JP2006173453A - 電荷転送装置 - Google Patents
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Abstract
電荷転送装置において、対称性を有する電荷転送装置を形成する。
【解決手段】
電荷転送装置は、第1の駆動信号に基づいて動作する第1の電荷転送素子と、第2の駆動信号に基づいて動作する第2の電荷転送素子が交互に配置された電荷転送素子列と、前記電荷転送素子列の一方に配置され、前記第1の電荷転送素子に接続される第1のフォトダイオード列と、前記電荷転送素子の他方に配置され、前記第2の電荷転送素子に接続される第2のフォトダイオード列を有している。この構成により、第1の電荷転送素子と第2の電荷転送素子に対称性を持たせることが可能となる。
【選択図】 図1
Description
図1は、実施の形態1の電荷転送装置の詳細な構造を示す図である。図1に示すように実施の形態1の電荷転送装置は、電荷転送素子列1a、画素列(フォトダイオード列)2a、2b、読み出しゲート3a、3bおよび電荷排出用ゲート4a、4bを有している。
図6は、本発明の実施の形態2に関する電荷転送装置を示す平面図である。第1の実施の形態と共通の要素に関しては同一の符号を用いて、その説明を一部省略する。実施の形態2では、第1ポリシリコン電極6と第2ポリシリコン電極7および第2ポリシリコン電極7とアルミ配線を接続するコンタクトの位置が異なっている。また、電荷転送層となる拡散領域のN型ウェル101の形状も異なっている。
2a、2b、2c、2d フォトダイオード列
3a、3b、3c、3d 読み出しゲート
4a、4b、4c 電荷排出ゲート
5 チャネルストッパ
6 第1層ポリシリコン電極
7 第2層ポリシリコン電極
8、9 コンタクト
10 電荷検出回路
20 第1の電荷転送素子
21 第2の電荷転送素子
100 P型基板
101 N型ウェル
Claims (9)
- 第1の駆動信号に基づいて動作する第1の電荷転送素子と、第2の駆動信号に基づいて動作する第2の電荷転送素子が交互に配置された電荷転送素子列と、
前記電荷転送素子列の一方に配置され、前記第1の電荷転送素子に接続される第1のフォトダイオード列と、
前記電荷転送素子列の他方に配置され、前記第2の電荷転送素子に接続される第2のフォトダイオード列を有する電荷転送装置。 - 前記第1のフォトダイオード列および前記第2のフォトダイオード列は前記電荷転送素子列を挟むように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電荷転送装置。
- 前記第1の電荷転送素子および前記第2の電荷転送素子は、それぞれ第1ゲート電極および第2ゲート電極を有し、
前記第1の電荷転送素子の前記第1のフォトダイオード列に隣接する部分の前記第1ゲート電極の列方向に沿った幅は、前記第1の電荷転送素子の中央部の前記第1ゲート電極の列方向に沿った幅よりも狭く形成され、
前記第2の電荷転送素子の前記第2のフォトダイオード列に隣接する部分の前記第1ゲート電極の列方向に沿った幅は、前記第2の電荷転送素子の中央部の前記第1ゲート電極の幅よりも狭く形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電荷転送装置。 - 前記第1の電荷転送素子および前記第2の電荷転送素子は、それぞれ第1ゲート電極および第2ゲート電極を有し、さらに、
前記第1の電荷転送素子の前記第1ゲート電極下部に形成され、前記第1のフォトダイオード列の電荷を前記第1の電荷転送素子の中央部へと読み出すチャネルが形成される第1のウェル領域と、
前記第2の電荷転送素子の前記第1ゲート電極下部に形成され、前記第2のフォトダイオード列の電荷を前記第2の電荷転送素子の中央部へと読み出すチャネルが形成される第2のウェル領域とを有し、
前記第1のウェル領域は前記第1のフォトダイオード列の電荷を読み出すときに、前記第1のフォトダイオード列から前記第1の電荷転送素子の中央部に向かって電位勾配を持つように形成され、
前記第2のウェル領域は前記第2のフォトダイオード列の電荷を読み出すときに、前記第2のフォトダイオード列から前記第2の電荷転送素子の中央部に向かって電位勾配を持つように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電荷転送装置。 - 前記第1のウェル領域の前記第1のフォトダイオード列に隣接する部分の列方向に沿った幅は、前記第1の電荷転送素子の中央部の前記第1のウェル領域の列方向に沿った幅よりも狭く形成され、
前記第2のウェル領域の前記第2のフォトダイオード列に隣接する部分の列方向に沿った幅は、前記第2の電荷転送素子の中央部の前記第2のウェル領域の列方向に沿った幅よりも狭く形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電荷転送装置。 - 請求項1に記載の電荷転送装置を複数有し、前記複数の電荷転送装置が列方向に1/nピッチ互いにずれた状態で配置されることを特長とする電荷転送装置。
- 前記第1のフォトダイオード列と前記第1の電荷転送素子との間に設けられた第1の読み出しゲートと、
前記第2のフォトダイオード列と前記第2の電荷転送素子との間に設けられた第2の読み出しゲートとをさらに有し、
前記第1の読み出しゲートは第1の読み出し信号に応じて前記第1のフォトダイオード列から前記第1の電荷転送素子への電荷転送を制御し、前記第2の読み出しゲートは前記第1の読み出し信号とは異なる第2の読み出し信号に応じて前記第2のフォトダイオード列から前記第2の電荷転送素子への電荷転送を制御することを特徴とする請求項1記載の電荷転送装置。 - 前記第1の電荷転送素子を構成するゲート電極と、前記第2の電荷転送素子を構成するゲート電極とは、同じ面積であることを特徴とする請求項1記載の電荷転送装置。
- 第1および第2のフォトダイオード列と、
前記第1および第2のフォトダイオード列の間に、前記第1のフォトダイオード列と接続された第1の電荷転送素子と前記第2のフォトダイオード列と接続された第2の電荷転送素子とが交互に配置された電荷転送素子列と、を備え、
前記第1の電荷転送素子の電極は、前記第1および第2のフォトダイオード列の一方のフォトダイオード列側に形成されたコンタクトを介して第1の駆動信号が供給された配線と電気的に接続され、
前記第2の電荷転送素子の電極は、前記第1および第2のフォトダイオード列の他方のフォトダイオード列側に形成されたコンタクトを介して第2の駆動信号が供給された配線と電気的に接続されていることを特徴とする電荷転送装置。
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