JP4606495B2 - 表示パネル用の基板およびこの基板を備える表示パネル - Google Patents

Description

本発明は、表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法に関するものであり、特に液晶表示パネル用の基板などといった、所定のパターンの導体膜、半導体膜、絶縁膜などの積層構造を有する表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法に関するものである。

一般的なアクティブマトリックスタイプの液晶パネルは、ＴＦＴアレイ基板と対向基板とが所定の微小な隙間をおいて対向して配設され、この隙間に液晶が充填される構成を備える。

図１８は、ＴＦＴアレイ基板の構成の従来例を模式的に示した平面図である。ＴＦＴアレイ基板９の片側表面にはアクティブ領域が設けられる。このアクティブ領域９１には、複数の絵素電極（図略）とこれらの複数の絵素電極のそれぞれを駆動するスイッチング素子（図略）とがマトリックス状に配列される。さらにアクティブ領域９１には、これらのスイッチング素子を駆動するための複数のデータ信号線９１１と、複数のゲート信号線９１２とが設けられる。

また、アクティブ領域９１の外側には、各データ信号線９１１にソース信号を伝送するための引き出し配線９２１が設けられる。各引き出し配線９２１の一端はアクティブ領域９１の外縁近傍において所定のデータ信号線９１１と電気的に接続しており、他端はＴＦＴアレイ基板９の外縁近傍に設けられるランドに接続している。

各引き出し配線の電気抵抗や、各引き出し配線とそれらに近接する他の導体との間に発生する容量（たとえば、隣り合う引き出し配線どうしの間に発生する容量や、各引き出し配線とそれらに絶縁膜を介して重畳する導体膜などとの間に発生する容量など。以下、寄生容量と称する）が異なると、データ信号線に伝送されるソース信号の遅延の態様が、引き出し配線ごとに相違するおそれがある。そしてデータ信号線ごとにソース信号の遅延の態様が相違すると、表示パネルが表示する画像に表示ムラが生じるおそれがある。このため、各引き出し配線の電気抵抗や寄生容量は、均一であることが好ましい。

ところで、これらの引き出し配線は、一般的にアクティブ領域の外縁からＴＦＴアレイ基板の外縁に向かうにしたがって、所定の数ごとに集束する。換言するとこれらの引き出し配線は、所定の数ごとに一纏まりの配線束を形成し、各配線束はアクティブ領域の外縁からＴＦＴアレイ基板の外縁に向かうにしたがって集束する先細り形状を有する。このため、各配線束に含まれる引き出し配線は、各配線束の中心に位置するものは最も長さが短く、両端に向かうにしたがって長さが長くなる。このように、各配線束に含まれる引き出し配線の長さは、互いに異なる。

そして、各引き出し配線の電気抵抗や寄生容量は、それらの長さに応じて異なることがある。このため、長さが異なる引き出し配線（およびこれらに接続するデータ信号線）を通じてソース信号の伝送を受ける絵素群の表示状態が、互いに異なる場合が生じ得る。

特に、一つの配線束に含まれる引き出し配線は、中心に位置するものから両端に位置するものに向かって徐々に長さが変化するから、電気抵抗や寄生容量も中心から両端に向かって徐々に変化する。したがって、各配線束の中心に位置する引き出し配線（およびこれに接続するデータ信号線）を通じてソース信号の伝送を受ける絵素群から、両端に位置する引き出し配線（およびこれらに接続するデータ信号線）を通じてソース信号の伝送を受ける絵素に向かって、表示状態がグラデーション状に変化するおそれがある。そして複数の配線束が設けられるから、表示パネルが表示する画像には、全体として複数のグラデーション状の表示変化が連続的に現れ、この結果縦縞状の表示ムラが現れるおそれがある。

このような表示ムラは、特に最近の表示パネルの大型化にともなって生じやすくなってきている。すなわち表示パネルの大型化にともなって各データ信号線の長さが長くなり、各データ信号線の電気抵抗や寄生容量が大きくなってきている。したがって、各ソースドライバに掛かる負荷が大きくなり、ソース信号の遅延が生じやすくなっている。したがって、引き出し配線間の電気抵抗や寄生容量の相違が、表示状態に表れやすくなってきている。

このような表示ムラの発生を防止する構成としては、各ソースドライバに掛かる負荷を低減する構成がある。すなわちたとえば、一対のソースドライバを用いて、各データ信号線の両端からソース信号を伝送する構成がある。しかしながらこのような構成では、データ信号線の片側端からソース信号を入力する構成と比較して、部品点数や組立工数が多くなる。このため製造コストや製品価格の上昇を招くおそれがある。

このほか、各引き出し配線の長さを均一にして電気抵抗の均一化を図る構成が用いられることがある。また、各引き出し配線に寄生容量を具備させることにより、表示の均一化を図る構成が提案されている（特開２００６−１０６６７６号公報参照）。特開２００６−１０６６７６号公報に記載の構成は、引き出し配線に絶縁膜を挟んで導体膜を形成し、この導体膜との間に寄生容量を具備させるものである。

しかしながら、特開２００６−１０６６７６号公報に記載の構成は、次のような問題が生じることがある。たとえばＴＦＴアレイ基板の製造工程において、基板の表面に導電性の異物が付着すると、この異物が引き出し配線と導体膜との間に形成される絶縁膜を貫通し、引き出し配線と導体膜とを電気的に短絡させることがある。引き出し配線と導体膜とが短絡すると、この引き出し配線に接続されるデータ信号線に対して所定のソース信号を伝送できなくなることがある。この結果、このデータ信号線に沿って筋状の表示欠陥が発生する。そして特開２００６−１０６６７６号公報に記載の構成は、このような表示欠陥を修正することが困難である。

上記実情に鑑み本発明が解決しようとする課題は、データ信号線に寄生容量を具備させる構成において、データ信号線と導体膜とが短絡した場合に、当該短絡箇所を修正できる表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法を提供すること、または、データ信号線と導体膜とが短絡した場合に、引き出し配線の寄生容量に影響を与えることなく、もしくは影響を抑制しつつ当該短絡箇所を修正できる表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法を提供することである。

前記課題を解決するため本発明は、データ信号線にデータ信号を伝送するための引き出し配線に、絶縁膜を介して複数の短冊状の導体を重畳させる。そして複数の短冊状の導体どうしを接続部分によって電気的に接続する。

この接続部分は、表示パネルの外側から光エネルギ（たとえばレーザ）を照射して切断できるように、引き出し配線と重畳しない部分を有することが好ましい。

たとえば、前記引き出し配線がつづら折り状の部分を有する場合には、このつづら折り状の部分に絶縁膜を介して短冊状の導体を重畳させる。そして短冊状の導体どうしを接続する接続部分を、引き出し配線がつづら折り状の部分に交差させることによって、接続部分に引き出し配線と重畳しない部分を設ける。

短冊状の導体どうしの接続構成としては、次のような構成が挙げられる。まず、各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のうち隣り合うものどうしを、接続部分によって電気的に接続する。さらに、ある引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体と、前記ある引き出し配線に隣接する他の引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体とのうち、隣り合うものどうしを接続部分によって電気的に接続する。これにより短冊状の導体がマトリックス状に電気的に接続される。

また、次のような構成であってもよい。まず、各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のうち隣り合うものどうしを、接続部分によって電気的に接続する。さらに、そしてある引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体を接続する接続部分と、このある引き出し配線に隣接する引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体を接続する接続部分とのうち、隣接するものどうしをさらに他の接続部分によって接続する。これにより短冊状の導体がマトリックス状に電気的に接続される。

さらに、次のような構成であってもよい。各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の前記短冊状の導体のうち、隣接するものどうしを接続部分によって電気的に接続する。これによって、各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体が直列的に電気的に接続される。

これらの短冊状の導体と、これらの短冊状の導体どうしを接続する接続部分は、絵素電極と同じ材料が適用できる。

また、前記引き出し配線の間に遮光膜が形成される構成であってもよい。この構成においては、表示パネル用の基板の外部からレーザを照射して前記接続部分を切断できるように、前記接続部分は前記引き出し配線と前記遮光膜のいずれにも重畳しない部分を有することが好ましい。

そしてこのような表示パネル用の基板と対向基板とを用いて表示パネルを製造する。この表示パネルは、前記表示パネル用の基板に設けられる短冊状の導体は、前記対向基板に設けられる共通電極または共通電位線に電気的に接続される構成であることが好ましい。

本発明によれば、データ信号線にデータ信号を伝送するための引き出し配線と、これらに絶縁膜を介して重畳する短冊状の導体とが短絡した場合、この短絡した短冊状の導体に繋がる接続部分を切断することにより、この短絡した短冊状の導体を他の短冊状の導体から電気的に切り離すことができる。この結果、前記短絡に起因する表示欠陥を容易に修正することができる。

特に、前記接続部分が前記引き出し配線と重畳しない部分を有すると、この部分を通じて外部から前記接続部分にレーザを照射して切断することができる。また、前記引き出し配線の間に遮光膜が形成される構成において、前記接続部分は前記引き出し配線と前記遮光膜のいずれにも重畳しない部分を有すると、表示パネル用の基板の外部からこの部分を通じて前記接続部分にレーザを照射して切断できる。したがって、修正が容易となる。

本発明の第一実施形態にかかる表示パネル用の基板の全体構成を模式的に示した分解斜視図である。 データ引き出し配線の束の構成と、各データ信号線に所定の寄生容量を具備させるための導体層の構成とを、模式的に示した平面図である。 配線の束および導体層の形成工程を模式的に示した斜視図および断面図であり、（ａ）はデータ引き出し配線の形成工程を示した斜視図、（ｂ）は（ａ）と同じ工程における断面図、（ｃ）は絶縁膜の形成工程を示した断面図、（ｄ）は導体層の形成工程を示した斜視図、（ｅ）は（ｄ）と同じ工程における断面図である。 第二実施形態にかかる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線と導体層と遮光膜との構成を模式的に示した平面図である。 第二実施形態にかかる表示パネル用の基板の配線の束および導体層などの形成工程を模式的に示した断面図であり、（ａ）はデータ引き出し配線の形成工程を示した斜視図、（ｂ）はその断面図、（ｃ）は第一の絶縁膜の形成工程を示した断面図、（ｄ）は遮光膜の形成工程を示した斜視図、（ｅ）はその断面図、（ｆ）は第二の絶縁膜の形成工程を示した断面図、（ｇ）は導体層の形成工程を示した斜視図、（ｇ）はその斜視図である。 第三実施形態にかかる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線および短冊状の導体と帯状の導体と接続部分の構成を模式的に示した平面図である。 第四実施形態にかかる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線と導体層と遮光膜の構成を模式的に示した平面図である。 第五実施形態にかかる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線および短冊状の導体と帯状の導体と接続部分とを模式的に示した平面図である。 第六実施形態にかかる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線と導体層と遮光膜の構成を模式的に示した平面図である。 本発明の前記いずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板を備える表示パネルの断面構造を模式的に示した断面図であり、特にパネル額縁領域の断面構造を示す。 第二実施形態にかかる表示パネル用の基板を備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線と特定の短冊状の導体とが短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。 図１１のＡ部拡大図である。 第四実施形態にかかる表示パネル用の基板を備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線とこれに重畳する特定の短冊状の導体とが短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。 第六実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線と特定の短冊状の導体とが導電性の異物によって短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。 本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板の製造方法の各工程を模式的に示した断面図である。 本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板を適用した表示パネルの構成を、模式的に示した斜視図である。 カラーフィルタ（対向基板）の構成を模式的に示した図であり、（ａ）はカラーフィルタの全体構造を模式的に示した斜視図、（ｂ）はカラーフィルタに形成される一絵素の構成を抜き出して示した平面図、（ｃ）は（ｂ）のＢ−Ｂ線断面図であって、絵素の断面構造を示した図である。 ＴＦＴアレイ基板の構成の従来例を模式的に示した平面図である。

以下に、本発明の各種実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明の第一実施形態にかかる表示パネル用の基板の全体構成を、模式的に示した分解斜視図である。まず図１を参照して、本発明の第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａの全体的な構成を簡単に説明する。

図１に示すように、本発明の第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａには、アクティブ領域１１が設けられる。このアクティブ領域１１には、複数の絵素電極（図略）と、これらの複数の絵素電極のそれぞれを駆動するスイッチング素子（図略。具体的にはたとえば薄膜トランジスタ）とが、それぞれマトリックス状に配列される。さらにアクティブ領域１１には、各スイッチング素子のソース電極にデータ信号を伝送する複数のデータ信号線１１１（「ソース信号線」、「ソースバスライン」などとも称する）が互いに略平行に設けられるとともに、スイッチング素子のゲート電極に走査信号を伝送するための複数の走査信号線１１２（「ゲート信号線」、「ゲートバスライン」などとも称する）が、互いに略平行でかつデータ信号線１１１に略直交するように設けられる。

アクティブ領域１１の外側（以下「パネル額縁領域１２」と称することがある）には、各データ信号線１１１から引き出される配線（以下、「データ引き出し配線」と称することがある）１２１と、各走査信号線１１２から引き出される配線１２２とが設けられる。

各データ引き出し配線１２１の一端はアクティブ領域１１の外縁近傍に設けられるコンタクト部１２４に位置し、このコンタクト部１２４において所定のデータ信号線１１１と電気的に接続する。また、他端は表示パネル用の基板１ａの外縁近傍に設けられる端子部１２５に位置し、この端子部１２５において、ソースドライバが実装されるＴＡＢ（Tape
Automated Bonding）（図略）を接続するためのランドに電気的に接続する（たとえば他端がランドを形成する）。そして各データ引き出し配線１２１は、ソースドライバが生成するデータ信号を、所定のデータ信号線１１１に伝送するための経路となる。

データ引き出し配線１２１は、所定の数ごとに一纏まりの配線の束１２３を形成する。そして、この表示パネル用の基板１ａのパネル額縁領域１２には、これらのデータ引き出し配線の束１２３が表示パネル用の基板１ａの外縁に沿って所定の間隔をおいて配列される。各データ引き出し配線の束１２３に含まれるデータ引き出し配線１２１は、コンタクト部１２４から端子部１２５に向かうにしたがって集束していく。したがって各データ引き出し配線の束１２３は、コンタクト部１２４から端子部１２５に向かって先細りの形状を有する。

また、パネル額縁領域１２においては、各データ引き出し配線１２１の表面に絶縁膜（図略）が形成される。そしてこの絶縁膜の表面には、各データ引き出し配線１２１に所定の寄生容量を具備させるための導体層１２６が形成される。具体的には、各データ引き出し配線１２１は、絶縁膜を介して導体層１２６と重畳する部分を有する。このため、各データ引き出し配線１２１とこの導体層１２６との間に容量が発生し、結果として各データ引き出し配線１２１は所定の寄生容量を具備する。

各走査信号線１１２から引き出される配線１２２の一端は、アクティブ領域１１の外縁において所定の走査信号線１１２に電気的に接続している。また他端は、表示パネル用の基板１ａの外縁近傍に設けられる端子部１２７に位置し、この端子部１２７において、ゲートドライバが実装されるＴＡＢ（図略）を接続するためのランドに電気的に接続する。そして、各走査信号線１１２から引き出される配線１２２は、ゲートドライバが生成する走査信号を、所定の走査信号線１１２に伝送するための経路となる。各走査信号線１１２から引き出される配線１２２は、たとえば走査信号線１１２および端子部１２７のランドと同じ材料により一体に形成される。

各走査信号線１１２から引き出される配線１２２も、それぞれ所定の数ごとに一纏まりの配線の束１２８を形成する。そして表示パネル用の基板１ａのパネル額縁領域１２には、これらの走査信号線から引き出される配線の束１２８が、表示パネル用の基板１ａの外縁に沿って所定の間隔をおいて配列される。各配線の束１２８に含まれる走査信号線から引き出される配線１２２は、アクティブ領域１１の外縁から端子部１２７に向かうにしたがって集束していく。したがって各走査信号線から引き出される配線の束１２８は、アクティブ領域１１の外縁から端子部１２７に向かって先細りの形状を有する。

図２は、データ引き出し配線の束１２３の構成と、各データ引き出し配線１２１に所定の寄生容量を具備させるための導体層１２６の構成とを、模式的に示した平面図である。この図２は説明のための模式的なものであり、現実のデータ引き出し配線の束１２３や導体層１２６の実際の寸法形状を示さない場合がある。また、以下の説明においては、特に断らない限り、「配線の束」とは「データ引き出し配線の束」をいうものとする。

図２に示すように、一つの配線の束１２３には、所定の数のデータ引き出し配線１２１が含まれる。各データ引き出し配線１２１の一端はコンタクト部１２４に設けられ、このコンタクト部１２４においてスルーホールなどを介して所定のデータ信号線１１１と電気的に接続する。また、各データ引き出し配線１２１の他端は端子部１２５に設けられ、端子部１２５においてソースドライバが実装されるＴＡＢ（図略）を接続するためのランド１２１１を形成する。すなわち、各引き出し配線１２１とランド１２１１とが同じ導体膜により一体に形成される。

各配線の束１２３に含まれるデータ引き出し配線１２１は、コンタクト部１２４から端子部１２５に向かうにしたがって（すなわち、アクティブ領域１１の外縁から表示パネル用の基板１ａの外縁に向かうにしたがって）、次第に集束していく。したがって各配線の束１２３は、全体としてコンタクト部１２４から端子部１２５に向かって先細りの形状を有する。

一つの配線の束１２３に含まれるデータ引き出し配線１２１は、略等しい長さを有する。各配線の束１２３に含まれるデータ引き出し配線１２１の一端から他端までの直線距離は、各配線の束１２３の中心に位置するものほど短く、両外側に位置するものほど長くなる。そこで各データ引き出し配線１２１の長さの相違による電気抵抗のバラツキの解消を図るため、所定のデータ引き出し配線１２１には、その中間の所定の範囲において配線がつづら折り状の部分１２１２を設ける。

具体的には、配線の束１２３の中心近傍に位置するデータ引き出し配線には、つづら折り状の部分１２１２の長さを長くし、外側に向かうにしたがってつづら折り状の部分１２１２の長さを短くしていく。そしてたとえば最も外側に位置するデータ引き出し配線１２１には、つづら折り状の部分を形成しなくともよい。これにより各データ引き出し配線１２１の全長を均一化にすることができ、電気抵抗の均一化を図ることができる。

そして配線の束１２３の表面に絶縁膜（図略）が形成される。そしてこの絶縁膜の表面には、各データ引き出し配線１２１に所定の寄生容量を具備させるための導体層１２６が形成される。すなわち、各データ引き出し配線１２１の表面に、絶縁膜を挟んで導体層１２６を重畳させる。これにより、各データ引き出し配線１２１と導体層１２６の間には、絶縁膜の誘電率と、各データ引き出し配線１２１と導体層１２６とが重畳する面積に応じて容量が発生する。

この導体層１２６は、帯状の部分１２６１（本明細書においては「帯状の導体」と称することがある）と、短冊状の部分１２６２（本明細書においては「短冊状の導体」と称することがある）と、各短冊状の部分１２６２どうしまたは帯状の部分１２６１と短冊状の部分１２６２とを接続する接続部分１２６３，１２６４，１２６５とを有する。

図２に示すように、各データ引き出し配線１２１のつづら折り状の部分１２１２には、単数または複数の短冊状の導体１２６２が絶縁層を介して重畳して設けられる。具体的には、一本のデータ引き出し配線１２１に重畳するように設けられる短冊状の導体１２６２の数は、配線の束１２３の中心部分に位置するものほど多く、両外側に向かうにしたがって少なくなるように設定される。図２は、最も外側に位置するデータ引き出し配線１２１には、短冊状の導体１２６２が重畳しない構成を示す。

このような構成とすることにより、各データ引き出し配線１２１が具備する寄生容量の均一化を図ることができる。すなわち、データ引き出し配線１２１どうしの間に発生する容量や、データ引き出し配線１２１とそれに近接する他の導体との間に発生する容量は、データ引き出し配線１２１の長さが長くなると大きくなる傾向がある。このため各データ引き出し配線１２１が具備する寄生容量は、配線の束１２３の両外側に位置するものほど大きくなっていく。

そこで、配線の束１２３の中心に位置するデータ引き出し配線１２１は、導体層を重畳させる面積を大きくすることによって、すなわち、重畳させる短冊状の導体１２６２の数を増やすことによって、データ引き出し配線１２１とこの導体層１２６との間に発生する容量を大きくする。この結果、各データ引き出し配線１２１が具備する寄生容量（すなわち、各データ引き出し配線１２１どうしの間に発生する容量、各データ引き出し配線１２１とこの短冊状の導体１２６２および他の導体との間に発生する容量）の全体量の均一化を図ることができる。

そして、導体層１２６の接続部分１２６３，１２６４，１２６５によって、短冊状の導体１２６２どうしが電気的に接続されるとともに、帯状の導体１２６１と各短冊状の導体１２６２とが電気的に接続される。

具体的には、まず帯状の導体１２６１と、これに近接して設けられる各短冊状の導体１２６２とが接続部分１２６３によって電気的に接続される。以下このような接続部分１２６３を、説明の便宜上「第一の接続部分」と称する。

そして、一つのデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる複数の短冊状の導体１２６２のうち、互いに隣接するものどうしが接続部分１２６４によって接続される。以下このような接続部分１２６４を、説明の便宜上「第二の接続部分」と称する。すなわち、一本のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる複数の短冊状の導体１２６２は、第二の接続部分１２６４によって直列的に電気的に接続される。

さらに、あるデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２と、このデータ引き出し配線１２１に隣接する他のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２のうち、隣接するものどうしが接続部分１２６５によって電気的に接続される。以下説明の便宜上、このような接続部分１２６５を「第三の接続部分」と称する。

したがって全体として、各短冊状の導体１２６２がマトリックス状に電気的に接続されるとともに、帯状の導体１２６１にも電気的に接続される。このため、各短冊状の導体１２６２は同電位またはほぼ同電位となるとともに、各短冊状の導体１２６２と帯状の導体１２６１とは同電位またはほぼ同電位となる。

第一〜第三の接続部分１２６３，１２６４，１２６５は細い帯状に形成される。そして第一〜第三の接続部分１２６３，１２６４，１２６５は、それぞれ少なくともそれらの一部にデータ引き出し配線１２１のいずれにも重畳しない部分を有する。

具体的には、同じデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２どうしを接続する第二の接続部分１２６４は、データ引き出し配線１２１のつづら折り状の部分１２１２において、データ引き出し配線１２１と交差するように（または複数回にわたって横断するように）形成される。したがって、これらの第二の接続部分１２６４は、各データ引き出し配線１２１と重畳する部分と重畳しない部分とが交互に現れる。帯状の導体１２６１と短冊状の導体１２６２とを接続する第一の接続部分１２６３も、第二の接続部分１２６４と同様の構成を有する。

また、第三の接続部分１２６５（あるデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２と、このデータ引き出し配線１２１に隣接する他のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２どうしを電気的に接続する接続部分）は、図２に示すようにいずれのデータ引き出し配線１２１とも重畳しない。

次に、配線の束１２３および導体層１２６の形成工程について説明する。図３は、配線の束１２３および導体層１２６の形成工程を模式的に示した斜視図および断面図である。それぞれ、図３（ａ）はデータ引き出し配線１２１の形成工程を示した斜視図、図３（ｂ）は図３（ａ）と同じ工程における断面図、図３（ｃ）は絶縁膜の形成工程を示した断面図、図３（ｄ）は導体層の形成工程を示した斜視図、図３（ｅ）は図３（ｄ）と同じ工程における断面図である。

なお、次に説明する各工程の間および／または各工程と同時に、表示パネル用の基板を製造するための他の工程が存在する場合があるが、ここではそれらの他の工程については省略する。

まず図３（ａ），（ｂ）に示すように、透明基板１３の表面にデータ引き出し配線１２１を形成する。たとえば透明基板１３の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いてデータ引き出し配線１２１のパターンにパターニングする。

次に図３（ｃ）に示すように、形成したデータ引き出し配線１２１を覆うように絶縁膜１３１を形成する。そして図３（ｄ），（ｅ）に示すように、導体層１２６（すなわち各短冊状の導体１２６２、帯状の導体１２６１および第一〜第三の接続部分１２６３，１２６４，１２６５）を形成する。たとえば絶縁膜１３１の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いて各短冊状の導体１２６２、帯状の導体１２６１および第一〜第三の接続部分１２６３，１２６４，１２６５のパターンにパターニングする。

これにより、各データ引き出し配線１２１と導体層１２６とが重畳する部分に容量が発生する。各データ引き出し配線１２１と導体層１２６との間に発生する容量は、絶縁膜１３１の誘電率と、各データ引き出し配線１２１と導体層１２６との重畳面積に応じて定まる。したがって各データ引き出し配線１２１に重畳させる短冊状の導体１２６２の数やそれぞれの面積は、表示パネル用の基板１ａが備える全てのデータ引き出し配線１２１の寄生容量が均一またはほぼ均一となるように設定する。

次に、パネル額縁領域１２に遮光性の材料からなる膜が形成される構成について説明する。表示パネルのパネル額縁領域１２における光漏れを防止するために、パネル額縁領域１２に遮光性の材料からなる膜（以下、「遮光膜」と称することがある）を形成する場合がある。

図４は、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｂ、すなわちパネル額縁領域１２に遮光膜が形成される表示パネル用の基板１ｂにおける、データ引き出し配線と導体層と遮光膜との構成を模式的に示した平面図である。

図４に示すように、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｂのパネル額縁領域１２のデータ引き出し配線１２１どうしの間には、遮光膜１３４が形成される（配線の束１２３の外側にも遮光膜が形成されるが、図４では省略する）。ただし、第三の接続部分１２６５（あるデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２と、このデータ引き出し配線１２１に隣接する他のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２とを接続する接続部分１２６５）に重畳する位置には、遮光膜１３４は設けられない。同様に、第一の接続部分１２６３および第二の接続部分１２６４に重畳する位置にも、遮光膜１３４は設けられない。すなわち、第一〜第三の接続部分１２６３，１２６４，１２６５は、データ引き出し配線１２１と遮光膜１３４のいずれにも重畳しない部分を有する。

この遮光膜１３４は、たとえばデータ引き出し配線１２１とは別の所定の配線を構成する導体膜により形成される。たとえばデータ引き出し配線１２１がアクティブ領域１１に形成される走査信号線１１２と同じ導体により形成される場合には、遮光膜１３４はデータ信号線１１１と同じ導体により形成される。

次に、遮光膜１３４を有する場合における配線の束１２３および導体層１２６などの形成工程について説明する。図５は、配線の束１２３および導体層１２６などの形成工程を模式的に示した斜視図および断面図である。なお、図５中、（ａ）と（ｂ）、（ｄ）と（ｅ）、（ｇ）と（ｈ）は、それぞれ同一の工程の斜視図と断面図である。また、次に説明する各工程の間および／または各工程と同時に、表示パネル用の基板１ｂを製造するための他の工程が存在する場合があるが、ここではそれらの他の工程については省略する。

まず図５（ａ），（ｂ）に示すように、透明基板１３の表面にデータ引き出し配線１２１を形成する。たとえば透明基板１３の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いてデータ引き出し配線１２１のパターンにパターニングする。

次に図５（ｃ）に示すように、形成したデータ引き出し配線１２１を覆うように第一の絶縁膜１３２を形成する。そして図５（ｄ），（ｅ）に示すように、第一の絶縁膜１３２の表面に遮光膜１３４を形成する。たとえば第一の絶縁膜１３２の表面に遮光性の材料の層を形成し、形成した遮光性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いて遮光膜１３４のパターンにパターニングする。

次に、図５（ｆ）に示すように、前記までの工程を経た透明基板１３の表面に第二の絶縁膜１３３を形成する。この工程を経ると遮光膜１３４は第二の絶縁膜１３３によって覆われる。そして図５（ｇ），（ｈ）に示すように、第二の絶縁膜１３３の表面に短冊状の導体１２６２と帯状の導体１２６１と第一〜第三の接続部分１２６３，１２６４，１２６５とを形成する。たとえば第二の絶縁膜１３３の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いて各短冊状の導体１２６２、帯状の導体１２６１および第一〜第三の接続部分１２６３，１２６４，１２６５のパターンにパターニングする。

このような構成によれば、パネル額縁領域１２における光漏れを防止または抑制しつつ、各データ引き出し配線１２１に所定の寄生容量を具備させることができる。なお、遮光膜１３４および遮光膜１３４を覆う第二の絶縁膜１３３を有する構成を除いては、第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａと同じ構成が適用できる。

短冊状の導体１２６２どうしの接続の構成は、前記第一実施形態または第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａ，１ｂが有する構成に限定されるものではない。そこで以下に、他の構成について説明する。なお、以下の各実施形態において、第一または第二実施形態と共通の構成の部分には、第一実施形態または第二実施形態と同じ符号を付し、説明は省略することがある。

図６は、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｃのデータ引き出し配線１２１および短冊状の導体１２６２と帯状の導体１２６１と接続部分１２６３，１２６４，１２６６の構成を模式的に示した平面図である。

図６に示すように、帯状の導体１２６１と各短冊状の導体１２６２とが第一の接続部分１２６３によって電気的に接続されるとともに、短冊状の導体１２６２どうしが接続部分１２６４，１２６６によって電気的に接続される。

具体的には、まず、帯状の導体１２６１と、これに近接して設けられる各短冊状の導体１２６２とが第一の接続部分１２６３によって電気的に接続される。この構成は第一実施形態または第二実施形態にかかる表示パネル用の基板と同じである。そして、一つのデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる導体層１２６の複数の短冊状の導体１２６２のうち、互いに隣接するものどうしが第二の接続部分１２６４によって電気的に接続される。この構成も第一実施形態または第二実施形態にかかる表示パネル用の基板と同じである。

そして、ある一つのデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２どうしを電気的に接続する第二の接続部分１２６４と、このデータ引き出し配線１２１に隣接する他のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２どうしを電気的に接続する第二の接続部分１２６４のうち、隣接するものどうしがさらに接続部分１２６６によって電気的に接続される。このような第二の接続部分１２６４どうしを電気的に接続する接続部分１２６６を、説明の便宜上「第四の接続部分」と称する。

第四の接続部分１２６６は、各データ引き出し配線１２１に重畳しない部分を有する。なお、第一実施形態に示すような第三の接続部分１２６５は設けられない。したがって、あるデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２と、このデータ引き出し配線１２１に隣接する他のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２は、直接的には電気的に接続されない。

このように、同一のデータ引き出し配線１２１に重畳するように設けられる複数の短冊状の導体１２６２が、第二の接続部分１２６４によって直列的に電気的に接続される。そして、第二の接続部分１２６４どうしを接続する第四の接続部分１２６６によって、互いに隣接するデータ引き出し配線１２１に重畳するように設けられる短冊状の導体１２６２どうしが電気的に接続される。さらに帯状の導体１２６１とこれに近接する短冊状の導体１２６２とが第一の接続部分１２６３によって電気的に接続される。したがって、各短冊状の導体１２６２は同電位またはほぼ同電位となるとともに、各短冊状の導体１２６２と帯状の導体１２６１も同電位またはほぼ同電位となる。

第一、第二、第四の接続部分１２６３，１２６４，１２６６は細い帯状に形成される。そして第一、第二、第四の接続部分１２６３，１２６４，１２６６は、それぞれ少なくとも一部に、いずれのデータ引き出し配線１２１とも重畳しない部分を有する。

すなわち、帯状の導体１２６１と短冊状の導体１２６２を接続する第一の接続部分１２６３と、一つの引き出し配線１２１に重畳するように設けられる短冊状の導体１２６２どうしを接続する第二の接続部分１２６４とは、それぞれデータ引き出し配線１２１のつづら折り状の部分において、データ引き出し配線１２１と交差するように形成される。したがって、これらの第一および第二の接続部分１２６３，１２６４は、各データ引き出し配線１２１と重畳する部分と重畳しない部分とが交互に繰り返す。このため、それぞれ一箇所以上のデータ引き出し配線１２１と重畳しない部分を有する。

第二の接続部分１２６４どうしを接続する第四の接続部分１２６６も、図６に示すようにデータ引き出し配線１２１と重畳しない部分を有する。

そして第二の接続部分１２６４は、第四の接続部分１２６６が分岐または交差する位置から少なくとも一方の短冊状の導体１２６２に寄った位置には、データ引き出し配線１２１に重畳しない部分を少なくとも一箇所以上有する。図６においては、第四の接続部分１２６６が分岐または交差する位置から前後両方の短冊状の導体１２６２に寄った位置に、データ引き出し配線１２１と重畳しない部分を有する構成を示す。

なお、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｃのデータ引き出し配線１２１、導体層などの形成方法は、第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａと同じ方法が適用できる。したがって説明は省略する。第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａとは、導体層１２６を形成する工程において、形成する導体層１２６のパターンが異なるのみである。

次に、第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄについて説明する。図７は、第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄのデータ引き出し配線１２１と導体層１２６と遮光膜１３４の構成を模式的に示した平面図である。第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄは、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｃのパネル額縁領域１２に、遮光膜が形成される構成を有する。

図７に示すように、データ引き出し配線１２１どうしの間には遮光膜１３４が形成される（配線の束１２３の外側にも遮光膜が形成されるが、図７では省略する）。ただし、第四の接続部分１２６６に重畳する位置には、遮光膜１３４は形成されない。すなわち、これら第四の接続部分１２６６は、データ引き出し配線１２１と遮光膜１３４のいずれにも重畳しない部分を有する。

第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄの構成は、遮光膜１３４がおよびこの遮光膜１３４を覆う第二の絶縁膜が形成される点を除いては、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｃの構成と同じ構成が適用できる。また、第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄの配線の束１２３や導体層１２６などの形成方法は、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｂとほぼ同じ方法が適用できる。すなわち、導体層１２６を形成する工程と遮光膜１３４を形成する工程のそれぞれにおいて、形成する導体層１２６のパターンと遮光膜１３４のパターンが異なるのみである。

次に第五実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｅについて説明する。図８は、第五実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｅのデータ引き出し配線１２１および短冊状の導体１２６２と帯状の導体１２６１と接続部分１２６３，１２６４とを模式的に示した平面図である。なお、導体層１２６の接続部分１２６３，１２６４以外の構成（すなわち、導体層１２６のパターン以外）は、第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａと同じ構成が適用できる。

図８に示すように、帯状の導体１２６１とこれに近接する短冊状の導体１２６２とが第一の接続部分１２６３によって電気的に接続されるとともに、短冊状の導体１２６２どうしが第二の接続部分１２６４によって電気的に接続される。

なお、第一実施形態または第二実施形態とは異なり、あるデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２と、このデータ引き出し配線１２１に隣接する他のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２とを接続する第三の接続部分１２６５は設けられない。また、第二の接続部分１２６４どうしを接続する第四の接続部分１２６６も設けられない。

したがって、各データ引き出し配線１２１に重畳して設けられる複数の短冊状の導体１２６２は、第二の接続部分１２６４によって電気的に直列的に接続される。そしてあるデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる各短冊状の導体１２６２と、他のデータ引き出し配線１２１に重畳して設けられる短冊状の導体１２６２とは、帯状の導体を通じてのみ電気的に接続される。このような構成であると、一つのデータ引き出し配線１２１に重畳するように設けられる短冊状の導体１２６２は同電位またはほぼ同電位となるとともに、すべてのデータ引き出し配線１２１に重畳する短冊状の導体１２６２が同電位またはほぼ同電位となる。

なお、帯状の導体１２６１と短冊状の導体１２６２とを電気的に接続する第一の接続部分１２６３と、短冊状の導体１２６２どうしを電気的に接続する第二の接続部分１２６４は、第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａと同じ構成が適用できる。すなわち、これらの第一の接続部分１２６３と第二の接続部分１２６４は、それぞれ少なくとも一箇所以上のデータ引き出し配線１２１に重畳しない部分を有する。

次に、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆについて説明する。図９は、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆのデータ引き出し配線１２１と導体層１２６と遮光膜１３４の構成を模式的に示した平面図である。第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆは、第五実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｅのパネル額縁領域１２に、遮光膜１３４が形成される構成を有する。

図９に示すように、パネル額縁領域１２には遮光膜１３４が形成される（配線の束１２３の外側にも遮光膜１３４が形成されるが、図９では省略する）。そして第一の接続部分１２６３と第二の接続部分１２６４は、それぞれデータ引き出し配線１２１とこの遮光膜１３４のいずれにも重畳しない部分を有する。

なお、遮光膜１３４は各データ引き出し配線１２１のつづら折り状の部分１２１２に形成されるデータ引き出し配線１２１どうしの間の隙間には設けられない構成であれば、遮光膜１３４のパターンを、第一の接続部分１２６３と第二の接続部分１２６４との重畳を避けるような形状にする必要はない。

第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆの構成は、遮光膜１３４およびこの遮光膜１３４を覆う第二の絶縁膜１３３が形成される点を除いては、第五実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｅの構成と同じ構成が適用できる。また、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆの配線の束１２３や導体層１２６などの形成方法は、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｂとほぼ同じ方法が適用できる。すなわち、導体層１２６を形成する工程と遮光膜１３４を形成する工程のそれぞれにおいて、形成する導体層１２６のパターンと遮光膜１３４のパターンが異なるのみである。

次に、前記いずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａ〜１ｆを備える表示パネル２の構成について説明する。

図１０は、第一実施形態から第六実施形態のいずれかにかかる表示パネル用の基板１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ（以下、符号「１」で表す）を備える表示パネル２の外縁部近傍（アクティブ領域１１の一部およびパネル額縁領域１２）の断面構造を模式的に示した断面図である。図１０に示すように、前記いずれかの表示パネル用の基板１と対向基板２１とが所定の微小な間隔をおいて対向して配設される。そしてアクティブ領域１１を囲むように設けられるシール材２２によって前記いずれかの表示パネル用の基板１と対向基板２１とが貼り合わせられるとともに、シール材２２に囲まれる領域には液晶２３が充填される。

本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１のアクティブ領域１１には、複数の絵素電極１１３、これらの複数の絵素電極１１３のそれぞれを駆動するスイッチング素子（図略。具体的にはたとえば薄膜トランジスタ）とが、それぞれマトリックス状に配列される。さらにアクティブ領域１１には、各スイッチング素子のソース電極にデータ信号を伝送する複数のデータ信号線１１１が互いに略平行に設けられるとともに、スイッチング素子のゲート電極に走査信号を伝送するための複数の走査信号線１１２が、互いに略平行でかつデータ信号線１１１に略直交するように設けられる。また、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１の表面には配向膜１１４が形成される。

各データ引き出し配線１２１の一端はアクティブ領域１１の外縁近傍に設けられるコンタクト部１２４に位置し、このコンタクト部１２４において所定のデータ信号線１１１と電気的に接続する。

対向基板２１の構成について簡単に説明する。対向基板２１は、ガラスなどからなる透明基板２１７の表面にブラックマトリックス２１１が形成され、ブラックマトリックス２１１の各格子の内側には、赤色、緑色、青色のそれぞれの色の着色感材からなる着色層２１２が形成される。そしてこれら各色の着色層２１２が形成される格子が、所定の順序で配列される。ブラックマトリックス２１１および各色の着色層２１２の表面には保護膜２１３が形成され、保護膜２１３の表面には透明電極（共通電極）２１４が形成される。透明電極（共通電極）２１４の表面には、液晶の配向を制御する配向規制構造物２１５が形成される。さらにその表面には配向膜２１６が形成される。この透明電極（共通電極）２１４は図示しない共通電位線に電気的に接続する。

シール材２２は、導電性を有する材料からなる微粒子（たとえば金ビーズ）が混合されており、導電性を有する。そして、このシール材２２は、前記いずれかの表示パネル用の基板１に設けられる帯状の導体１２６１が露出している箇所と、対向基板２１の共通電極２１４の両方に接触している。このため、短冊状の導体１２６２および帯状の導体１２６１は、対向基板２１の共通電極２１４に電気的に接続し、共通電極２１４と同電位またはほぼ同電位となる。

次に、前記いずれかの表示パネル用の基板１を備える表示パネル２における、データ引き出し配線１２１と短冊状の導体１２６２との間の電気的な短絡に起因する表示欠陥の修正方法について説明する。

表示パネル用の基板１の製造過程において導電性の異物が表示パネル用の基板１のパネル額縁領域１２に付着すると、この異物がデータ引き出し配線１２１と短冊状の導体１２６２との間の絶縁膜（図１０においては第一の絶縁膜１３２および第二の絶縁膜１３３）を貫通し、特定のデータ引き出し配線１２１と短冊状の導体１２６２とを電気的に接続することがある。

前記のとおり導体層１２６はシール材２２によって対向基板２１の共通電極２１４に電気的に接続されるから、この特定のデータ引き出し配線１２１と対向基板２１の共通電極２１４とは同電位またはほぼ同電位となる。このため、この特定のデータ引き出し配線１２１を通じてデータ信号の伝送を受ける絵素電極１１３と対向基板２１の共通電極２１４が同電位となるから、たとえば表示パネル２がノーマリーブラックタイプであれば、これらの絵素は常に実質上最も低い輝度の表示をする。したがって、表示パネル２には、データ信号線１１１に沿った筋状の表示欠陥（ノーマリーブラックタイプの表示パネルであれば黒色の線状の表示欠陥）が現れる。

そこで、データ引き出し配線１２１と短絡する短冊状の導体１２６２を、他の短冊状の導体１２６２または帯状の導体１２６１から電気的に切り離す修正を行う。この修正によって、特定のデータ引き出し配線１２１と対向基板２１の共通電極２１４との導通を解消し、データ信号線１１１に所定のデータ信号を伝送できるようにする。

具体的には次のとおりである。第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａを備える表示パネルと第二実施形態にかかる表示パネル用の基板を備える表示パネルは、ほぼ同じ修正方法が適用できる。したがって、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｂを備える表示パネルを例に示し、まとめて説明する。

図１１は、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｂを備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線１２１ａと特定の短冊状の導体１２６２ｃとが短絡した状態を模式的に示した平面図である。ここでは図１１に示すように、ある特定のデータ引き出し配線１２１ａとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体１２６２ｃとが異物８０１によって電気的に短絡し、その結果表示パネル２に筋状の表示が現れる状態を例に説明する。

まず、製造された表示パネル２の点灯検査を行う。前記のとおり特定のデータ引き出し配線１２１ａとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体１２６２ｃとが電気的に短絡すると、表示パネル２が表示する画像に筋状の表示欠陥が現れることがある。そこで、表示パネル２の点灯検査において筋状の表示欠陥が確認され、かつこの表示欠陥の原因が、特定のデータ引き出し配線１２１ａとこれに重畳して設けられるいずれかの短冊状の導体１２６２との短絡によるものであると考えられる場合には、表示欠陥が発生している絵素にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線１２１ａを拡大鏡などを用いて観察し、短絡箇所を特定する。

図１２は、図１１のＡ部を拡大して示した平面図である。データ引き出し配線１２１ａと短絡している短冊状の導体１２６２ｃが特定できた場合には、この短冊状の導体１２６２ｃとこれに隣接する他の短冊状の導体１２６２ｄ，１２６２ｂ，１２６２ｇ，１２６２ｉとを接続する二箇所の第二の接続部分１２６４ｂ，１２６４ｆおよび二箇所の第三の接続部分１２６５ｃ，１２６５ｅを切断する。なお、データ引き出し配線１２１と短絡している短冊状の導体が、第一の接続部分１２６３によって帯状の導体と接続している場合には、この第一の接続部分も切断する。

具体的には、表示パネル２の外側からレーザを照射し、レーザのエネルギによってこれらの接続部分１２６４ｂ，１２６４ｃ，１２６５ｃ，１２６５ｅを切断する。前記のように、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｂの各接続部分１２６４ｂ，１２６４ｃ，１２６５ｃ，１２６５ｅは、データ引き出し配線１２１および遮光膜１３４のいずれにも重畳しない部分を有する。したがって、この部分を通じて外部から各接続部分１２６４ｂ，１２６４ｃ，１２６５ｃ，１２６５ｅにレーザを照射して切断することができる。すなわち、それぞれ破線ｅ、破線ｆ、破線ｃ、破線ｈの位置を切断すればよい。なお、第一実施形態にかかる表示パネル用の基板１ａには遮光膜１３４が形成されないから、第三の接続部分１２６５ｃ，１２６５ｅの切断において遮光膜１３４が障碍となることがない。

このように各接続部分１２６４ｂ，１２６４ｃ，１２６５ｃ，１２６５ｅを切断すると、データ引き出し配線１２１ａと対向基板２１の共通電極との間の電気的な接続が無くなる。したがって、このデータ引き出し配線１２１ａは、データ信号線に所定のデータ信号を伝送できるようになり、表示欠陥が解消する。また、このデータ引き出し配線１２１ａに重畳して設けられる複数の短冊状の導体のうち、周囲から電気的に切り離した短冊状の導体１２６２ｃを除いては、これまでと同じように寄生容量として機能する。したがって、修正によってこのデータ引き出し配線１２１ａが具備する寄生容量が大きく変化することはなく、データ信号の伝送に与える影響を小さくすることができる。

なお、データ引き出し配線１２１ａと短冊状の導体１２６２ｃとの短絡箇所が特定できない場合がある。このような場合には、導体層１２６の複数の短冊状の導体のうちの一つを周囲から電気的に切り離す作業と、切り離した後に点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかどうかを確認する作業とを、表示欠陥が無くなるまで繰り返す。

たとえば次のとおりである。まず、表示欠陥が現れている絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線１２１ａに重畳する複数の短冊状の導体のうち、帯状の導体１２６１から最も遠いもの（換言すると、直列に接続される短冊状の導体のうち、帯状の導体１２６１に接続されるものからみて末端に位置するもの）を周囲から切断する。図１２に示す例では、末端の短冊状の導体１２６２ａを、これに隣接する短冊状の導体１２６２ｅ，１２６２ｂから電気的に切断する。たとえば、第二の接続部分１２６４ａの破線ｄの位置と、第三の接続部分１２６５ａの破線ａの位置を切断し、短冊状の導体１２６２ａを隣接する他の短冊状の導体１２６２ｅ，１２６２ｂから電気的に切り離す。

その後再び点灯検査を行う。この点灯検査においても筋状の表示欠陥が現れる場合には、末端から二番目に位置する短冊状の導体１２６２ｂを、これに隣接する他の短冊状の導体１２６２ｆ，１２６２ｈ，１２６２ｃから電気的に切り離す。図１２に示す例においては、一箇所の第二の接続部分１２６４ｂの破線ｅの位置と、二箇所の第三の接続部分１２６５ｂ，１２６５ｄのそれぞれ破線ｂと破線ｇの位置をレーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体１２６２ｂがこれに隣接する他の三個の短冊状の導体１２６２ｃ，１２６２ｆ，１２６２ｈから電気的に切り離される。

その後再び点灯検査を行う。以下、表示欠陥が現れる絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線１２１ａに重畳して設けられる短冊状の導体をこれに隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す工程と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかを確認する工程とを繰り返す。なお、図１２に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体１２６２ｃを、隣接する他の三個の短冊状の導体１２６２ｇ，１２６２ｃ，１２６２ｄから電気的に切り離すと、他に異常がなければ表示欠陥は解消する。

なお、複数の短冊状の導体のうち、どの短冊状の導体からこれに隣接する他の短冊状の導体（および帯状の導体に接続している場合には帯状の導体）から電気的に切り離していくかは、前記順序に限定されるものではない。すなわち前記のとおり末端に位置するものからから順番に切り離していってもよく、短絡が疑われるものから順に切り離していってもよい。このような方法であっても、前記同様の作用効果を奏することができる。

なお、このような方法によると、データ引き出し配線と短絡していない短冊状の導体を隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離してしまう場合が生じ得る。しかしながら、このような場合であっても、表示パネルの表示品位に与える影響は少ないものと考えられる。

すなわち、隣接する他の短冊状の導体や帯状の導体から電気的に切り離された短冊状の導体は、正常な寄生容量として機能しなくなる。そして、このような方法によると、本来は切り離さなくてもよいものまで余分に切り離してしまう場合が生じるため、このデータ引き出し配線が具備する寄生容量は、他のデータ引き出し配線が具備する寄生容量と異なる。このため、伝送されるデータ信号の状態（たとえば信号の遅延など）が相違する場合が生じ得る。

しかしながら、寄生容量が相違すると伝送されるデータ信号の状態が多少相違するものの、データ信号をデータ信号線に伝送できることには変わりはなく、このデータ信号線からデータ信号の伝送を受ける絵素群は、伝送されたデータ信号に基づいた表示を行うことができる。そして、配線の束に含まれるデータ引き出し配線が均一な寄生容量を具備しているから、その中の特定の一本が具備する寄生容量が他とは多少異なったとしても、表示状態の相違は目立たない。したがって、表示パネルの表示品位に与える影響は少ないものと考えられる。

次に、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｃを備える表示パネルおよび第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄを備える表示パネルの修正方法について説明する。なお、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｃを備える表示パネルの修正方法と、第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄを備える表示パネルの修正方法はほぼ同じである。したがって第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄを備える表示パネルを例に示してまとめて説明する。

図１３は、特定のデータ引き出し配線１２１ａとこれに重畳する特定の短冊状の導体１２６２ｃとが短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。なおこの図１３は、図１１のＡ部に相当する領域を拡大して示した平面図である。ここでは図１３に示すように、特定のデータ引き出し配線１２１ａとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体１２６２ｃとが導電性を有する異物８０１よって短絡し、その結果表示パネルが表示する画像に筋状の表示が現れる状態を例に説明する。

まず、製造された表示パネル２の点灯検査を行い、表示パネル２が表示する画像に筋状の表示欠陥が現れるかどうかを検査する。そして表示パネル２の点灯検査において筋状の表示欠陥の発生が確認でき、かつこの表示欠陥が特定のデータ引き出し配線１２１ａと、これに重畳して設けられる短冊状の導体との短絡に起因するものと考えられる場合には、表示欠陥が発生している絵素にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線１２１ａを拡大鏡などを用いて観察し、短絡箇所を特定する。

そして、特定のデータ引き出し配線１２１ａと短絡している短冊状の導体１２６２ｃが特定できた場合には、この短冊状の導体１２６２ｃを、これに隣接する他の短冊状の導体１２６２ｂ，１２６２ｄ，１２６２ｇ，１２６２ｉから電気的に切り離す。具体的には、この短冊状の導体１２６２ｃに繋がる第二の接続部分１２６４ｂの破線ｌの位置と，第二の接続部分１２６４ｃの破線ｍの位置をレーザによって切断する。破線ｌ、破線ｍの位置は、データ引き出し配線１２１と遮光膜１３４のいずれにも重畳していないから、表示パネル２の外側からこの位置にレーザを照射できる。

また、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｃを備える表示パネル、または第四実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｄを備える表示パネルによれば、一箇所の短冊状の導体を、これに隣接する他の短冊状の導体から電気的に切断するには、二箇所の第二の接続部分（短冊状の導体が帯状の導体に隣接するものであれば、一箇所の第一の接続部分と一箇所の第二の接続部分の計二箇所）をレーザによって切断すればよい。したがって修正の際にレーザを照射する回数を少なくすることができる。

データ引き出し配線１２１ａに短絡している短冊状の導体をこれに隣接する他の短冊状の導体（および帯状の導体に隣接する場合には、帯状の導体）から電気的に切り離すと、このデータ引き出し配線１２１ａと対向基板２１の共通電極との間の電気的な接続が無くなる。したがって、このデータ引き出し配線１２１ａは、データ信号線に所定のデータ信号を伝送できるようになり、表示欠陥が解消する。また、このデータ引き出し配線に重畳して設けられる複数の短冊状の導体のうち、周囲から電気的に切り離したものを除いては、これまでと同様に寄生容量として機能する。したがって、このデータ引き出し配線１２１ａが具備する寄生容量は、修正によって大きく変化することはなく、データ信号の伝送に与える影響を小さくすることができる。

データ引き出し配線１２１ａと短冊状の導体との短絡箇所が特定できない場合には、前記同様に、複数の短冊状の導体のうちの一つを周囲から電気的に切り離す作業と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかどうかを確認する作業とを繰り返す。

具体的にはたとえば次のとおりである。まず、表示欠陥が現れている絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線１２１ａに重畳する複数の短冊状の導体のうち、帯状の導体から最も遠いもの（換言すると、直列に接続される短冊状の導体のうち、帯状の導体に接続されるものからみて末端に位置するもの）を周囲から切断する。具体的には、接続部分をレーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体は、隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離される。

図１３に示す例においては、末端に位置する短冊状の導体１２６２ａは、第二の接続部分１２６４ａの破線ｉの位置の一箇所を切断すれば、隣接する他の短冊状の導体１２６２ｂ，１２６２ｅから電気的に切り離される。

そして再び点灯検査を行う。この点灯検査においても筋状の表示欠陥が現れる場合には、末端から二番目に位置する短冊状の導体を、これに隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す。図１３に示す例においては、末端から二番目に位置する短冊状の導体１２６２ｂに繋がる二本の第二の接続部分１２６４ａ，１２６４ｂのそれぞれ破線ｊ、破線ｋの位置を、レーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体１２６２ｂは、これに隣接する他の短冊状の導体１２６２ｃ，１２６２ｆ，１２６２ｈから電気的に切り離される。

そして再び点灯検査を行う。さらにこの点灯検査においても筋状の表示欠陥が観察される場合には、末端から三番目に位置する短冊状の導体を、隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す。図１３に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体１２６２ｃに繋がる二本の第二の接続部分１２６４ｂ，１２６４ｃのそれぞれ破線ｌと破線ｍの位置を、レーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体１２６２ｃは、これに隣接する他の短冊状の導体１２６２ｄ，１２６２ｇ，１２６２ｉから電気的に切り離される。

以下、このように表示欠陥が現れる絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線に重畳して設けられる短冊状の導体を隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す工程と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかを確認する工程とを繰り返す。なお、図１３に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体１２６２ｃを、隣接する他の短冊状の導体１２６２ｄ，１２６２ｇ，１２６２ｉから切り離すと、他に異常がなければ表示欠陥は解消する。

このように、第三実施形態または第四実施形態にかかる表示パネル用の基板を備える表示パネルも、第一実施形態または第二実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルと同様の方法で表示欠陥を修正でき、同様の作用効果を奏することができる。

次に、第五実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｅを備える表示パネルの修正方法と、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆを備える表示パネルの修正方法について説明する。なお、第五実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｅを備える表示パネルの修正方法と、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆを備える表示パネルの修正方法は、同じ方法が適用できることから、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板１ｆを備える表示パネルを例に示してまとめて説明する。

図１４は、特定のデータ引き出し配線１２１ａと特定の短冊状の導体１２６２ｃとが導電性の異物８０１によって短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。ここでは図１４に示すように、特定のデータ引き出し配線１２１ａとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体１２６２ｃとが短絡し、その結果表示パネル２に筋状の表示が現れる状態を例に説明する。

まず、第一実施形態または第二実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルの修正方法と同様に、表示パネルの点灯検査を行う。そして、データ引き出し配線とこれに重畳して設けられる導体層短冊状の導体との短絡に起因すると考えられる筋状の表示欠陥の発生が確認できた場合には、短絡箇所を特定する。

データ引き出し配線１２１ａと短絡している短冊状の導体１２６２ｃが特定できた場合には、この短冊状の導体１２６２ｃとこれに隣接する他の短冊状の導体１２６２ｂ，１２６２ｄとを電気的に接続する二箇所の第二の接続部分１２６４ｂ，１２６４ｃをレーザによって切断する。具体的には、破線ｐと破線ｒに示す位置のように、データ引き出し配線１２１ａと重畳しない位置を切断する。なお、二本の第二の接続部分１２６４ｂ，１２６４ｃのうち、帯状の導体１２６１側の第二の接続部分１２６４ｃのみを切断してもよい。切断方法は、第一実施形態または第二実施形態にかかる表示パネル用を備える表示パネルの修正方法と同じ方法が適用できる。

各短冊状の導体は直列的に電気的に接続されているのみであるから、短絡している短冊状の導体１２６２ｃの帯状の導体１２６１寄りの第二の接続部分（または第一の接続部分）を切断すれば、データ引き出し配線１２１ａと対向基板２１の共通電極との間の電気的な接続が無くなる。したがって、このデータ引き出し配線１２１ａは、データ信号線に所定のデータ信号を伝送できるようになり、表示欠陥が解消する。また、このような構成であると、修正時におけるレーザの照射回数を少なくすることができる。

データ引き出し配線と短冊状の導体との短絡箇所が特定できない場合には、前記同様に、複数の短冊状の導体のうちの一つを周囲から電気的に切り離す作業と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかどうかを確認する作業とを繰り返す。

たとえば次のとおりである。まず、表示欠陥が現れている絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線に重畳する複数の短冊状の導体のうち、帯状の導体から最も遠いもの（換言すると、直列に接続される短冊状の導体のうち、帯状の導体に接続されるものからみて末端に位置するもの）を周囲から電気的に切り離す。具体的には、この短冊状の導体とこれの帯状の導体寄りに隣接する短冊状の導体との接続部分を切断する。

図１４に示す例においては、この短冊状の導体１２６２ａに接続する第二の接続部分１２６４ａは一箇所しかないから、この一箇所を切断するだけで、帯状の導体１２６１から電気的に切り離される。

そして再び点灯検査を行う。この点灯検査においても筋状の表示欠陥が現れる場合には、末端から二番目に位置する短冊状の導体１２６２ｂに繋がる二本の第二の接続部分１２６４ａ，１２６４ｂのうち、帯状の導体１２６１寄りの第二の接続部分１２６４ｂを切断し、この短冊状の導体１２６２ｂをこれに接続される他の短冊状の導体１２６２ｃから電気的に切り離す。この一箇所を切断すると、この短冊状の導体１２６２ｂは対向基板２の対向電極との間の電気的な導通が無くなる。

そして再び点灯検査を行う。さらにこの点灯検査においても筋状の表示欠陥が観察される場合には、末端から三番目に位置する短冊状の導体１２６２ｃを、隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す。この場合も、この短冊状の導体の帯状の導体寄りにある第二の接続部分を切断すれば、この短冊状の導体１２６２ｃと対向基板の対向電極との間の電気的な導通が無くなる。

以下、このように表示欠陥が現れる絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線に重畳して設けられる短冊状の導体を隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す工程と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかを確認する工程とを繰り返す。なお、図１４に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体１２６２ｃを、隣接する他の短冊状の導体から切り離すと、他に異常がなければ表示欠陥は解消する。

このように、第五実施形態または第六実施形態にかかる表示パネル用の基板を備える表示パネルも、第一実施形態または第二実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルと同様の方法で表示欠陥を修正でき、同様の作用効果を奏することができる。

次に、第一実施形態から第三実施形態のいずれかにかかる表示パネル用の基板（以下、「本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板」と称する）を備える表示パネルの製造方法の全体的な流れについて説明する。

図１５は、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１の製造方法の各工程を模式的に示した断面図である。それぞれ、図１５（ａ）〜（ｆ）は、アクティブ領域内の絵素の形成工程を示し、図１５（ｇ）〜（ｌ）は、パネル額縁領域の引き出し配線の束などの形成工程を示す。また、図１５において（ａ）と（ｇ）、（ｂ）と（ｈ）、（ｃ）と（ｉ）、（ｄ）と（ｊ）、（ｅ）と（ｋ）、（ｆ）と（ｌ）は、それぞれ同じ工程を示す。なお、この図１５は説明のための模式的なものであり、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板の特定の切断線に沿った断面構造を示したものではない。

本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板１は、ガラスなどの透明基板１３の片側表面に、所定の形状の導体膜、半導体膜、絶縁膜などが所定の順序で積層するように形成される。

まず、図１５（ａ）に示すように、アクティブ領域１１内に、走査信号線１１２、補助容量線（図示せず）およびスイッチング素子（すなわち薄膜トランジスタ）のゲート電極１５１を形成する。この工程において併せて図１５（ｇ）に示すように、パネル額縁領域１２に、データ引き出し配線１２１を形成する。

具体的には、透明基板１３の表面に、クロム、タングステン、モリブデン、アルミニウムなどからなる単層または多層の第一の導体膜を形成する。この第一の導体膜の形成には、公知の各種スパッタリング法などが適用できる。また、この第一の導体膜の厚さは特に限定されるものではないが、たとえば１００ｎｍ程度の膜厚が適用できる。

そして形成した第一の導体膜を、走査信号線１１２、補助容量線（図示せず）、スイッチング素子のゲート電極１５１、データ引き出し配線１２１のそれぞれのパターンにパターニングする。この第一の導体膜のパターニングには、ウェットエッチングが適用できる。たとえば第一の導体膜がクロムからなる場合には、（ＮＨ_４）_２［Ｃｅ（ＮＨ_３）_６］＋ＨＮＯ_３＋Ｈ_２Ｏ液を用いたウェットエッチングが適用できる。

これにより、図１５（ａ）に示すように、アクティブ領域１１内には、それぞれ所定のパターンの走査信号線１１２、補助容量線（図示せず）、スイッチング素子のゲート電極１５１が形成される。一方図１５（ｇ）に示すように、パネル額縁領域１２には、データ引き出し配線１２１が形成される。データ引き出し配線１２１の形状は、第一実施形態から第六実施形態にかかる表示パネル用基板のいずれにおいても同じ形状が適用できる。

次いで図１５（ｂ），（ｈ）に示すように、前記工程を経た透明基板の表面に、第一の絶縁膜１３２（すなわちゲート絶縁膜）を形成する。第一の絶縁膜１３２には厚さ３００ｎｍ程度のＳｉＮｘ（窒化シリコン）などが適用できる。そして、プラズマＣＶＤ法を用いて第一の絶縁膜１３２の材料を堆積させる方法により形成できる。第一の絶縁膜１３２が形成されると、図１５（ｂ）に示すように、アクティブ領域１１内においては走査信号線１１２、補助容量線（図示せず）、スイッチング素子のゲート電極１５１が第一の絶縁膜１３２により覆われる。一方、図１５（ｈ）に示すように、パネル額縁領域１２においては、データ引き出し配線１２１が第一の絶縁膜１３２に覆われる。

次いで図１５（ｃ）に示すように、第一の絶縁膜１３２の表面の所定の箇所（具体的にはゲート電極１５１に重畳する箇所）に、半導体膜１５５とオーミックコンタクト膜１５６とを重ねて形成する。半導体膜１５５には厚さ１００ｎｍ程度のアモルファスシリコンなどが適用できる。オーミックコンタクト膜１５６には厚さ２０ｎｍ程度のｎ^＋型のアモルファスシリコンなどが適用できる。このオーミックコンタクト膜１５６は、後の工程で形成するソース電極１５２やドレイン電極１５３とのオーミックコンタクトを良好にするためのものである。

これらの半導体膜１５５およびオーミックコンタクト膜１５６は、それぞれプラズマＣＶＤ法とフォトリソグラフィ法により形成できる。すなわちまずプラズマＣＶＤ方を用いて膜の材料を堆積させる。そして形成した半導体膜の材料とオーミックコンタクト膜の材料とを、フォトリソグラフィ法などを用いて所定の形状にパターニングする。このパターニングには、たとえばＨＦ＋ＨＮＯ_３溶液を用いたウェットエッチングが適用できる。

次いで図１５（ｄ）に示すように、アクティブ領域１１内に、データ信号線１１１、ドレイン配線１５４、スイッチング素子のソース電極１５２およびドレイン電極１５３を形成する。そして図１５（ｊ）に示すように、パネル額縁領域１２には、この工程において併せて遮光膜１３４を形成する。

具体的にはまず、前記までの工程を経た透明基板の表面に、第二の導体膜を形成する。この第二の導体膜は、チタン、アルミニウム、クロム、モリブデンなどからなる単層または多層の導体膜が適用できる。また、第二の導体膜の形成方法としては、プラズマＣＶＤ法などが適用できる。

そして形成した第二の導体膜をパターニングする。これにより、アクティブ領域内には、それぞれ第二の導体膜からなる所定の形状のデータ信号線１１１、スイッチング素子のソース電極１５２とドレイン電極１５３、ドレイン配線１５４が形成される。一方、パネル額縁領域１２には、第二の導体膜からなる遮光膜１３４が形成される。この第二の導体のパターニングにおいては、併せてスイッチング素子のゲート電極１５１に重畳するように形成した半導体膜１５５とオーミックコンタクト膜１５６とを所定の深さだけエッチングする。

この遮光膜１３４は、第二実施形態、第四実施形態、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板のそれぞれで形状が異なるが、材料や成形方法は同じである。

以上の工程を経ると、図１５（ｄ）に示すようにアクティブ領域１１内には、スイッチング素子（ゲート電極１５１、ソース電極１５２およびドレイン電極１５３）、走査信号線１１２、補助容量線（図示せず）、ドレイン配線１５４およびデータ信号線１１１が形成される。そしてパネル額縁領域１２には、図１５（ｊ）に示すように、データ引き出し配線１２１、第一の絶縁膜１３２、遮光膜１３４が形成される。

次に、図１５（ｅ），（ｋ）のそれぞれに示すように、第二の絶縁膜１３３（すなわちパッシベーション膜）を形成する。前記工程を経た透明基板１３の表面に第二の絶縁膜を形成し、形成した第二の絶縁膜をパターニングする。これにより所定の形状の第二の絶縁膜１３３が得られる。この第二の絶縁膜１３３には、４００ｎｍ程度の厚さの窒化シリコン（ＳｉＮｘ）が適用できる。第二の絶縁膜１３３の形成方法としては、プラズマＣＶＤ法が適用でき、パターニング方法としては、たとえばたとえばＳＦ_６＋Ｏ_２を用いたドライエッチングが適用できる。

この工程のパターニングでは、先の工程で形成した第一の絶縁膜１３２も同時に所定のパターンにパターニングする。そしてこの工程のパターニングによって、アクティブ領域１１内においては図１５（ｅ）に示すように、ドレイン配線１５４と絵素電極（図１５（ｆ）参照）とを電気的に接続する絵素コンタクト部を形成する。また、図示しないが、パネル額縁領域１２のコンタクト部においては、データ引き出し配線１２１を覆う第一の絶縁膜１３２とデータ信号線１１１を覆う第二の絶縁膜１３３とに開口部を形成する。そしてデータ引き出し配線１２１の端部とデータ信号線１１１の端部とを露出させる。

次に、図１５（ｆ）に示すように、アクティブ領域１１内に絵素電極１１３を形成する。そしてこの工程と併せて、図１５（ｌ）に示すように、パネル額縁領域１２に各データ引き出し配線１２１に寄生容量を具備させるための導体層１２６を形成する。また、図示しないが、パネル額縁領域１２のコンタクト部において、露出するデータ引き出し配線１２１の端部とデータ信号線１１１の端部とを電気的に接続する導体層を形成する。これにより、所定のデータ引き出し配線１２１と所定のデータ信号線１１１とが電気的に接続される。

アクティブ領域１１内の絵素電極１１３と、パネル額縁領域１２の各データ引き出し配線１２１に寄生容量を具備させるための導体層１２６と、データ引き出し配線１２１の端部とデータ信号線１１１の端部とを電気的に接続する導体層とは、同じ導体により形成される。たとえば１５０ｎｍ程度の厚さのＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウム酸化スズ）が適用できる。

具体的にはまず、前記までの工程を経た透明基板１３の表面に、絵素電極１１３、各データ引き出し配線１２１に寄生容量を具備させるための導体層１２６、およびデータ引き出し配線１２１の端部とデータ信号線１１１の端部とを電気的に接続する導体層の材料となる第三の導体膜を形成する。この第三の導体膜の形成方法には、プラズマＣＶＤ法が適用できる。そして形成した第三の導体膜を、絵素電極１１３、各データ引き出し配線１２１に寄生容量を具備させるための導体層１２６、およびデータ引き出し配線１２１の端部とデータ信号線１１１の端部とを電気的に接続する導体層のパターンにパターニングする。この第三の導体膜のパターニングには、ＨＣｌ＋ＨＮＯ_３＋Ｈ_２Ｏ溶液を用いたウェットエッチングが適用できる。

このパターニングによって、図１５（ｆ）に示すように、アクティブ領域１１内に所定の形状の絵素電極１１３が形成される。各絵素電極１１３は、第二の絶縁膜１３３に形成した絵素コンタクト部においてドレイン配線１５４と電気的に接続する。

一方、パネル額縁領域１２においては図１５（ｌ）に示すように、各データ引き出し配線１２１に重畳するように導体層１２６が形成される。この導体層１２６の形状は、実施形態ごとに異なる場合があるが、材料および形成方法は同じである。

以上のような工程を経て、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１を得る。

このような構成によれば、各データ引き出し配線とこれらに重畳して設けられる導体層との間に容量が発生する。換言すると、各データ引き出し配線は、これらに重畳して設けられる導体層によって寄生容量を具備する。

次に、本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板を適用した表示パネルの構成と、製造方法について説明する。

図１６は、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１を適用した表示パネル２の構成を、模式的に示した斜視図である。図１６に示すように、本表示パネル２は、ＴＦＴアレイ基板（すなわち本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１）と、カラーフィルタ（すなわち対向基板２１）とを備える。そしてこれらの間に液晶が充填される。本表示パネルの構成には、一般的な液晶表示パネルの構成が適用できるから、詳細な説明は省略する。

本表示パネルの製造方法は、ＴＦＴアレイ基板製造工程と、カラーフィルタ製造工程と、パネル（セル）製造工程と、を含む。なお、ＴＦＴアレイ基板製造工程は、前記のとおりである。

カラーフィルタの構成と製造方法は次のとおりである。図１７は、対向基板（カラーフィルタ）２１の構成を模式的に示した図であり、具体的には図１７（ａ）は対向基板（カラーフィルタ）２１の全体構造を模式的に示した斜視図、図１７（ｂ）は対向基板（カラーフィルタ）２１に形成される一絵素の構成を抜き出して示した平面図、図１７（ｃ）は図１７（ｂ）のＢ−Ｂ線断面図であって、絵素の断面構造を示した図である。

この図１７に示すように対向基板（カラーフィルタ）２１は、ガラスなどからなる透明基板２１７の表面にブラックマトリックス２１１が形成され、ブラックマトリックス２１１の各格子の内側には、赤色、緑色、青色のそれぞれの色の着色感材からなる着色層２１２が形成される。そしてこれら各色の着色層２１２が形成される格子が、所定の順序で配列される。ブラックマトリックス２１１および各色の着色層２１２の表面には保護膜２１３が形成され、保護膜２１３の表面には透明電極（共通電極）２１４が形成される。透明電極（共通電極）２１４の表面には、液晶の配向を制御する配向規制構造物２１５が形成される。

カラーフィルタ製造工程には、ブラックマトリックス形成工程と、着色層形成工程と、保護膜形成工程と、透明電極（共通電極）形成工程とが含まれる。

ブラックマトリックス形成工程の内容は、たとえば樹脂ＢＭ法であれば次のとおりである。まず、透明基板２１７の表面にＢＭレジスト（黒色着色剤を含有する感光性樹脂組成物をいう）などを塗布する。次いで塗布したＢＭレジストをフォトリソグラフィ法などを用いて所定のパターンに形成する。これにより、所定のパターンのブラックマトリックスを得る。なお、ブラックマトリックス形成工程において、ＢＭレジストにより同時に遮光層を形成する場合がある。遮光層は、不要な光が透過することを防止する要素であり、対向基板（カラーフィルタ）２１のパネル額縁領域に設けられる。

着色層形成工程では、カラー表示用の赤色、緑色、青色の各色の着色層２１２を形成する。たとえば着色感材法であれば次のとおりである。まず、ブラックマトリックス２１１を形成した透明基板２１７の表面に、着色感材（感光性材料に所定の色の顔料を分散した溶液をいう）を塗布する。次いで、塗布した着色感材を、フォトリソグラフィ法などを用いて所定のパターンに形成する。そしてこの工程を、赤色、緑色、青色の各色について行う。これにより各色の着色層２１２を得る。

ブラックマトリックス形成工程で用いる方法は、樹脂ＢＭ法に限定されるものではなく、たとえばクロムＢＭ法、重ね合わせ法などの公知の各種方法が適用できる。着色層形成工程で用いる方法も、着色感材法に限定されるものではなく、たとえば印刷法、染色法、電着法、転写法、エッチング法など、公知の各種方法が適用できる。また、先に着色層２１２を形成し、その後にブラックマトリックス２１１を形成する背面露光法を用いてもよい。

保護膜形成工程では、ブラックマトリックス２１１および着色層２１２の表面に、保護膜２１３を形成する。たとえば、スピンコータを用いて前記工程を経た透明基板２１７の表面に保護膜材料を塗布する方法（全面塗布法）や、印刷またはフォトリソグラフィ法などを用いて所定のパターンの保護膜を形成する方法（パターニング法）などが適用できる。保護膜材料には、たとえばアクリル樹脂やエポキシ樹脂などが適用できる。

透明電極（共通電極）膜形成工程においては、保護膜２１３の表面に透明電極（共通電極）２１４を形成する。たとえばマスキング法であれば、前記工程を経た透明基板２１７の表面にマスクを配置し、スパッタリングなどによってＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などを蒸着させて透明電極（共通電極）を形成する。

次いで配向規制構造物２１５を形成する。この配向規制構造物２１５は、たとえばフォトリソグラフィ法などを用いて形成される。前記工程を経た透明基板２１７の表面に感光性材料を塗布し、フォトマスクを通じて所定のパターンに露光する。そしてその後の現像工程において不要な部分を除去し、所定のパターンの配向規制構造物２１５を得る。

このような工程を経て、対向基板（カラーフィルタ）２１を得る。

次いで、パネル（セル）製造工程について説明する。まず、前記工程を経て得たＴＦＴアレイ基板（すなわち本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１）と対向基板（カラーフィルタ）２１のそれぞれの表面に、配向膜を形成する。そして形成した配向膜に配向処理を施す。その後、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１とを貼り合わせるとともに、これらの間に液晶を充填する。

本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１のそれぞれの表面に配向膜を形成する方法は次のとおりである。まず配向材塗布装置などを用いて、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１のそれぞれの表面に配向材を塗布する。配向材とは、配向膜の原料となる物質を含む溶液をいう。配向材塗布装置には、たとえば円圧式印刷装置やインクジェット印刷装置など、従来一般の方法が適用できる。そして塗布した配向材を配向膜焼成装置などを用いて加熱し、焼成する。

その後、焼成した配向膜に配向処理を施す。この配向処理としては、ラビングロールなどを用いて配向膜の表面に微小な傷をつける方法や、配向膜の表面に紫外線などの光エネルギを照射して配向膜の表面性状を調整する光配向処理など、公知の各種処理方法が適用できる。

その後、シールパターニング装置などを用いて、本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１の一方の表面に、シール材を塗布する。シール材を塗布する位置には、各データ引き出し配線に寄生容量を具備させるための帯状の導体が露出している。

そしてスペーサ散布装置などを用いて、セルギャップを所定の値に均一に保つためのスペーサを、本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１の一方の表面に散布する。そして、液晶滴下装置などを用いて、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１の一方の表面のシール材に囲まれる領域に液晶を滴下する。

その後、減圧雰囲気下で本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１とを貼り合わせる。この際に、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１に塗布したシール材が、対向基板（カラーフィルタ）２１に設けられる共通電極に接触する。

シール材は、前記のように導電性を有する微粒子（たとえば金ビーズ）が混合される。したがって、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１とが貼り合わされると、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１に設けられる導体層１２６と、対向基板（カラーフィルタ）２１に設けられる共通電極とが電気的に導通する。したがって、各データ引き出し配線１２１に寄生容量を具備させるための導体層１２６と対向電極とが、同電位またはほぼ同電位となる。

なお、シール材を固化させた後に、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板１と対向基板（カラーフィルタ）２１の間に液晶を注入する方法であってもよい。

このような工程を経て、本発明にかかる表示パネルが得られる。その後、得られた表示パネルの点灯検査を行う。そして、点灯検査において筋状の表示欠陥の発生が確認され、かつこの表示欠陥がデータ引き出し配線と導体層との間の短絡に起因すると考えられる場合には、修正を行う。修正方法は前記のとおりである。

以上、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明したが、本発明は前記各実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の改変が可能であることはいうまでもない。

前記のとおり、一つの配線の束に含まれるデータ引き出し配線の数は限定されるものではない。一つの配線の束に含まれるデータ引き出し配線の数は、表示パネルの解像度や、アクティブ領域外に設けられる配線の束の数に応じて適宜設定される。

また、本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板やカラーフィルタの構成や製造方法は一例であり、前記構成または製造方法に限定されるものではない。

Claims (8)

1. データ信号線に電気的に接続するとともにつづら折り状に形成される部分を有する引き出し配線と、該引き出し配線に絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体と、該短冊状の導体どうしを電気的に接続するとともに前記引き出し配線と重畳しない部分を有する接続部分と、
   を備え、
   前記短冊状の導体は前記引き出し配線のつづら折り状に形成される部分に前記絶縁膜を介して重畳するとともに、前記接続部分は前記つづら折り状の部分において前記引き出し配線と交差する部分を有することを特徴とする表示パネル用の基板。
2. 各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体が、前記接続部分によって直列状に電気的に接続されるとともに、ある引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のそれぞれと、前記ある引き出し配線に隣接する他の引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のそれぞれうちの隣接するものどうしが前記接続部分によって電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の表示パネル用の基板。
3. 一本の前記引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体が、前記接続部分によって直列状に電気的に接続されるとともに、ある引き出し配線に重畳する短冊状の導体どうしを接続する接続部分と、前記ある引き出し配線に隣接する他の引き出し配線に重畳する短冊状の導体どうしを電気的に接続する接続部分とがさらに電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の表示パネル用の基板。
4. 各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の前記短冊状の導体が、前記接続部分によって直列状に電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の表示パネル用の基板。
5. 前記短冊状の導体および前記短冊状の導体どうしを電気的に接続する接続部分は、絵素電極と同じ材料により形成されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の表示パネル用の基板。
6. 遮光性の材料からなり前記引き出し配線の間に設けられる遮光膜をさらに備えるとともに、前記接続部分は前記引き出し配線と前記遮光膜のいずれにも重畳しない部分を有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の表示パネル用の基板。
7. 請求項１から請求項６のいずれかに記載の表示パネル用の基板と、該表示パネル用の基板に対向して配設される対向基板と、を備えることを特徴とする表示パネル。
8. 前記表示パネル用の基板に設けられる短冊状の導体は、前記対向基板に設けられる共通電位線に、導電性を有するシール材によって電気的に接続されることを特徴とする請求項７に記載の表示パネル。

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