JP4674092B2 - 表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
また、同様にビーム整形器11’として回折光学素子を使用することができる。ここで採用する回折光学素子はガウス分布のレーザ光を入射することで、矩形あるいは円形のフラットトップのエネルギ分布を有するビームが得られるように設計製作されている。この回折光学素子を使用した場合、強度分布はバラツキが±5%以内の均一な分布が得られる。
ここで、非晶質シリコン薄膜に連続発振レーザ光を照射した場合、アライメントマークとして使用できるような多結晶シリコン膜が形成できることを確認するための実験を行った。ガラス基板上に形成した膜厚50nmの非晶質シリコン膜に、ビーム径およそ700μmの連続発振レーザ光を1秒間だけ照射し、その時に形成される多結晶領域の直径を測定した結果を図16に示す。使用したレーザはLD励起連続発振YVO4レーザの第二高調波でビーム整形器を用いず、ガウス分布のまま照射した。
61,62,63,65,66,67…………帯状結晶膜、105…………横方向成長速度が遅い結晶粒、106…………横方向成長速度が中程度の結晶粒、107,108,109…………横方向成長速度が速い結晶粒。
Claims (5)
- 絶縁基板の主面上に非晶質半導体膜を形成し、所望の領域を非晶質半導体膜のまま残して、それ以外の部分に第一のレーザ光を照射して多結晶半導体膜に変換し、前記非晶質半導体膜に第二のレーザ光を照射して多結晶化することでアライメントマークを形成し、前記アライメントマークを形成するのに用いた第二のレーザ光を前記多結晶半導体膜の所望の領域に照射して横方向成長多結晶半導体膜を形成することを特徴とする平面表示装置の製造方法。
- 絶縁基板の主面上に非晶質半導体膜を形成する工程、
前記絶縁基板の主面上に形成された非晶質半導体膜の周辺部を除いて第一のレーザを照射して多結晶半導体膜に変換する工程、
前記基板上の主面上に残留している前記非晶質半導体膜に第二のレーザを照射してアライメントマークを形成する工程、
前記多結晶半導体膜の所望の領域に、線状に整形した第三のレーザを当該線状の長手方向に直交する方向に走査して、前記多結晶半導体膜の所望の領域を横方向成長させる工程を含み、
前記の各工程に続く最初のフォトエッチング工程で前記アライメントマークをフォトマスクの位置決めに使用することを特徴とする平面表示装置の製造方法。 - 絶縁基板の主面上に非晶質半導体膜を形成する工程、
前記絶縁基板の主面上に形成された非晶質半導体膜の周辺部を除いて第一のレーザ光を照射して多結晶半導体膜に変換する工程、
前記基板の主面上に残留している前記非晶質半導体膜にマスクパターンを透過した第二のレーザ光を投影光学系により縮小投影して照射してアライメントマークを形成する工程、
前記多結晶半導体膜の所望の領域に、線状に整形した前記第二のレーザ光を投影光学系により縮小投影して当該線状の長手方向に直交する方向で走査して前記多結晶半導体膜の所望の領域を横方向成長させる工程を含み、
前記の各工程に続く最初のフォトエッチング工程で、前記アライメントマークをフォトマスクの位置決めに使用することを特徴とする平面表示装置の製造方法。 - 請求項3において、前記第一のレーザ光を出力するレーザがエキシマレーザであることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
- 請求項3において、前記第二のレーザ光を出力するレーザがLD励起YAGレーザあるいはLD励起YVO4レーザの連続発振レーザであることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
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