JP2003078238A - 異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧着された異方性導電体からテープを剥がす
ための特別な機構を設けることなく、しかも、異方性導
電体やテープを損傷させることなく確実な剥離動作を可
能とする。 【解決手段】 供給リール２０と巻き取りリール間７に
架け渡されたテープ２のうち、少なくとも、圧着対象と
なる異方性導電体１ａの存在するテープ２部分に対し、
テープ進行路に沿う方向への引っ張り力を与えることで
テープ２にテンションを与えることを可能とするととも
にそれを保持する可動クランパ３２および固定クランパ
３３を有し、異方性導電体１ａが基板１４に圧着された
のち、その圧着された異方性導電体１ａからテープ２を
剥離させる際、可動クランパ３２がテープ２をクランプ
して上昇することによって、テープ２に対し異方性導電
体１ａのテープ進行方向先端部からその後端部に向かっ
て剥がすような引っ張り力を与えて、異方性導電体１ａ
からテープ２を剥離させる動作を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、異方性導電体を回
路基板等のワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装
置および異方性導電体貼り付け方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルや基板などのワークに電子部
品を実装するに先立って、異方性導電体をワークに貼り
付ける工程が採用されており、この異方性導電体貼り付
け工程において異方性導電体貼り付け装置が用いられ
る。

【０００３】この異方性導電体貼り付け装置のなかで、
テープの一方の面に異方性導電体が貼着されてなるＡＣ
Ｆ（ ）テープをその進行
方向に沿って所定長さごとにカッタにより切れ目を刻
み、それぞれの切れ目間の異方性導電体を液晶パネル等
のワークの所定位置に貼り付ける機構を有した異方性導
電体貼り付け装置が知られている（特開平１０−２７８
２０号公報他参照）。

【０００４】図１５から図１７は、従来のこの種の異方
性導電体貼り付け装置を使用した際の異方性導電体張り
付け工程を概略的に示すものである。まず、図１５に示
すように、ＡＣＦテープとして、異方性導電体１が一方
の面に貼着されたテープ２は、ここでは図示しない供給
リールから送りローラ３によって送られる。テープ２
は、まず、ガイドローラ４によって下方（矢印Ａ方向）
に進行方向を変えて、次のガイドローラ５で水平方向に
進行方向が変えられ、さらに、次のガイドローラ６によ
って再び上方へ進行を方向を変え、巻取りリール７によ
って異方性導電体１が剥がされたあとのテープ２が巻き
取られる。

【０００５】また、ガイドローラ４とガイドローラ５の
間には、テープ２に貼着された異方性導電体１に対し、
テープ２の進行方向に沿って所定の長さごとに切れ目を
刻むカッタ８が設けられ、その切れ目によって、異方性
導電体１は所定の長さごとに切り分けられる状態とな
る。

【０００６】また、ガイドローラ５とガイドローラ６の
間には、圧着ヘッド機構９と基板支持台１０が設けられ
ている。この圧着ヘッド機構９は、圧着ツール１１と、
この圧着ツール１１をロッド１３によって往復動させる
シリンダ１２とから構成されている。なお、圧着ツール
１１内には、異方性導電体１を加熱するためのヒータが
設けられている。

【０００７】また、基板支持台１０には液晶パネル等の
ワークとなる基板１４が載せられ、この基板１４は矢印
Ｂ方向に間欠的に移動するようになっている。また、こ
の圧着ヘッド機構９の近傍には、異方性導電体剥離機構
１５が設けられている。

【０００８】この異方性導電体剥離機構１５は、シリン
ダ１６と、このシリンダ１６によって往復動可能な駆動
軸１７と、この駆動軸１７の先端に回動自在に取り付け
られた剥離ローラ１８などによって構成されている。

【０００９】このような構成において、今、切れ目と切
れ目との間の異方性導電体（以下、それぞれの切れ目に
よって切り分けられるそれぞれの異方性導電体を１ａ，
１ｂ，１ｃ，・・・で表す）が圧着ヘッド機構９に到達
すると（図１５の状態では異方性導電体１ａが圧着ヘッ
ド機構９に到達した状態となっている）、圧着ヘッド機
構９のロッド１３が駆動される。それによって、圧着ツ
ール１１がテープ２を基板１４に押圧させ、異方性導電
体１ａを基板１４上に圧着させる動作を行う（図１６の
状態）。

【００１０】そして、その圧着動作が終了すると、圧着
ツール１１は元の位置に復帰するがその復帰動作が行わ
れる直前の段階、つまり、図１６の状態で異方性導電体
剥離機構１５が動作を開始する。

【００１１】すなわち、図１６の状態において、異方性
導電体剥離機構１５の駆動軸１７が水平方向に駆動さ
れ、その先端に設けられた剥離ローラ１８がテープ２に
当接した状態となる。このとき、異方性導電体１ａは、
ヒータによる加熱により基板１４側に接着された状態と
なっている。この状態で、圧着ツール１１が上方に復帰
するとともに剥離ローラ１８がさらに前方に進み、テー
プ２が巻取りリール７に巻取られる動作を行うことによ
って、図１７に示すように、基板１４に圧着された異方
性導電体１ａはテープ２から剥離されて行く。

【００１２】そして、圧着ツール１１がもとの状態に復
帰することで、次に圧着される異方性導電体１ｂが圧着
ツール１１の真下に到達し、上述したような圧着動作が
繰り返される。なお、このとき、基板１４も矢印Ｂ方向
に移動させられているので、上述した動作により、基板
１４上に圧着された異方性導電体１ａは、所定位置にま
で移動した状態となっている。この異方性導電体１ａの
あとに続いて、次の異方性導電体１ｂが次の基板１４上
に圧着される。このような圧着動作が連続的に行われ
る。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】従来の異方性導電体貼
り付け装置は、圧着ヘッド機構９によって異方性導電体
１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・を基板１４に圧着させる際、
上述したように、それぞれの切れ目によって分けられた
異方性導電体を１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・のうち、圧着
ヘッド機構９の真下に到達した異方性導電体（図１５か
ら図１７においては異方性導電体１ａ）に対し、圧着ヘ
ッド機構９のロッド１３が垂直方向に駆動されることに
よって、圧着ツール１１がテープ２を基板１４に押圧さ
せることで、異方性導電体１ａを基板１４上に圧着させ
る動作を行う（図１６の状態）。

【００１４】このような圧着動作を行う際、図１５から
図１７に示されるように、ガイドローラ５とガイドロー
ラ６間のテープ２は、一定量だけたるみを持った状態、
つまり、少なくとも、図１５の状態におけるガイドロー
ラ５とガイドローラ６間においては、異方性導電体１付
きテープ２はテンションが解除された状態とする必要が
ある。

【００１５】これは、図１５の状態から図１６の状態へ
移行するような圧着動作が行われる際、ロッド１３が所
定の距離（圧着ツール１１と基板１４との間隔）だけ押
し下げられることになるためであり、それに対応できる
ように、少なくとも、図１５の状態におけるガイドロー
ラ５とガイドローラ６間においては、テープ２のテンシ
ョンが解除されている。

【００１６】また、図１６の状態となる直前において
は、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・の貼着され
たテープ２は、送りローラ３等によるわずかなテンショ
ンがかけられた状態としてある。すなわち、もし、テー
プ２に大きなテンションがかかった状態で、圧着ツール
１１による押圧動作がなされると、テープ２が無理矢理
に伸ばされて、場合によっては切れてしまうこともあり
得るからである。一方、図１６の直前においてテンショ
ンが無いと、テープ２が折り重なってしまう危険が生ず
るためである。

【００１７】また、従来の異方性導電体貼り付け装置
は、異方性導電体１ａが基板１４に圧着された状態（図
１６の状態）となったあと、上述したように、異方性導
電体剥離機構１５により、図１７に示すように異方性導
電体１ａをテープ２から剥離させる動作を行う必要があ
る。

【００１８】これは、ガイドローラ５とガイドローラ６
間において、テープ２にはわずかなテンションのみが与
えられている状態となっているため、圧着ツール１１が
上方に復帰しても、テープ２と異方性導電体１ａは基板
１４への圧着状態がそのまま保持され、仮に、その状態
で巻き取りリール７を駆動させても、テープ２の動きは
基板１４上においては水平方向（矢印Ｂ方向）であり、
剥離動作が適正になされないからである。この状態に対
処するために、わずかな隙間内を水平方向に動作させる
特別な機構としての異方性導電体剥離機構１５が必要と
されている。

【００１９】この異方性導電体剥離機構１５による異方
性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・の剥離動作は、図１
６および図１７からもわかるように、異方性導電体１
ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が圧着されたあと、往復動可能
な剥離ローラ１８がテープ２を押圧しながら進むこと
で、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・からテープ
２を剥がすような機構となっている。

【００２０】このように従来の従来の異方性導電体貼り
付け装置は、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・か
らテープ２を剥がすための異方性導電体剥離機構１５と
いうものを異方性導電体貼り付け装置本体とは別に用意
し、それによって、圧着された各異方性導電体１ａ，１
ｂ，１ｃ，・・・からテープ２を剥がすような構造とな
っている。

【００２１】この従来の異方性導電体貼り付け装置に用
いられる異方性導電体剥離機構１５は、シリンダ１６、
このシリンダ１６によって往復動可能な駆動軸１７、こ
の駆動軸１７の先端に回動自在に取り付けられた剥離ロ
ーラ１８などを有した構成となっているため、構造も複
雑であり、また、その動作も、上述したように、剥離ロ
ーラ１８でテープ２を押圧して行く動作を行うので、テ
ープ２や圧着された各異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，
・・・を損傷させるおそれもあり、また、異方性導電体
剥離機構１５そのものを限られた狭いスペースに設置し
なければならないといった問題もある。

【００２２】このような異方性導電体剥離機構１５は、
上述したもの以外にも様々な機構が用いられている。た
とえば、特開平２−２９３７２１や特開平９ー５７７１
にも異方性導電体からテープを剥離させる方法が提案さ
れている。しかし、これらの技術は、図１５から図１７
で説明したものと同様に、いずれも異方性導電体剥離機
構として異方性導電体貼り付け装置本体とは別に設ける
必要があり、また、ローラを用いて異方性導電体からテ
ープを剥離させるようにしたものであるので、前述した
と同様の問題が発生する。

【００２３】また、圧着された各異方性導電体１ａ，１
ｂ，１ｃ，・・・からテープ２を剥がす際、圧着部分に
熱が残っているため、大きな貼着力が残存し、剥がしに
くいものとなっている。このため、異方性導電体１ａ，
１ｂ，１ｃ，・・・が基板１４側に転写されずに、テー
プ２に残ったまま巻き取りリール７に巻き取られていく
という問題が生じがちとなっている。

【００２４】本発明は、従来のような異方性導電体剥離
機構という特別な剥離機構を設けることなく、圧着され
た異方性導電体からテープを容易に剥離させることがで
き、しかも、その剥離動作はテープに無理な力を加えず
に、テープや圧着された異方性導電体を損傷させること
なく確実な剥離動作が可能となる異方性導電体貼り付け
装置および異方性導電体貼り付け方法を提供することを
目的とする。また、他の発明は、圧着された異方性導電
体からテープを容易に剥離させることができる異方性導
電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法を提
供することを目的とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の異方性導電体貼り付け装置は、テープの一
方の面に貼着された異方性導電体をテープの進行方向に
沿って所定長さごとに切れ目を刻み、それぞれの切れ目
間の異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼
り付け装置において、異方性導電体が貼着されたテープ
を供給する供給リールおよび異方性導電体の圧着動作が
終了した後のテープを巻き取る巻き取りリールと、それ
ぞれの切れ目間に存在する異方性導電体をそれぞれの異
方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着ヘッド機
構と、供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテ
ープのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体
の存在するテープ部分に対し、テープ進行路に沿う方向
への引っ張り力を与えることでテープにテンションを与
えることを可能とするとともにそれを保持するテンショ
ン付与手段と、供給リール、巻き取りリール、圧着ヘッ
ド機構、テンション付与手段の各構成要素を取り付け、
全体として上記ワーク側に移動可能とされるフレーム
と、圧着された異方性導電体からテープを剥離させる
際、テンション付与手段によりテープに対し異方性導電
体のテープ進行方向における一方の端部から他方の端部
に向かって剥がすような引っ張り力を与えて、異方性導
電体からテープを剥離させる動作を行う機構とを有した
構成としている。

【００２６】このように、テンション付与手段によりテ
ープにテンションを与えた状態で、テープに引っ張り力
を与え、それによって、圧着された異方性導電体からテ
ープを剥がすことができる。このため、従来のような異
方性導電体剥離機構という特別な剥離機構を設けること
なく確実な剥離が可能となる。また、テープはワーク上
に圧着された異方性導電体のテープ進行方向における一
方の端部から他方の端部に向かって徐々に剥がれて行く
ような動作を行うので、圧着された異方性導電体やテー
プに対し、無理な剥離力が加わることがなく、スムーズ
な剥離動作を行うことができる。これによって、圧着さ
れた異方性導電体やテープが損傷させられたりするのを
防止できる。

【００２７】また、本発明の異方性導電体貼り付け装置
は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテー
プの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、そ
れぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付ける
異方性導電体貼り付け装置において、それぞれの切れ目
間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体ご
とにワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、テープ進行
路に沿う方向への引っ張り力を与えることでテープにテ
ンションを与えることを可能とするとともにそれを保持
するテンション付与手段と、圧着された異方性導電体か
らテープを剥離させる際、テンション付与手段によりテ
ープに対し異方性導電体のテープ進行方向における一方
の端部から他方の端部に向かって剥がすような引っ張り
力を与えて、異方性導電体からテープを剥離させる動作
を行う機構とを有したものとしている。

【００２８】このように、テンション付与手段によりテ
ープにテンションを与えた状態で、テープに引っ張り力
を与え、それによって、圧着された異方性導電体からテ
ープを剥がすことができる。このため、従来のような異
方性導電体剥離機構という特別な剥離機構を設けること
なく確実な剥離が可能となる。また、テープはワーク上
に圧着された異方性導電体のテープ進行方向における一
方の端部から他方の端部に向かって徐々に剥がれて行く
ような動作を行うので、圧着された異方性導電体やテー
プに対し、無理な剥離力が加わることがなく、スムーズ
な剥離動作を行うことができる。これによって、圧着さ
れた異方性導電体やテープを損傷させてしまうのを防止
できる。

【００２９】また、他の発明は、上述の各発明の異方性
導電体貼り付け装置に加え、異方性導電体からテープを
剥離させる動作を行う機構は、テンション付与手段と、
このテンション付与手段の前段に位置し、異方性導電体
から剥離されたテープの進行をガイドするガイドローラ
が取り付けられたガイドローラ取り付け部材とでなり、
このガイドローラ取り付け部材は、通常時はフレームに
対して動きが規制された状態にあり、異方性導電体から
テープを剥離する動作を行う際は、その動きの規制され
た状態が解除されて往復動自在となり、テンション付与
手段がテープに対して引っ張り力を与えるとそれに応動
して一方向に動き、それによって、テープを異方性導電
体から剥離させる機構としている。

【００３０】このように、本発明の異方性導電体からテ
ープを剥離させる動作を行う機構は、異方性導電体貼り
付け装置として設けられている構成要素を利用して、異
方性導電体からテープを剥離させる動作を行う機構を構
成しているので、構成を複雑化することなく、安価な異
方性導電体取り付け装置とすることができる。また、従
来のように、剥離ローラやそれを駆動するシリンダやピ
ストンなど異方性導電体剥離機構としての特別な機構を
設ける必要もなくなり、小型化やコストの面で有利なも
のとなる。

【００３１】また、他の発明は、上述の各発明に加え、
テンション付与手段は、２つのクランパからなり、一方
のクランパはテープ進行方向先方側に設けられ、取り付
け位置の固定された固定クランパであり、他方のクラン
パは固定クランパのテープ進行方向後方側に設けられ、
テープ進行路上を所定量だけ往復動可能な可動クランパ
であって、それら２つのクランパはテープを進行させる
ための機能をも有し、その動作は、テープを巻き取りリ
ール方向に進行させる場合には、可動クランパがテープ
をクランプ状態とするとともに、固定クランパはクラン
プ解除状態とし、その状態で、可動クランパがテープに
対し供給リールとの間でのテンションを保持した状態
で、テープ進行方向に所定量移動することでテープを進
行させ、当該可動クランパの所定量の進行が終了した時
点で、固定クランパがテープに対し、テンションを保持
した状態で当該テープをクランプするとともに、可動ク
ランパがテープのクランプ状態を解除して元の位置に復
帰する動作を行い、テープを異方性導電体から剥離する
動作を行う際は、可動クランパがテープをクランプ状態
とするとともに、固定クランパはクランプ解除状態と
し、その状態で、可動クランパがテープに対し供給リー
ルとの間でのテンションを保持した状態で、テープ進行
方向に所定量移動する動作を行ってテープに対し引っ張
り力を与えることで、異方性導電体からテープを剥離さ
せる動作を行うようにしている。

【００３２】このように、２つのクランパ手段によって
テープの進行やテープのテンション付与が行われ、しか
も、これらのクランパによって、テープを異方性導電体
から剥離する動作をも可能としているので、複雑な動作
を簡単な機構で達成することができ、長期間安定した動
作が達成される。

【００３３】さらに、他の発明は、上述の各発明の異方
性導電体貼り付け装置に加え、テープを異方性導電体か
ら剥離する動作を行う際に、圧着された異方性導電体と
テープ部分を冷却する冷却手段を設けている。

【００３４】これによって、圧着動作後の異方性導電体
とテープ部分を冷却することができ、異方性導電体から
テープを剥離しやすくすることができる。

【００３５】また、上述の目的を達成するため、他の発
明は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテ
ープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、
それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付け
る異方性導電体貼り付け装置において、それぞれの切れ
目間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体
ごとにワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、圧着ヘッ
ド機構の熱圧着によってワークに圧着された異方性導電
体およびその異方性導電体が貼り付けられたテープ部分
を冷却するための気体を送出する冷却手段とを有した構
成としている。

【００３６】これによって、圧着動作後の異方性導電体
とテープ部分を冷却することができ、異方性導電体から
テープを剥離しやすくすることができる。また、気体の
送出によって、圧着部周辺の塵が他へ飛ばされるので、
塵が原因となる圧着不良等の品質不良が生じにくくな
る。

【００３７】また、本発明の異方性導電体貼り付け方法
は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をワー
クに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法において、ワ
ークに貼り付ける異方性導電体をワークに対向する位置
にテープにテンションをかけながら移動させる異方性導
電体移動工程と、テンションがテープにかかった状態
で、テープ全体をワーク側に移動させるテープ全体移動
工程と、テープにテンションがかかった状態で異方性導
電体がワークに当接した後または当接と同時に異方性導
電体をワークに圧着し加熱する圧着加熱工程と、圧着加
熱工程ののちに、テープにテンションがかかった状態で
テープに対し、異方性導電体のテープ進行方向における
一方の端部から他方の端部に向かって剥がすような引っ
張り力を与えて、異方性導電体からテープを剥離させる
テープ剥離工程と有している。

【００３８】このような異方性導電体貼り付け方法にお
いても、圧着された異方性導電体からテープを剥がす
際、テープはワーク上に圧着された異方性導電体のテー
プ進行方向における一方の端部から他方の端部に向かっ
て徐々に剥がれて行くような動作を行うので、圧着され
た異方性導電体やテープに対し、無理な剥離力が加わる
ことがなく、スムーズな剥離動作を行うことができる。
これによって、圧着された異方性導電体やテープを損傷
させたりするのを防止できる。また、この方法を採用す
ると、剥離ローラ等を有する従来の異方性導電体剥離機
構のような特別な機構が不要となり、安定かつ確実な剥
離動作が行えるものとなる。

【００３９】また、本発明の異方性導電体貼り付け方法
は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をワー
クに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法において、ワ
ークに貼り付ける異方性導電体をワークに対向する位置
に移動させる異方性導電体移動工程と、異方性導電体を
ワークに圧着し加熱する圧着加熱工程と、圧着加熱工程
ののちに、テープにテンションがかかった状態でテープ
に対し異方性導電体のテープ進行方向における一方の端
部から他方の端部に向かって剥がすような引っ張り力を
与えて、異方性導電体からテープを剥離させるテープ剥
離工程とを有している。

【００４０】このような異方性導電体貼り付け方法にお
いても、圧着された異方性導電体からテープを剥がす
際、テープはワーク上に圧着された異方性導電体のテー
プ進行方向における一方の端部から他方の端部に向かっ
て徐々に剥がれて行くような動作を行うので、圧着され
た異方性導電体やテープに対し、無理な剥離力が加わる
ことがなく、スムーズな剥離動作を行うことができる。
これによって、圧着された異方性導電体やテープを損傷
させたりするのを防止できる。また、この方法を採用す
ると、剥離ローラ等を有する従来の異方性導電体剥離機
構のような特別な機構が不要となり安定かつ確実な剥離
動作が行えるものとなる。

【００４１】さらに、本発明の異方性導電体貼り付け方
法は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をワ
ークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法において、
ワークに貼り付ける異方性導電体をワークに対向する位
置に移動させる異方性導電体移動工程と、異方性導電体
をワークに圧着し加熱する圧着加熱工程と、異方性導電
体からテープを剥離させる際に、剥離部分を気体の送出
によって冷却させならがら当該剥離を行うテープ剥離工
程とを有している。

【００４２】これによって、圧着動作後の異方性導電体
とテープ部分を冷却することができ、異方性導電体から
テープを剥離しやすくすることができる。また、気体の
送出によって、圧着部周辺の塵が他へ飛ばされるので、
塵が原因となる圧着不良等の品質不良が生じにくくな
る。

【００４３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る異方性導電体
貼り付け装置の実施の形態について図１から図１４を参
照しながら説明する。なお、従来技術の説明で用いた異
方性導電体貼り付け装置（図１５から図１７参照）は、
テープ２の一面側に異方性導電体１が貼り付けられた２
層構造のＡＣＦテープ用の異方性導電体貼り付け装置で
あったが、この実施の形態では、異方性導電体１の他面
（テープ２とは反対側となる面）に異方性導電体１を保
護するための保護テープ２ａが貼り付けられた３層構造
のＡＣＦテープにも適用可能な異方性導電体貼り付け装
置として説明する。

【００４４】図１は、本発明による異方性導電体貼り付
け装置の実施の形態を説明する構成図であり、図１５か
ら図１７と同一部分には同一符号が付されている。

【００４５】図１において、異方性導電体１が一方の面
に貼着され、保護テープ２ａがその異方性導電体１の上
に貼着されたテープ２は、モータ（図示省略）によって
供給側とは反対となる方向に回動力が付与されているデ
ィスクブレーキ２０ａ付きの供給リール２０に装着され
ている。このディスクブレーキ２０ａは、異方性導電体
１をテープ２から剥離するためにテープ２に後述するよ
うなテンションを掛ける際、そのテープ２のテンション
によって供給リール２０が回転しないようにするための
ものである。なお、ディスクブレーキ２０ａの代わり
に、ブレーキ付きモータを使用しても同様な効果が得ら
れる。

【００４６】そして、テープ２の先端側がモータ（図示
省略）によって巻き取り方向に回動力が付与されている
巻き取りリール７に取り付けられ、供給リール２０と、
巻き取りリール７や保護テープ巻き取りリール２８の間
には複数のガイドローラ（この実施の形態では、９個の
ガイドローラ２１，２２，２３，２４ａ，２４ｂ、２５
ａ，２５ｂ、２６，２７が設けられている。なお、以下
では、これら９個のガイドローラ全体を指す場合にはガ
イドローラ２１〜２７と記すこともある。

【００４７】なお、保護テープ２ａは、その先端が保護
テープ巻き取りリール２８に取り付けられ、テープ２の
進行動作と保護テープ巻き取りリール２８の巻き取り動
作に伴って、保護テープ２ａはテープ２から剥がされて
行く。すなわち、保護テープ２ａは、ガイドローラ２２
の部分で、異方性導電体１から剥がされ、ガイドローラ
２１を介して保護テープ巻き取りリール２８に巻き取ら
れていく。

【００４８】したがって、それ以降（この図１の場合、
ガイドローラ２２の直後以降）では、テープ２は保護テ
ープ２ａが剥がされた状態、つまり、図１５から図１７
で説明したと同様の２層構造の状態となる。また、剥が
された保護テープ２ａは、ガイドローラ２２からガイド
ローラ２１へ進む間は水平とされ、しかもこの水平の移
動経路中に保護テープ２ａの有無を検出するセンサ（図
示省略）が配置されている。

【００４９】このように、ガイドローラ２２の部分でわ
ずかに方向が変えられると共に保護テープ２ａが剥がさ
れて２層構造となったＡＣＦテープ（テープ２と異方性
導電体１からなる）は、図示下方向（矢印Ａ方向）に送
られる。なお、この実施の形態の説明に用いるそれぞれ
の図（図１から図１４）において、図示上下（垂直）方
向を矢印Ａ−Ａ’方向（矢印Ａを下方向、矢印Ａ’を上
方向）として表し、図示左右（水平）方向を矢印Ｂ−
Ｂ’方向（矢印Ｂを右方向、矢印Ｂ’を左方向）として
表すことにする。

【００５０】ガイドローラ２２によって矢印Ａ方向に送
られた異方性導電体１の貼着されたテープ２は、次のガ
イドローラ２３で斜め下方向に進行方向が変えられる。
テープ２は、さらに、ガイドローラ２４ａによりガイド
されたのち、ガイドローラ２４ｂによって水平方向（矢
印Ｂ方向）に進行方向を変え、次のガイドローラ２５ａ
によって斜め上方向に進行を方向を変え、ガイドローラ
２５ｂを経て、次のガイドローラ２６によって上方向
（矢印Ａ’方向）に進行方向を変えて、ガイドローラ２
７のガイドで巻取りリール７に巻き取られるようになっ
ている。なお、巻き取りリール７には、異方性導電体１
の剥がされたあとのテープ２のみが巻き取られる。

【００５１】また、ガイドローラ２２とガイドローラ２
３の間には、テープ２に貼着された異方性導電体１に対
し、テープ２の進行方向に沿って所定の長さごとに切れ
目を刻むカッタ８が設けられ、このカッタ８によって刻
まれた切れ目によって、異方性導電体１は所定の長さご
とに切り分けられ、前述したように、異方性導電体１
ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が形成される状態となる。

【００５２】なお、この実施の形態では、切れ目によっ
て分けられるそれぞれの異方性導電体間、つまり、隣り
合う異方性導電体間（たとえば、異方性導電体を１ａと
異方性導電体１ｂとの間）には所定間隔のギャップＧが
形成される。

【００５３】これを実現するギャップ形成手段４０は、
上述のカッタ８と、互いに隣り合う異方性導電体間に所
定間隔の２本の切れ目を刻むようなカッタ８の駆動制御
を行うカッタ駆動部２９と、その２本の切れ目間に存在
する余分な異方性導電体部分をテープ２から剥ぎ取る剥
ぎ取りレバー３０と、その剥ぎ取りレバー３０を駆動す
るための剥ぎ取りレバー駆動部３１とを有している。こ
こで、剥ぎ取りレバー３０、剥ぎ取りレバー駆動部３１
によって剥ぎ取り手段が構成される。

【００５４】また、ガイドローラ２４ｂとガイドローラ
２５ａの間の上方には、その間のテープ２に対し動作す
るように、圧着ヘッド機構９が設けられている。この圧
着ヘッド機構９は、圧着ツール１１と、この圧着ツール
１１をロッド１３によって往復動させるシリンダ１２と
から構成されている。なお、圧着ツール１１内には、こ
こでは図示しないが異方性導電体１を加熱するためのヒ
ータが設けられている。この実施の形態では圧着ツール
１１による加圧力は２ｋｇ／ｃｍ^２とされ、ヒータによ
る温度は８０℃プラスマイナス１０℃とされている。

【００５５】また、ガイドローラ２６とガイドローラ２
７の間には、テープ２（異方性導電体１が剥がされた後
のテープ）をクランプ可能な２つのクランパ（可動クラ
ンパ３２と固定クランパ３３）からなるクランパ手段が
設けられている。

【００５６】可動クランパ３２は、モータによって回転
するポールネジ３２ａにそのほぼ中央が係合し、一端側
が固定部３２ｂに摺動可能に取り付けられ、予め設定さ
れた移動量だけ、矢印Ａ−Ａ’方向に往復動可能に設け
られている。一方、固定クランパ３３は、可動クランパ
３２の上方の所定位置に固定された状態で設けられてい
る。

【００５７】これら可動クランパ３２と固定クランパ３
３は、テープ２の送り機構としての働きを行うととも
に、供給リール２０との間に存在するテープ２に対し、
進行路に沿った方向へのテンションを与えて、それを保
持する働きも行う。すなわち、この可動クランパ３２と
固定クランパ３３、さらに供給リール２０とでテンショ
ン付与手段が構成される。

【００５８】具体的には、供給リール２０は、モータに
よってテープ供給方向とは反対方向にテンションがかけ
られており、一方、クランパ手段によってテープ２をそ
の位置に固定し、または、進行方向にテープ２を駆動す
ることで、供給リール２０とクランパ手段との間のテー
プ２を緊張状態（テンション付与状態）で保持してい
る。この可動クランパ３２と固定クランパ３３の詳細な
動作についてはのちに説明する。

【００５９】ところで、以上説明した各構成要素、すな
わち、供給リール２０、保護テープ巻き取りリール２
８、カッタ８、カッタ駆動部２９、剥ぎ取りレバー３
０、剥ぎ取りレバー駆動部３１、圧着ヘッド機構９、巻
き取りリール７、可動クランパ３２と固定クランパ３
３、ガイドローラ２１〜２７などはフレーム３４に取り
付けられている。

【００６０】なお、このフレーム３４は、１枚の板であ
ってもよいが、これらそれぞれの構成要素を幾つかのブ
ロックにわけて、それぞれのブロックごとのフレームと
して、その複数のフレームを連結して１つのフレームと
したものであってもよい。

【００６１】また、本発明では、ガイドローラ２１〜２
７のうち、ガイドローラ２１，２２，２３、２４ａ，２
４ｂおよびガイドローラ２６，２７はフレーム３４に直
接またはそれぞれのガイドローラ取り付け部材などに取
り付けられ、そのガイドローラ取り付け部材がフレーム
３４に固定されている構造とされる。なお、この実施の
形態ではフレーム３４に直接取り付けられた構造となっ
ている。このため、本発明では、これらのガイドローラ
２１，２２，２３、２４ａ，２４ｂおよびガイドローラ
２６，２７の取り付け位置は固定となっている。

【００６２】これに対して、ガイドローラ２５ａ，２５
ｂは、可動なガイドローラ取り付け部材３６に取り付け
られている。すなわち、ガイドローラ取り付け部材３６
は、フレーム３４に対して可動な状態で取り付けられて
おり、ガイドローラ２５ａ，２５ｂはフレーム３４に対
してその位置を相対移動可能となっている。具体的に
は、ガイドローラ取り付け部材３６は、フレーム３４に
対し、ガイドレール３６ａに沿って図示の上下方向（矢
印Ａ−Ａ’方向）に往復動可能に取り付けられている。
ただし、剥離動作を行わない通常時は、ガイドローラ取
り付け部材制御部３７によって下方向（矢印Ａ方向）に
押圧された状態で保持されていて、ガイドローラ２５ａ
がガイドローラ２４ｂと同一平面上に位置する状態とな
っている。

【００６３】なお、このガイドローラ取り付け部材制御
部３７によるガイドローラ取り付け部材３６に対する下
方向（矢印Ａ方向）への押圧は、ガイドローラ取り付け
部材３６に対し所定の空気圧を与えることにによって行
う。剥離動作を行わない通常時は、ガイドローラ取り付
け部材３６に対し、所定の空気圧が与えられており、ガ
イドローラ２５ａがガイドローラ２４ｂと同一平面上に
位置するような位置に保持されたまま、その動きが規制
された状態となっている。

【００６４】そして、必要に応じて（これについてはの
ちに説明する）、ガイドローラ取り付け部材制御部３７
は、ガイドローラ取り付け部材３６への押圧力を解除す
ることができ、それによって、ガイドローラ取り付け部
材３６は上下方向（矢印Ａ−Ａ’方向）の動きが自由な
状態となる。

【００６５】なお、このガイドローラ取り付け部材制御
部３７がガイドローラ取り付け部材３６に対する押圧力
を解除するのは、各異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・
・・が基板１４に圧着動作されたあと、その圧着された
異方性導電体からテープ２を剥がす動作を行うときであ
るが、その動作についてはのちに説明する。

【００６６】ところで、フレーム３４は、モータやポー
ルネジ等からなるフレーム駆動手段であるフレーム駆動
装置３５によって図示上下方向（矢印Ａ−Ａ’方向）に
下降／上昇動作可能となっている。このフレーム３４が
下降動作することによって、圧着対象となる異方性導電
体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・（圧着ツール１１の真下に
存在する異方性導電体）を押し下げる動作を行うように
なっている。この動作についてはのちに説明する。

【００６７】また、圧着ヘッド機構９の圧着ツール１１
に対向する位置には、基板支持台１０が設けられ、この
基板支持台１０には液晶パネルなどのワークとなる基板
１４が載せられる。この基板支持台１０上の基板１４
は、図示水平方向（矢印Ｂ方向）に間欠的に移動するよ
うになっている。基板１４は、ガラス、セラミックス等
の材質からなる硬質部材とされる場合が多いが、この実
施の形態では柔軟性のあるフィルム部材とされている。
このフィルム状の基板１４は、上方から基板押さえ（図
示省略）によって押さえられると共に、基板支持台１０
内に設けられる真空吸着手段による真空吸着によって基
板支持台１０上に載置される。

【００６８】そして、この基板支持台１０の進行方向前
方には、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・からテ
ープ２を剥がす動作を行う際に、圧着された各異方性導
電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・とテープ２の部分に対し
冷却を行う剥離冷却装置３８が設けられる。この剥離冷
却装置３８は、先端のノズル３８ａから空気が吹き出す
送風機であり、吹き出された空気によって、圧着された
異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・とその部分のテ
ープ２を冷却する。

【００６９】また、圧着ツール１１は、その先端部に凸
状の圧着端部１１ａが形成され、この圧着端部１１ａが
その真下に位置する異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・
・・をテープ２側から押圧することによって、異方性導
電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・を基板１４上に圧着させ
るようになっている。圧着端部１１ａとその根元は、全
体として略Ｔ字状の構成をしており、圧着ツール１１
は、図１における最下方に圧着端部１１ａを有するこの
略Ｔ字状部分を有し、その上方にヒータを有するヒータ
部が配置され、さらに上方に断熱部が配置され、この断
熱部の上方に冷却用のエアを循環させる冷却部が配置さ
れる４層構成となっている。断熱部の領域に加熱防止の
ためのサーモスイッチが配置されている。

【００７０】各異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・
の基板１４上への圧着は、圧着ツール１１の圧着端部１
１ａがここでは図示しないヒータの熱を異方性導電体１
ａ，１ｂ，１ｃ，・・・に伝え、その熱によって粘性を
持った物質が溶融することで基板１４への圧着が行われ
る。このとき、溶融した粘性を持った物質が圧着端部１
１ａの両側面（テープ２の進行方向に対しての左右両側
面）側にはみ出る傾向にあり、その粘性を持った物質が
圧着端部１１ａに付着するのを防止するために、圧着端
部１１ａに保護カバー１１ｂが装着されている。

【００７１】この保護カバー１１ｂは、この種の粘性を
持った物質やテープ２に対する剥離性のよいシリコン系
やテフロン（登録商標）系などの材質でなり、その形状
は図２に示すように圧着端部１１ａの両側面と下端面を
一体的に覆うことのできるよう形状をなしている。な
お、図２は、図１における圧着ツール１１をテープ２の
進行方向の前方方向から見た図であり、わかりやすくす
るために、圧着ツール１１と圧着端部１１ａ部分と基板
１４など説明上必要な構成のみについてを示し、それ以
外の部品の図示は省略されている。

【００７２】保護カバー１１ｂは、圧着端部１１ａに対
し、弾性部材でなるコの字形状をした保護カバー固定用
ピン１１ｃによって固定されている。このような保護カ
バー１１ｂを圧着端部１１ａに設けることによって、異
方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・の圧着動作を行っ
たときに、粘性を有した物質が圧着ツール１１の両側面
部分にはみ出たとしても、圧着端部１１ａに直接付着す
ることはなく、また、保護カバー１１ｂに触れたとして
も、その材質がシリコン系やテフロン系であるので、保
護カバー１１ｂに付着して取れなくなるという不具合は
なくなる。

【００７３】次に、このように構成された本実施の形態
の異方性導電体貼り付け装置の動作について説明する。
なお、この動作の説明と共に異方性導電体貼り付け方法
を併せて説明することとする。

【００７４】まず、供給リール２０に装着された３層構
造（テープ２とその一方の面に貼着された異方性導電体
１とこの異方性導電体１の上に貼着された保護テープ２
ａからなる）のＡＣＦテープは、進行するに伴って、そ
の保護テープ２ａが保護テープ巻き取りリール２８に巻
き取られて行き、ガイドローラ２２の直後からは保護テ
ープ２ａが剥がされたテープ２と異方性導電体１からな
る２層構造のＡＣＦテープとなる。

【００７５】この２層構造となったＡＣＦテープは、ガ
イドローラ２２によって矢印Ａ方向に進行し、カッタ８
によって異方性導電体１に切れ目を入れる工程が行われ
る。前述したように、この実施の形態では、まず、異方
性導電体１に対して、カッタ駆動部２９により所定間隔
の２本の切れ目（この２本の切れ目間をスパンカット部
ＳＣと呼ぶ）を刻むようなカッタ駆動制御を行う。すな
わち、カッタ８をＢ方向に移動させ切れ目をつくり、そ
の後カッタ８をＢ’方向に戻し、次にテープ２をわずか
に進行させ停止させる。その後、再度カッタ８をＢ方向
に移動させ２つ目の切れ目をつくり、カッタ８をＢ’方
向に移動させ戻す。このようにして２本の切れ目を短い
間隔で設ける。

【００７６】その後、剥ぎ取りレバー駆動部３１によっ
て剥ぎ取りレバー３０を駆動させることによって、その
スパンカット部ＳＣに存在する余分な異方性導電体部分
をテープ２から剥ぎ取ることで、当該テープ２上でそれ
ぞれ隣り合う異方性導電体間にそれぞれギャップＧを形
成する工程が行われる。この剥ぎ取り工程では、剥ぎ取
りレバー３０をＡ方向に移動させ、その先端を１本目の
切れ目に入れ、かき上げるような動作をさせることで、
スパンカット部ＳＣをテープ２から剥ぎ取る。なお、こ
の剥ぎ取り工程では、スパンカット部ＳＣに貼着テープ
を押し当ててスパンカット部ＳＣの異方性導電体部分を
貼着テープに貼りつかせて剥ぎ取る方法を採用しても良
い。

【００７７】上述のようなカッタ８の動作や剥ぎ取りレ
バー駆動部３１の動作を、テープ２の進行動作にしたが
って行うことにより、異方性導電体１の貼着されたテー
プ２は、図３のような状態となる。すなわち、テープ２
上の異方性導電体１は、所定の長さごとの異方性導電体
１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・に分けられ、しかも、それぞ
れ隣接する異方性導電体間（異方性導電体１ａと異方性
導電体１ｂの間、異方性導電体１ｂと異方性導電体１ｃ
の間など）には、スパンカット部分ＳＣにほぼ相当する
１〜２ｍｍ程度のギャップＧが形成された状態となる。

【００７８】そして、この図３のような状態となったテ
ープ２は、図１において、ガイドローラ２３，２４ａ，
２４ｂを経て圧着ツール１１部分に送られて行き、それ
ぞれの異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が、順
次、各基板１４に圧着される動作が行われる。なお、こ
の図１および以降の説明で用いる図４から図１４では、
各異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・中の代表例と
して異方性導電体１ａの圧着動作と、圧着された異方性
導電体１ａからテープ２を剥離する動作について示す。
以下、この異方性導電体１ａの圧着動作と、圧着された
異方性導電体１ａからテープ２を剥離する動作を可動ク
ランパ３２と固定クランパ３３の動作とともに説明す
る。

【００７９】異方性導電体１ａが圧着ツール１１の真下
に存在する位置に到達し、まだ、圧着ツール１１が圧着
動作を行う前の状態（図１に示す状態）においては、可
動クランパ３２は、テープ２のクランプを解除している
状態、固定クランパ３３は、テープ２をクランプしてい
る状態となっている。なお、図１および図４から図１３
に示されている可動クランパ３２と固定クランパ３３に
おいて、可動クランパ３２のクランプ部３２ｃと固定ク
ランパのクランプ部３３ｃは、図示左方向（矢印Ｂ’方
向）に動いてテープ２に当接することによってテープ２
をクランプするようになっている。

【００８０】ところで、この図１状態は、可動クランパ
３２のクランプ部３２ｃがテープ２のクランプを解除し
た状態、固定クランパ３３がテープ２をクランプした状
態であり、テープ２は固定クランパ３３と供給リール２
０との間で、その進行路に沿った方向にテンションがか
けられた状態である。したがって、当然のことながら、
圧着対象となる異方性導電体１ａは同様にテンションが
かけられている状態となっている。これは、供給リール
２０がモータによって供給方向とは反対方向に回動力が
常時付与されているためである。

【００８１】このように、異方性導電体１ａが圧着ツー
ル１１の真下に存在する位置に到達し、まだ、圧着ツー
ル１１が圧着動作を行う前の状態においては、供給リー
ル２０から固定クランプ３３までの間のテープ２は、テ
ンションがかけられた状態となっているため、圧着対象
となる異方性導電体１ａもテンションがかけられた状態
で圧着ツール１１の真下に存在する。

【００８２】この状態で圧着動作を行うが、この圧着動
作は、まず、フレーム駆動装置３５の駆動により、フレ
ーム３４が矢印Ａ方向に下降動作することによって、異
方性導電体１ａが基板１４の所定位置に押し当てられ
（図４参照）、そのあと、または同時に、圧着ツール１
１が押圧動作することで行われる（図５参照）。つま
り、フレーム３４が下降動作するということは、このフ
レーム３４に取り付けられている全ての構成要素がフレ
ーム３４とともに下降動作するということであり、それ
によって、異方性導電体１ａは基板１４の所定位置に押
し当てられることになる。

【００８３】図４は、フレーム３４が下降動作すること
によって、異方性導電体１ａが基板１４の所定位置に押
し当てられた状態を示すものである。このように、フレ
ーム３４そのものが下降動作を行うことで、圧着対象と
なる異方性導電体１ａはテンションをかけられた状態の
まま基板１４に押し当てられるので、基板１４上への圧
着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得る
ことができる。

【００８４】そして、この図４の状態、つまり、フレー
ム３４の下降動作により、異方性導電体１ａが基板１４
の所定位置に押し当てられた状態において、圧着ツール
１１が下降動作し、異方性導電体１ａを基板１４上に押
圧するとともに熱を加えることで、異方性導電体１ａは
基板１４の所定位置に圧着される（図５参照）。

【００８５】なお、この異方性導電体１ａの圧着動作が
行われる際、その後に続く異方性導電体１ｂは、異方性
導電体１ａとの間でギャップＧが存在しているため、異
方性導電体１ａに加えられる熱の影響を受けにくくする
ことができる。

【００８６】このようにして、異方性導電体１ａの基板
１４上への圧着動作が終わると、圧着ルール１１が上昇
する（図６参照）。その後または同時に、フレーム３４
がフレーム駆動装置３５の駆動によって、異方性導電体
１ａの貼着面に対して垂直方向となる上方（矢印Ａ’方
向）に移動し、圧着動作前の状態に復帰する（図７参
照）が、このようなフレーム３４の上方への移動の前工
程として、基板１４上に圧着された異方性導電体１ａか
らテープ２を剥がす工程（異方性導電体剥離工程）が行
われる。なお、この図７の状態においても、可動クラン
パ３２のクランプ部３２ｃは、テープ２のクランプを解
除した状態を保持し、固定クランパ３３のクランプ部３
３ｃは、テープ２をクランプした状態を保持している。

【００８７】以下に、この異方性導電体剥離工程につい
て図８〜図１３を用いて説明する。なお、図８〜図１３
は、図１の破線ｗで囲まれた部分を取り出して示すもの
である。

【００８８】図８は、図５と同じ状態、つまり、フレー
ム３４の下降動作により、異方性導電体１ａが基板１４
の所定位置に押し当てられ、その後、圧着ツール１１が
下降動作し、異方性導電体１ａを基板１４上に押圧する
とともに熱を加えることで、異方性導電体１ａが基板１
４の所定位置に圧着された状態である。

【００８９】なお、このとき、可動クランパ３２のクラ
ンプ部３２ｃは、テープ２のクランプを解除した状態、
固定クランパ３３のクランプ部３３ｃは、テープ２をク
ランプした状態となっている。この状態で異方性導電体
１ａからテープ２の剥離動作を行うが、このとき、ガイ
ドローラ取り付け部材３６は、ガイドローラ取り付け部
材制御部３７の制御によって、下方向（矢印Ａ方向）へ
の押圧力は解除された状態となり、矢印Ａ−Ａ’方向へ
の動きが自由な状態となる。

【００９０】この状態で、まず、圧着ツール１１が上昇
を開始する。この圧着ツール１１の上昇した状態を図９
に示す（全体的な構成図としては図６参照）。また、こ
のとき、剥離冷却装置３８が動作を開始し、圧着された
異方性導電体１ａとテープ２部分に送風が行われ、異方
性導電体１ａとテープ２部分を冷却する。このように、
剥離動作を行う際、異方性導電体１ａとテープ２部分を
冷却するのは、熱による圧着を行った後、常温にまで温
度を下げないと剥離しにくいためである。

【００９１】そして、この図９の状態において、可動ク
ランパ３２のクランプ部３２ｃがテープ２をクランプ
し、固定クランパ３３のクランプ部３３ｃがテープ２の
クランプを解除した状態となる（図１０参照）。なお、
この図１０の状態においては、テープ２は可動クランパ
３２と供給リール２０間でテンションがかけられた状態
となっている。また、供給リール２０のディスクブレー
キ２０ａが動作し、供給リール２０の回転を完全に阻止
した状態となっている。

【００９２】この図１０の状態で、可動クランパ３２が
矢印Ａ’方向に予め決められた一定量上昇する。する
と、テープ２もそれに伴って矢印Ａ’方向に引っ張られ
る。このように、テープ２が矢印Ａ’方向に引っ張られ
ると、その引っ張り力をガイドローラ取り付け部材３６
が受けて、矢印Ａ’方向に上昇する。このように、テー
プ２が矢印Ａ’方向に引っ張られると、それに伴って、
ガイドローラ取り付け部材３６がガイドレール３６ａに
沿って上方に動く。このようなテープ２とガイドローラ
取り付け部材３６の動作によって、圧着された異方性導
電体１ａからテープ２が徐々に剥離されて行き、図１１
に示すような状態となる。

【００９３】なお、このガイドローラ取り付け部材３６
は、前述したように、通常時は空気圧などによって、矢
印Ａ方向に押圧力が与えられていて、ガイドローラ２５
ａがガイドローラ２４ｂと同一平面上となるような位置
でその動きが規制されている。しかし、剥離動作を行う
際は、その押圧力が解除された状態となるため、ガイド
ローラ取り付け部材３６は、上下方向（矢印Ａ−Ａ’方
向）の動きが自由な状態となる。

【００９４】この図１０から図１１にかけての動作をよ
り詳細に示したものが図１４である。この図１４は、異
方性導電体１ａの圧着動作終了後、圧着ツール１１が上
昇する一方、ディスクブレーキ２０ａが動作し供給リー
ル２０の回転を阻止した後、可動クランパ３２のクラン
プ部３２ｃがテープ２をクランプして矢印Ａ’方向に上
昇することによって、異方性導電体１ａからテープ２が
剥がれて行く様子を示すものである。なお、この図１４
は、図８〜図１３をさらに簡略化して示すもので、異方
性導電体１ａからテープ２が剥がれて行く様子を説明す
る上で特に必要のない部分の図示は省略している。

【００９５】図１４（Ａ）は、図１０と同じ状態であ
り、この状態から、可動クランパ３２がテープ２をクラ
ンプした状態で上昇すると、テープ２に上方向（矢印
Ａ’方向）の引っ張り力が働く。このとき、ガイドロー
ラ取り付け部材３６は、上下方向の動きが自由となって
いるので、テープ２は矢印矢印Ａ’方向に引っ張られな
がらガイドローラ２４ｂを支点にして回動するような動
作を行う。このため、図１４（Ｂ）に示すように、基板
１４上に圧着された異方性導電体１ａのテープ進行方向
先端部Ｔｓ（図示右方向端部）からテープ進行方向後端
部Ｔｅ（図示左方向端部）に向かってテープ２が異方性
導電体１ａから徐々に剥がれて行くような動作を行う。

【００９６】そして、さらに、可動クランパ３２がテー
プ２をクランプした状態で上昇すると、それに応動して
ガイドローラ取り付け部材３６もさらに上昇し、図１４
（Ｃ）に示すように、異方性導電体１ａからテープ２が
完全に剥がされた状態となる。

【００９７】このようにして、圧着された異方性導電体
１ａからテープ２が剥がされると、図１２に示すよう
に、フレーム３４がフレーム駆動装置３５の駆動によっ
て、異方性導電体１ａの貼着面に対して垂直方向となる
上方（矢印Ａ’方向）に上昇する。なお、この図１２の
状態においても、可動クランパ３２のクランプ部３２ｃ
がテープ２をクランプし、固定クランパ３３のクランプ
部３３ｃがクランプを解除した状態を保持した状態が保
たれれている。

【００９８】そして、この図１２に示すような状態とな
ったら、今度は、図１３に示すように、固定クランパ３
３のクランプ部３３ｃがテープ２をクランプする状態と
なるとともに、可動クランパ３２のクランプ部３２ｃが
テープ２のクランプを解除する。この後、可動クランパ
３２は下降すると共にディスクブレーキ２０ａの動作が
解除され、供給リール２０は、テープ２に供給方向への
力が加わるとテンションを維持しつつテープ２の供給が
可能となる。

【００９９】この後または可動クランパ３２のクランプ
解除と同時に、ガイドローラ取り付け部材３６がガイド
ローラ取り付け部材制御部３７によって押圧制御され、
もとの状態（ガイドローラ２５ａがガイドローラ２４ｂ
と同一平面上となる位置）に復帰する。この復帰によっ
てテープ２はわずかに進行するが、次の異方性導電体１
ｂが圧着ツール１１の真下までくることはない。この図
１３の状態の全体的な構成図を示したものが図７であ
る。

【０１００】なお、可動クランパ３２のクランプ解除
後、テープ２を固定クランパ３３でクランプせずに、巻
き取りローラ７によるテンションで進行方向にテンショ
ンをかけつつガイドローラ取り付け部材３６を下降さ
せ、下降した時点で固定クランパ３３によってテープ２
をクランプするようにしても良い。

【０１０１】以上のように、可動クランプ３２がテープ
２をクランプしている状態で、可動クランプ３２が上昇
する動作を行うことによって、圧着された異方性導電体
１ａからテープ２を剥がすことができる。

【０１０２】このとき、前述したように、テープ２は、
ガイドローラ２４ｂを支点にして引っ張られながら回動
するような動作を行うので、基板１４上に圧着された異
方性導電体１ａのテープ進行方向先端部Ｔｓからテープ
進行方向後端部Ｔｅ側に向かって徐々に剥がれて行くよ
うな動作を行うこととなる（図１４参照）。この結果、
圧着された異方性導電体１ａに対し、無理な剥離力が加
わることがなく、スムーズな剥離動作を行うことができ
る。これによって、圧着された異方性導電体１ａやテー
プ２を損傷させたりするのを防止できる。

【０１０３】また、従来のように、剥離ローラ１８やそ
れを駆動するシリンダ１６やピストンなど異方性導電体
剥離機構としての特別な機構を設ける必要もなくなり、
また設置スペースなどを確保する必要も特にない。

【０１０４】以上のような異方性導電体１ａの基板１４
上への圧着動作が終わって、異方性導電体１ａからテー
プ２を剥離する動作が終了すると（図７の状態）、この
図７の状態から、今度は、可動クランパ３２のクランプ
部３２ｃがテープ２をクランプし、固定クランパ３３の
クランプ部３３ｃがテープ２のクランプを解除する。

【０１０５】この状態から、今度は、可動クランパ３２
がテープ２をクランプした状態で矢印Ａ’方向に決めら
れた移動量だけ移動する。この移動量は、異方性導電体
１ａのあとに続く異方性導電体１ｂを適正な圧着位置
（圧着ツール１１の真下）に移動させるに必要な距離で
ある。

【０１０６】このように、１つの異方性導電体１ａの圧
着動作が終了すると、可動クランパ３２がテープ２をク
ランプした状態で所定量だけ引っ張り上げることによっ
て、次の異方性導電体１ｂを圧着ツール１１の真下に位
置させるという動作を行う。なお、このとき、可動クラ
ンパ３２が矢印Ａ’方向に所定量移動することによっ
て、テープ２が可動クランパ３２の移動量の分だけ、ガ
イドローラ２７側に進行するが、そのテープ２は巻き取
りリール７によって巻き取られる。

【０１０７】可動クランパ３２が決められた移動量だけ
移動し終わると、固定クランパ３３がテープ２をクラン
プする。一方、可動クランパ３２は、テープ２のクラン
プを解除し、下方（矢印Ａ方向）に移動して、もとの位
置に復帰する。この状態においては、前述したように、
供給リール２０から固定クランプ３３までの間のテープ
２は、テンションがかけられた状態となっているため、
圧着対象となる異方性導電体１ｂもテンションがかけら
れた状態で圧着ツール１１の真下に存在する。

【０１０８】この後、異方性導電体１ａを基板１４に対
して圧着させたときと同様の動作を行うことで、異方性
導電体１ｂに関しても次の基板１４に対して圧着動作を
行い、さらに、その圧着された異方性導電体１ｂからテ
ープ２を剥離させる動作も上述した異方性導電体１ａの
場合と同様に行うことができる。なお、このとき、基板
１４も所定量だけ矢印Ｂ方向に移動した状態となってお
り、圧着対象となる異方性導電体１ｂが次の基板１４の
圧着位置に対向するようになる。

【０１０９】以上説明したように、この実施の形態で
は、圧着ツール１１によって異方性導電体１ａを基板１
４上に圧着させたあと、その異方性導電体１ａからテー
プ２を剥離させる動作は、可動クランプ３２がテープ２
をクランプしている状態で、可動クランプ３２が上昇す
る動作を行うだけで、圧着された異方性導電体１ａから
テープ２を剥がすことができる。

【０１１０】このとき、前述したように、テープ２は、
ガイドローラ２４ｂを支点にして引っ張られながら回動
するような動作を行うので、基板１４上に圧着された異
方性導電体１ａのテープ進行方向先端部Ｔｓからテープ
進行方向後端部Ｔｅに向かって徐々に剥がれて行くよう
な動作を行うこととなり、圧着された異方性導電体１ａ
に対し、無理な剥離力が加わることがなく、スムーズな
剥離動作を行うことができる。

【０１１１】また、上述の実施の形態では、剥離冷却装
置３８から冷却用の空気がテープ２と圧着された異方性
導電体１ａとの剥離部分に当たるようにかつ食い込んで
いくように送出されるため、剥離部分の冷却効率が良い
ものとなると共に、剥離がスムーズなものとなる。ま
た、気体の送出によって、圧着部周辺の塵が他へ飛ばさ
れるので、塵が原因となる圧着不良等の品質不良が生じ
にくくなる。

【０１１２】なお、上述の実施の形態は、本発明の好適
な実施の形態の例であるが、これに限定されるものでは
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々変
形実施可能である。たとえば、前述の実施の形態では、
送風による冷却を行う剥離冷却装置３８はテープ２の進
行方向前方側に設ける例を示したが、テープ２の上方に
設けたり、テープ２の進行方向後方側に設けたりしても
良い。また、テープ２の進行方向前方側と進行方向後方
側の２ヶ所に設けたり、テープ２の進行方向前方側とテ
ープ２の上方の２ヶ所に設けたり、テープ２の進行方向
前方と後方の２ヶ所に加え、テープ２の上方の計３ヶ所
に剥離冷却装置３８を設けるようにしても良い。このよ
うに、剥離冷却装置３８の設置位置は、テープ２の進行
方向前方側に限られるものではなく、要は、圧着された
異方性導電体１ａとテープ２に空気等の冷却気体を送風
可能な位置であればよく、また個数も２つ以上としても
良い。

【０１１３】また、冷却手段としては、冷却用の空気を
吹きつける剥離冷却装置３８以外に、窒素ガスを吹きつ
けたり、圧着ツール１１を上昇させた後に冷却された冷
却ツールをテープ２に接触させるようにしても良い。ま
た、吹きつける空気としては、室温（１５〜２５℃）程
度の温度のものとしているが、３０〜５０℃程度のもの
でも冷却効果を有する。なお、冷却効率を高めたいとき
には、室温以下に冷却された空気を吹きつけるのが好ま
しい。

【０１１４】また、上述の実施の形態では、上下動する
フレーム３４にすべての他の機構を取り付けているが、
従来のように、上下動するものを圧着ツール１１のみと
し、この圧着ツール１１の上下動とは別にガイドローラ
取り付け部材３６をクランパ手段の動作に連動させて上
下動させるようにしても良い。このようにすると、異方
性導電体１の基板１４に対する位置精度は向上しない
が、剥離のスムーズさ、特別な機構が不要となる等の効
果は有するものとなる。

【０１１５】また、前述の実施の形態では、圧着ツール
１１やフレーム３４を上下方向に移動させる例を示した
が、上下方向に移動しているテープ２に対しフレーム３
４と圧着ツール１１を左右方向に移動させて異方性導電
体を基板１４に圧着させるようにしても良い。また、供
給リール２０、巻き取りリール７および保護テープ巻き
取りリール２８を上下動不能な固定部に取り付け、フレ
ーム３４の上下動によってテープ２がわずかに巻き取ら
れたり巻き戻されたりするようにしても良い。

【０１１６】また、上述の実施の形態では、フレーム３
４を下降させ（＝テープ２全体を下降させ）、テープ２
に貼着している異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・
を基板１４に当接させてから圧着ツール１１を下降させ
ているが、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・を基
板１４に当接させず、わずかな隙間を有している状態ま
で下降させ、その状態において圧着ツール１１を下降さ
せ、この圧着１１によって異方性導電体１ａ，１ｂ，１
ｃ，・・・と基板１４との当接、圧着を行わせるように
しても良い。また、フレーム３４の下降と同時に圧着ツ
ール１１も独自に下降させ、フレーム３４の下降の終了
と同時に圧着ツール１１がテープ２に当接し圧着を開始
するようにしても良い。

【０１１７】また、クランパ手段をギャップ形成手段４
０の近傍に配置し、ガイドローラ取り付け部材３６をガ
イドローラ２４ａ，２４ｂ部分に設け、異方性導電体１
ａ，１ｂ，１ｃ，・・・からテープ２を剥がす際、テー
プ２の進行方向とは反対側から剥がすようにしても良
い。

【０１１８】また、上述の実施の形態では、テープ２を
異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・から剥離させた
後にフレーム３４を上昇させているが、基板１４に圧着
された異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・からテー
プ２の一部が剥離し始めた状態のときにフレーム３４の
上昇を開始させるようにしても良い。

【０１１９】また、上述の実施の形態では、３層構造の
ＡＣＦテープを用いた場合について説明したが、２層構
造のＡＣＦテープにも適用できることは勿論である。ま
た、上述の実施の形態では、液晶パネル面などのワーク
に異方性導電体を貼り付ける例を示したが、ワークとし
ては通常の回路基板やフレキシブル基板等の基板とした
り、テープ状のものとしてもよい。さらに、異方性導電
体の代わりに等方性導電体を採用してもよい。

【０１２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
テープはワーク上に圧着された異方性導電体のテープ進
行方向における一方の端部から他方の端部に向かって徐
々に剥がれて行くような動作を行うので、圧着された異
方性導電体やテープに対し、無理な剥離力を与えること
がなく、スムーズな剥離動作を行うことができる。これ
によって、圧着された異方性導電体やテープを損傷させ
たりするのを防止できる。また、テンション付与手段を
うまく利用することで剥離動作を行わせているので従来
のように、剥離ローラやそれを駆動するシリンダやピス
トンなど異方性導電体剥離機構としての特別な機構を設
ける必要もなくなり、小型化やコストの面で有利なもの
となる。

【０１２１】また、他の発明によれば、圧着動作後の異
方性導電体とテープ部分を冷却することができ、異方性
導電体からテープを剥離しやすくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の異方性導電体貼り付け装
置の概略的な構成図である。

【図２】図１で示す異方性導電体貼り付け装置に使用さ
れている圧着ツールと圧着端部の部分をテープ進行方向
前方側から見た図である。

【図３】図１で示す異方性導電体貼り付け装置内を進行
する異方性導電体付きテープの様子を示す図で、それぞ
れ隣り合う異方性導電体間にそれぞれギャップを形成す
る工程が行われたあとの状態を示す図である。

【図４】図１に示す異方性導電体貼り付け装置におい
て、フレームが下降動作することによって圧着対象とな
る異方性導電体がワーク（基板）上に押し当てられた状
態を示す図である。

【図５】図４の状態から圧着ツールが下降し、異方性導
電体をワーク（基板）に対して圧着している状態を示す
図である。

【図６】図５の状態から圧着ツールが上昇し、異方性導
電体の圧着状態を解除した状態を示す図である。

【図７】図６の状態からフレームが上昇した状態を示す
図である。

【図８】図１に示す異方性導電体貼り付け装置におい
て、圧着された異方性導電体からテープを剥離させる動
作を説明するために要部を取り出して示す図であり、異
方性導電体の圧着が終わった状態を示す図である。

【図９】図８に示す状態から圧着ツールが上昇した状態
を示す図である。

【図１０】図９の状態において、可動クランプがテープ
をクランプし、固定クランプがテープのクランプを解除
した状態を示す図である。

【図１１】図１０の状態から可動クランプが矢印Ａ’方
向に上昇し、それに応動してガイドローラ取り付け部材
も矢印Ａ’方向に上昇した状態を示す図（異方性導電体
からテープが剥離された状態を示す図）である。

【図１２】図１１の状態において、フレームが矢印Ａ’
方向に上昇した状態を示す図である。

【図１３】図１２の状態において、固定クランプがテー
プをクランプし、可動クランプがテープのクランプを解
除するとともに、可動クランプがもとの位置に復帰し、
さらに、ガイドローラ取り付け部材がもとの位置に復帰
した状態を示す図である。

【図１４】図１０から図１１への移行動作をより詳細に
説明する図であり、（Ａ）は図１０と同じ状態を示す図
で、（Ｂ）は（Ａ）の状態において異方性導電体からテ
ープが剥がれつつある状態を示す図で、（Ｃ）は図１１
と同じ状態を示す図である。

【図１５】従来の異方性導電体貼り付け装置における異
方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、テープ上
のある１区間の異方性導電体が圧着ツール上に到達した
様子を示す図である。

【図１６】従来の異方性導電体貼り付け装置における異
方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、テープ上
のある１区間の異方性導電体に対し圧着ツールによる圧
着動作を示す図である。

【図１７】従来の異方性導電体貼り付け装置における異
方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、圧着動作
後、圧着された異方性導電体をテープから剥がす動作を
説明する図である。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ，１ｃ 異方性導電体 ２ テープ ７ 巻取りリール ８ カッタ（ギャップ形成手段の一部） ８ａ カッタの刃 ９ 圧着ヘッド機構 １１ 圧着ツール １１ａ 圧着端部 １１ｂ 保護カバー １１ｃ 保護カバー固定用ピン １４ 基板（ワーク） ２０ 供給リール ２１〜２３，２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ，２６，
２７ ガイドローラ ２８ 保護テープ巻き取りリール ２９ カッタ駆動部（ギャップ形成手段の一部） ３０ 剥ぎ取りレバー（ギャップ形成手段の一部、剥ぎ
取り手段の一部） ３１ 剥ぎ取りレバー駆動部（ギャップ形成手段の一
部、剥ぎ取り手段の一部） ３２ 可動クランパ（クランパ手段の一部） ３２ｃ 可動クランパ３２のクランプ部 ３３ 固定クランパ（クランパ手段の一部） ３３ｃ 固定クランパ３３のクランプ部 ３４ フレーム ３５ フレーム駆動装置（フレーム駆動手段） ３６ ガイドローラ取り付け部材 ３７ ガイドローラ取り付け部材制御部 ３８ 剥離冷却装置 ４０ ギャップ形成手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉井 実 長野県諏訪市大字四賀3090番地 アスリー トエフエー株式会社内 (72)発明者 根橋 徹 長野県諏訪市大字四賀3090番地 アスリー トエフエー株式会社内 Ｆターム(参考） 5E319 AC01 AC03 BB16 CC61 CD26 GG15 5F044 KK01 LL09 PP15

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テープの一方の面に貼着された異方性導
   電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目
   を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに
   貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、 上記異方性導電体が貼着されたテープを供給する供給リ
   ールおよび異方性導電体の圧着動作が終了した後のテー
   プを巻き取る巻き取りリールと、 上記それぞれの切れ目間に存在する異方性導電体をそれ
   ぞれの異方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着
   ヘッド機構と、 上記供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテー
   プのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体の
   存在するテープ部分に対し、テープ進行路に沿う方向へ
   の引っ張り力を与えることでテープにテンションを与え
   ることを可能とするとともにそれを保持するテンション
   付与手段と、 上記供給リール、上記巻き取りリール、上記圧着ヘッド
   機構、上記テンション付与手段の各構成要素を取り付
   け、全体として上記ワーク側に移動可能とされるフレー
   ムと、 圧着された異方性導電体から上記テープを剥離させる
   際、上記テンション付与手段によりテープに対し上記異
   方性導電体のテープ進行方向における一方の端部から他
   方の端部に向かって剥がすような引っ張り力を与えて、
   上記異方性導電体から上記テープを剥離させる動作を行
   う機構と、 を有したことを特徴とする異方性導電体貼り付け装置。
2. 【請求項２】 テープの一方の面に貼着された異方性導
   電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目
   を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに
   貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、 上記それぞれの切れ目間に存在する異方性導電体をそれ
   ぞれの異方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着
   ヘッド機構と、 テープ進行路に沿う方向への引っ張り力を与えることで
   テープにテンションを与えることを可能とするとともに
   それを保持するテンション付与手段と、 圧着された異方性導電体から上記テープを剥離させる
   際、上記テンション付与手段によりテープに対し上記異
   方性導電体のテープ進行方向における一方の端部から他
   方の端部に向かって剥がすような引っ張り力を与えて、
   上記異方性導電体から上記テープを剥離させる動作を行
   う機構と、 を有したことを特徴とする異方性導電体貼り付け装置。
3. 【請求項３】 前記異方性導電体から前記テープを剥離
   させる動作を行う機構は、前記テンション付与手段と、
   このテンション付与手段の前段に位置し前記異方性導電
   体から剥離されたテープの進行をガイドするガイドロー
   ラが取り付けられたガイドローラ取り付け部材とでな
   り、このガイドローラ取り付け部材は、通常時は前記フ
   レームに対して動きが規制された状態にあり、テープを
   異方性導電体から剥離する動作を行う際は、その動きの
   規制された状態が解除されて往復動自在となり、前記テ
   ンション付与手段がテープに対して引っ張り力を与える
   とそれに応動して一方向に動き、それによって、前記異
   方性導電体から前記テープを剥離させる機構であること
   を特徴とする請求項１または２記載の異方性導電体貼り
   付け装置。
4. 【請求項４】 前記テンション付与手段は、２つのクラ
   ンパからなり、一方のクランパはテープ進行方向先方側
   に設けられ、取り付け位置の固定された固定クランパで
   あり、他方のクランパは上記固定クランパのテープ進行
   方向後方側に設けられ、上記テープ進行路上を所定量だ
   け往復動可能な可動クランパであって、これら２つのク
   ランパはテープを進行させるための機能をも有し、その
   動作は、 前記テープを巻き取りリール方向に進行させる場合に
   は、上記可動クランパが前記テープをクランプ状態とす
   るとともに、固定クランパはクランプ解除状態とし、そ
   の状態で、上記可動クランパが前記テープに対し前記供
   給リールとの間でのテンションを保持した状態で、テー
   プ進行方向に所定量移動することで当該テープを進行さ
   せ、当該可動クランパの所定量の進行が終了した時点
   で、上記固定クランパが上記テープに対しテンションを
   保持した状態で当該テープをクランプするとともに、上
   記可動クランパがテープのクランプ状態を解除して元の
   位置に復帰する動作を行い、 前記異方性導電体からテープを剥離する動作を行う際
   は、上記可動クランパが前記テープをクランプ状態とす
   るとともに、固定クランパはクランプ解除状態とし、そ
   の状態で、上記可動クランパが前記テープに対し前記供
   給リールとの間でのテンションを保持した状態で、テー
   プ進行方向に所定量移動する動作を行って前記テープに
   対し引っ張り力を与えることで、前記異方性導電体から
   前記テープを剥離させる動作を行う、 ことを特徴とする請求項１、２または３記載の異方性導
   電体貼り付け装置。
5. 【請求項５】 前記テープを異方性導電体から剥離する
   動作を行う際に、圧着された異方性導電体とテープ部分
   を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする請求項
   １、２、３または４記載の異方性導電体貼り付け装置。
6. 【請求項６】 テープの一方の面に貼着された異方性導
   電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目
   を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに
   貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、 上記それぞれの切れ目間に存在する異方性導電体をそれ
   ぞれの異方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着
   ヘッド機構と、 上記圧着ヘッド機構の熱圧着によって上記ワークに圧着
   された異方性導電体およびその異方性導電体が貼り付け
   られたテープ部分を冷却するための気体を送出する冷却
   手段と、 を有したことを特徴とする異方性導電体貼り付け装置。
7. 【請求項７】 テープの一方の面に貼着された異方性導
   電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法に
   おいて、 上記ワークに貼り付ける異方性導電体を上記ワークに対
   向する位置に上記テープにテンションをかけながら移動
   させる異方性導電体移動工程と、 テンションがテープにかかった状態で、テープ全体を上
   記ワーク側に移動させるテープ全体移動工程と、 上記テープにテンションがかかった状態で上記異方性導
   電体が上記ワークに当接した後または当接と同時に上記
   異方性導電体を上記ワークに圧着し加熱する圧着加熱工
   程と、 上記圧着加熱工程ののちに、上記テープにテンションが
   かかった状態でテープに対し上記異方性導電体のテープ
   進行方向における一方の端部から他方の端部に向かって
   剥がすような引っ張り力を与えて、上記異方性導電体か
   ら上記テープを剥離させるテープ剥離工程と、 を有することを特徴とする異方性導電体貼り付け方法。
8. 【請求項８】 テープの一方の面に貼着された異方性導
   電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法に
   おいて、 上記ワークに貼り付ける異方性導電体を上記ワークと対
   向する位置に移動させる異方性導電体移動工程と、 上記異方性導電体を上記ワークに圧着し加熱する圧着加
   熱工程と、 上記圧着加熱工程ののちに、上記テープにテンションが
   かかった状態でテープに対し上記異方性導電体のテープ
   進行方向における一方の端部から他方の端部に向かって
   剥がすような引っ張り力を与えて、上記異方性導電体か
   ら上記テープを剥離させるテープ剥離工程と、 を有することを特徴とする異方性導電体貼り付け方法。
9. 【請求項９】 テープの一方の面に貼着された異方性導
   電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法に
   おいて、 上記ワークに貼り付ける異方性導電体を上記ワークに対
   向する位置に移動させる異方性導電体移動工程と、 上記異方性導電体を上記ワークに圧着し加熱する圧着加
   熱工程と、 上記異方性導電体から上記テープを剥離させる際に、剥
   離部分を気体の送出によって冷却させならがら当該剥離
   を行うテープ剥離工程と、 を有することを特徴とする異方性導電体貼り付け方法。