JP4658380B2 - 太陽電池素子およびそれを用いた太陽電池モジュール - Google Patents

太陽電池素子およびそれを用いた太陽電池モジュール Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体基板の表裏面に出力取出用バスバー部が設けられた太陽電池素子とそれを用いた太陽電池モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
太陽電池素子の一般的な構造を図4に示す。図4(a)は断面図、図4(b)は裏側から見た図である。図4(a)(b)において、11は一導電型(例えばP型)を示す半導体基板、11aは半導体基板11の表面部分にリン原子が高濃度に拡散され他の導電型を呈する領域、12は一主面側の反射防止膜、13は半導体接合部である。この反射防止膜12は電極に相当する部分がエッチングされもしくはその上から電極が形成される。14は裏面から出力を取り出すための銀電極、15は裏面アルミニウム電極であり、これがシリコン基板11に焼き付けられた際には裏面で発生したキャリアが再結合することを防ぐ裏面電界層としての効果があることも知られている。裏面では銀を主成分とする電極14とアルミニウムを主成分とする電極15が形成されるが、両者は電気的伝導を保つために、互いの一部分が重なり合うことが必要になる。16は隣接する太陽電池同志を接続する配線部材がハンダ付けされる表面電極の出力取出用バスバー部であり、この出力取出用バスバー部16と垂直に集電用フィンガー電極17が多数設けられている。表面電極16、17及び裏面電極14、15の配置は、両者が半導体基板11を挟んで重なる位置に配置するようにする。
【0003】
このような太陽電池素子の出力取出用バスバー部14、16には出力取出用銅箔等(不図示)を半田付けするためにあらかじめ半田被覆されている。この半田被覆は、ディップ法、噴流式等が採用される。ところで銀を主成分とする裏面電極の出力取出用バスバー部14とアルミニウムを主成分とする裏面電極の集電部15は、両者が重なり合う部分では基板材料のシリコン、出力取出用バスバー部材料の銀、集電部用材料のアルミニウムという熱膨張率の異なるものが集まるために、焼成した後に応力の集中が起こり、太陽電池素子にクラックが発生したり、割れたりするという問題があった。銀から成る出力取出用バスバー部14とアルミニウムから成る集電部15とが重なり合う部分で割れなどが発生した場合には、この部分の出力は取り出すことができず、出力の損失を引き起こすという問題があった。
【0004】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、裏面電極の出力取出用バスバー部と集電部の重なり部分で割れが発生しても出力損失を最小限に抑えることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の太陽電池素子は、表面と裏面とを有する半導体基板と、前記半導体基板の表面と裏面のそれぞれの複数個所に配置された出力取出用バスバー部と、を有し、前記表面に配置された出力取出用バスバー部は、前記裏面に配置された隣り合う出力取出用バスバー部の間に位置していることを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。図1は本発明の太陽電池素子の構造を示す図であり、(a)は断面図、(b)は太陽電池素子を裏面側から見た図である。図1(a)(b)において、1は一導電型(例えばP型)を示す半導体基板、1aは半導体基板1の表面部分にリン原子が高濃度に拡散され他の導電型を呈する領域、2は一主面側の反射防止膜、3は半導体接合部である。この反射防止膜2は電極に相当する部分がエッチングされもしくはその上から電極が形成される。4は裏面電極の出力取出用バスバー部であり、裏面から出力を取り出すための銀電極、5は裏面電極の集電部であって、裏面アルミニウム電極であり、一般にこれがシリコン1に焼き付けられた際には裏面で発生したキャリアが再結合することを防ぐ裏面電界層としての効果があることも知られている。裏面では銀を主成分とする電極4とアルミニウムを主成分とする電極5が形成されるが、両者は電気的伝導を保つために、互いの一部分が重なり合うことが必要になる。6は隣接する太陽電池同志を接続する配線部材がハンダ付けされる表面電極の出力取出用バスバー部、図示されていないが反射防止膜2の表面に沿ってバスバー部6と垂直にフィンガー電極7が設置されている。表面電極6、7及び裏面電極4、5の配置は、両者が半導体基板1を挟んで重なる位置に配置するようにする。
【0007】
図1(b)に示すように、出力取出用の裏面銀電極の配置パターンを半導体基板1の裏面側の中央に一本4bと半導体基板の対向する両端に一本ずつ4a、4cを配置する。アルミニウムの配置パターン5は裏面銀電極4bの両端と裏面銀電極4a、4cの内側だけで重なればよい。
【0008】
この結果、セル割れが発生する可能性があるのは中央の銀電極4bの両端とセル両端に配置した銀電極4a、4cの内側であるが、同時に2箇所以上で割れが発生しなければ、何れの位置で割れが発生しても出力を取り出すことが可能となり、出力の損失を最低限に抑える効果がある。
【0009】
つまり、図2に示すように、セルの割れが発生しやすい個所は図の▲1▼〜▲4▼線で示した箇所である。
【0010】
リード線(出力取り出し用の銅箔)は表電極6(2本)と裏面電極4(3本)の合計5本であるが、セルの割れが同時に2箇所以上割れるというのは、▲1▼と▲2▼、▲3▼、▲4▼のいずれかが割れるとか、▲2▼と▲3▼、▲4▼のいずれかが割れるということである。▲1▼が割れたとき出力は中央の銀電極4bと他方端部の銀電極4cにより取り出すことができる。また、▲2▼が割れたときには裏面銀電極4bは裏面銀電極4c側のセルと裏面銀電極4a側のセルの2つに分かれているが、一方は裏面銀電極4aのみでもう一方は裏面銀電極4bと裏面銀電極4cで出力を取り出すことができる。
【0011】
▲3▼がわれたときは▲2▼が割れたときと同じである。▲4▼が割れたときには▲1▼が割れたときと同じである。
【0012】
裏面の電極が2本の場合、例えば4cがないときは、▲3▼で割れが発生すると、▲3▼−▲4▼にかけての出力を取り出すことができなくなる。これは裏面電極が2本の場合には、電極の配置をどのようにしても必ず起こる。
【0013】
なお、図1では裏面電極の各々の出力取出部を連続した一本のパターンで示したが、必ずしも連続でなくてもよく、直線状に並んだドットパターンなどでもよい。
【0014】
次に、図3に基づいて、本発明の太陽電池素子の製造方法を説明する。
【0015】
まず、半導体基板1を用意する(図3(a)参照)。この半導体基板1は、単結晶又は多結晶シリコンなどから成る。この半導体基板1は、ボロン(B)などの一導電型半導体不純物を1×1016〜1018atoms/cm3程度含有し、比抵抗1.5Ωcm程度の基板である。単結晶シリコンの場合は引き上げ法などによって形成され、多結晶シリコンの場合は鋳造法などによって形成される。多結晶シリコンは、大量生産が可能で製造コスト面で単結晶シリコンよりも有利である。引き上げ法や鋳造法によって形成されたインゴットを300μm程度の厚みにスライスして、10cm×10cmまたは15cm×15cm程度の大きさに切断してシリコン基板1とする。次に、この基板1の切断面を清浄化するために表面をフッ酸やフッ硝酸などでごく微量エッチングする。
【0016】
次に、半導体基板1を拡散炉中に配置して、オキシ塩化リン(POCl3)などの中で加熱することによって、半導体基板1の表面部分にリン原子を拡散させてシート抵抗が30〜300Ω/□の他の導電型を呈する領域1aを形成し、半導体接合部3を形成する(図3(b)参照)。
【0017】
次に、半導体基板1の一主面側の他の導電型を呈する領域1aのみを残して他の部分を除去した後に、純水で洗浄する(図3(c)参照)。この半導体基板1の一主面側以外の他の導電型を呈する領域1aの除去は、半導体基板1の一主面側にレジスト膜を塗布し、フッ酸と硝酸の混合液を用いてエッチング除去した後、レジスト膜を除去することにより行なう。
【0018】
次に、半導体基板1の一主面側に反射防止膜2を形成する(図3(d)参照)。この反射防止膜2は例えば窒化シリコン膜などから成り、例えばシラン(SiH4)とアンモニア(NH3)との混合ガスをグロー放電分解でプラズマ化させて堆積させるプラズマCVD法などで形成される。この反射防止膜2は、半導体基板1との屈折率差などを考慮して、屈折率が1.8〜2.3程度になるように形成され、厚み500〜1000Å程度の厚みに形成される。この窒化シリコン膜は形成する際にパッシベーション効果があり、反射防止の機能と併せて太陽電池の電気特性を向上させる効果がある。
【0019】
次に、出力取出用バスバー部4を形成するための銀電極材料を塗布して乾燥した後(図3(e)参照)、裏面アルミニウム電極5を上記裏面銀電極材料の一部を覆わないように塗布して乾燥させる(図3(f)参照)。なお、この裏面電極の銀材料とアルミニウム材料を塗布する順番はこの逆でもよい。次に、表面電極材料6および7を塗布して乾燥する(図3(g)参照)。
【0020】
この電極材料5はアルミニウムと有機ビヒクルとガラスフリットをアルミニウム100重量部に対してそれぞれ10〜30重量部、0.1〜5重量部を添加してペースト状にしたものを、電極材料4、6は、銀と有機ビヒクルとガラスフリットを銀100重量部に対してそれぞれ10〜30重量部、0.1〜5重量部を添加してペースト状にしたものをスクリーン印刷法で印刷する。これら電極材料4、5、6は乾燥後に同時に600〜800℃で1〜30分程度焼成することにより焼き付けられる。
【0021】
上述のような太陽電池を複数用意し、特定の太陽電池の表面電極と隣接する太陽電池の裏面電極を順次接続して、表面側にガラスなどの透光部材を配設するとともに、裏面側にポリエチレンのシートやアルミ箔などを配設して全体をエチレンビニルアセテートなどの透光性樹脂で接着して太陽電池モジュールを形成する。裏面電極の裏面アルミニウム5と銀4の重なり部分で割れが発生しても出力損失を最小限に抑える太陽電池を用いて、太陽電池モジュールを作成する。
【0022】
【実施例】
次に本発明の実施例を示す。半導体基板として15cm角で厚さ0.3mm、比抵抗1.5Ω・cmのP型シリコン基板を準備した。そして熱拡散法でオキシ塩化リン(POCl3)を拡散源として、深さ0.5μmのN型拡散層を形成した。
【0023】
次に表面にプラズマCVD法で窒化シリコンの反射防止膜を800Åの厚さで形成し、不要部のN型拡散層を除去した。
【0024】
裏面電極として出力取り出し用の銀を従来のパターン(2本)と本発明に係るパターン(3本)で塗布し、その後それぞれのパターンに応じたアルミニウムのパターンを印刷して表面にも銀ペーストをスクリーン印刷して750度15分で焼き付けた後、上記集電極表面を半田被覆して太陽電池を製造した。セル割れが発生した場合(1個所)の出力損失の比較を行った。その結果を表1に示した。
【0025】
【表1】
Figure 0004658380
【0026】
表1に示した通り、セル割れが発生した際の出力損失は、従来パターンでは73.8%であったが、本発明によれば94.5%に抑えることができた。
【0027】
以上のように、本発明の太陽電池素子によれば、セル割れが発生する可能性があるのは中央の銀電極の両端とセル両端に配置した銀電極の内側であるが、同時に2箇所以上での割れが発生しなければ、何れの位置で割れが発生しても出力を取り出すことが可能となり、出力の損失を最低限に抑える効果がある。
【0028】
また、本発明の太陽電池モジュールによれば、出力損失を極力低減した太陽電池モジュールとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る太陽電池素子を示す図である。
【図2】本発明に係る太陽電池素子のセル割れと出力損失との関係を示す図である。
【図3】本発明に係る太陽電池素子の製造方法を示す図である。
【図4】従来の太陽電池素子を示す断面図である。
【符号の説明】
1:半導体基板、1a:他の導電型を呈する領域、2:反射防止膜、3:半導体接合部、4:裏面電極の出力取出用バスバー部、5:裏面電極の集電部、6:表面電極の出力取出用バスバー部、7:表面電極の集電用フィンガー部

Claims (5)

  1. 表面と裏面とを有する半導体基板と、
    前記半導体基板の表面と裏面のそれぞれの複数個所に配置された出力取出用バスバー部と、を有し、
    前記表面に配置された出力取出用バスバー部は、前記裏面に配置された隣り合う出力取出用バスバー部の間に位置していることを特徴とする太陽電池素子。
  2. 前記半導体基板の表面と裏面のそれぞれの複数個所に配置された前記出力取出用バスバー部は帯状であり、前記裏面に配置された前記出力取出用バスバー部は3本であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池素子。
  3. 前記裏面には集電部が形成されており、前記集電部は前記裏面に配置された前記出力取出用バスバー部に重なっていることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池素子。
  4. 前記集電部はアルミニウムからなり、前記裏面に配置された前記出力取出用バスバー部は銀からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の太陽電池素子。
  5. 請求項1〜4のいずれかに記載の太陽電池素子の複数を接続線で接続して、前記太陽電池素子の表面側に透光性部材を、前記太陽電池素子の裏面側に裏面部材をそれぞれ配設して一体化したことを特徴とする太陽電池モジュール。
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