JP4625858B2 - ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム - Google Patents
ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4625858B2 JP4625858B2 JP2008232600A JP2008232600A JP4625858B2 JP 4625858 B2 JP4625858 B2 JP 4625858B2 JP 2008232600 A JP2008232600 A JP 2008232600A JP 2008232600 A JP2008232600 A JP 2008232600A JP 4625858 B2 JP4625858 B2 JP 4625858B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- wire
- bonding
- point
- ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/002—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating specially adapted for particular articles or work
- B23K20/004—Wire welding
- B23K20/005—Capillary welding
- B23K20/007—Ball bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/4501—Shape
- H01L2224/45012—Cross-sectional shape
- H01L2224/45015—Cross-sectional shape being circular
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48095—Kinked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/4847—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/485—Material
- H01L2224/48505—Material at the bonding interface
- H01L2224/48599—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78301—Capillary
- H01L2224/78302—Shape
- H01L2224/78303—Shape of the pressing surface, e.g. tip or head
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/85009—Pre-treatment of the connector or the bonding area
- H01L2224/8503—Reshaping, e.g. forming the ball or the wedge of the wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/8512—Aligning
- H01L2224/85148—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
- H01L2224/85169—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
- H01L2224/8518—Translational movements
- H01L2224/85181—Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
- H01L2224/852—Applying energy for connecting
- H01L2224/85201—Compression bonding
- H01L2224/85205—Ultrasonic bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L24/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01015—Phosphorus [P]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01019—Potassium [K]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01047—Silver [Ag]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
最初に図1及び図2を参照してワイヤボンディング装置の構成を説明する。図1は、ワイヤボンディング装置の構成を示すブロック図、図2は、図1に示すワイヤボンディング装置のキャピラリ、クランパ、放電電極の位置関係を示す説明図である。
ボンディングアーム2をZ方向の上下に駆動するボンディングヘッド6には、ボンディングアーム2の位置を検出する位置検出センサ7を備えており、位置検出センサ7は、ボンディングアーム2の予め設定された原点位置からのボンディングアーム2先端に装着されたキャピラリ3の位置を制御装置17に出力するようになっている。また、ボンディングヘッド6のリニアモータは、制御装置17によってボンディングアーム2を上下に駆動する他に、ボンディング時にキャピラリ3に対して荷重の大きさ、荷重の印加時間の制御がなされる。
次に、本発明のワイヤボンディング方法による低ループ形成を行う実施の形態について、図3乃至図7を参照して説明する。図3は、キャピラリの下部の形状を示す断面図、図4は、ループ形成におけるキャピラリの移動軌跡を示す図、図5は、キャピラリの移動軌跡による各時点でのボール圧着形状及びワイヤ形状を示す図、図6は、図5に示す(a)から(g)のボール圧着形状の詳細を示す一部断面を含む図、図7は、図5に示す(h)から(k)のボール圧着形状の詳細を示す一部断面を含む図である。
最初に、ワイヤボンディングに用いるキャピラリの形状について説明する。図3に示すように、キャピラリ3は、ワイヤを通すためのホール3cを有し、ホール3cから下方向に広がりを持つ略円錐台(以下、円錐台と称する。)の形状の空間を有する。円錐台の形状の空間の上面の直径はホール径H、底部3bの内側端部の直径はチャンファー径CDで示され、円錐台の形状の空間の周囲は、チャンファー面3aに囲まれている。なお、チャンファー面3aが垂直を成している場合には、円柱の形状の空間を有する。したがって、円錐台は、略円錐台形状のものから円柱状の形状のものも含む。
次に、上記キャピラリを制御して低ループを形成するワイヤボンディング方法について説明する。なお、図5乃至図7に示す矢印はキャピラリの移動方向を示すものである。図4、図5(a)及び図6(a)に示すように、最初に、ワイヤ35をクランプするクランパ4(図2に示す)は開状態で、キャピラリ3が第1ボンディング点であるパッド31の上方から下降してワイヤ35先端に形成されたフリーエアーボール36(図2に示す)を第1ボンディング点であるパッド31のA点にボンディングする。このとき図6(a)に示すように、キャピラリ3先端のフリーエアーボール36は、キャピラリ3の底部3bによりパッドに押圧されて変形し、キャピラリ3のチャンファー面3aの成す円錐台の形状の空間内に充填される。キャピラリ3により押圧されたフリーエアーボールを圧着ボール37と称する。また、キャピラリ3の内部には、図6(a)に示すように、圧着ボールの37の上部に位置するネック部42が存在し、ネック部42は圧着ボール37上部に位置している。なお、キャピラリ3のチャンファー面3aの成す空間は、前述したように、円錐台に限ったものではなく、円柱の形状の空間でもよく、チャンファー面3aの形状に依存した空間となる。
次に図4、図5(f)及び図6(g)に示すように、キャピラリ3は、第2ボンディング点側に斜め方向に移動しながらF点まで上昇する。図6(g)に示すように、キャピラリ3が第2ボンディング点に移動しながらF点まで上昇して、ワイヤ引出部39からのワイヤが直線状となるようにキャピラリ3からワイヤ35を繰り出すようにする。
次に、図4に示す第1ボンディング点であるA点でのボール圧着後のB点からE点までのキャピラリの上昇量、下降量及び水平の各移動量について説明する。なお、キャピラリの移動は、X,Y,Z軸の3次元の空間の位置からの移動量を指定して行うようにする。図4に示すように、A点からB点までのキャピラリの上昇量をZ1、B点からC点までのキャピラリの下降量をZ2、C点からD点までのキャピラリの上昇量をZ3、D点からE点までのキャピラリの下降量をZ4とし、また、B点からC点までのキャピラリのXY移動量をL1、C点からE点までのキャピラリのXY移動量をL2とする。但し、目標とするループ高さは、ワイヤ径の2倍以下とする。なお、以下の説明では、B点からE点までの位置は、キャピラリが第1ボンディング点で圧着ボールを形成した位置を基準とする。
また、キャピラリの上昇、下降の移動量は
(Z1−Z2)+(Z3−Z4)+圧着厚=目標ループ高さ・・・(1)
(1)式を満たすように制御する。
上述したキャピラリの上昇量Z1,Z3、下降量Z2,Z4及びXY移動量L1,L2の各量について、代表的な値(代表値)について述べたが、これらの各量について、範囲を設けることができる。許容される範囲は、それぞれ、上述した値の±30%である。例えば、キャピラリのB点から第2ボンディング点側のC点への移動におけるXY移動量L1は、圧着径60μmの半分(0.5)に相当する量である30μmであり、XY移動量L1の範囲は、30μm±30%で21〜39μmである。また、図4に示すC点での高さ(Z1−Z2)は、目標ループ高さ(40μmとする)の0.5として20μmであり、C点での高さ(Z1−Z2)の範囲は、20μm±30%で14〜26μmである。また、上昇量Z1の代表値は40μmであり、上昇量Z1の範囲は、28〜52μmである。下降量Z2の代表値は20μmであり、下降量Z2の範囲は、14〜26μmである。また、B点からC点への角度θ1の範囲は、20°〜44°となる。
次に、ワイヤボンディング装置1(図1に示す)による低ループの形成動作について図1,図4を参照して説明する。前述したA点からB点までのキャピラリの上昇量をZ1、B点からC点までのキャピラリの下降量をZ2、C点からD点までのキャピラリの上昇量をZ3、D点からE点までのキャピラリの下降量をZ4とし、また、B点からC点までのキャピラリのXY移動量をL1、C点からE点までのキャピラリのXY移動量をL2の各データは、前もって操作パネル23(図1に図示)に表示されるメニューに基づいて、操作パネル23の数値入力キーを用いて入力して、制御装置17内のマイクロコンピュータの記憶装置に記憶しておく。なお、目標ループ高さ、ワイヤ径、ボールの圧着径、キャピラリの降下角度(図4に示すθ1,θ2)等のデータを入力して、これらのデータを用いて自動演算して、算出することも可能である。また、第1ボンディング点であるパッド及び第2ボンディング点であるリードのXY座標値、超音波パワー、印加時間等のボンディングパラメータ、その他ボンディングに必要なデータは前もって設定しておくようにする。
次に、ワイヤボンディング装置における制御装置内のマイクロコンピュータによる低ループ形成を行うための制御プログラムについて図1、図4及び図8を参照して説明する。図8は、マイクロコンピュータによる低ループ形成における制御プログラムのフローチャートを示す図である。
次に、本発明によるループ形成方法で形成したループ形状におけるループ高さについて図10を参照して説明する。図10は、本発明による低ループの形状及びループ高さを説明する図であり、図7(d)に示すICチップ30上の第1ボンディング点であるパッド31とリードフレーム32の第2ボンディング点であるリード33間の低ループ形成での、第1ボンディング点近傍における圧着ボール37及び圧着ボール37からのワイヤ35の詳細を示したものである。
以下に、ワイヤ径25μmのワイヤを用いて、上述した低ループの形成方法に基づいて行ったボンディングでのループ高さ、引っ張り強度を測定した結果を図11に示す。図11は、ワイヤ数10本でのループ高さ、引っ張り強度を測定した結果を示す図である。
2 超音波ホーン(ボンディングアーム)
3 キャピラリ(ボンディングツール)
3a チャンファー面
3b 底部
3c ホール
4 クランパ
5 放電電極(トーチロッド)
6 ボンディングヘッド
7 位置検出センサ
8 カメラ
9 光学レンズ
12 XYテーブル
13 ヒータ部
16 駆動装置
17 制御装置
22 操作部(トラックボール)
23 操作パネル
24 モニタ
30 半導体チップ(ICチップ)
31 パッド
32 リードフレーム
33 リード
35 ワイヤ
35a 曲げ癖
36 フリーエアーボール(FAB)
37、51 圧着ボール
38 頭頂部
39 ワイヤ引出部
40 平坦部
41 膨出部
42 ネック部
43 ボール表面
50 ワイヤ折り返し部
Claims (18)
- 第1ボンディング点と第2ボンディング点との間をキャピラリによりワイヤで接続するワイヤボンディング方法において、
キャピラリ先端のフリーエアーボールを第1ボンディング点に圧着して所望の圧着厚を有する圧着ボールを形成し、
前記圧着ボールの形成後に前記キャピラリが上昇し、上昇後に前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動しながら前記圧着ボールの上部の側面を押圧して、前記圧着ボールの頭頂部を形成する第1の工程と、
前記第1の工程の後、前記キャピラリが所定の量を上昇後に、第2ボンディング点側に移動しながら下降して前記ワイヤを斜めから押す第2の工程と、
を有するようにしたことを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 前記第1の工程で形成される前記圧着ボールの頭頂部は、第2ボンディング点側と反対側の部分が平坦であることを特徴とする請求項1記載のワイヤボンディング方法。
- 前記第1の工程で形成される前記圧着ボールの頭頂部は、第2ボンディング点側に膨出部が形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のワイヤボンディング方法。
- 前記膨出部は、前記キャピラリが第2ボンディング点側に水平移動又は下降しながら前記圧着ボールの上部の側面を前記キャピラリのチャンファー面及び底部によって押圧して形成することを特徴とする請求項3記載のワイヤボンディング方法。
- 前記膨出部の形成は、前記キャピラリに超音波振動を印加して前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動しながら前記圧着ボールの側面を押すようにすることを特徴とする請求項3記載のワイヤボンディング方法。
- 前記膨出部の形成で、前記キャピラリの水平の移動量に対する前記キャピラリの下降量の比率が0から1以下の範囲となるように、前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動することを特徴とする請求項3記載のワイヤボンディング方法。
- 前記第2の工程は、前記膨出部を形成後に前記キャピラリが上昇し、上昇後に前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動しながら下降して前記膨出部の上部を押圧して前記圧着ボールの頭頂部から水平方向にワイヤを引き出すためのワイヤ引出部を形成することを特徴とする請求項3乃至請求項6のうち、いずれか1に記載のワイヤボンディング方法。
- 前記ワイヤ引出部の形成は、前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動しながら下降して前記膨出部の上部を整形し、移動中に前記キャピラリから繰り出されたワイヤの上面を押圧するようにすることを特徴とする請求項7記載のワイヤボンディング方法。
- 前記ワイヤ引出部の形成は、前記キャピラリに超音波振動を印加して前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動しながら行うことを特徴とする請求項7又は請求項8に記載のワイヤボンディング方法。
- 前記ワイヤ引出部の形成で、前記キャピラリの水平の移動量に対する前記キャピラリの下降量の比率が1以上となるように、前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動しながら下降することを特徴とする請求項7乃至請求項9のうち、いずれか1に記載のワイヤボンディング方法。
- 前記膨出部の形成における前記キャピラリの上昇量から下降量を引いた値と、ワイヤ引出部の形成における前記キャピラリの上昇量から下降量を引いた値と、前記圧着ボールの形成における前記所望のボール圧着厚とを加算した値が、目標とするループ高さ以下になるように前記キャピラリを制御することを特徴とする請求項7乃至請求項10のうち、いずれか1に記載のワイヤボンディング方法。
- 前記ワイヤ引出部を形成後に前記キャピラリが第2ボンディング点側に移動しながら上昇し、上昇後に前記キャピラリが第2ボンディング点と反対側に移動してワイヤに癖を付けるリバース動作を行い、リバース動作後に前記キャピラリが第2ボンディング点に移動してワイヤを第2ボンディング点に圧着して接合して、ワイヤを張設することを特徴とする請求項7乃至請求項11のうち、いずれか1に記載のワイヤボンディング方法。
- 前記圧着ボールの頭頂部の前記ワイヤ引出部の側面からワイヤが第2ボンディング点側にほぼ水平に延びるように張設することを特徴とする請求項12記載のワイヤボンディング方法。
- 前記リバース動作は、前記キャピラリを、水平移動、直線的に下降移動、円弧状に下降移動、直線的に上昇移動、円弧状に上昇移動の各リバース動作から少なくとも1以上のリバース動作が可能であり、前記リバース動作をn回(n=1,2・・・)繰り返すことを特徴とする請求項12記載のワイヤボンディング方法。
- 第1ボンディング点と第2ボンディング点との間をキャピラリによりワイヤで接続するワイヤボンディング装置であって、
前記キャピラリをXY平面上に所定の位置に位置決めするXY位置決め手段と、
前記キャピラリを上下に移動するキャピラリ上下移動手段を有し、前記第1ボンディング点及び前記第2ボンディング点にボンディングを行うボンディング手段とを備え、
前記ボンディング手段により第1ボンディング点に前記キャピラリ先端のボールを前記第1ボンディング点に圧着して圧着ボールを形成し、前記圧着ボールの形成後に前記キャピラリ上下移動手段によりキャピラリを上昇させ、上昇後に前記キャピラリ上下移動手段及び前記XY位置決め手段によりキャピラリを第2ボンディング点側に移動しながら前記圧着ボールの上部の側面を押圧して、前記圧着ボールの頭頂部の第2ボンディング点側に膨出部を形成する第1の工程と、
前記第1の工程の後、前記キャピラリが所定の量を上昇後に、第2ボンディング点側に移動しながら下降して前記ワイヤを斜めから押す第2の工程と、
を有するようにしたことを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 前記第2の工程は、前記膨出部を形成後に前記キャピラリ上下移動手段により前記キャピラリを上昇させ、上昇後に前記キャピラリ上下移動手段及び前記XY位置決め手段により前記キャピラリを第2ボンディング点側に移動しながら下降して前記膨出部の上部を押圧して前記圧着ボールの頭頂部から水平にワイヤを引き出すためのワイヤ引出部を形成するようにしたことを特徴とする請求項15記載のワイヤボンディング装置。
- キャピラリをXY平面上に所定の位置に位置決めするXY位置決め手段と、
キャピラリを上下に移動するキャピラリ上下移動手段と、前記第1ボンディング点及び前記第2ボンディング点にボンディングを行うボンディング手段と、前記XY位置決め手段及びボンディング手段を制御する制御手段とを有し、第1ボンディング点と第2ボンディング点との間をキャピラリによりワイヤで接続するワイヤボンディング装置のワイヤボンディング制御プログラムであって、
前記ボンディング手段により第1ボンディング点に前記キャピラリ先端のボールを前記第1ボンディング点に圧着して圧着ボールを形成するボール圧着ステップと、
前記圧着ボールの形成後に前記キャピラリ上下移動手段によりキャピラリを上昇させ、上昇後に前記キャピラリ上下移動手段及び前記XY位置決め手段により前記キャピラリを第2ボンディング点側に移動しながら前記圧着ボールの上部の側面を押圧して、前記圧着ボールの頭頂部の第2ボンディング点側に膨出部を形成する第1の押圧ステップと、
前記第1の押圧ステップの後、前記キャピラリが所定の量を上昇後に、第2ボンディング点側に移動しながら下降して前記ワイヤを斜めから押す第2の押圧ステップと、
を有することを特徴とするワイヤボンディング制御プログラム。 - 前記第2の押圧ステップは、前記第1の押圧ステップ後に前記キャピラリ上下移動手段により前記キャピラリを上昇させ、上昇後に前記キャピラリ上下移動手段及び前記XY位置決め手段により前記キャピラリを第2ボンディング点側に移動しながら下降して前記膨出部の上部を押圧して前記圧着ボールの頭頂部から水平にワイヤを引き出すためのワイヤ引出部を形成することを特徴とする請求項17記載のワイヤボンディング制御プログラム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008232600A JP4625858B2 (ja) | 2008-09-10 | 2008-09-10 | ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム |
US12/263,589 US7748599B2 (en) | 2008-09-10 | 2008-11-03 | Wire bonding method, wire bonding apparatus, and wire bonding control program |
TW098126464A TWI397138B (zh) | 2008-09-10 | 2009-08-06 | 打線接合方法、打線接合裝置及打線接合控制程式 |
KR1020090078450A KR101089452B1 (ko) | 2008-09-10 | 2009-08-25 | 와이어 본딩 방법, 와이어 본딩 장치 및 와이어 본딩 제어 프로그램을 기록한 기록매체 |
US12/765,381 US8042725B2 (en) | 2008-09-10 | 2010-04-22 | Wire bonding method, wire bonding apparatus, and wire bonding control program |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008232600A JP4625858B2 (ja) | 2008-09-10 | 2008-09-10 | ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010067786A JP2010067786A (ja) | 2010-03-25 |
JP4625858B2 true JP4625858B2 (ja) | 2011-02-02 |
Family
ID=41798348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008232600A Active JP4625858B2 (ja) | 2008-09-10 | 2008-09-10 | ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7748599B2 (ja) |
JP (1) | JP4625858B2 (ja) |
KR (1) | KR101089452B1 (ja) |
TW (1) | TWI397138B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020240674A1 (ja) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置、半導体装置の製造方法、および、半導体装置 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4625858B2 (ja) * | 2008-09-10 | 2011-02-02 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム |
JP4344002B1 (ja) * | 2008-10-27 | 2009-10-14 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
US7810698B2 (en) * | 2008-11-20 | 2010-10-12 | Asm Assembly Automation Ltd. | Vision system for positioning a bonding tool |
JP2011066191A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法およびボンディング装置 |
JP4787374B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2011-10-05 | 株式会社新川 | 半導体装置の製造方法並びにワイヤボンディング装置 |
JP5359977B2 (ja) * | 2010-04-12 | 2013-12-04 | 株式会社デンソー | ワイヤボンディング方法 |
JP2012004464A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
JP2013038257A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Toshiba Corp | ワイヤボンディング装置および半導体装置の製造方法 |
CN103107111B (zh) * | 2011-11-11 | 2017-03-01 | 飞思卡尔半导体公司 | 用于监测线接合中无空气球(fab)形成的方法和装置 |
JP2013143447A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法およびボンディング装置 |
KR101620351B1 (ko) | 2012-01-30 | 2016-05-12 | 삼성전자주식회사 | 회로소자의 와이어 본딩 방법 |
US8998063B2 (en) * | 2012-02-07 | 2015-04-07 | Orthodyne Electronics Corporation | Wire loop forming systems and methods of using the same |
KR101464189B1 (ko) * | 2013-04-17 | 2014-11-21 | 대우전자부품(주) | 헤비 와이어 본딩 방법 |
JP2014140074A (ja) * | 2014-04-17 | 2014-07-31 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US9165904B1 (en) * | 2014-06-17 | 2015-10-20 | Freescale Semiconductor, Inc. | Insulated wire bonding with EFO before second bond |
US10840662B2 (en) | 2015-04-02 | 2020-11-17 | Hutchinson Technology Incorporated | Wire feeding and attaching system for camera lens suspensions |
CN105382473A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-09 | 重庆触视科技有限公司 | 半导体光敏件的焊接夹具 |
JP6316340B2 (ja) | 2016-06-02 | 2018-04-25 | 株式会社カイジョー | ボンディング装置、ボンディング方法及びボンディング制御プログラム |
JP7321492B2 (ja) * | 2018-01-30 | 2023-08-07 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置 |
WO2019232718A1 (en) | 2018-06-06 | 2019-12-12 | Texas Instruments Incorporated | Ball bond attachment for semiconductor die |
GB2576498A (en) * | 2018-08-14 | 2020-02-26 | The Francis Crick Institute Ltd | Forming electrical connection between wire electrode and metallic contact surface |
WO2020039566A1 (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置 |
CN109623692B (zh) * | 2018-12-06 | 2020-07-31 | 北京航空航天大学 | 一种用于薄壁毛细管强度测试的支撑连接装置 |
KR102413267B1 (ko) * | 2019-03-13 | 2022-06-27 | 가부시키가이샤 신가와 | 와이어 불착 검사 시스템, 와이어 불착 검출 장치 및 와이어 불착 검출 방법 |
GB2604433B (en) * | 2020-12-23 | 2023-05-03 | Skyworks Solutions Inc | Apparatus and methods for tool mark free stitch bonding |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0951011A (ja) * | 1995-08-10 | 1997-02-18 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | 半導体チップのワイヤボンディング方法 |
JP2002280410A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Kaijo Corp | ワイヤボンディング方法 |
JP2004247674A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法 |
JP2005019778A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法 |
JP2005167178A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-23 | Shinkawa Ltd | 半導体装置及びワイヤボンディング方法 |
JP2006270096A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Unaxis Internatl Trading Ltd | ワイヤ接続を作製する方法 |
JP2007266062A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04273135A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンデイング方法 |
US5485949A (en) * | 1993-04-30 | 1996-01-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Capillary for a wire bonding apparatus and a method for forming an electric connection bump using the capillary |
US5437405A (en) * | 1994-08-22 | 1995-08-01 | National Semiconductor Corporation | Method and apparatus for stitch bonding of wires to integrated circuit bonding pads |
US5421503A (en) * | 1994-08-24 | 1995-06-06 | Kulicke And Soffa Investments, Inc. | Fine pitch capillary bonding tool |
US5559054A (en) * | 1994-12-23 | 1996-09-24 | Motorola, Inc. | Method for ball bumping a semiconductor device |
JP3347598B2 (ja) * | 1996-08-21 | 2002-11-20 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置用キャピラリ |
JP3333399B2 (ja) * | 1996-08-21 | 2002-10-15 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置用キャピラリ |
DE69729759T2 (de) * | 1996-10-01 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Integrierte Schaltung oder Platine mit einer Höckerelektrode und Verfahren zu Ihrer Herstellung |
US6213378B1 (en) * | 1997-01-15 | 2001-04-10 | National Semiconductor Corporation | Method and apparatus for ultra-fine pitch wire bonding |
JP3440190B2 (ja) * | 1997-03-06 | 2003-08-25 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
US5871141A (en) * | 1997-05-22 | 1999-02-16 | Kulicke And Soffa, Investments, Inc. | Fine pitch bonding tool for constrained bonding |
US6244499B1 (en) * | 1999-12-13 | 2001-06-12 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Structure of a ball bump for wire bonding and the formation thereof |
IT1317214B1 (it) * | 2000-04-11 | 2003-05-27 | St Microelectronics Srl | Struttura di capillare per il collegamento di fili di rame da un chipdi circuito a semiconduttore e un connettore terminale corrispondente |
JP3913134B2 (ja) * | 2002-08-08 | 2007-05-09 | 株式会社カイジョー | バンプの形成方法及びバンプ |
JP3935370B2 (ja) * | 2002-02-19 | 2007-06-20 | セイコーエプソン株式会社 | バンプ付き半導体素子の製造方法、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
JP3573133B2 (ja) * | 2002-02-19 | 2004-10-06 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
JP3584930B2 (ja) * | 2002-02-19 | 2004-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
US6622903B1 (en) * | 2002-03-27 | 2003-09-23 | Palomar Technologies, Inc. | Production of a tailless ball bump |
US7229906B2 (en) | 2002-09-19 | 2007-06-12 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Method and apparatus for forming bumps for semiconductor interconnections using a wire bonding machine |
JP2004172477A (ja) | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Kaijo Corp | ワイヤループ形状、そのワイヤループ形状を備えた半導体装置、ワイヤボンディング方法及び半導体製造装置 |
JP3854232B2 (ja) * | 2003-02-17 | 2006-12-06 | 株式会社新川 | バンプ形成方法及びワイヤボンディング方法 |
JP3854233B2 (ja) * | 2003-02-17 | 2006-12-06 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
US6815836B2 (en) * | 2003-03-24 | 2004-11-09 | Texas Instruments Incorporated | Wire bonding for thin semiconductor package |
US7494042B2 (en) * | 2003-10-02 | 2009-02-24 | Asm Technology Singapore Pte. Ltd. | Method of forming low wire loops and wire loops formed using the method |
US7347352B2 (en) | 2003-11-26 | 2008-03-25 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Low loop height ball bonding method and apparatus |
US7314157B2 (en) * | 2004-08-13 | 2008-01-01 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Wire bond with improved shear strength |
US7188759B2 (en) * | 2004-09-08 | 2007-03-13 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Methods for forming conductive bumps and wire loops |
JP4137061B2 (ja) * | 2005-01-11 | 2008-08-20 | 株式会社カイジョー | ワイヤループ形状、そのワイヤループ形状を備えた半導体装置、ワイヤボンディング方法 |
US7464854B2 (en) * | 2005-01-25 | 2008-12-16 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Method and apparatus for forming a low profile wire loop |
JP4298665B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2009-07-22 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
US8016182B2 (en) * | 2005-05-10 | 2011-09-13 | Kaijo Corporation | Wire loop, semiconductor device having same and wire bonding method |
JP4530975B2 (ja) * | 2005-11-14 | 2010-08-25 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
US7780064B2 (en) * | 2006-06-02 | 2010-08-24 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Wire bonding method for forming low-loop profiles |
KR101143836B1 (ko) * | 2006-10-27 | 2012-05-04 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체 패키지 및 그 반도체 패키지의 와이어 루프 형성방법 |
JP5481769B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2014-04-23 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
KR100932680B1 (ko) * | 2007-02-21 | 2009-12-21 | 가부시키가이샤 신가와 | 반도체 장치 및 와이어 본딩 방법 |
JP5002329B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2012-08-15 | 株式会社新川 | 半導体装置及びワイヤボンディング方法 |
JP2009010064A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Shinkawa Ltd | 半導体装置及びワイヤボンディング方法 |
JP4625858B2 (ja) * | 2008-09-10 | 2011-02-02 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム |
JP4361593B1 (ja) * | 2008-10-21 | 2009-11-11 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
JP4344002B1 (ja) * | 2008-10-27 | 2009-10-14 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
-
2008
- 2008-09-10 JP JP2008232600A patent/JP4625858B2/ja active Active
- 2008-11-03 US US12/263,589 patent/US7748599B2/en active Active
-
2009
- 2009-08-06 TW TW098126464A patent/TWI397138B/zh active
- 2009-08-25 KR KR1020090078450A patent/KR101089452B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-04-22 US US12/765,381 patent/US8042725B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0951011A (ja) * | 1995-08-10 | 1997-02-18 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | 半導体チップのワイヤボンディング方法 |
JP2002280410A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Kaijo Corp | ワイヤボンディング方法 |
JP2004247674A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法 |
JP2005019778A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法 |
JP2005167178A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-23 | Shinkawa Ltd | 半導体装置及びワイヤボンディング方法 |
JP2006270096A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Unaxis Internatl Trading Ltd | ワイヤ接続を作製する方法 |
JP2007266062A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020240674A1 (ja) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置、半導体装置の製造方法、および、半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8042725B2 (en) | 2011-10-25 |
US20100206940A1 (en) | 2010-08-19 |
TW201011845A (en) | 2010-03-16 |
KR20100030573A (ko) | 2010-03-18 |
TWI397138B (zh) | 2013-05-21 |
US20100059574A1 (en) | 2010-03-11 |
US7748599B2 (en) | 2010-07-06 |
JP2010067786A (ja) | 2010-03-25 |
KR101089452B1 (ko) | 2011-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4625858B2 (ja) | ワイヤボンディング方法、ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング制御プログラム | |
KR100765376B1 (ko) | 와이어 본딩 방법 | |
JP4679427B2 (ja) | ボンディング装置のテールワイヤ切断方法及びプログラム | |
US8191759B2 (en) | Wire bonding apparatus and wire bonding method | |
JP5714195B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20040045321A (ko) | 와이어 루프와, 이를 갖는 반도체 디바이스와, 와이어접착 방법과, 와이어 접착 장치 | |
KR20110054038A (ko) | 와이어 본딩 방법, 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US6098868A (en) | Bump forming method and bump bonder | |
US20080054052A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP6792877B2 (ja) | ワイヤボンディング装置、半導体装置の製造方法、および、半導体装置 | |
US20220208721A1 (en) | Wire bonding apparatus, method for manufacture of semiconductor device, and semiconductor device | |
JP2006032875A (ja) | ワイヤボンディング方法及びその装置並びにバンプ形成方法 | |
TWI721404B (zh) | 打線接合裝置、半導體裝置的製造方法以及半導體裝置 | |
JP2005167178A (ja) | 半導体装置及びワイヤボンディング方法 | |
KR102675629B1 (ko) | 와이어 본딩 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 및 반도체 장치 | |
JP4266369B2 (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
JP7407751B2 (ja) | ワイヤボンディング装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4616924B2 (ja) | 半導体装置 | |
US20240055388A1 (en) | Bump-forming device, bump-forming method, and non-transitory computer-readable medium | |
TWI816255B (zh) | 打線結構、打線結構形成方法以及電子裝置 | |
KR102488240B1 (ko) | 와이어 본딩 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2000036512A (ja) | ワイヤボンディング装置,ワイヤボンディング方法及びそのワイヤボンディング装置またはワイヤボンディング方法に用いられるキャピラリ | |
KR20210033909A (ko) | 와이어 본딩 장치 및 와이어 본딩 방법 | |
JPH06163551A (ja) | バンプ電極形成装置 | |
JPH09181110A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101029 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4625858 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131112 Year of fee payment: 3 |