JP4616521B2 - 異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法 - Google Patents

異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、異方性導電体を回路基板等のワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルや基板などのワークに電子部品を実装するに先立って、異方性導電体をワークに貼り付ける工程が採用されており、この異方性導電体貼り付け工程において異方性導電体貼り付け装置が用いられる。
【0003】
この異方性導電体貼り付け装置のなかで、テープの一方の面に異方性導電体が貼着されてなるACF(Anisotropic Conductive Film)テープをその進行方向に沿って所定長さごとにカッタにより切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体を液晶パネル等のワークの所定位置に貼り付ける機構を有した異方性導電体貼り付け装置がある(特開平10−27820号公報他参照)。
【0004】
図8から図10は、従来のこの種の異方性導電体貼り付け装置を使用した際の異方性導電体張り付け工程を概略的に示すものである。まず、図8に示すように、ACFテープとして、異方性導電体1が一方の面に貼着されたテープ2は、ここでは図示しない供給リールから送りローラ3によって送られる。テープ2は、まず、ガイドローラ4によって下方(矢印A方向)に進行方向を変えて、次のガイドローラ5で水平方向に進行方向が変えられ、さらに、次のガイドローラ6によって再び上方へ進行を方向を変え、巻取りリール7によって異方性導電体1が剥がされたあとのテープ2が巻き取られる。
【0005】
また、ガイドローラ4とガイドローラ5の間には、テープ2に貼着された異方性導電体1に対し、テープ2の進行方向に沿って所定の長さごとに切れ目を刻むカッタ8が設けられ、その切れ目によって、異方性導電体1は所定の長さごとに切り分けられる状態となる。
【0006】
また、ガイドローラ5とガイドローラ6の間には、圧着ヘッド機構9と基板支持台10が設けられている。この圧着ヘッド機構9は、圧着ツール11と、この圧着ツール11をロッド13によって往復動させるシリンダ12とから構成されている。なお、圧着ツール11内には、ここでは図示しないが異方性導電体1を加熱するためのヒータが設けられている。
【0007】
また、基板支持台10には液晶パネル等のワークとなる基板14が載せられ、この基板14は矢印B方向に間欠的に移動するようになっている。また、この圧着ヘッド機構9の近傍には、異方性導電体剥離機構15が設けられている。
【0008】
この異方性導電体剥離機構15は、シリンダ16と、このシリンダ16によって往復動可能な駆動軸17と、この駆動軸17の先端に回動自在に取り付けられた剥離ローラ18などによって構成されている。
【0009】
このような構成において、今、切れ目と切れ目との間の異方性導電体(以下、それぞれの切れ目によって切り分けられるそれぞれの異方性導電体を1a,1b,1c,・・・で表す)が圧着ヘッド機構9に到達すると(図8の状態では異方性導電体1aが圧着ヘッド機構9に到達した状態となっている)、圧着ヘッド機構9のロッド13が駆動される。それによって、圧着ツール11がテープ2を基板14に押圧させ、異方性導電体1aを基板14上に圧着させる動作を行う(図9の状態)。
【0010】
そして、その圧着動作が終了すると、圧着ツール11は元の位置に復帰するがその復帰動作が行われる直前の段階、つまり、図9の状態で異方性導電体剥離機構15が動作を開始する。
【0011】
すなわち、図9の状態において、異方性導電体剥離機構15の駆動軸17が水平方向に駆動され、その先端に設けられた剥離ローラ18がテープ2に当接した状態となる。このとき、異方性導電体1aは、図示しないヒータによる加熱により基板14側に接着された状態となっている。この状態で、圧着ツール11が上方に復帰するとともに剥離ローラ18がさらに前方に進み、テープ2が巻取りリール7に巻取られる動作を行うことによって、図10に示すように、異方性導電体1aはテープ2から剥離されて行く。
【0012】
そして、圧着ツール11がもとの状態に復帰することで、次に圧着される異方性導電体1bが圧着ツール11の真下に到達し、上述したような圧着動作が繰り返される。なお、このとき、基板14も矢印B方向に移動させられているので、上述した動作により、基板14上に圧着された異方性導電体1aは、所定位置にまで移動した状態となっている。この異方性導電体1aのあとに続いて、次の異方性導電体1bが次の基板14上に圧着される。このような圧着動作が連続的に行われる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
従来の異方性導電体貼り付け装置は、圧着ヘッド機構9によって異方性導電体を基板14に圧着させる際、上述したように、それぞれの切れ目によって分けられた異方性導電体を1a,1b,1c,・・・のうち、圧着ヘッド機構9の真下に到達した異方性導電体(図8から図10においては異方性導電体1a)に対し、圧着ヘッド機構9のロッド13が垂直方向に駆動されることによって、圧着ツール11がテープ2を基板14に押圧させることで、異方性導電体1aを基板14上に圧着させる動作を行う(図9の状態)。
【0014】
このような圧着動作を行う際、図8から図10からもわかるように、ガイドローラ5とガイドローラ6間の異方性導電体は、一定量だけたるみを持った状態、つまり、少なくとも、図8の状態におけるガイドローラ5とガイドローラ6間においては、異方性導電体はテンションが解除された状態とする必要がある。
【0015】
これは、図8の状態から図9の状態のような圧着動作が行われる際、ロッド13が所定の距離(圧着ツール11と基板14との間隔)だけ押し下げられることになるためであり、それに対応できるように、少なくとも、図8の状態におけるガイドローラ5とガイドローラ6間においては、テープ2のテンションが解除されている。また、図9となる直前においては、異方性導電体1の貼着されたテープ2は巻き取りリール等によるわずかなテンションがかけられた状態としてある。すなわち、もし、テープ2に大きなテンションがかかった状態で、圧着ツール11による押圧動作がなされると、テープ2が無理矢理に伸ばされて、場合によっては切れてしまうこともあり得るからである。一方、図9の直前においてテンションが無いと、テープ2が折り重なってしまう危険が生ずるためである。
【0016】
このように、従来の異方性導電体貼り付け装置は、圧着ツール11の垂直方向の動きを、圧着対象となる異方性導電体1に直接与えることで、その異方性導電体1を基板14上に押し当てるようにしている。つまり、圧着対象となる異方性導電体1が基板14上に圧着される直前は、圧着ツール11の押し下げ動作に依存してテープ2がテンションに抗してわずかに引きずり出されるような動作を行うことで、圧着対象となる異方性導電体1が基板14上に圧着される。
【0017】
上述のように、テープ2のテンションが解除されることで、圧着ツール11と異方性導電体1の位置関係は一定となりにくい。しかも、テープ2が引き出される際のテンションは、経時的変化や温度変化が生じやすく、また常に一定な値とはなりにくい。このため、テープ2が引き出される量も一定しない。また、テープ2への張力によってテープ2自体が引き伸ばされることも生じ、その量は一定しない。したがって、図8に示す圧着動作開始時点では、圧着対象となる異方性導電体1aが基板14の取り付け位置に正確に対向していたとしても、テンションが一時的に解除されることや圧着ツール11の垂直方向の動きによるテープ2の引き出されによって、異方性導電体1aの位置が基板14の取り付け位置に対してずれを生じたりすることも多く、圧着位置精度が悪くなるという問題が生じる。
【0018】
また、従来の異方性導電体貼り付け装置は、異方性導電体1aが基板14に圧着された状態(図9の状態)となったあと、上述したように、異方性導電体剥離機構15により、図10に示すように異方性導電体1aをテープ2から剥離させる動作を行う必要がある。
【0019】
これは、ガイドローラ5とガイドローラ6間において、テープ2にはわずかなテンションのみが与えられている状態となっているため、圧着ツール11が上方に復帰しても、テープ2と異方性導電体1aは基板14への圧着状態がそのまま保持され、仮に、その状態で巻き取りリール7を駆動させても、テープ2の動きは基板14上においては水平方向(矢印B方向)であり、剥離動作が適正になされないからである。この状態に対処するために、わずかな隙間内を水平方向に動作させる特別な機構としての異方性導電体剥離機構15が必要とされている。
【0020】
そこで、本発明は、切れ目間に存在するそれぞれの異方性導電体をワーク上に圧着する際の、圧着位置精度の向上を図ることができる異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法を提供することを目的としている。また、他の発明は、従来のような異方性導電体剥離機構という特別な剥離機構を設けずに、圧着された異方性導電体をテープから剥がすことができる異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、異方性導電体が貼着されたテープを装着する供給リールおよび異方性導電体の圧着動作が終了した後のテープを巻き取る巻き取りリールと、互いに隣り合う異方性導電体間に切れ目としてのギャップを形成させるギャップ形成手段と、それぞれのギャップ間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテープのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分に対し、少なくとも、圧着動作の開始から終了までの間はテープ進行路に沿う方向のテンションを与えるとともにそれを保持するテンション付与手段と、供給リール、巻き取りリール、ギャップ形成手段、圧着ヘッド機構、テンション付与手段の各構成要素を取り付けるフレームと、このフレームを所定量往復動可能に駆動するフレーム駆動手段とを有し、圧着対象となる異方性導電体をワーク上に圧着する際は、圧着対象となる異方性導電体が貼着されたテープのテンションを保持した状態でフレーム駆動手段がフレームをワーク方向に移動させる駆動を行い、圧着対象となる異方性導電体のテンションを保持した状態で当該圧着対象となる異方性導電体を、ワークの所定位置に押し当てるようにしている。
【0022】
このように、供給リール、巻き取りリール、圧着ヘッド機構など圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレームに取り付け、異方性導電体を基板上に圧着させる際は、フレームそのものがワーク側に押し下げられる機構となっているので、圧着対象となる異方性導電体に進行路に沿った方向のテンションを与えた状態のまま、その異方性導電体をワークに押し当てることができる。これによって、ワークへの圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【0023】
また、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分には常にテンションがかけられていることから、異方性導電体のワーク上への圧着動作が終わったあと、フレームを上昇させれば、ワーク上に圧着された異方性導電体から容易にテープを剥がすことができる。したがって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構は不要となり、全体的な機構を簡素化することができるとともに、異方性導電体からテープを剥がす際に生じがちな、異方性導電体やテープなどの損傷を防ぐことができる。
【0024】
また他の発明は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、異方性導電体が貼着されたテープを供給する供給リールおよび異方性導電体の圧着動作が終了した後のテープを巻き取る巻き取りリールと、互いに隣り合う異方性導電体間に切れ目としてのギャップを形成させるギャップ形成手段と、それぞれのギャップ間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体ごとにワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテープのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分に対し、少なくとも、圧着動作の開始から終了までの間はテープ進行路に沿う方向のテンションを与えるとともにそれを保持するテンション付与手段と、供給リール、巻き取りリール、ギャップ形成手段、圧着ヘッド機構、テンション付与手段の各構成要素を取り付けるフレームと、このフレームを所定量往復動可能に駆動するフレーム駆動手段とを有し、テープにテンションを与えた状態でフレームを異方性導電体の貼り付け面に対し垂直方向に往復動可能にし
ギャップ形成手段は、異方性導電体に切れ目を刻むカッタと、このカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた2本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段とを有している
【0025】
このように、供給リール、巻き取りリール、圧着ヘッド機構など圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレームに取り付け、異方性導電体を基板上に圧着させる際は、フレームそのものが異方性導電体の貼り付け面に対し垂直方向に往復動するので、ワーク上に圧着された異方性導電体から容易にテープを剥がすことができる。したがって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構は不要となり、全体的な機構を簡素化することができるとともに、異方性導電体からテープを剥がす際に生じがちな、異方性導電体やテープなどの損傷を防ぐことができる。また、ギャップ形成手段としては、カッタとこのカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた2本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段で済むので、構造が簡単で製品コストに大きな影響を与えることはない。
【0026】
さらに他の発明は、上述の各発明の異方性導電体貼り付け装置に加え、それぞれの切れ目として、互いに隣り合う異方性導電体間に所定間隔が形成されるような2本の切れ目を刻むとともに、その2本の切れ目間に存在する異方性導電体部分をテープから剥ぎ取ることでギャップを形成している。
【0027】
このため、テープ上のそれぞれの異方性導電体において隣接する異方性導電体間に所定間隔のギャップが形成されるので、異方性導電体がワーク上に圧着される際、隣接する次の異方性導電体にその熱が加わってしまうといった不具合を未然に防止することができ、それぞれの異方性導電体はワーク上の所定位置に良好な状態で接着させることができる。
【0028】
このような異方性導電体貼り付け装置において、ギャップ形成手段を、異方性導電体に切れ目を刻むカッタと、このカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた2本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段とを有する構成とするのが好ましい。
【0029】
このように、ギャップ形成手段としては、カッタとこのカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた2本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段で済むので、構造が簡単で製品コストに大きな影響を与えることはない。
【0030】
また、このギャップ形成手段で用いる剥ぎ取り手段を、剥ぎ取りレバーと、この剥ぎ取りレバーを駆動する剥ぎ取りレバー駆動部とで構成し、剥ぎ取りレバーの先端を2本の切れ目の一方の切れ目に係合させて掻き上げる動作を行うことで、2本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取るようにするのが好ましい。
【0031】
このように、剥ぎ取りレバーによって掻き上げるような動作を行うことで不要な異方性導電体部分をはぎとりようにしているので、切れ目部分の確実な剥ぎ取りが可能となる。
【0032】
また、他の発明は、上述の各発明の異方性導電体貼り付け装置に加え、テンション付与手段は、供給リールと、テープ進行路上における圧着ヘッド機構と巻き取りリール間に設けられたクランパ手段とからなり、テンション付与手段は、供給リールと、テープ進行路上の圧着ヘッド機構と巻き取りリール間に設けられたクランパ手段とからなり、供給リールとクランパ手段との間のテープを緊張状態で保持するようにしている。
【0033】
これにより、テープを進行させるための機能が得られるとともに、供給リールとの間に存在するテープに対し、常に進行路に沿った方向にテンションを与えた状態を保持することができる。
【0034】
また他の発明は、上述の各発明に加え、クランパ手段は2つのクランパからなり、一方のクランパはテープ進行方向先方側に設けられ、取り付け位置の固定された固定クランパであり、他方のクランパは固定クランプのテープ進行方向後方側に設けられ、テープ進行路上を所定量だけ往復動可能な可動クランパであって、これら2つのクランパはテープを進行させるための機能をも有し、その動作は、テープを巻き取りリール方向に進行させる場合には、可動クランパがテープをクランプ状態とするとともに、固定クランパはクランプ解除状態とし、その状態で、可動クランパがテープに対し供給リールとの間でのテンションを保持した状態で、テープ進行方向に所定量移動することで当該テープを進行させ、当該可動クランパの所定量の進行が終了した時点で、固定クランパがテープに対し、テンションを保持した状態で当該テープをクランプするとともに、可動クランパがテープのクランプ状態を解除して元の位置に復帰する動作を行うようにしている。
【0035】
このため、クランパ手段によってテープの進行とテープのテンション付与が行われる。この結果、複雑な動作を簡単な機構で達成することができ、長期間安定した動作が達成される。
【0036】
また、他の発明は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法において、異方性導電体にテープの進行方向に沿って所定長さごとに所定間隔の2本の切れ目を刻む工程と、2本の切れ目間に存在する余分な異方性導電体部分をテープから剥ぎ取り、隣り合う異方性導電体間に所定間隔のギャップを形成する工程と、ワークに貼り付ける異方性導電体をワークに対向する位置にテープにテンションをかけながら移動させる異方性導電体移動工程と、テンションがテープにかかった状態で、テープ全体をワーク側に移動させるテープ全体移動工程と、テープにテンションがかかった状態で異方性導電体がワークに当接した後または当接と同時に異方性導電体をワークに圧着し加熱する圧着加熱工程と、この圧着加熱工程ののちに、テープにテンションがかかった状態でテープ全体をワークから遠ざかる方向に移動させ、ワークに圧着された異方性導電体からテープを剥がすテープ剥離工程と、を有している。
【0037】
この方法によれば、テープに常にテンションが付与された状態で異方性導電体がまずワークに押し当てられ、その後にまたは同時に異方性導電体をワークに圧着し加熱するので、異方性導電体のワークに対する位置精度が向上する。また、テープ上のそれぞれの異方性導電体において隣接する異方性導電体間に所定間隔のギャップが形成されるので、異方性導電体がワーク上に圧着される際、隣接する次の異方性導電体にその熱が加わってしまうといった不具合を未然に防止することができ、それぞれの異方性導電体はワーク上の所定位置に良好な状態で接着させることができる。また、ギャップの巾は、1〜2mmとすることができる。
【0038】
さらに、他の発明は、上述の発明の異方性導電体貼り付け方法に加え、テープにかかるテンションは、テープを供給する供給リールに対して供給方向とは反対となる方向の回動力を与えると共にテープを巻き取る巻き取りリールの手前に配置されるテープを間欠的に送るクランパ手段によって回動力に抗してテープをクランプすることによって与えられるものとしている。
【0039】
この方法を採用すると、テープテンションの付与が簡単な機構で達成できる。
しかも、クランパ手段は、テープ送りとしても機能するので、一層効率的な機構とすることができ安価な方法となる。
【0040】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る異方性導電体貼り付け装置の実施の形態について図1から図7を参照しながら説明する。なお、従来技術の説明で用いた異方性導電体貼り付け装置(図8から図10参照)は、テープ2の一面側に異方性導電体1が貼り付けられた2層構造のACFテープ用の異方性導電体貼り付け装置であったが、この実施の形態では、テープ2の他面(異方性導電体1が貼り付けられた面と反対側の面)にテープ2を保護するための保護テープ2aが貼り付けられた3層構造のACFテープにも適用可能な異方性導電体貼り付け装置として説明する。
【0041】
図1は、本発明による異方性導電体貼り付け装置の実施の形態を説明する構成図であり、図8から図10と同一部分には同一符号が付されている。
【0042】
図1において、異方性導電体1が一方の面に貼着され、保護テープ2aが他方の面に貼着されたテープ2は、モータ(図示省略)によって供給側とは反対となる方向に回動力が付与されている供給リール21に装着されている。そして、テープ2の先端側がモータ(図示省略)によって巻き取り方向に回動力が付与されている巻き取りリール7に取り付けられ、供給リール21と巻き取りリール7の間には複数のガイドローラ(この実施の形態では、7個のガイドローラ21〜27が設けられている。
【0043】
なお、保護テープ2aは、その先端が保護テープ巻き取りリール28に取り付けられ、テープ2の進行動作と保護テープ巻き取りリール28の巻き取り動作に伴って、保護テープ2aはテープ2から剥がされて行く。したがって、それ以降(この図1の場合、ガイドローラ22の直前付近以降)は、テープ2は保護テープ2aが剥がされた状態、つまり、図8から図10で説明したと同様の2層構造の状態となる。
【0044】
このように、保護テープ2aが剥がされて2層構造となったACFテープ(テープ2と異方性導電体1からなる)はガイドローラ22によって図示下方向(矢印A方向)に進行方向を変えて送られる。なお、この実施の形態の説明に用いるそれぞれの図(図1から図7)において、図示上下(垂直)方向を矢印A−A’方向(矢印Aを下方向、矢印A’を上方向)として表し、図示左右(水平)方向を矢印B−B’方向(矢印Bを右方向、矢印B’を左方向)として表すことにする。
【0045】
ガイドローラ22によって矢印A方向に送られた異方性導電体1の貼着されたテープ2は、次のガイドローラ23で斜め下方向に進行方向が変えられる。テープ2は、さらに、次のガイドローラ24によって水平方向(矢印B方向)に進行方向を変え、次のガイドローラ25によって斜め上方向に進行を方向を変え、次のガイドローラ26によって上方向(矢印A’方向)に進行方向を変えて、ガイドローラ27のガイドで巻取りリール7に巻き取られるようになっている。なお、巻き取りリール7には、異方性導電体1の剥がされたあとのテープ2のみが巻き取られる。
【0046】
また、ガイドローラ22とガイドローラ23の間には、テープ2に貼着された異方性導電体1に対し、テープ2の進行方向に沿って所定の長さごとに切れ目を刻むカッタ8が設けられ、このカッタ8によって刻まれた切れ目によって、異方性導電体1は所定の長さごとに切り分けられ、前述したように、異方性導電体1a,1b,1c,・・・が形成される状態となる。
【0047】
ただし、この実施の形態では、切れ目によって分けられるそれぞれの異方性導電体間、つまり、隣り合う異方性導電体間(たとえば、異方性導電体を1aと異方性導電体1bとの間)には所定間隔のギャップGが形成される。
【0048】
これを実現するギャップ形成手段40は、上述のカッタ8と、互いに隣り合う異方性導電体間に所定間隔の2本の切れ目を刻むようなカッタ8の駆動制御を行うカッタ駆動部29と、その2本の切れ目間に存在する余分な異方性導電体部分をテープ2から剥ぎ取る剥ぎ取りレバー30と、その剥ぎ取りレバー30を駆動するための剥ぎ取りレバー駆動部31とを有するものとされている。ここで、剥ぎ取りレバー30、剥ぎ取りレバー駆動部31によって剥ぎ取り手段が構成される。なお、ギャップ形成手段40の動作についてはのちに説明する。
【0049】
また、ガイドローラ24とガイドローラ25の間には、圧着ヘッド機構9が設けられている。この圧着ヘッド機構9は、圧着ツール11と、この圧着ツール11をロッド13によって往復動させるシリンダ12とから構成されている。なお、圧着ツール13内には、ここでは図示しないが異方性導電体1を加熱するためのヒータが設けられている。
【0050】
また、ガイドローラ26とガイドローラ27の間には、テープ2(異方性導電体1の剥がされた後のテープ)をクランプ可能な2つのクランパ(可動クランパ32と固定クランパ33)からなるクランパ手段が設けられている。
【0051】
可動クランパ32は、モータによって回転するポールネジ32aにその略中央が係合し、一端側が固定部32bに摺動可能に取り付けられ予め設定された移動量(後述する)だけ矢印A−A’方向に往復動可能に設けられている。一方、固定クランパ33は、可動クランパ32の上方の所定位置に固定された状態で設けられている。
【0052】
これら可動クランパ32と固定クランパ33は、テープ2の送り機構としての働きを行うとともに、供給リール21との間に存在するテープ2に対し、進行路に沿った方向へのテンションを与えて、それを保持する働きも行う。すなわち、この可動クランパ32と固定クランパ33、さらに供給リール21とでテンション付与手段が構成される。具体的には、供給リール21は、モータによってテープ供給方向とは反対方向にテンションがかけられており、クランパ手段によってテープ2をその位置に固定しまたは進行方向にテープ2を駆動することで、供給リール21とクランパ手段との間のテープ2を緊張状態(テンション付与状態)で保持している。この可動クランパ32と固定クランパ33の詳細な動作についてはのちに説明する。
【0053】
ところで、以上説明した各構成要素、すなわち、供給リール21、保護テープ巻き取りリール28、カッタ8、カッタ駆動部29、剥ぎ取りレバー30、剥ぎ取りレバー駆動部31、圧着ヘッド機構9、巻き取りリール7、可動クランパ32と固定クランパ33、ガイドローラ21〜27などはフレーム34に取り付けられている。
【0054】
なお、このフレーム34は、1枚の板であってもよいが、これらそれぞれの構成要素を幾つかのブロックにわけて、それぞれのブロックごとのフレームとして、その複数のフレームを接合して1つのフレームとしたものであってもよい。たとえば、供給リール21、保護テープ巻き取りリール28、カッタ8、カッタ駆動部29、剥ぎ取りレバー30、剥ぎ取りレバー駆動部31、ガイドローラ21〜23を1つのブロックとし、圧着ヘッド機構9、ガイドローラ24,25を1つのブロックとし、巻き取りリール7、可動クランパ32と固定クランパ33、ガイドローラ26,27を1つのブロックとして、これら各ブロックごとにそれぞれのフレームを設け、これら複数のフレームを接合して1つのフレーム34とするようにしてもよい。
【0055】
そして、このフレーム34は、モータやポールネジ等からなるフレーム駆動手段であるフレーム駆動装置35によって図示上下方向(矢印A−A’方向)に下降/上昇動作可能となっている。このフレーム34が下降動作することによって、圧着対象となる異方性導電体1(圧着ツール11の真下に存在する異方性導電体)を押し下げる動作を行うようになっている。この動作についてはのちに説明する。
【0056】
また、圧着ヘッド機構9の圧着ツール11に対向する位置には、基板支持台10が設けられ、この基板支持台10には液晶パネルなどのワークとなる基板14が載せられる。この基板支持台10上の基板14は、図示水平方向(矢印B方向)に間欠的に移動するようになっている。
【0057】
次に、このように構成された実施の形態の異方性導電体貼り付け装置の動作について説明する。なお、この動作の説明と共に異方性導電体貼り付け方法を併せて説明することとする。
【0058】
まず、供給リール21に装着された3層構造(テープ2とその一方の面に貼着された異方性導電体1と他方の面に貼着された保護テープ2aからなる)のACFテープは、進行するに伴って、その保護テープ2aが保護テープ巻き取りリール28に巻き取られて行き、ガイドローラ22の直前付近からは保護テープ2aが剥がされたテープ2と異方性導電体1からなる2層構造のACFテープとなる。
【0059】
この2層構造となったACFテープは、ガイドローラ22によって矢印A方向に進行し、カッタ8によって異方性導電体1に切れ目を入れる工程が行われるが、前述したように、この実施の形態では、切れ目によって分けられたそれぞれの異方性導電体1の互いに隣り合う異方性導電体1間に、所定間隔の2本の切れ目(この2本の切れ目間をスパンカット部SCと呼ぶ)を刻むようなカッタ駆動制御を行い、そのスパンカット部SCに存在する余分な異方性導電体部分をテープ2から剥ぎ取ることで、当該テープ2上でそれぞれ隣り合う異方性導電体間にそれぞれギャップGを形成する工程が行われる。この工程について、図2(A)〜(C)を参照しながら説明する。
【0060】
図2(A)〜(C)において、異方性導電体1が貼付されたテープ2は、図示の上方向から下方向(矢印A方向)に向かって進行しており、その進行経路にカッタ8とそれを駆動するカッタ駆動部29が存在し、その手前には、剥ぎ取りレバー30とそれを駆動する剥ぎ取りレバー駆動部31が存在している。
【0061】
カッタ8は、カッタ駆動部29によって矢印B方向(テープ2の進行方向と直角方向)に押圧されて、テープ2に貼着された異方性導電体1をその刃8aで押し切るような動作を行うようになっている。カッタ駆動部29によりカッタ8が予め決められたタイミングで押圧されると、図2(A)に示すように、異方性導電体1には第1の切れ目L1が刻まれる。
【0062】
なお、カッタ8は、第1の切れ目L1を入れた後は直ちに矢印B’方向に戻って、もとの位置に復帰する。この図2(A)はカッタ8が第1の切れ目L1を設ける動作を行ったあと、元の位置に戻った状態が示されている。
【0063】
そして、第1の切れ目L1を刻む動作を行ったのち、テープ2がわずかに進行した状態で、再び、カッタ8はカッタ駆動部29によって上述したように矢印B方向に押圧されて、図2(B)に示すように、テープ2に貼付された異方性導電体1を押し切るような動作を行う。この図2(B)も、カッタ8が第2の切れ目L2を刻む動作を行ったあと、元の位置に戻った状態が示されている。
【0064】
このようなカッタ駆動部29によるカッタ8の駆動制御が行われることによって、異方性導電体1には、図2(B)に示すように、第1の切れ目L1と第2の切れ目L2が刻まれ、スパンカット部分SCが形成される。この第1の切れ目L1と第2の切れ目L2との間隔、すなわち、スパンカット部分SCの幅Wは、この実施の形態では、1mm〜2mm程度である。なお、第1の切れ目L1を刻むためのカッタ駆動タイミングや第2の切れ目L2を刻むためのカッタ駆動タイミングは、テープ2の進行速度やスパンカットSCをどのくらいの大きさとするかによって予め決めておくことができる。
【0065】
このようにして、テープ2が矢印A方向に進行して行くに従って、予め決められたタイミングでカッタ駆動部29がカッタ8を駆動させ、それによって、第1の切れ目L1と第2の切れ目L2が刻まれ、それによって、これら第1の切れ目L1と第2の切れ目L2との間にはスパンカット部分SCが形成される。
【0066】
そして、次の工程として、このスパンカット部分SCを剥ぎ取りレバー30でテープ2から剥ぎ取ることで、隣り合う異方性導電体間にギャップGを形成する工程を行う。
【0067】
すなわち、図2(B)で説明したように、2箇所の切れ目L1,L2が入って、その間にスパンカット部SCが形成された状態となると、図2(C)に示すように、剥ぎ取りレバー駆動部31によって剥ぎ取りレバー30が駆動され、剥ぎ取りレバー30の先端部30aが切れ目L2に係合する位置まで図示の下方向(矢印A方向)に移動し、先端部30aが切れ目L2に係合した状態となったところで、今度は、剥ぎ取りレバー駆動部31の駆動によって、剥ぎ取りレバー30はその回動軸30bを中心に矢印C方向に回動するような動作を行う。それによって、剥ぎ取りレバー30の先端部30aがスパンカット部SCを剥ぎ取る動作を行い、スパンカット部SCはテープ2から剥がされてギャップGが形成される。
【0068】
このような動作をテープ2の進行動作にしたがって行うことにより、異方性導電体1の貼着されたテープ2は図3のような状態となる。すなわち、テープ2上の異方性導電体1は、所定の長さごとの異方性導電体1a,1b,1c,・・・に分けられ、しかも、それぞれ隣接する異方性導電体間(異方性導電体1aと異方性導電体1bの間、異方性導電体1bと異方性導電体1cの間など)には、スパンカット部分SCにほぼ相当する1〜2mm程度のギャップGが形成された状態となる。
【0069】
そして、この図3のような状態となったテープ2は、図1において、ガイドローラ23を経て圧着ツール11部分に送られて行き、それぞれの異方性導電体1a,1b,1c,・・・が、順次、各基板14に圧着される動作が行われるが、この図1,4,5,6,7では、異方性導電体1aの圧着動作について示す。なお、この圧着ツール11による異方性導電体1aの圧着動作を可動クランパ32と固定クランパ33の動作とともに説明する。
【0070】
異方性導電体1aが圧着ツール11の真下に存在する位置に到達し、まだ、圧着ツール11が圧着動作を行う前の状態(図1に示す状態)においては、可動クランパ32はテープ2のクランプを解除している状態、固定クランパ33はテープ2をクランプしている状態となっている。
【0071】
この状態は、固定クランパ33と供給リール21との間のテープ2は、その進行路に沿った方向にテンションがかけられた状態である。したがって、当然のことながら、圧着対象となる異方性導電体1aは同様にテンションがかけられている状態となっている。これは、供給リール21がモータによって供給方向とは反対方向に回動力が常時付与されているためである。
【0072】
このように、異方性導電体1aが圧着ツール11の真下に存在する位置に到達し、まだ、圧着ツール11が圧着動作を行う前の状態においては、供給リール21から固定クランプ33までの間のテープ2は、テンションがかけられた状態となっているため、圧着対象となる異方性導電体1aもテンションがかけられた状態で圧着ツール11の真下に存在する。
【0073】
この状態で圧着動作を行うが、この圧着動作は、まず、フレーム駆動装置35の駆動により、フレーム34が矢印A方向に下降動作することによって、異方性導電体1aが基板14の所定位置に押し当てられ(図4参照)、そのあとまたは同時に、圧着ツール11が押圧動作することで行われる(図5参照)。つまり、フレーム34が下降動作するということは、このフレーム34に取り付けられている全ての構成要素がフレーム34とともに下降動作するということであり、それによって、異方性導電体1aは基板14の所定位置に押し当てられることになる。
【0074】
図4は、フレーム34が下降動作することによって、異方性導電体1aが基板14の所定位置に押し当てられた状態を示すものである。このように、フレーム34そのものが下降動作を行うことで、圧着対象となる異方性導電体1aはテンションをかけられた状態のまま基板14に押し当てられるので、基板14上への圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【0075】
そして、図4の状態、つまり、フレーム34の下降動作により、異方性導電体1aが基板14の所定位置に押し当てられた状態において、圧着ツール11が下降動作し、異方性導電体1aを基板14上に押圧するとともに熱を加えることで、異方性導電体1aは基板14の所定位置に圧着される(図5参照)。
【0076】
なお、この異方性導電体1aの圧着動作が行われる際、その後に続く異方性導電体1bは、異方性導電体1aとの間でギャップGが存在しているため、異方性導電体1aに加えられる熱の影響を受けにくくすることができる。
【0077】
このようにして、異方性導電体1aの基板14上への圧着動作が終わると、圧着ルール11が上昇する(図6参照)。その後または同時に、フレーム34がフレーム駆動装置35の駆動によって、異方性導電体1aの貼着面に対して垂直方向となる上方(矢印A’方向)に移動し、圧着動作前の状態に復帰する(図7参照)。
【0078】
このとき、固定クランプ33と供給リール21との間のテープ2は、テンションがかけられた状態が保持され、しかもフレーム34が異方性導電体1aのテープ2への貼着面に対し垂直方向に移動するので、圧着動作が終了してフレーム34が上昇するだけで、基板14上に圧着された異方性導電体1aからテープ2を容易に剥がすことができる。
【0079】
図7は、圧着動作終了後にフレーム34が上昇することで、基板14上に圧着された異方性導電体1aからテープ2が剥がれた状態を示すものである。このように、フレーム34を上昇させるだけでテープ2を剥がすことができるので、従来のように、異方性導電体剥離機構を設ける必要はなくなる。
【0080】
そして、異方性導電体1aの基板14上への圧着動作が終わって、フレーム34がフレーム駆動装置35の駆動によって上昇し、圧着動作前の状態に復帰すると(図7の状態)、これとほぼ同時に、可動クランパ32がテープ2をクランプし、固定クランパ33がテープ2のクランプを解除する。
【0081】
この状態から、今度は、可動クランパ32がテープ2をクランプした状態で矢印A’方向に決められた移動量だけ移動する。この移動量は、異方性導電体1aのあとに続く異方性導電体1bを適正な圧着位置(圧着ツール11の真下)に移動させるに必要な距離である。
【0082】
このように、1つの異方性導電体1aの圧着動作が終了すると、可動クランパ32がテープ2をクランプした状態で所定量だけ引っ張り上げることによって、次の異方性導電体1bを圧着ツール11の真下に位置させるという動作を行う。
なお、このとき、可動クランパ32が矢印A’方向に所定量移動することによって、テープ2が可動クランパ32の移動量の分だけ、ガイドローラ27側に進行するが、そのテープ2は巻き取りリール7によって巻き取られる。
【0083】
そして、可動クランパ32が決められた移動量だけ移動し終わると、固定クランパ33がテープ2をクランプし、それに応動して可動クランパ32がテープ2のクランプを解除し、下方(矢印A方向)に移動して、もとの位置に復帰する。
この状態においては、前述したように、供給リール21から固定クランプ33までの間のテープ2はテンションがかけられた状態となっているため、圧着対象となる異方性導電体1bもテンションがかけられた状態で圧着ツール11の真下に存在する。
【0084】
これによって、異方性導電体1aを基板14に対して圧着させたときと同様の動作を行うことで、異方性導電体1bに関しても次の基板14に対して圧着動作を行うことができる。なお、このとき、基板14も所定量だけ矢印B方向に移動した状態となっており、圧着対象となる異方性導電体1bが次の基板14の圧着位置に対向するようになる。
【0085】
以上説明したように、この実施の形態では、テープ2に貼着された異方性導電体1に切れ目を刻む際、隣接する異方性導電体間(異方性導電体1aと異方性導電体1bとの間、異方性導電体1bと異方性導電体1cとの間など)に1mm〜2mm程度のスパンカット部分SCを形成し、そのスパンカット部分SCを剥ぎ取りレバー30によって剥ぎ取ることで、隣接する異方性導電体1a,1b,1c,・・・間に1〜2mm程度のギャップGを形成するようにしている。そして、このような状態のものを、圧着ツール11に供給して圧着動作を行うようにしている。
【0086】
これによって、ある異方性導電体(たとえば、異方性導電体1a)が基板14上に圧着される際、隣接する次の異方性導電体1bにその熱が加わってしまうといった不具合を未然に防止することができ、それぞれの異方性導電体1a,1b,1c,・・・は各基板14に良好な状態で接着させることができる。
【0087】
また、供給リール21、保護テープ巻き取りリール28、カッタ8、カッタ駆動部29、剥ぎ取りレバー30、剥ぎ取りレバー駆動部31、圧着ヘッド機構9、巻き取りリール7、可動クランパ32と固定クランパ33、ガイドローラ21〜27など、圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレーム34に取り付け、異方性導電体1a,1b,1c,・・・を各基板14上に圧着させる際は、テープ2のテンションを維持しつつフレーム34そのものが、基板14側に押し下げられる機構となっているので、圧着対象となる異方性導電体の位置を保持したまま、基板14上に圧着動作させることができる。
【0088】
これによって、基板14上への圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【0089】
また、圧着動作終了後も、テープ2は、テンションがかけられた状態を保持していることから、圧着動作終了後に、フレーム34を異方性導電体1a,1b,1c,・・・の貼着面に対して垂直方向に上昇させるだけで、基板14上に圧着された異方性導電体1a,1b,1c.,・・・からテープ2を容易に剥がすことができる。これによって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構を不要とすることができる。
【0090】
なお、上述の実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の例であるが、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形実施可能である。たとえば、前述の各実施の形態では、圧着ツール11やフレーム34を上下方向に移動させる例を示したが、上下方向に移動しているテープ2に対しフレーム34と圧着ツール11を左右方向に移動させて異方性導電体1を基板14に圧着させるようにしても良い。
【0091】
また、上述の実施の形態では、フレーム34を下降させ(=テープ2全体を下降させ)、テープ2に貼着している異方性導電体1a,1b,1c,・・・を基板14に当接させてから圧着ツール11を下降させているが、異方性導電体1a,1b,1c,・・・を基板14に当接させず、わずかな隙間を有している状態まで下降させ、その状態において圧着ツール11を下降させ、この圧着11によって異方性導電体1a,1b,1c,・・・と基板14との当接、圧着を行わせるようにしても良い。また、フレーム34の下降と同時に圧着ツール11も独自に下降させ、フレーム34の下降の終了と同時に圧着ツール11がテープ2に当接し圧着を開始するようにしても良い。
【0092】
さらに、上述の実施の形態では、スパンカット部SCを形成する際、1つのカッタ8によって行う例について説明したが、カッタ8を2つ用意し、それぞれのカッタ8の刃8aをスパンカット部分SCの幅W(1〜2mm)に並行配置して一回のカッタ駆動によりスパンカット部分SCを形成するようにしてもよい。
【0093】
また、スパンカット部SCに存在する余分な異方性導電体の剥ぎ取りを行う手段としては、前述の実施の形態では、剥ぎ取りレバー30がスパンカット部SCを掻き上げるような動作を行うことで剥ぎ取りを行うようにしたが、これに限られるものではなく種々の手段が考えられる。たとえば、カッタ8によってスパンカット部SCが形成されたら、そのスパンカット部SCを粘着テープによって剥ぎ取るようにしてもよく、また、スパンカット部SCに圧縮空気を噴射することによってスパンカット部SCを剥ぎ取るようにすることも考えられる。
【0094】
なお、この圧縮空気を用いる方法は、前述の実施の形態の剥ぎ取りレバー30による剥ぎ取り機構に併用させることも可能である。つまり、まず、剥ぎ取りレバー30による剥ぎ取りを行ったあと、圧縮空気を噴射させるようにすることも可能で、これにより、より確実な剥ぎ取りが行えるとともに粉塵などを吹き飛ばすことができる。
【0095】
また、スパンカット部分SCの幅Wは、前述の実施の形態では、1mmから2mmとしたがこれに限られるものではなく、所定範囲で任意に設定することができる。
【0096】
また、上述の実施の形態では、3層構造のACFテープを用いた場合について説明したが、2層構造のACFテープにも適用できることは勿論である。また、上述の実施の形態では、液晶パネル面などのワークに異方性導電体を貼り付ける例を示したが、ワークとしては通常の回路基板やフレキシブル基板等の基板としたり、テープ状のものとしてもよい。さらに、異方性導電体の代わりに等方性導電体を採用してもよい。
【0097】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、供給リール、巻き取りリール、圧着ヘッド機構など圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレームに取り付け、異方性導電体を基板上に圧着させる際は、フレームそのものがワーク側に押し下げられる機構となっており、しかも、圧着対象となる異方性導電体に進行路に沿った方向のテンションを与えた状態のまま、その異方性導電体をワークに押し当てている。これによって、ワークへの圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【0098】
また、他の発明によれば、圧着対象となる異方性導電体の存在する部分のテープには常にテンションがかけられ、しかも圧着ヘッド機構等圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素が取り付けられたフレームを、異方性導電体のワーク上への圧着動作が終わったあと、異方性導電体の貼着面に対して垂直方向に移動させているので、ワーク上に圧着された異方性導電体から容易にテープを剥がすことができる。したがって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の異方性導電体貼り付け装置の概略的な構成図である。
【図2】本発明の実施の形態における第1の切れ目L1と第2の切れ目L2を刻む工程とギャップGを形成する工程を説明する図であり、(A)は第1の切れ目L1を刻む動作を説明する図、(B)は第2の切れ目L2を刻む動作を説明する図、(C)は第1の切れ目L1と第2の切れ目L2の間に存在する余分な異方性導電体(スパンカット部分SC)を剥ぎ取る動作を説明する図である。
【図3】図2の工程を経て分断された異方性導電体1a,1b,1c,・・・が形成された状態を示す図である。
【図4】図1に示す異方性導電体貼り付け装置においてフレームが下降動作することによって圧着対象となる異方性導電体がワーク(基板)上に押し当てられた状態を示す図である。
【図5】図4の状態から圧着ツールが下降し、異方性導電体をワーク(基板)に対して圧着している状態を示す図である。
【図6】図5の状態から圧着ツールが上昇し、異方性導電体の圧着状態を解除した状態を示す図である。
【図7】図6の状態からフレームが上昇することによってテープが異方性導電体から剥がされた状態を示す図である。
【図8】従来の異方性導電体貼り付け装置における異方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、テープ上のある1区間の異方性導電体が圧着ツール上に到達した様子を示す図である。
【図9】従来の異方性導電体貼り付け装置における異方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、テープ上のある1区間の異方性導電体に対し圧着ツールによる圧着動作を示す図である。
【図10】従来の異方性導電体貼り付け装置における異方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、圧着動作後、圧着された異方性導電体をテープから剥がす動作を説明する図である。
【符号の説明】
1,1a,1b,1c 異方性導電体
2 テープ
7 巻取りリール
8 カッタ(ギャップ形成手段の一部)
8a カッタの刃
9 圧着ヘッド機構
11 圧着ツール
14 基板(ワーク)
21〜27 ガイドローラ
28 保護テープ巻き取りリール
29 カッタ駆動部(ギャップ形成手段の一部)
30 剥ぎ取りレバー(ギャップ形成手段の一部、剥ぎ取り手段の一部)
31 剥ぎ取りレバー駆動部(ギャップ形成手段の一部、剥ぎ取り手段の一部)
32 可動クランパ(クランパ手段の一部)
33 固定クランパ(クランパ手段の一部)
34 フレーム
35 フレーム駆動装置(フレーム駆動手段)
40 ギャップ形成手段

Claims (7)

  1. テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、
    上記異方性導電体が貼着されたテープを供給する供給リールおよび異方性導電体の圧着動作が終了した後のテープを巻き取る巻き取りリールと、
    上記互いに隣り合う異方性導電体間に上記切れ目としてのギャップを形成させるギャップ形成手段と、
    それぞれのギャップ間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、
    上記供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテープのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分に対し、少なくとも、圧着動作の開始から終了までの間はテープ進行路に沿う方向のテンションを与えるとともにそれを保持するテンション付与手段と、
    上記供給リール、上記巻き取りリール、上記ギャップ形成手段、上記圧着ヘッド機構、上記テンション付与手段の各構成要素を取り付けるフレームと、
    このフレームを所定量往復動可能に駆動するフレーム駆動手段と、
    を有し、上記テープにテンションを与えた状態で上記フレームを上記異方性導電体の貼り付け面に対し垂直方向に往復動可能にし、
    上記ギャップ形成手段は、上記異方性導電体に切れ目を刻むカッタと、このカッタを駆動するカッタ駆動部と、上記カッタによって刻まれた2本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段とを有したことを特徴とする異方性導電体貼り付け装置。
  2. 前記剥ぎ取り手段は、剥ぎ取りレバーと、この剥ぎ取りレバーを駆動する剥ぎ取りレバー駆動部とからなり、上記剥ぎ取りレバーの先端を前記2本の切れ目の一方の切れ目に係合させて掻き上げる動作を行うことで、前記2本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取ることを特徴とする請求項記載の異方性導電体貼り付け装置。
  3. 前記テンション付与手段は、前記供給リールと、テープ進行路上の前記圧着ヘッド機構と前記巻き取りリール間に設けられたクランパ手段とからなり、前記供給リールと上記クランパ手段との間の前記テープを緊張状態で保持するようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載の異方性導電体貼り付け装置。
  4. 前記クランパ手段は、2つのクランパからなり、一方のクランパはテープ進行方向先方側に設けられ、取り付け位置の固定された固定クランパであり、他方のクランパは上記固定クランパのテープ進行方向後方側に設けられ、上記テープ進行路上を所定量だけ往復動可能な可動クランパであって、これら2つのクランパはテープを進行させるための機能をも有し、その動作は、
    前記テープを巻き取りリール方向に進行させる場合には、上記可動クランパが上記テープをクランプ状態とするとともに、固定クランパはクランプ解除状態とし、その状態で、上記可動クランパが上記テープに対し上記供給リールとの間でのテンションを保持した状態で、テープ進行方向に所定量移動することで当該テープを進行させ、当該可動クランパの所定量の進行が終了した時点で、上記固定クランパが上記テープに対し上記テンションを保持した状態で当該テープをクランプするとともに、上記可動クランパがテープのクランプ状態を解除して元の位置に復帰する動作を行う、
    ことを特徴とする請求項1からのいずれか1項記載の異方性導電体貼り付け装置。
  5. テープの一方の面に貼着された異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法において、
    上記異方性導電体に上記テープの進行方向に沿って所定長さごとに所定間隔の2本の切れ目を刻む工程と、
    上記2本の切れ目間に存在する余分な異方性導電体部分をテープから剥ぎ取り、隣り合う異方性導電体間に上記所定間隔のギャップを形成する工程と、
    上記ワークに貼り付ける異方性導電体を上記ワークに対向する位置に上記テープにテンションをかけながら移動させる異方性導電体移動工程と、
    テンションがテープにかかった状態で、テープ全体を上記ワーク側に移動させるテープ全体移動工程と、
    上記テープにテンションがかかった状態で上記異方性導電体が上記ワークに当接した後または当接と同時に上記異方性導電体を上記ワークに圧着し加熱する圧着加熱工程と、
    上記圧着加熱工程ののちに、上記テープにテンションがかかった状態でテープ全体を上記ワークから遠ざかる方向に移動させ、上記ワークに圧着された上記異方性導電体から上記テープを剥がすテープ剥離工程と、
    を有することを特徴とする異方性導電体貼り付け方法。
  6. 前記ギャップの巾が1〜2mmであることを特徴とする請求項5に記載の異方性導電体貼り付け方法。
  7. 前記テープにかかるテンションは、前記テープを供給する供給リールに対して供給方向とは反対となる方向の回動力を与えると共に、前記テープを巻き取る巻き取りリールの手前に配置される前記テープを間欠的に送るクランパ手段によって上記回動力に抗して前記テープをクランプすることによって与えられることを特徴とする請求項5または6記載の異方性導電体貼り付け方法。
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