになっている。

図３に示すように、ばね部を構成する一対の平面ばね３５は、それぞれ複数のＵ形の山５０と逆Ｕ形の谷５１を、フレキシャ２５の面方向に沿ってジンバル部３０の前後方向に交互に形成してなるものである。山５０の先端部はアウトリガー部３２の方向に延び、谷５１の先端部はタング３１の方向に延びている。

図４は、平面ばね３５の一部を拡大して示す平面図である。この平面ばね３５は、山５０と谷５１との間の中間部５２の幅が最も小さく、山５０と谷５１のそれぞれの先端部に向って幅が次第に大きくなるようなテーパ形状をなしている。平面ばね３５の厚さは、山５０と谷５１と中間部５２にわたって一定である。

この実施形態のように中間部５２がくびれたテーパ形状の平面ばね３５は、矢印Ａで示す方向に引っ張ったときに平面ばね３５の各部に生じる応力を均等化することができる。このためばね定数を下げることができ、伸び側のストロークをより大きくとることができる。

タング３１と、アウトリガー部３２と、第２の支持部３４と、平面ばね３５は、いずれもフレキシャ２５の一部である。すなわちフレキシャ２５を構成する金属板をエッチング処理し、前記スリット３７，３８，３９を形成することにより、タング３１と、アウトリガー部３２と、平面ばね３５と、第２の支持部３４などの輪郭が形成されている。このため複雑なテーパ形状の平面ばね３５も、フォトエッチング等によって正確に成形することができる。下記の孔６０，６１などもエッチングによって形成されている。

図３に示すように、平面ばね３５の第１の支持部３３側の端（第１端３５ａ）は、スライダ５の一方の端部５ａに対して第２の支持部３４側に寄った位置にある。しかも平面ばね３５の第２の支持部３４側の端（第２端３５ｂ）は、スライダ５の内側すなわちスライダ５の他方の端部５ｂよりもΔＳだけ第１の支持部３３側に寄った位置（第２の支持部３４の先端３４ａよりもΔＳだけ第１の支持部３３側に寄った位置）にある。すなわちスライダ５の両端部５ａ，５ｂ間に平面ばね３５が配置されている。

このため支持部３３，３４間にスライダ５が挟まれた状態において、平面ばね３５の移動側の第２端３５ｂと第２の支持部３４の先端３４ａとの間に常に引っ張りの力が作用する。言い換えると、平面ばね３５の移動側の第２端３５ｂとスライダ５の端部５ｂとの間に圧縮の力（第２の支持部３４を倒す力）が働かない。このため支持部３３，３４間にスライダ５がクランプされて平面ばね３５が伸びている状態のもとで、第２の支持部３４がスライダ５の端部５ｂを支点として第１の支持部３３側に倒れてしまう挙動を防ぐことができ、第２の支持部３４が常に安定した姿勢を保つことができる。

なお、平面ばね３５の固定側の第１端３５ａは、スライダ５の端部５ａに対して前後方向に同じ位置（面一）に形成されていてもよいし、あるいはスライダ５の端部５ａよりも外側（フレキシャ先端側）に寄った位置に形成されていてもよい。

一方、図１０に示した従来のスライダ支持装置では、蛇腹部１３の端部１３ａがスライダ５の端部から矢印Ｔ方向に離れている。このためスライダ５が支持部１４，１５間にクランプされて蛇腹部１３が伸びたときの張力が、第２の支持部１５を第１の支持部１４に向けて圧縮する方向（第２の支持部１５を倒す方向）に作用する。このため第２の支持部１５がスライダ５の端部を支点として第１の支持部１４側に倒れやすく、第２の支持部１５の姿勢が不安定であるという問題がある。

これに対し本実施形態は、前記したように、平面ばね３５の移動側の第２端３５ｂがスライダ５の端部５ｂよりもΔＳ分だけ第１の支持部３３側に寄った位置にあり、第２の支持部３４を倒す力が働かないため、第２の支持部３４がスライダ５の端部５ｂを支点として第１の支持部３３側に倒れてしまうことがなく、第２の支持部３４が常に安定した姿勢を保つことができるものである。

第１の支持部３３の近傍に一対の第１の孔６０が形成されている。これらの第１の孔６０に、平面ばね３５を引っ張る際に使用する固定側の治具が挿入される。第２の支持部３４に第２の孔６１が形成されている。第２の孔６１には、平面ばね３５を引っ張る際に使用する移動側の治具が挿入されるようになっている。

前記平面ばね３５は、矢印Ａで示す方向の引張り荷重を与えた状態において、支持部３３，３４の先端３３ａ，３４ａ間の距離がスライダ５の長さＬ（図５に示す）よりも大となるように、許容応力のもとで平面ばね３５が伸張する。引張り荷重を与えない自由状態においては、支持部３３，３４の先端３３ａ，３４ａ間の距離がスライダ５を挟み込む長さまで縮む。このように平面ばね３５は、許容応力の範囲内で支持部３３，３４間にスライダ５を挟んだり、支持部３３，３４間からスライダ５を取外したりすることができるような伸縮ストロークを有している。

図５に示すように、第１の支持部３３として機能する配線部２６の先端部分は、先端３３ａが斜め上を向くように形成されている。前記第１の孔６０に挿入された治具によってフレキシャ２５を支持し、第２の孔６１に挿入された治具によって平面ばね３５を矢印Ａ方向に伸ばす。さらに第２の支持部３４を矢印Ｂ方向に少し移動（リフト）させ、この状態でタング３１上にスライダ５を乗せる。

そののち、平面ばね３５に対する前記張力を解除することにより、支持部３３，３４の間にスライダ５が挾持（クランプ）される。この状態のもとで、第１の支持部３３として機能する配線部２６の先端部分が端子部４０に接触することにより、スライダ５と配線部２６とが電気的に導通する。

こうしてタング３１上にスライダ５が固定されたのち、スライダ試験装置のディスク（図示せず）を回転させ、スライダ５をディスクから浮上させた状態で、配線部２６に読取り／書込み用の電流を流すなどしてスライダ５が検査され、また、スライダ５の浮上特性なども検査される。

検査終了後のスライダ５は、前記治具によって平面ばね３５を再び引き伸ばすことにより、支持部３３，３４間から取り出される。検査において合格と判断されたスライダ５は実際のサスペンションに装着され、ディスクドライブに組込まれる。検査において不合格と判断されたスライダは廃棄される。

本実施形態の平面ばね３５は、エッチングによって、フレキシャ２５の面方向に沿う山５０の高さと谷５１の深さを十分大きく形成することができ、しかも山５０と谷５１の数を多く形成することが可能である。このため、図１０に示す曲げ成形（塑性加工）された蛇腹部１３と比較して、ばね部のばね定数を下げることができ、これに伴い伸縮ストロークを大きくすることができる。

図１０に示す比較例では、蛇腹部１３が伸ばされた状態においてスライダ５が矢印Ｒ方向にリフトしてしまうようなモーメントが生じることを回避できるように蛇腹部１３を設計すると、ばね定数が例えば７００ｇｆ／ｍｍと極めて大きくなってしまう。このため蛇腹部１３の伸縮ストロークが例えば０．０２５ｍｍと小さかった。

これに対し本実施形態のエッチングによって形成された平面ばね３５は、ばね定数の一例が１２０ｇｆ／ｍｍ前後と十分小さいため、伸縮ストロークを例えば０．０８ｍｍ前後と大きくとることができた。このような平面ばね３５を備えたスライダ支持装置２０によれば、スライダ５をタング３１上に乗せる際に、支持部３３，３４間の距離を十分広げることができ、スライダ５が支持部３３，３４と干渉することを回避できる。このためスライダ５をタング３１上に問題無く乗せることができる。

また、第２の支持部３４を図５に矢印Ｂで示す方向に変位（リフト）させたときの剛性が、例えば１ｇｆ／ｍｍと十分小さい。このため第２の支持部３４を矢印Ｂ方向に０．１ｍｍ程度変位（リフト）させ、支持部３３，３４間にスライダ５を挟んでも、スライダ５をピッチ方向に傾かせてしまうようなモーメントが実質的に生じない。このため実際のサスペンションと同等のＰＳＡ（Pitch Static Attitude）の条件のもとでスライダ５の検査を行なうことができる。

前記実施形態では、第１の支持部３３を配線部２６の先端部分によって構成したが、スライダ５と電気的に接続する必要がない場合には、例えばフレキシャ２５の一部にエッチングによって凸形の第１の支持部を形成し、この第１の支持部の先端によってスライダ５の一方の端部５ａを支持するようにしてもよい。

図６と図７は、本発明の第２の実施形態に係るスライダ支持装置２０´のジンバル部３０を示している。本実施形態の平面ばね３５´は、図７に示すように、山５０と谷５１との間の中間部５２がストレートな形状となっている。このため、山５０と谷５１のそれぞれの先端部の応力が高く、中間部５２の応力が下がる。

このため第２の実施形態の平面ばね３５´は、第１の実施形態の平面ばね３５と比較して、ばね定数が若干高くなり（例えば１３８ｇｆ／ｍｍ）、その分、伸縮ストロークが小さくなる。しかし図１０の蛇腹部１３と比較すれば、ばね定数が十分小さく、数倍以上のストローク（例えば０．０７２ｍｍ）が得られるため、本発明の目的にかなうものである。それ以外の構成は第１の実施形態と同様にあるから、両者に共通の符号を付して説明は省略する。

図８は、本発明の第３の実施形態に係る平面ばね３５”の一部を示している。この平面ばね３５”は、山５０と谷５１との間に幅が一定の中間部５２を有し、山５０と谷５１の先端部の幅Ｗ２が中間部５２の幅Ｗ１よりも大きい。Ｗ１は例えば０．０４ｍｍ、Ｗ２は例えば０．０６ｍｍである。このような形状の平面ばね３５”であれば、平面ばね３５”の各部に生じる応力を第２の実施形態の平面ばね３５´よりも均等化することができ、ばね定数を下げて伸縮ストロークを大きくとることができる。それ以外の構成は第２の実施形態と同様にあるから、両者に共通の符号を付して説明は省略する。

これらの実施形態をはじめとして、この発明を実施するに当たり、フレキシャやジンバル部、平面ばねからなるばね部、第１および第２の支持部の形態など、スライダ支持装置の構成要素をこの発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更して実施できることは言うまでもない。

本発明の第１の実施形態に係るスライダ支持装置の斜視図。 図１に示されたスライダ支持装置の先端部を拡大して示す斜視図。 図１に示されたスライダ支持装置のジンバル部の平面図。 図３に示されたジンバル部の平面ばねの一部を拡大して示す平面図。 図３中のＦ５−Ｆ５線に沿うフレキシャの一部の断面図。 本発明の第２の実施形態に係るスライダ支持装置のジンバル部の平面図。 図６に示されたジンバル部の平面ばねの一部を拡大して示す平面図。 本発明の第３の実施形態に係るジンバル部の平面ばねの一部を拡大して示す平面図。 ディスクドライブの一例を示す断面図。 蛇腹部を有するスライダ支持装置の一部の斜視図。

符号の説明

５…スライダ
２０，２０´…スライダ支持装置
２５…フレキシャ
２６…配線部
３０，３０´…ジンバル部
３１…タング
３２…アウトリガー部
３３…第１の支持部
３４…第２の支持部
３５，３５´，３５”…平面ばね（ばね部）
３７…第１のスリット
３８…第２のスリット
５０…山
５１…谷

Claims (8)

1. ばね性を有する金属板からなるフレキシャを備えたスライダ支持装置であって、
   前記フレキシャは、
   スライダを取付けるためのタングを含むジンバル部と、
   前記タング上に置かれた前記スライダの長さ方向の一方の端部を支持する第１の支持部と、
   前記第１の支持部に対して前記スライダの長さ方向に移動可能で前記スライダの他方の端部を支持する第２の支持部と、
   前記第２の支持部を第１の支持部に向けて付勢するためのばね部であって、前記タングの両側に該フレキシャの面方向に沿って複数の山と谷を交互に形成してなる一対の平面ばねからなり、引張り荷重を与えた状態において前記第１および第２の支持部間に前記スライダを挿入可能な長さに伸張し、引張り荷重を与えない状態において前記第１および第２の支持部間に前記スライダを挟み込む長さに縮むばね部と、
   を具備したことを特徴とするスライダ支持装置。
2. 前記平面ばねは、前記山と谷との間の中間部が細く、該中間部から山と谷のそれぞれの先端部に向けて太くなるテーパ形状をなしていることを特徴とする請求項１に記載のスライダ支持装置。
3. 前記平面ばねは、前記山と谷との間に幅が一定の中間部を有し、該中間部の幅よりも山と谷の先端部の幅が大きいことを特徴とする請求項１に記載のスライダ支持装置。
4. 前記フレキシャは、該フレキシャの両側部に前記平面ばねに沿って形成された一対のアウトリガー部と、前記平面ばねと前記アウトリガー部との間にエッチングによって形成された第１のスリットと、前記平面ばねと前記タングとの間にエッチングによって形成された第２のスリットと、前記タングと前記第２の支持部との間に形成された第３のスリットとを有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のスライダ支持装置。
5. 前記フレキシャに配線部が設けられ、該配線部は、前記スライダが前記第１および第２の支持部間に挟まれた状態において前記スライダの端子部と電気的に導通する先端部分を有し、該先端部分が前記第１の支持部を兼ねていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のスライダ支持装置。
6. スライダを検査するための試験装置に固定されるベース部と、該ベース部にばね性を有するヒンジ部材を介して厚み方向に変位可能に取付けられたロードビームと、該ロードビームに重ねて配置され該ロードビームの先端部に前記ジンバル部が設けられた前記フレキシャとを具備したことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のスライダ支持装置。
7. 前記平面ばねの前記第２の支持部側の端が、前記スライダの前記他方の端部よりも前記第１の支持部側に寄った位置にあることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のスライダ支持装置。
8. 請求項１に記載されたスライダ支持装置を製造するための製造方法であって、
   前記フレキシャを構成する前記金属板をエッチングすることにより、前記平面ばねと前記ジンバル部の輪郭を形成することを特徴とするスライダ支持装置の製造方法。

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