JP4673053B2 - 電荷転送装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1の電荷転送装置の詳細な構造を示す図である。図1に示すように実施の形態1の電荷転送装置は、電荷転送素子列1a、画素列(フォトダイオード列)2a、2b、読み出しゲート3a、3bおよび電荷排出用ゲート4a、4bを有している。
図6は、本発明の実施の形態2に関する電荷転送装置を示す平面図である。第1の実施の形態と共通の要素に関しては同一の符号を用いて、その説明を一部省略する。実施の形態2では、第1ポリシリコン電極6と第2ポリシリコン電極7および第2ポリシリコン電極7とアルミ配線を接続するコンタクトの位置が異なっている。また、電荷転送層となる拡散領域のN型ウェル101の形状も異なっている。
2a、2b、2c、2d フォトダイオード列
3a、3b、3c、3d 読み出しゲート
4a、4b、4c 電荷排出ゲート
5 チャネルストッパ
6 第1層ポリシリコン電極
7 第2層ポリシリコン電極
8、9 コンタクト
10 電荷検出回路
20 第1の電荷転送素子
21 第2の電荷転送素子
100 P型基板
101 N型ウェル
Claims (7)
- 第1の駆動信号に基づいて動作する第1の電荷転送素子と、第2の駆動信号に基づいて動作する第2の電荷転送素子が交互に配置された電荷転送素子列と、
前記電荷転送素子列の一方に配置され、前記第1の電荷転送素子に接続されると共に前記第2の電荷転送素子には接続されない第1のフォトダイオード列と、
前記電荷転送素子列の他方に配置され、前記第2の電荷転送素子に接続されると共に前記第1の電荷転送素子には接続されない第2のフォトダイオード列を有し、
前記第1および第2の電荷転送素子は、それぞれ前記第1または第2のフォトダイオードからの電荷の読み出し方向に沿って電位勾配を有すると共に、互いに形状的な対称性を有する、
電荷転送装置。 - 前記第1および第2の電荷転送素子のゲート電極下部に形成されるウェル領域の幅が前記電荷の読み出し方向に沿って増加している、
請求項1に記載の電荷転送装置。 - 前記第1および第2の電荷転送素子の前記ゲート電極の幅が前記電荷の読み出し方向に沿って増加している、
請求項1に記載の電荷転送装置。
- 前記第1および第2の電荷転送素子のゲート電極の幅が前記電荷の読み出し方向に沿って縮小している、
請求項2に記載の電荷転送装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電荷転送装置を複数有し、前記複数の電荷転送装置が列方向に1/nピッチ互いにずれた状態で配置されることを特長とする電荷転送装置。
- 前記第1の電荷転送素子を構成するゲート電極と、前記第2の電荷転送素子を構成するゲート電極とは、同じ面積であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電荷転送装置。
- 前記第1の電荷転送素子のゲート電極は、前記第2のフォトダイオード列側に形成されたコンタクトを介して第1の駆動信号が供給された配線と電気的に接続され、
前記第2の電荷転送素子のゲート電極は、前記第1のフォトダイオード列側に形成されたコンタクトを介して第2の駆動信号が供給された配線と電気的に接続されている、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載の電荷転送装置。
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