JP4625804B2 - ダイボンディング方法及びダイボンディング装置 - Google Patents
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Description
図面において同一の参照符号は同一の部品を示す。
11 ウェーハ基板
12 接着層
13 キャリアテープ(キャリアベース手段)
14 半貫通孔
15 ダイ
31 第1のレーザビーム
32 第2のレーザビーム
33 第3のレーザビーム
Claims (21)
- キャリアベースと接着層との間の第1の接着剤でキャリアベース手段に貼付された前記接着層により、前記キャリアベース手段から隔離されたウェーハ基板を備えた構造を配設する工程と、
第1の加工プロファイルによる第1のレーザビームを用いて、ウェーハ基板を貫通するレーザ加工を行い、
第2の加工プロファイルによる第2のレーザビームを用いて、前記接着層を貫通するレーザ加工を行い、
第3の加工プロファイルによる第3のレーザビームを用いて、前記第一の接着剤を貫通し、前記キャリアベース手段を最大でもスクライビングするレーザ加工を行うことで、個片化された接着層が貼付された個片化されたダイを形成する工程と、
前記貼付された個片化された接着層を前記キャリアベース手段から外すために、前記第1の接着剤を硬化させることにより、前記構造を硬化させる工程と、
前記ダイの個片化された接着層を摘み上げてダイパッドに配置する工程と、
前記ダイを前記ダイパッドに接着するために、前記貼付された個片化された接着層を硬化させる工程と、を実行し、
前記第1、前記第2及び前記第3の加工プロファイルは、少なくとも特定のレーザパルスパワー、レーザパルス繰り返し率、レーザパルス幅、レーザビーム走査速度、及びレーザ波長から選択されるパラメータを有し、
前記第1、前記第2及び前記第3の加工プロファイルのうち、少なくとも2つは異なる加工プロファイルであり、
前記接着層及び前記キャリアベース手段の大幅な積層剥離やバリの大量発生なしに所定品質の個片化されたダイを得ながら、加工の速度を最大化すること
を特徴とするダイボンディング方法。 - 請求項1に記載のダイボンディング方法であって、
前記構造を硬化させる工程は、紫外線光で硬化させること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項1又は2記載のダイボンディング方法であって、
前記貼付された個片化された接着層を硬化させる工程は、前記接着層を熱硬化させること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のダイボンディング方法であって、前記個片化されたダイを形成する工程は、前記構造に、ウェーハ基板及び前記接着層を貫通した半貫通孔を加工すること
を特徴とするダイボンディング方法。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のダイボンディング方法であって、
前記個片化されたダイを形成する工程は、レーザ加工後に、堆積したレーザ加工デブリを前記個片化されたダイから除去するために前記構造を洗浄する更なる工程を含んでいること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項5記載のダイボンディング方法であって、
前記構造を配設する工程は、レーザ加工中に生じたデブリから前記構造を保護する保護フィルムを有した構造を配設することを備え、
前記構造を洗浄する工程は、前記保護フィルムとその上に堆積したデブリを除去すること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載のダイボンディング方法であって、
前記構造を配設する工程は、厚みが800ミクロン未満のウェーハ基板を有した構造を配設すること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載のダイボンディング方法であって、
前記個片化されたダイを形成する工程は、レーザ加工のためのアシストガス雰囲気を提供する工程
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項8記載のダイボンディング方法であって、
前記アシストガス雰囲気を提供する工程は、光解離が活性ラジカルを生じさせるガス雰囲気を提供すること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項8又は9記載のダイボンディング方法であって、
前記アシストガス雰囲気を提供する工程は、レーザ加工を行う場所の周辺の固体の加工デブリの堆積を低減すること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載のダイボンディング方法であって、
前記キャリアベース手段は、ダイシングテープ、薄型ウェーハダイシング又は裏面研削に適した非柔軟性のテープ、及びガラスその他の透明な固体のうちの1つであること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項1から11のいずれか一項に記載のダイボンディング方法であって、
前記構造を配設する工程は、実質的に非柔軟性の透明裏面研削テープ手段から接着層によって表を下にして隔離されたウェーハ基板を含む構造を配設することを備え、
前記レーザ加工の工程は、前記ウェーハ基板の裏面研削に引き続いて実行されること
を備えているダイボンディング方法。 - 請求項1から12のいずれか一項に記載の方法であって、
前記ダイ及び貼付された個片化された接着層を摘み上げて配置する工程は、ダイ及び貼付された個片化された接着層を摘み上げ別のダイに配置して、多積層ダイパッケージを形成すること
を備えているダイボンディング方法。 - ウェーハ基板及び前記ウェーハ基板に貼付された接着層を加工し、キャリアベース手段と接着層との間の第一の接着剤によって、キャリアベース手段に貼付して、基礎をなすキャリアベース手段を最大でもスクライビングして、個片化された接着層が付いた個片化されたダイを形成するように仕組まれたレーザ加工手段と、
前記キャリアベース手段から前記個片化された接着層を外すために前記第一の接着剤を硬化させるように仕組まれた第1の硬化手段と、
前記キャリアベース手段から前記個片化されたダイ及び接着層を摘み上げて、前記個片化されたダイ及び接着層をダイパッド手段に配置するように仕組まれたピックアンドプレース手段と、
前記個片化されたダイを前記ダイパッド手段に接着するために、前記個片化されたダイの前記個片化された接着層を硬化させるように仕組まれた第2の硬化手段と、
少なくとも、レーザパルスエネルギー、レーザ波長、レーザ繰り返し周波数、レーザパルス幅、レーザビーム走査速度、及びパルスレーザビームによる走査回数から選択されるパラメータを有する加工プロファイルを、複数格納するメモリ手段と、を備えること
を特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項14記載のダイボンディング装置であって、
前記レーザ加工手段は、
パルスレーザビームを提供するように仕組まれたレーザ源手段と、
レーザビーム走査手段と、
前記パラメータのうち少なくとも1つを制御する制御手段と、を備えること
を特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項14又は15記載のダイボンディング装置であって、
前記第1の硬化手段は、紫外線硬化手段を備えること
を特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項14から16のいずれか一項に記載のダイボンディング装置であって、
前記第2の硬化手段は、熱硬化手段を備えること
を特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項14から17のいずれか一項に記載のダイボンディング装置であって、
前記個片化されたダイからレーザ加工デブリを洗い落とすように構成された洗浄手段を含んでいること
を特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項18記載のダイボンディング装置であって、
前記ウェーハ基板には、ウェーハ基板をレーザ加工デブリから保護する保護フィルムが設けられ、
前記洗浄手段は前記個片化されたダイから前記保護フィルムを除去するように構成されていること
を特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項14から19のいずれか一項に記載のダイボンディング装置であって、
ダイシングテープ、薄型ウェーハダイシング又は裏面研削に適した非柔軟性テープ、及びガラスその他の透明な固体のうちのいずれかであるキャリアベース手段に適合すること
を特徴とするダイボンディング装置。 - 請求項14から19のいずれか一項に記載のダイボンディング装置であって、
実質的に非柔軟性の透明裏面研削テープ手段から、接着層によって表を下にして隔離されているウェーハ基板を備えた構造の加工に適合すること
を特徴とするダイボンディング装置。
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