JP4255857B2 - 回路基板検査用プロービング装置および回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
2,2A〜2E プロービングユニット
3 検査部
4 制御部
5 回路基板
10 フレーム
11 検査用プローブ
12,12A〜12C,12E 押圧部
13 超音波モータ
14 移動量検出部
21 レール
22 ベース部
23,51 ローラ
24 コイルスプリング
31 圧電セラミック
32 電極
33 プローブ当接部
43 プローブ移動機構
51a,52 プーリ
53 タイミングベルト
54 直流モータ
63 板ばね(プローブ保持部)
P 押圧力
Claims (5)
- 検査対象の回路基板に接触させられる検査用プローブと、当該検査用プローブを前記回路基板に対して接離する方向に移動させるプローブ移動機構と、ローラを備えて前記接離する方向に対して交差する向きで当該ローラを介して前記検査用プローブを前記プローブ移動機構に向けて押圧する押圧手段とを備え、
前記プローブ移動機構は、前記押圧手段によって押圧された前記検査用プローブが当接するプローブ当接部を備えて、当該プローブ当接部と前記ローラとで当該検査用プローブを挟持した状態で当該検査用プローブを移動させ、
前記押圧手段の押圧力および前記プローブ当接部の摩擦係数は、前記プローブ移動機構による前記検査用プローブの前記回路基板に対する接触圧が基準接触圧を超えたときに当該プローブ当接部が当該検査用プローブに対して滑動するように規定されている回路基板検査用プロービング装置。 - 検査対象の回路基板に接触させられる検査用プローブと、当該検査用プローブを前記回路基板に対して接離する方向に移動させるプローブ移動機構と、ローラと、前記接離する方向に対して交差する向きで前記プローブ移動機構を前記検査用プローブに向けて押圧する押圧手段とを備え、
前記プローブ移動機構は、前記押圧手段によって押圧された状態で前記検査用プローブに当接するプローブ当接部を備えて、当該プローブ当接部と前記ローラとで当該検査用プローブを挟持した状態で当該検査用プローブを移動させ、
前記押圧手段の押圧力および前記プローブ当接部の摩擦係数は、前記プローブ移動機構による前記検査用プローブの前記回路基板に対する接触圧が基準接触圧を超えたときに当該プローブ当接部が当該検査用プローブに対して滑動するように規定されている回路基板検査用プロービング装置。 - 検査対象の回路基板に接触させられる検査用プローブと、当該検査用プローブを前記回路基板に対して接離する方向に移動させるプローブ移動機構と、一端部がフレームに固定された弾性変形体を備えて当該弾性変形体によって前記検査用プローブを保持するプローブ保持部と、前記接離する方向に対して交差する向きで前記プローブ移動機構を前記検査用プローブに向けて押圧する押圧手段とを備え、
前記プローブ移動機構は、前記押圧手段によって押圧された状態で前記検査用プローブに当接するプローブ当接部を備えて、当該プローブ当接部を前記検査用プローブに押圧した状態で当該検査用プローブを移動させ、
前記押圧手段の押圧力および前記プローブ当接部の摩擦係数は、前記プローブ移動機構による前記検査用プローブの前記回路基板に対する接触圧が基準接触圧を超えたときに当該プローブ当接部が当該検査用プローブに対して滑動するように規定されている回路基板検査用プロービング装置。 - 前記プローブ移動機構は、振動子を超音波振動させて前記検査用プローブをスライダとして前記接離する方向に移動させる超音波モータを備えて構成されている請求項1から3のいずれかに記載の回路基板検査用プロービング装置。
- 請求項1から4のいずれかに記載の回路基板検査用プロービング装置と、当該各回路基板検査用プロービング装置の前記検査用プローブを介して前記回路基板に検査用信号を出力して当該回路基板を電気的に検査する検査部とを備えている回路基板検査装置。
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