JPH04273135A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法

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JPH04273135A
JPH04273135A JP3053701A JP5370191A JPH04273135A JP H04273135 A JPH04273135 A JP H04273135A JP 3053701 A JP3053701 A JP 3053701A JP 5370191 A JP5370191 A JP 5370191A JP H04273135 A JPH04273135 A JP H04273135A
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JP
Japan
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point
wire
capillary
bond point
bond
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JP3053701A
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Shinichi Kumazawa
熊沢　慎一
Kuniyuki Takahashi
邦行 高橋
Nobuhito Yamazaki
山崎　信人
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Shinkawa Ltd
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Shinkawa Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は第１ボンド点と第２ボン
ド点との間をワイヤで接続するワイヤボンデイング方法
に係り、特にワイヤループ形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワイヤループ形状の安定化を図る
ために、例えば特開昭５７ー８７１４３号公報、特開昭
６３ー４２１３５号公報に示すように、ワイヤをクラン
プするクランパは開状態で、第１ボンド点にワイヤを接
続後、キヤピラリを上昇させ、その後キヤピラリを第２
ボンド点と逆方向に僅かに水平移動させるリバース動作
を行わせている。即ち、リバース動作は、第１ボンド点
と第２ボンド点にワイヤを張るワイヤルーピング方向と
は逆の変形をワイヤに与える動作である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、第１
ボンド点のボンデイング面（ダイ上面）よりも第２ボン
ド点のボンデイング面（リードフレームのリード上面）
が低く、かつ第１ボンド点がダイのエッジから離れてい
る場合、ワイヤループの高さ（第１ボンド点からのワイ
ヤの立ち上がり高さ）を高くしないと、ワイヤがダイの
エッジと接触（エッジシヨート）してしまうという問題
点があった。
【０００４】本発明の目的は、ワイヤループの高さを高
くすることなくエッジシヨートの防止及びワイヤ長の長
いワイヤループ形成をすることができるワイヤボンデイ
ング方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、第１ボンド点にワイヤを接続後、キ
ヤピラリを上昇させ、続いて第２ボンド点と逆方向に移
動させて第１回目のリバース動作を行わせ、再びキヤピ
ラリを上昇させ、続いて第２ボンド点と逆方向に移動さ
せて第２回目のリバース動作を行わせ、その後キヤピラ
リを上昇させてワイヤループ形成に必要な量の残りの量
だけワイヤを繰り出し、次にキヤピラリを第２ボンド点
の上方に移動させてワイヤを第２ボンド点に接続するこ
とを特徴とする。
【０００６】
【作用】リバース動作を２回行わせるので、キヤピラリ
より繰り出されたワイヤには、２ヶ所に曲がり癖が付く
。即ち、第１の曲がり癖が第１ボンド点直上の変曲点と
なり、第２の曲がり癖が第２ボンド点への下降傾斜の変
曲点となるので、第１ボンド点の上方の第１の曲がり癖
より第２ボンド点の方向に向かう第２の曲がり癖間の部
分をほぼ水平又は上方に傾斜したワイヤループとするこ
とができる。このため、ワイヤループ高さを低く保ちな
がらワイヤとダイの接触を防止してボンデイングが行え
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２によ
り説明する。図１はキヤピラリの軌跡を示し、図２はキ
ヤピラリの軌跡による各時点のワイヤ形状を示す。ワイ
ヤ１をクランプするクランパは開状態で、第１ボンド点
Ａ（ダイ３のボンド点）にワイヤ１を接続後、キヤピラ
リ２はＢ点まで少し上昇する。このＢ点でキヤピラリ２
は一旦又は瞬時停止した後、第２ボンド点Ｉと逆方向に
Ｃ点まで僅かに水平移動して第１回目のリバース動作を
行う。これにより、ワイヤ１は図２（ｂ）に示すように
、Ａ点からＣ点に傾斜した形状となり、キヤピラリ２の
下端に位置するワイヤ１の部分に曲がり癖１ａが付く。 次にＣ点でキヤピラリ２は一旦又は瞬時停止した後、Ｄ
点まで上昇する。次にキヤピラリ２は第２ボンド点Ｉと
逆方向にＥ点まで水平移動して第２回目のリバース動作
を行う。これにより、ワイヤ１は、図２（ｄ）に示すよ
うにＡ点からＥ点に傾斜した形状となり、キヤピラリ２
の下端に位置するワイヤ１の部分に曲がり癖１ｂが付く
。
【０００８】次にＥ点でキヤピラリ２は一旦又は瞬時停
止し、その後に量ｈ（この量ｈについては後述する）の
半分の高さＦ点まで上昇してワイヤ１を繰り出す。続い
てキヤピラリ２は前記ｈの残りの半分の量だけ上昇して
第１ボンド点Ａの上方Ｇ点まで移動する。そして、Ｇ点
においてクランパは閉じる。クランパが閉じると、以後
キヤピラリ２が移動してもワイヤ１の繰り出しは行われ
ない。即ち、キヤピラリ２がＧ点までに移動してキヤピ
ラリ２より繰り出されたワイヤ１の長さがワイヤループ
形成に必要なワイヤとなる。この状態におけるワイヤ１
は図２（ｅ）の実線で示す形状となる。
【０００９】次にキヤピラリ２はＢ点を中心としＢ点と
Ｇ点間を短径、Ｂ点とＨ点（第２ボンド点Ｉ上方の点）
間を長径とした楕円軌道で第２ボンド点Ｉの上方のＨ点
まで移動し、続いて第２ボンド点Ｉに下降してボンデイ
ングする。この状態を図２（ｆ）に示す。この図２（ｆ
）に示すキヤピラリ２の軌道により、ワイヤ１は前記し
た曲がり癖１ａが第１ボンド点Ａ直上の変曲点となり、
また曲がり癖１ｂが第２ボンド点Ｉへの下降傾斜の変曲
点となるので、試料に応じて曲がり癖１ａと１ｂ間の距
離を設定することにより、ダイ３のエッジ３ａより離れ
た位置に第１ボンド点Ａがある場合でも、ワイヤループ
高さを低く保ちながらワイヤ１とダイ３の接触を防止し
てボンデイングが行える。また曲がり癖１ａの位置によ
りワイヤループの立ち上がりの高さ及び形状を容易に制
御できる。
【００１０】次に図１及び図２の動作に必要な移動量の
算出方法を図３に示すように、第１ボンド点Ａからの立
ち上がり長さＪが第１ボンド点Ａの面より直角で、かつ
第１の曲がり癖１ａから第２の曲がり癖１ｂ間での長さ
が水平であり、ほぼ台形に近似させたワイヤループの場
合における各量を計算する。ワイヤループの立ち上がり
長さＪは、図１におけるＡ点とＣ点間の距離となり、数
１で表される。ワイヤループの上辺の長さＫは、図１に
おけるＣ点とＥ点間の距離となり、数２で表される。ワ
イヤループの下辺の長さＬは、図１及び図３におけるＡ
点とＩ点間の水平距離となる。試料の段差Ｍは、図１及
び図３におけるＡ点とＩ点間の垂直距離となる。そこで
、前記した量ｈは、数３より得られる。
【数１】
【数２】
【数３】
【００１１】ところで、上記数３は、図３のように第１
の曲がり癖１ａと第２の曲がり癖１ｂ間を水平に形成し
た場合であり、ｈ量を前記数３より大きなｈ１　量とす
ると、曲がり癖１ａと１ｂ間の部分を図４に示すように
上方に傾斜したワイヤループ形状とすることもできる。 即ち、ｈ１　量を制御することにより、第２の曲がり癖
１ｂの高さを制御することができる。なお、Ｅ点からＩ
点までのキヤピラリ２の動作は、上記実施例に限られる
ものではなく、前記した従来例に開示されている動作と
同様の動作を行わせてもよい。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、第１ボンド点にワイヤ
を接続後、キヤピラリを上昇させ、続いて第２ボンド点
と逆方向に移動させて第１回目のリバース動作を行わせ
、再びキヤピラリを上昇させ、続いて第２ボンド点と逆
方向に移動させて第２回目のリバース動作を行わせ、そ
の後キヤピラリを上昇させてワイヤループ形成に必要な
量の残りの量だけワイヤを繰り出し、次にキヤピラリを
第２ボンド点の上方に移動させてワイヤを第２ボンド点
に接続するので、ワイヤループ高さを低く形成してもエ
ッジシヨートを防止することができる。またワイヤ長の
長いワイヤループ形成をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例になるキヤピラリの軌跡を示
す説明図である。
【図２】（ａ）乃至（ｆ）はキヤピラリの軌跡による各
時点のワイヤ形状を示す説明図である。
【図３】図１及び図２によワイヤループ形状の１例を示
す図である。
【図４】図１及び図２によワイヤループ形状の他の１例
を示す図である。
【符号の説明】
１　　　　ワイヤ１ ２　　　　キヤピラリ Ａ　　　　第１ボンド点 Ｉ　　　　第２ボンド点 ＢからＣ　　第１回目のリバース動作 ＤからＥ　　第２回目のリバース動作

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　第１ボンド点と第２ボンド点との間を
    ワイヤで接続するワイヤボンデイング方法において、第
    １ボンド点にワイヤを接続後、キヤピラリを上昇させ、
    続いて第２ボンド点と逆方向に移動させて第１回目のリ
    バース動作を行わせ、再びキヤピラリを上昇させ、続い
    て第２ボンド点と逆方向に移動させて第２回目のリバー
    ス動作を行わせ、その後キヤピラリを上昇させてワイヤ
    ループ形成に必要な量の残りの量だけワイヤを繰り出し
    、次にキヤピラリを第２ボンド点の上方に移動させてワ
    イヤを第２ボンド点に接続することを特徴とするワイヤ
    ボンデイング方法。
JP3053701A 1991-02-27 1991-02-27 ワイヤボンデイング方法 Pending JPH04273135A (ja)

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JP3053701A JPH04273135A (ja) 1991-02-27 1991-02-27 ワイヤボンデイング方法
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