JP2008010073A - 電子部品を挟持保持する保持シート及び電子部品研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄板状のシート基材と、前記シート基材に連結する連結部と自由端である先端部とを有する第1挟持部及び第2挟持部であって、前記第1挟持部及び前記第2挟持部の前記先端部が対向するように配置される、可撓性を有する第1挟持部及び第2挟持部と、前記第1挟持部及び前記第2挟持部の少なくとも一方に設けられ、前記電子部品の前記電極部に電気的に接続される電極接点部材と、を備え、前記電極部に前記電極接点部材を接触し、かつ、前記第1挟持部及び第2挟持部が撓んだ状態で、前記第1挟持部及び第2挟持部間に前記電子部品を挟持保持する保持シート。
【選択図】図1
Description
図1(a)は、電子部品を挟持保持した状態の本発明に係る保持シートの実施形態の平面図である。図1(b)は、図1(a)の側面図である。
図2(a)は、本発明に係る保持シートの第2の実施形態の平面図であり、図2(b)は、その側面図である。なお、図中、図1と異なり、図面の明瞭化のため被研磨物を割愛した。したがって、図2も図1と同様に被研磨物を挟持保持した状態の保持シートが示されている。
図3(a)は、本発明に係る保持シートの第3の実施形態の平面図であり、図3(b)は、その側面図である。
3、103 シート基材
5、109 第2舌片
7、107 第1舌片
9、113 電極接点部材
11、111 電気配線
51 電子部品
53 電極
Claims (5)
- 電極部を有する電子部品を挟持保持する保持シートであって、
薄板状のシート基材と、
前記シート基材に連結する連結部と自由端である先端部とを有する第1挟持部及び第2挟持部であって、前記第1挟持部及び前記第2挟持部の前記先端部が対向するように配置される、可撓性を有する第1挟持部及び第2挟持部と、
前記第1挟持部及び前記第2挟持部の少なくとも一方に設けられ、前記電子部品の前記電極部に電気的に接続される電極接点部材と、を備え、
前記電極部に前記電極接点部材を接触し、かつ、前記第1挟持部及び第2挟持部が撓んだ状態で、前記第1挟持部及び第2挟持部間に前記電子部品を挟持保持する保持シート。 - 前記第1挟持部及び第2挟持部はそれぞれ、前記シート基材に設けられたU字状の切り込みにより画成される前記第1舌片及び第2舌片である請求項1に記載の保持シート。
- 前記電極接点部材を有する前記第1挟持部もしくは前記第2挟持部は、金属部材からなる請求項1に記載の保持シート。
- 一端部で前記電極接点部材に接続し、他端部で前記電子部品の特性値を測定するための測定手段に接続する電気配線が前記シート基材に形成され、前記電極接点部材を有する前記第1挟持部もしくは前記第2挟持部、前記電極接点部材、及び前記電気配線は、一体形成されている請求項3に記載の保持シート。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の保持シートを備える電子部品研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP2008010073A (ja) |
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2006
- 2006-06-29 JP JP2006179573A patent/JP2008010073A/ja active Pending
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