JP4617493B2 - 酸化物超電導合成粉およびその製造方法 - Google Patents
酸化物超電導合成粉およびその製造方法 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高い臨界電流密度を得ることができるＢｉ（Ｐｂ）２２２３系酸化物超電導線材を製造する際に用いる、酸化超電導合成粉およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、酸化物超電導体を線材化する際の主な作製方法として以下の方法がある。
１．ＰＩＴ（Ｐｏｗｄｅｒ ｉｎ Ｔｕｂｅ）法
２．コーティング法
３．薄膜法
次に、それぞれの方法の概要について説明する。
【０００３】
１．のＰＩＴ法とは、酸化物超電導体と一緒に加熱しても、その酸化物超電導体と反応を起こさない金属をマトリクスとして準備する（例えばＡｇ、またはＡｇ合金）。次にこの金属でチューブを作製し、その中に前記酸化物超電導体の粉末を充填する。そして、伸線、圧延および熱処理を繰り返しながら細線へと加工していく方法である。
このＰＩＴ法は、主に（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏｘ系の酸化物超電導線材を製造するのに適した方法である。
何故なら、Ｂｉ系酸化物超電導体は結晶粒が板状に成長する特徴があり、ここへＰＩＴ法のような長手方向へ引き延ばす手法を適用すると、板状結晶粒が長手方向に揃いやすくなる。一方、超電導電流は板状結晶の長手方向に流れやすい性質を持っているので、ＰＩＴ法により良好な超電導特性を有する線材を比較的安価に製造することができる。
【０００４】
２．のコーティング法とは、酸化物超電導体の粉末に適宜な有機バインダーを添加してペースト状にした後、Ａｇテープの表面にコーティングし、これを熱処理して線材を得る方法である。この方法は主にＢｉ2Ｓｒ2Ｃａ1Ｃｕ2Ｏy系の酸化物超電導線材を製造するのに適した方法である。
【０００５】
３．の薄膜法とは、まず金属テープ線材上に、酸化物超電導体と格子定数が近い、反応性が少ない等の相性の良い中間層を成膜し、その中間層上に酸化物超電導体層を積層して線材とする方法である。この方法は主にＹ1Ｂａ2Ｃｕ3Ｏz系の酸化物超電導線材を製造するのに適した方法である。何故ならＹ1Ｂａ2Ｃｕ3Ｏz系の酸化物超電導体はＢｉ系酸化物超電導体と比較して、結晶及び結晶成長の２次元性が弱いので例えば前記ＰＩＴ法の適用は困難である。
この薄膜法においては中間層の性質が超電導特性に大きな影響を与える。例えば、ＩＢＡＤ（Ｉｏｎ Ｂｅａｍ Ａｓｓｉｓｔ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により中間層としてＹＳＺの２次元膜を形成させたことにより、その上に蒸着成膜されたＹ1Ｂａ2Ｃｕ3Ｏz系の酸化物超電導体の超電導特性が劇的に向上することが確認されている。しかし、長尺線材製造技術が未だ開発途上であり、現在のところ実用に必要な長さの線材は得られていない。
【０００６】
以上、現在の代表的な酸化物超電導線材の製造方法について説明したが、製造の容易性、製造コスト、および超電導特性を勘案して最も実用レベルに近いと考えられるのは１．のＰＩＴ法である。
現在のところ、臨界電流密度が２０，０００〜２５，０００Ａ／ｃｍ2のものまで得られているが、実用的には３５，０００Ａ／ｃｍ2以上の特性が望まれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
マトリクスとしてＡｇまたはＡｇ合金を用いたＰＩＴ法において、さらに臨界電流密度を上げようと試みる場合、前記金属チューブに充填される酸化物超電導体の粉末、すなわち酸化物超電導合成粉の有する諸特性によって、最終的に得られる酸化物超電導線材の臨界電流密度、等の超電導特性が大きく変化することが知られている。
しかし、どの様な特性を有する酸化物超電導合成粉を用いれば、高い臨界電流密度を有する酸化物超電導線材を得ることができるのかは、いまだに明らかになっていない。
本発明は上述の背景のもとでなされたものであり、主に（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系の酸化物超電導線材において臨界電流密度の向上に大きく寄与する、酸化物超電導合成粉とその製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明者らが鋭意研究した結果、酸化物超電導合成粉が満たすべき特性として、Ｘ線回折装置を用いＸ線としてＣｕＫα線を用い、入射角θでＸ線照射をおこなった際、Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間である、２θで１７．７０°〜１７．９０°にピークを有する物質を含有していることが重要であることを見出し、本発明を完成したものである。
【０００９】
すなわち第１の発明は、マトリクスとしてＡｇまたはＡｇ合金を用いるＢｉ−Ｐｂ−Ｓｒ−Ｃａ−Ｃｕ系酸化物超電導線の製造の際に用いられる酸化物超電導合成粉であって、
Ｘ線回折装置を用いて、前記酸化物超電導合成粉にＣｕＫα線を照射した際の回折Ｘ線強度の測定結果を、縦軸を回折Ｘ線強度とし、横軸を回折角度とするグラフに表した場合に、
Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間に、Ｃａ2ＰｂＯ4（１１０）面のピーク強度を１００とした場合に３以上のピーク強度比を有するピークが存在することを特徴とする酸化物超電導合成粉である。
【００１０】
第２の発明は、前記ＣｕＫα線の照射において、入射角θをもって照射した際、
Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間に存在するピークが２θで１７．７０°〜１７．９０°の位置にあることを特徴とする第１の発明にかかる酸化物超電導合成粉である
【００１１】
第３の発明は、前記ＣｕＫα線の照射において、Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間にＰｂＯのピークが存在することを特徴とする第１の発明にかかる酸化物超電導合成粉である。
【００１２】
第４の発明は、第１から第３の発明のいずれかにかかる酸化物超電導合成粉を用い、且つマトリクスとしてＡｇまたはＡｇ合金を用いて作製したことを特徴とする酸化物超電導線である。
【００１３】
第５の発明は、前記酸化物超電導合成粉の製造方法であって、
Ｂｉ化合物、Ｐｂ化合物、Ｓｒ化合物、Ｃａ化合物およびＣｕ化合物の粉末を混合し、温度７５０〜８５０℃、時間１０〜２０時間、酸化性ガスフロー中にて焼成することを特徴とする第１から第３の発明にかかる酸化物超電導合成粉の製造方法である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、上述の課題を解決するために、様々な試行錯誤を続けた結果、以下に記載するような方法で酸化物超電導合成粉を製造すると、これを用いた酸化物超電導線材において臨界電流密度の向上に大きく寄与するすることを発見した。
以下、まずその製造方法について説明する。
【００１５】
（原料準備および混合工程）
Ｂｉ化合物、Ｐｂ化合物、Ｓｒ化合物、Ｃａ化合物およびＣｕ化合物の粉末を所望のモル比となるように混合する。このとき、Ｂｉ化合物としてはＢｉ2Ｏ3が、Ｐｂ化合物としてはＰｂＯが、Ｓｒ化合物としてはＳｒＣＯ3が、Ｃａ化合物としてはＣａＣＯ3、ＣａＯ、Ｃａ（ＯＨ）2が、Ｃｕ化合物としてはＣｕＯが好ましかった。
また上述の原料以外でも、湿式共沈法等にてＢｉ、Ｐｂ、Ｓｒ、Ｃａ、Ｃｕの各元素を所要のモル比になるよう調製した原料も好ましかった。
【００１６】
（仮焼工程）
混合した原料粉末を次の条件で仮焼した。
仮焼温度は６００〜１，０００℃より好ましくは７５０〜８５０℃で、仮焼時間は３〜５０時間、仮焼雰囲気は大気（酸素分圧２０％）あるいはそれ以上の酸素分圧を有するガスを仮焼炉の内容積１立方メートルに対して少なくとも５０ｍｌ／ｍｉｎ以上のフローを保つこととした。
この工程により仮焼粉を得た。
【００１７】
（粉砕・乾燥工程）
仮焼工程で得られた仮焼粉を、Ｚｒボール等の粉砕メディア、トルエン等の有機溶媒と共にセラミックスポットに入れて、回転台にセットしボール粉砕をおこなった。この粉砕のねらいは、仮焼粉を細かく粉砕して均一性を向上させるとともに、次工程の焼成における熱的反応性を上げることが目的である。
粉砕が完了したスラリー状の仮焼粉は乾燥機で乾燥させる。
【００１８】
（再仮焼工程）
乾燥が完了した仮焼粉を再度仮焼する。
仮焼温度、仮焼時間、および仮焼雰囲気は最初の仮焼工程と同条件とした。
この工程により再仮焼粉を得た。
【００１９】
（再粉砕・乾燥工程）
再仮焼工程で得られた再仮焼粉を、再度、粉砕・乾燥した。
粉砕・乾燥条件は最初の粉砕・乾燥工程と同条件とした。
【００２０】
（再仮焼、再粉砕・乾燥の繰り返し実施工程）
乾燥が完了した再仮焼粉は、この後も適宜、再仮焼、再粉砕・乾燥の各工程を繰り返し実施して、目的とする酸化物超電導合成粉試料を得た。
【００２１】
（酸化物超電導合成粉試料の特性測定、回折Ｘ線強度の測定）
上述の酸化物超電導合成粉製造工程で得られた酸化物超電導合成粉試料に対し、線材化してその超電導特性を測定すると同時に、Ｘ線回折装置を用いて、前記酸化物超電導合成粉にＣｕＫα線を照射した際の回折Ｘ線強度の測定結果と、超電導特性との関係を検討した。
この検討の結果、本発明者は以下に記載するような、回折Ｘ線強度の測定結果と超電導特性との関連を突き止めることに成功した。
【００２２】
図１に、良好な超電導特性を有していた酸化物超電導合成粉試料の、２θが１７°〜１９°の範囲における回折Ｘ線強度を示す。
但し、図１は粉末試料への入射角θに対する回折角２θ横軸にとり、回折Ｘ線の強度を縦軸にとったチャートを示すグラフである。
回折Ｘ線強度は、Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークすなわち２θ：約１７．６°（以下「ピーク▲１▼」と記載する。）、Ｃａ2ＰｂＯ4の（０２０）面のピークすなわち２θ：１８．１°（以下「ピーク▲２▼」と記載する。）、および２θ：１７．８°（以下「ピーク▲３▼」と記載する。）に、主な３個のピークを有していた。
（但し、前記ピーク値の値は、Ｘ線回折装置の機種、校正方法等の差により±１％程度変動する。）
このうちピーク▲３▼の存在とその強度が試料の超電導特性と大きな相関を有する一方、酸化物超電導合成粉試料の製造工程によりその強度が大きく変化することを見出し、本発明を完成したものである。
【００２３】
すなわち、前記酸化物超電導合成粉試料を線材化した際に、ピーク▲３▼の存在が確認できない試料を線材化した場合、臨界電流密度は９，６００Ａ／ｃｍ2であるのに対し、ピーク▲１▼の強度を１００とした場合に、ピーク▲３▼の強度の比が３以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は３１，０００Ａ／ｃｍ2以上の著しい向上を示すのである。
さらに、前記ピーク▲１▼の強度を１００とした場合に、ピーク▲３▼の強度の比が８以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は実用的に望まれる３５，０００Ａ／ｃｍ2を超えて３７，０００Ａ／ｃｍ2以上を示し、強度の比が２８ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は５２，０００Ａ／ｃｍ2以上を示すことも判明した。
ここで、ピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度の比を求める方法について図１、２を用いて説明する。
但し、図２とは図１に、後述するピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度比を算出する過程を記載したものである。
まず、図１において、［ピーク▲１▼の回折Ｘ線強度］＝ピーク▲１▼の強度＋バックグラウンド、［ピーク▲３▼の回折Ｘ線強度］＝ピーク▲３▼の強度＋ピーク▲３▼の位置におけるピーク▲１▼の裾の部分の強度＋バックグラウンド、と考えられる。
ここでバックグラウンドの値は、ピークの存在しない、２θが１８．９９°〜１９．００°の範囲における回折Ｘ線強度の平均値とする。（この値を図２において２点鎖線で記載した。）
次に、ピーク▲３▼の位置におけるピーク▲１▼の裾の部分の強度は、ピーク▲１▼にローレンツ関数を当てはめ、その関数のピーク３の位置、２θ＝１７．８°における強度を算出することで求めることが出来る。（ローレンツ関数の値を図２において点線で記載した。）
（このようにして ピーク▲１▼とピーク▲３▼の強度は、図２における実線の部分として求められる。）
すなわち、ピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度比は、以下のように算出すればよい。
強度比＝［（ピーク▲３▼の回折Ｘ線強度−ピーク▲３▼の位置におけるピーク▲１▼の裾の部分の強度−バックグラウンド）／（ピーク▲１▼の回折Ｘ線強度−バックグラウンド）］×１００
そして、このピーク▲３▼の強度はＰｂＯの存在を示唆していることから、本発明における、前記臨界電流密度の著しい向上にはＰｂＯの存在が重要な働きをしていると考えられる。
【００２４】
一方、前記酸化物超電導合成粉試料の製造工程により、ピーク▲３▼の強度は大きく変動し、後述する製造条件を満足しない場合はピーク▲３▼を有しない試料となってしまうのである。
この前記ピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度の比が３以上ある酸化物超電導合成粉試料は、仮焼工程において、大気（酸素分圧２０％）あるいはそれ以上の酸素分圧を有するガスのフローを保ちながら試料を仮焼した際に顕著に生成するのである。
そして、前記ガスのフローは十分な量を保つとともに、初回の仮焼開始から最後の仮焼終了まで継続しておこなうことが必要である。すなわち、試料を熱処理しているしている際は、常に前記ガスのフローを保つことが重要である。
反対に、外部との雰囲気のやり取りのない密閉空間、または窒素１００％、Ａｒ１００％といった非酸化性ガスのフロー下においては、前記ピーク▲３▼の強度比が３以上ある試料は生成しないことも判明した。
【００２５】
上述した酸化物超電導合成粉試料の生成機構、および超電導特性への寄与の機構は、完全には明らかでないが、おおよそつぎのように推論される。
すなわちＰｂを含有しない、いわゆるＢｉ２２２３系超電導体は、短時間の焼成では、１２０Ｋ付近の臨界温度を有する高温相への単相化が非常に困難である。しかしここへＰｂを添加しＢｉ（Ｐｂ）２２２３系とすることでこの問題点を解決できることが知られている。
一方、Ｐｂを添加することで、試料の熱処理温度、時間によって、Ｃａ2ＰｂＯ4、ＰｂＯ、ＰｂＯ2、Ｐｂ3Ｏ4、Ｐｂ2Ｏ3等の様々なＰｂ化合物が生成する。
【００２６】
ここで、前記酸化物超電導合成粉試料の存在形態は、前記Ｂｉ２２２３系の高温相の単相ではなく、Ｂｉ（Ｐｂ）２２１２系、Ｃａ2ＰｂＯ4、ＣａＣｕＯ2を主とした未反応相の混合として構成されている。このような未反応相で構成された酸化物超電導合成粉試料がＡｇまたはＡｇ合金チューブに充填され、圧延、伸線、熱処理等の各処理を繰り返す過程で、高温相であるＢｉ（Ｐｂ）２２２３系への単相化が進行するのである。
この過程において、従来その役割が重視されてこなかったＰｂＯが、所定量以上存在すると、マトリクスであるＡｇまたはＡｇ合金との界面において、前記高温相の生成反応が安定化され、この部分における超電導特性が大きく改善されるとともに、界面以外の部分においてもＢｉ（Ｐｂ）２２２３系への単相化が良好且つ完全に近いかたちで進行するのではないかと考えられる。
そして、上記工程により調製された酸化物超電導合成粉を用いて、例えばＰＩＴ法にて酸化物超電導線を作製すれば、高い臨界電流密度を有する酸化物超電導線を得ることが出来る。
【００２７】
（実施例）
純度３Ｎ以上、メディアン粒径で１〜数μｍのＢｉ2Ｏ3、ＰｂＯ、ＳｒＣＯ3、ＣａＣＯ3、ＣｕＯの各原料粉末をＢｉ：Ｐｂ：Ｓｒ：Ｃａ：Ｃｕ＝１．８５：０．３５：１．９０：２．０５：３．０５の組成比となるよう秤量し、混合する。
次に、混合した原料粉末を次の条件で仮焼した。
仮焼温度は７５０〜８５０℃で、仮焼時間は１０〜２０時間、仮焼雰囲気は１００％の酸素ガスとし、仮焼炉の内容積１立方メートルに対して、図５に示すように、５ｌ／ｍｉｎ、２ｌ／ｍｉｎ、１ｌ／ｍｉｎ、０．５ｌ／ｍｉｎ、０．１ｌ／ｍｉｎ、および０．０５ｌ／ｍｉｎ、のフローを保ち６種類の仮焼粉を得た。
この仮焼粉を、Ｚｒボール等の粉砕メディア、有機溶媒（トルエン）と共にセラミックスポットに入れて、回転台にセットしボール粉砕をおこなった後、乾燥機で乾燥させた。
本実施例においては、この仮焼−粉砕−乾燥の操作サイクルを同条件の下で３回繰り返しておこない、図５に示す６種類の酸化物超電導合成粉試料（試料１〜６）を得た。
【００２８】
次に、この６種の試料に対し、線材化してその超電導特性を測定する、と同時に回折Ｘ線強度の測定を実施した。
まず、超電導特性の測定について説明する。
前記６種の試料のそれぞれを１．２ｇ秤量し、中空部が３．８φ×９５ｍｍＬ肉厚が１０ｍｍの円筒状ゴム型に充填した。ゴム型の両端開口部をゴム栓で密閉し、水の侵入を防ぐためにビニールテープを用いて隙間を塞いでから、冷間静水圧プレス（ＣＩＰ）を用いて最大圧力１．５ｔｏｎ／ｃｍ2で加圧成形し、約１．９５φ×９０ｍｍＬの成形体を得た。
この成形体を、内径２．０ｍｍφ、外径３．０ｍｍφ×１００ｍｍＬのＡｇパイプの中に挿入し、伸線、圧延の後、８３５〜８４５℃でトータル１５０時間の熱処理を加えることにより、幅約５．０ｍｍ、厚さ約０．２ｍｍのテープ状をしたＡｇシース酸化物超電導線材を得た。この線材において、断面の超電導部分の領域は、幅約４．０ｍｍ、厚さ約０．０７ｍｍであった。
尚、測定は４端子法を用い、電圧端子間に１μＶ／ｃｍの電圧が発生したときの電流値を臨界電流値と定義した。
この結果を図５に示す。
【００２９】
次に、Ｘ線回折装置による回折Ｘ線強度の測定について説明する。
Ｘ線回折装置として（株）リガク製、ＲＩＮＴ−１０００を用い下記の条件を設定した。
前記６種の試料のそれぞれを４ｇ秤量し、１５ｍｍφの金型に充填する。そして、一軸圧５ｋｇ／ｃｍ2で加圧圧粉したものを回折Ｘ線強度の測定用試料とし、前記Ｘ線回折装置にて測定をおこなった。その測定結果を図３に示す。またこの測定結果より、ピーク▲１▼の強度を１００とした場合のピーク▲３▼の強度の比を求めた結果を図５に示した。
以上の結果より、ピーク▲３▼の強度の比が３以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は３１，０００Ａ／ｃｍ2以上の著しい向上を示すことが判明した。
さらに、前記ピーク▲１▼の強度を１００とした場合に、ピーク▲３▼の強度の比が８以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は実用的に望まれる３５，０００Ａ／ｃｍ2を超えて３７，０００Ａ／ｃｍ2以上を示し、強度の比が２８ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は５２，０００Ａ／ｃｍ2以上を示すことも判明した。
【００３０】
（比較例）
Ｂｉ2Ｏ3、ＰｂＯ、ＳｒＣＯ3、ＣａＣＯ3、ＣｕＯの各原料粉末をＢｉ：Ｐｂ：Ｓｒ：Ｃａ：Ｃｕ＝１．８５：０．３５：１．９０：２．０５：３．０５の組成比となるよう秤量し、混合する。
次に、混合した原料粉末を次の条件で仮焼した。
仮焼温度は７５０〜８５０℃で、仮焼時間は１０〜２０時間、外部との雰囲気流通のない密閉炉中でおこない、仮焼粉を得た。
得られた仮焼粉に対し、実施例と同条件にて、仮焼−粉砕−乾燥の操作サイクルを繰り返しておこない、比較例試料を得た。
【００３１】
比較例試料に対し、実施例試料と同様に線材化してその超電導特性を測定する、と同時に回折Ｘ線強度の測定を実施した。
その結果、臨界電流値は２７Ａ、臨界電流密度は９，６００Ａ／ｃｍ2であり、回折Ｘ線強度の測定結果は図４のようであった。
以上のことより、 Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間に、Ｃａ2ＰｂＯ4（１１０）面のピーク強度を１００とした場合に３以上のピーク強度比を有するピークが存在しない酸化物超電導合成粉試料を線材化しても、臨界電流密度の高いものを得ることは出来なかった。
【００３２】
【発明の効果】
以上詳述したように、ＰＩＴ法によって製造される酸化物超電導線材の臨界電流密度、等の超電導特性を向上させることを目的とし、（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系の酸化物超電導合成粉であって、前記合成粉にＣｕＫα線を用いた回折Ｘ線強度の測定をおこなった際、２θで１７．７５°〜１７．８５°にピークを有することを特徴とする合成粉を用いることで、前記酸化物超電導線材の臨界電流密度を大きく向上させることが実現でき、実用レベルに迄到達することが出来た。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例にかかる（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系酸化物超電導合成粉における回折Ｘ線強度の測定結果例のチャートを示すグラフである。
【図２】本発明の実施例にかかる（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系酸化物超電導合成粉における回折Ｘ線強度の測定結果より、ピーク強度の比を求める方法を記載したグラフである。
【図３】本発明の実施例にかかる、酸化物超電導合成粉試料１〜６における回折Ｘ線強度の測定結果例のチャートを示すグラフである。
【図４】本発明の比較例にかかる（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系酸化物超電導合成粉における回折Ｘ線強度の測定結果例のチャートを示すグラフである。
【図５】本発明の実施例にかかる、酸化物超電導合成粉試料１〜６の調製において、仮焼の際における雰囲気の酸素ガスフロー量と、得られた試料のピーク強度比と、得られた試料から作製された酸化物超電導線材の臨界電流値および臨界電流密度と、の関係を記載した表を示す図である。
【発明の属する技術分野】
本発明は、高い臨界電流密度を得ることができるＢｉ（Ｐｂ）２２２３系酸化物超電導線材を製造する際に用いる、酸化超電導合成粉およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、酸化物超電導体を線材化する際の主な作製方法として以下の方法がある。
１．ＰＩＴ（Ｐｏｗｄｅｒ ｉｎ Ｔｕｂｅ）法
２．コーティング法
３．薄膜法
次に、それぞれの方法の概要について説明する。
【０００３】
１．のＰＩＴ法とは、酸化物超電導体と一緒に加熱しても、その酸化物超電導体と反応を起こさない金属をマトリクスとして準備する（例えばＡｇ、またはＡｇ合金）。次にこの金属でチューブを作製し、その中に前記酸化物超電導体の粉末を充填する。そして、伸線、圧延および熱処理を繰り返しながら細線へと加工していく方法である。
このＰＩＴ法は、主に（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏｘ系の酸化物超電導線材を製造するのに適した方法である。
何故なら、Ｂｉ系酸化物超電導体は結晶粒が板状に成長する特徴があり、ここへＰＩＴ法のような長手方向へ引き延ばす手法を適用すると、板状結晶粒が長手方向に揃いやすくなる。一方、超電導電流は板状結晶の長手方向に流れやすい性質を持っているので、ＰＩＴ法により良好な超電導特性を有する線材を比較的安価に製造することができる。
【０００４】
２．のコーティング法とは、酸化物超電導体の粉末に適宜な有機バインダーを添加してペースト状にした後、Ａｇテープの表面にコーティングし、これを熱処理して線材を得る方法である。この方法は主にＢｉ2Ｓｒ2Ｃａ1Ｃｕ2Ｏy系の酸化物超電導線材を製造するのに適した方法である。
【０００５】
３．の薄膜法とは、まず金属テープ線材上に、酸化物超電導体と格子定数が近い、反応性が少ない等の相性の良い中間層を成膜し、その中間層上に酸化物超電導体層を積層して線材とする方法である。この方法は主にＹ1Ｂａ2Ｃｕ3Ｏz系の酸化物超電導線材を製造するのに適した方法である。何故ならＹ1Ｂａ2Ｃｕ3Ｏz系の酸化物超電導体はＢｉ系酸化物超電導体と比較して、結晶及び結晶成長の２次元性が弱いので例えば前記ＰＩＴ法の適用は困難である。
この薄膜法においては中間層の性質が超電導特性に大きな影響を与える。例えば、ＩＢＡＤ（Ｉｏｎ Ｂｅａｍ Ａｓｓｉｓｔ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により中間層としてＹＳＺの２次元膜を形成させたことにより、その上に蒸着成膜されたＹ1Ｂａ2Ｃｕ3Ｏz系の酸化物超電導体の超電導特性が劇的に向上することが確認されている。しかし、長尺線材製造技術が未だ開発途上であり、現在のところ実用に必要な長さの線材は得られていない。
【０００６】
以上、現在の代表的な酸化物超電導線材の製造方法について説明したが、製造の容易性、製造コスト、および超電導特性を勘案して最も実用レベルに近いと考えられるのは１．のＰＩＴ法である。
現在のところ、臨界電流密度が２０，０００〜２５，０００Ａ／ｃｍ2のものまで得られているが、実用的には３５，０００Ａ／ｃｍ2以上の特性が望まれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
マトリクスとしてＡｇまたはＡｇ合金を用いたＰＩＴ法において、さらに臨界電流密度を上げようと試みる場合、前記金属チューブに充填される酸化物超電導体の粉末、すなわち酸化物超電導合成粉の有する諸特性によって、最終的に得られる酸化物超電導線材の臨界電流密度、等の超電導特性が大きく変化することが知られている。
しかし、どの様な特性を有する酸化物超電導合成粉を用いれば、高い臨界電流密度を有する酸化物超電導線材を得ることができるのかは、いまだに明らかになっていない。
本発明は上述の背景のもとでなされたものであり、主に（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系の酸化物超電導線材において臨界電流密度の向上に大きく寄与する、酸化物超電導合成粉とその製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明者らが鋭意研究した結果、酸化物超電導合成粉が満たすべき特性として、Ｘ線回折装置を用いＸ線としてＣｕＫα線を用い、入射角θでＸ線照射をおこなった際、Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間である、２θで１７．７０°〜１７．９０°にピークを有する物質を含有していることが重要であることを見出し、本発明を完成したものである。
【０００９】
すなわち第１の発明は、マトリクスとしてＡｇまたはＡｇ合金を用いるＢｉ−Ｐｂ−Ｓｒ−Ｃａ−Ｃｕ系酸化物超電導線の製造の際に用いられる酸化物超電導合成粉であって、
Ｘ線回折装置を用いて、前記酸化物超電導合成粉にＣｕＫα線を照射した際の回折Ｘ線強度の測定結果を、縦軸を回折Ｘ線強度とし、横軸を回折角度とするグラフに表した場合に、
Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間に、Ｃａ2ＰｂＯ4（１１０）面のピーク強度を１００とした場合に３以上のピーク強度比を有するピークが存在することを特徴とする酸化物超電導合成粉である。
【００１０】
第２の発明は、前記ＣｕＫα線の照射において、入射角θをもって照射した際、
Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間に存在するピークが２θで１７．７０°〜１７．９０°の位置にあることを特徴とする第１の発明にかかる酸化物超電導合成粉である
【００１１】
第３の発明は、前記ＣｕＫα線の照射において、Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間にＰｂＯのピークが存在することを特徴とする第１の発明にかかる酸化物超電導合成粉である。
【００１２】
第４の発明は、第１から第３の発明のいずれかにかかる酸化物超電導合成粉を用い、且つマトリクスとしてＡｇまたはＡｇ合金を用いて作製したことを特徴とする酸化物超電導線である。
【００１３】
第５の発明は、前記酸化物超電導合成粉の製造方法であって、
Ｂｉ化合物、Ｐｂ化合物、Ｓｒ化合物、Ｃａ化合物およびＣｕ化合物の粉末を混合し、温度７５０〜８５０℃、時間１０〜２０時間、酸化性ガスフロー中にて焼成することを特徴とする第１から第３の発明にかかる酸化物超電導合成粉の製造方法である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、上述の課題を解決するために、様々な試行錯誤を続けた結果、以下に記載するような方法で酸化物超電導合成粉を製造すると、これを用いた酸化物超電導線材において臨界電流密度の向上に大きく寄与するすることを発見した。
以下、まずその製造方法について説明する。
【００１５】
（原料準備および混合工程）
Ｂｉ化合物、Ｐｂ化合物、Ｓｒ化合物、Ｃａ化合物およびＣｕ化合物の粉末を所望のモル比となるように混合する。このとき、Ｂｉ化合物としてはＢｉ2Ｏ3が、Ｐｂ化合物としてはＰｂＯが、Ｓｒ化合物としてはＳｒＣＯ3が、Ｃａ化合物としてはＣａＣＯ3、ＣａＯ、Ｃａ（ＯＨ）2が、Ｃｕ化合物としてはＣｕＯが好ましかった。
また上述の原料以外でも、湿式共沈法等にてＢｉ、Ｐｂ、Ｓｒ、Ｃａ、Ｃｕの各元素を所要のモル比になるよう調製した原料も好ましかった。
【００１６】
（仮焼工程）
混合した原料粉末を次の条件で仮焼した。
仮焼温度は６００〜１，０００℃より好ましくは７５０〜８５０℃で、仮焼時間は３〜５０時間、仮焼雰囲気は大気（酸素分圧２０％）あるいはそれ以上の酸素分圧を有するガスを仮焼炉の内容積１立方メートルに対して少なくとも５０ｍｌ／ｍｉｎ以上のフローを保つこととした。
この工程により仮焼粉を得た。
【００１７】
（粉砕・乾燥工程）
仮焼工程で得られた仮焼粉を、Ｚｒボール等の粉砕メディア、トルエン等の有機溶媒と共にセラミックスポットに入れて、回転台にセットしボール粉砕をおこなった。この粉砕のねらいは、仮焼粉を細かく粉砕して均一性を向上させるとともに、次工程の焼成における熱的反応性を上げることが目的である。
粉砕が完了したスラリー状の仮焼粉は乾燥機で乾燥させる。
【００１８】
（再仮焼工程）
乾燥が完了した仮焼粉を再度仮焼する。
仮焼温度、仮焼時間、および仮焼雰囲気は最初の仮焼工程と同条件とした。
この工程により再仮焼粉を得た。
【００１９】
（再粉砕・乾燥工程）
再仮焼工程で得られた再仮焼粉を、再度、粉砕・乾燥した。
粉砕・乾燥条件は最初の粉砕・乾燥工程と同条件とした。
【００２０】
（再仮焼、再粉砕・乾燥の繰り返し実施工程）
乾燥が完了した再仮焼粉は、この後も適宜、再仮焼、再粉砕・乾燥の各工程を繰り返し実施して、目的とする酸化物超電導合成粉試料を得た。
【００２１】
（酸化物超電導合成粉試料の特性測定、回折Ｘ線強度の測定）
上述の酸化物超電導合成粉製造工程で得られた酸化物超電導合成粉試料に対し、線材化してその超電導特性を測定すると同時に、Ｘ線回折装置を用いて、前記酸化物超電導合成粉にＣｕＫα線を照射した際の回折Ｘ線強度の測定結果と、超電導特性との関係を検討した。
この検討の結果、本発明者は以下に記載するような、回折Ｘ線強度の測定結果と超電導特性との関連を突き止めることに成功した。
【００２２】
図１に、良好な超電導特性を有していた酸化物超電導合成粉試料の、２θが１７°〜１９°の範囲における回折Ｘ線強度を示す。
但し、図１は粉末試料への入射角θに対する回折角２θ横軸にとり、回折Ｘ線の強度を縦軸にとったチャートを示すグラフである。
回折Ｘ線強度は、Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークすなわち２θ：約１７．６°（以下「ピーク▲１▼」と記載する。）、Ｃａ2ＰｂＯ4の（０２０）面のピークすなわち２θ：１８．１°（以下「ピーク▲２▼」と記載する。）、および２θ：１７．８°（以下「ピーク▲３▼」と記載する。）に、主な３個のピークを有していた。
（但し、前記ピーク値の値は、Ｘ線回折装置の機種、校正方法等の差により±１％程度変動する。）
このうちピーク▲３▼の存在とその強度が試料の超電導特性と大きな相関を有する一方、酸化物超電導合成粉試料の製造工程によりその強度が大きく変化することを見出し、本発明を完成したものである。
【００２３】
すなわち、前記酸化物超電導合成粉試料を線材化した際に、ピーク▲３▼の存在が確認できない試料を線材化した場合、臨界電流密度は９，６００Ａ／ｃｍ2であるのに対し、ピーク▲１▼の強度を１００とした場合に、ピーク▲３▼の強度の比が３以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は３１，０００Ａ／ｃｍ2以上の著しい向上を示すのである。
さらに、前記ピーク▲１▼の強度を１００とした場合に、ピーク▲３▼の強度の比が８以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は実用的に望まれる３５，０００Ａ／ｃｍ2を超えて３７，０００Ａ／ｃｍ2以上を示し、強度の比が２８ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は５２，０００Ａ／ｃｍ2以上を示すことも判明した。
ここで、ピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度の比を求める方法について図１、２を用いて説明する。
但し、図２とは図１に、後述するピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度比を算出する過程を記載したものである。
まず、図１において、［ピーク▲１▼の回折Ｘ線強度］＝ピーク▲１▼の強度＋バックグラウンド、［ピーク▲３▼の回折Ｘ線強度］＝ピーク▲３▼の強度＋ピーク▲３▼の位置におけるピーク▲１▼の裾の部分の強度＋バックグラウンド、と考えられる。
ここでバックグラウンドの値は、ピークの存在しない、２θが１８．９９°〜１９．００°の範囲における回折Ｘ線強度の平均値とする。（この値を図２において２点鎖線で記載した。）
次に、ピーク▲３▼の位置におけるピーク▲１▼の裾の部分の強度は、ピーク▲１▼にローレンツ関数を当てはめ、その関数のピーク３の位置、２θ＝１７．８°における強度を算出することで求めることが出来る。（ローレンツ関数の値を図２において点線で記載した。）
（このようにして ピーク▲１▼とピーク▲３▼の強度は、図２における実線の部分として求められる。）
すなわち、ピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度比は、以下のように算出すればよい。
強度比＝［（ピーク▲３▼の回折Ｘ線強度−ピーク▲３▼の位置におけるピーク▲１▼の裾の部分の強度−バックグラウンド）／（ピーク▲１▼の回折Ｘ線強度−バックグラウンド）］×１００
そして、このピーク▲３▼の強度はＰｂＯの存在を示唆していることから、本発明における、前記臨界電流密度の著しい向上にはＰｂＯの存在が重要な働きをしていると考えられる。
【００２４】
一方、前記酸化物超電導合成粉試料の製造工程により、ピーク▲３▼の強度は大きく変動し、後述する製造条件を満足しない場合はピーク▲３▼を有しない試料となってしまうのである。
この前記ピーク▲１▼とピーク▲３▼との強度の比が３以上ある酸化物超電導合成粉試料は、仮焼工程において、大気（酸素分圧２０％）あるいはそれ以上の酸素分圧を有するガスのフローを保ちながら試料を仮焼した際に顕著に生成するのである。
そして、前記ガスのフローは十分な量を保つとともに、初回の仮焼開始から最後の仮焼終了まで継続しておこなうことが必要である。すなわち、試料を熱処理しているしている際は、常に前記ガスのフローを保つことが重要である。
反対に、外部との雰囲気のやり取りのない密閉空間、または窒素１００％、Ａｒ１００％といった非酸化性ガスのフロー下においては、前記ピーク▲３▼の強度比が３以上ある試料は生成しないことも判明した。
【００２５】
上述した酸化物超電導合成粉試料の生成機構、および超電導特性への寄与の機構は、完全には明らかでないが、おおよそつぎのように推論される。
すなわちＰｂを含有しない、いわゆるＢｉ２２２３系超電導体は、短時間の焼成では、１２０Ｋ付近の臨界温度を有する高温相への単相化が非常に困難である。しかしここへＰｂを添加しＢｉ（Ｐｂ）２２２３系とすることでこの問題点を解決できることが知られている。
一方、Ｐｂを添加することで、試料の熱処理温度、時間によって、Ｃａ2ＰｂＯ4、ＰｂＯ、ＰｂＯ2、Ｐｂ3Ｏ4、Ｐｂ2Ｏ3等の様々なＰｂ化合物が生成する。
【００２６】
ここで、前記酸化物超電導合成粉試料の存在形態は、前記Ｂｉ２２２３系の高温相の単相ではなく、Ｂｉ（Ｐｂ）２２１２系、Ｃａ2ＰｂＯ4、ＣａＣｕＯ2を主とした未反応相の混合として構成されている。このような未反応相で構成された酸化物超電導合成粉試料がＡｇまたはＡｇ合金チューブに充填され、圧延、伸線、熱処理等の各処理を繰り返す過程で、高温相であるＢｉ（Ｐｂ）２２２３系への単相化が進行するのである。
この過程において、従来その役割が重視されてこなかったＰｂＯが、所定量以上存在すると、マトリクスであるＡｇまたはＡｇ合金との界面において、前記高温相の生成反応が安定化され、この部分における超電導特性が大きく改善されるとともに、界面以外の部分においてもＢｉ（Ｐｂ）２２２３系への単相化が良好且つ完全に近いかたちで進行するのではないかと考えられる。
そして、上記工程により調製された酸化物超電導合成粉を用いて、例えばＰＩＴ法にて酸化物超電導線を作製すれば、高い臨界電流密度を有する酸化物超電導線を得ることが出来る。
【００２７】
（実施例）
純度３Ｎ以上、メディアン粒径で１〜数μｍのＢｉ2Ｏ3、ＰｂＯ、ＳｒＣＯ3、ＣａＣＯ3、ＣｕＯの各原料粉末をＢｉ：Ｐｂ：Ｓｒ：Ｃａ：Ｃｕ＝１．８５：０．３５：１．９０：２．０５：３．０５の組成比となるよう秤量し、混合する。
次に、混合した原料粉末を次の条件で仮焼した。
仮焼温度は７５０〜８５０℃で、仮焼時間は１０〜２０時間、仮焼雰囲気は１００％の酸素ガスとし、仮焼炉の内容積１立方メートルに対して、図５に示すように、５ｌ／ｍｉｎ、２ｌ／ｍｉｎ、１ｌ／ｍｉｎ、０．５ｌ／ｍｉｎ、０．１ｌ／ｍｉｎ、および０．０５ｌ／ｍｉｎ、のフローを保ち６種類の仮焼粉を得た。
この仮焼粉を、Ｚｒボール等の粉砕メディア、有機溶媒（トルエン）と共にセラミックスポットに入れて、回転台にセットしボール粉砕をおこなった後、乾燥機で乾燥させた。
本実施例においては、この仮焼−粉砕−乾燥の操作サイクルを同条件の下で３回繰り返しておこない、図５に示す６種類の酸化物超電導合成粉試料（試料１〜６）を得た。
【００２８】
次に、この６種の試料に対し、線材化してその超電導特性を測定する、と同時に回折Ｘ線強度の測定を実施した。
まず、超電導特性の測定について説明する。
前記６種の試料のそれぞれを１．２ｇ秤量し、中空部が３．８φ×９５ｍｍＬ肉厚が１０ｍｍの円筒状ゴム型に充填した。ゴム型の両端開口部をゴム栓で密閉し、水の侵入を防ぐためにビニールテープを用いて隙間を塞いでから、冷間静水圧プレス（ＣＩＰ）を用いて最大圧力１．５ｔｏｎ／ｃｍ2で加圧成形し、約１．９５φ×９０ｍｍＬの成形体を得た。
この成形体を、内径２．０ｍｍφ、外径３．０ｍｍφ×１００ｍｍＬのＡｇパイプの中に挿入し、伸線、圧延の後、８３５〜８４５℃でトータル１５０時間の熱処理を加えることにより、幅約５．０ｍｍ、厚さ約０．２ｍｍのテープ状をしたＡｇシース酸化物超電導線材を得た。この線材において、断面の超電導部分の領域は、幅約４．０ｍｍ、厚さ約０．０７ｍｍであった。
尚、測定は４端子法を用い、電圧端子間に１μＶ／ｃｍの電圧が発生したときの電流値を臨界電流値と定義した。
この結果を図５に示す。
【００２９】
次に、Ｘ線回折装置による回折Ｘ線強度の測定について説明する。
Ｘ線回折装置として（株）リガク製、ＲＩＮＴ−１０００を用い下記の条件を設定した。
以上の結果より、ピーク▲３▼の強度の比が３以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は３１，０００Ａ／ｃｍ2以上の著しい向上を示すことが判明した。
さらに、前記ピーク▲１▼の強度を１００とした場合に、ピーク▲３▼の強度の比が８以上ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は実用的に望まれる３５，０００Ａ／ｃｍ2を超えて３７，０００Ａ／ｃｍ2以上を示し、強度の比が２８ある試料を線材化した場合、臨界電流密度は５２，０００Ａ／ｃｍ2以上を示すことも判明した。
【００３０】
（比較例）
Ｂｉ2Ｏ3、ＰｂＯ、ＳｒＣＯ3、ＣａＣＯ3、ＣｕＯの各原料粉末をＢｉ：Ｐｂ：Ｓｒ：Ｃａ：Ｃｕ＝１．８５：０．３５：１．９０：２．０５：３．０５の組成比となるよう秤量し、混合する。
次に、混合した原料粉末を次の条件で仮焼した。
仮焼温度は７５０〜８５０℃で、仮焼時間は１０〜２０時間、外部との雰囲気流通のない密閉炉中でおこない、仮焼粉を得た。
得られた仮焼粉に対し、実施例と同条件にて、仮焼−粉砕−乾燥の操作サイクルを繰り返しておこない、比較例試料を得た。
【００３１】
比較例試料に対し、実施例試料と同様に線材化してその超電導特性を測定する、と同時に回折Ｘ線強度の測定を実施した。
その結果、臨界電流値は２７Ａ、臨界電流密度は９，６００Ａ／ｃｍ2であり、回折Ｘ線強度の測定結果は図４のようであった。
以上のことより、 Ｃａ2ＰｂＯ4の（１１０）面のピークとＣａ2ＰｂＯ4（０２０）面のピークとの間に、Ｃａ2ＰｂＯ4（１１０）面のピーク強度を１００とした場合に３以上のピーク強度比を有するピークが存在しない酸化物超電導合成粉試料を線材化しても、臨界電流密度の高いものを得ることは出来なかった。
【００３２】
【発明の効果】
以上詳述したように、ＰＩＴ法によって製造される酸化物超電導線材の臨界電流密度、等の超電導特性を向上させることを目的とし、（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系の酸化物超電導合成粉であって、前記合成粉にＣｕＫα線を用いた回折Ｘ線強度の測定をおこなった際、２θで１７．７５°〜１７．８５°にピークを有することを特徴とする合成粉を用いることで、前記酸化物超電導線材の臨界電流密度を大きく向上させることが実現でき、実用レベルに迄到達することが出来た。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例にかかる（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系酸化物超電導合成粉における回折Ｘ線強度の測定結果例のチャートを示すグラフである。
【図２】本発明の実施例にかかる（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系酸化物超電導合成粉における回折Ｘ線強度の測定結果より、ピーク強度の比を求める方法を記載したグラフである。
【図３】本発明の実施例にかかる、酸化物超電導合成粉試料１〜６における回折Ｘ線強度の測定結果例のチャートを示すグラフである。
【図４】本発明の比較例にかかる（ＢｉＰｂ）2Ｓｒ2Ｃａ2Ｃｕ3Ｏx系酸化物超電導合成粉における回折Ｘ線強度の測定結果例のチャートを示すグラフである。
【図５】本発明の実施例にかかる、酸化物超電導合成粉試料１〜６の調製において、仮焼の際における雰囲気の酸素ガスフロー量と、得られた試料のピーク強度比と、得られた試料から作製された酸化物超電導線材の臨界電流値および臨界電流密度と、の関係を記載した表を示す図である。
Claims (2)
- マトリクスとしてＡｇまたはＡｇ合金を用いるＢｉ−Ｐｂ−Ｓｒ−Ｃａ−Ｃｕ系酸化物超電導線の製造の際に用いられる酸化物超電導合成粉であって、Ｘ線回折装置を用いて、前記酸化物超電導合成粉にＣｕＫα線を照射した際の回折Ｘ線強度の測定結果を、縦軸を回折Ｘ線強度とし、横軸を回折角度とするグラフに表した場合に、Ｃａ２ＰｂＯ４の（１１０）面のピークとＣａ２ＰｂＯ４（０２０）面のピークとの間に、Ｃａ２ＰｂＯ４（１１０）面のピーク強度を１００とした場合に３以上のピーク強度比を有するＰｂＯのピークが存在し、当該ＰｂＯのピークが２θで１７．７０°〜１７．９０°の位置にあることを特徴とする酸化物超電導合成粉。
- 前記酸化物超電導合成粉の製造方法であって、Ｂｉ化合物としてＢｉ 2 Ｏ 3 、Ｐｂ化合物としてＰｂＯ、Ｓｒ化合物としてＳｒＣＯ 3 、Ｃａ化合物としてＣａＣＯ 3 、ＣａＯ、Ｃａ（ＯＨ） 2 から選択される１種以上、および、Ｃｕ化合物としてＣｕＯの粉末を混合し、温度７５０〜８５０℃、時間１０〜２０時間、大気（酸素分圧２０％）あるいはそれ以上の酸素分圧を有するガスフロー中にて焼成することを特徴とする請求項１に記載の酸化物超電導合成粉の製造方法。
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