JP2005115129A - 液晶表示装置及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ドライバＬＳＩ搭載後の点灯検査にて表示不良が発生した場合に、表示不良の原因究明を容易に行えるようにした液晶表示装置を得る。
【解決手段】 電極基板１の周縁部に配置されたソース電極端子４ｂに結合された出力バンプを有するドライバＬＳＩ３により表示部が駆動され、ソース配線４に交差するようにゲート絶縁膜を介して配置されたクロス配線５が設けられ、このクロス配線５に接続されたＦＰＣ及び回路基板には測定パッドが設けられて、表示不良の原因を特定するに際して、クロス配線５とソース配線４の交差部をレーザ照射することによりクロス配線５とソース配線４を接続すると共に、ＦＰＣまたは回路基板の測定パッドに測定機器に接続されたプローブを接触させ、ソース配線４上を流れるドライバＬＳＩ３からの出力波形及び出力電圧を測定して、表示不良の原因究明を容易に行うようにした。
【選択図】図１

Description

この発明は、液晶層を介して重ね合わされた二枚の絶縁性基板のうちの一方の絶縁性基板の周縁部上に駆動用ＩＣを搭載するＣＯＧ工法を用いた液晶表示装置及びその検査方法に関するものである。

高度情報化社会の発展に伴い、液晶表示装置の分野は目覚しく進歩している。この液晶表示装置をさらに普及させるためには、生産性の向上による低価格化が重要な課題となってくる。従来の液晶表示装置においては、画素内のスイッチング素子を駆動させるためのドライバＬＳＩは、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）の形で供給され、液晶を介して重ね合わされた二枚の絶縁性基板のうち、一方の絶縁性基板表面の周縁部上に設けられた電極端子上にＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）を用いて接続されていた。なお、ＴＣＰとは、ポリイミドフィルムに銅箔を貼り付けた後、フォトリソグラフィー技術を用いて回路を形成し、その回路上にＳｎをめっきしたフレキシブル基板に、Ａｕバンプを有するドライバＬＳＩをＡｕ／Ｓｎ共晶合金で接続、搭載されたものである。また、ＡＣＦとは、エポキシなどの絶縁性樹脂中にＮｉ／Ａｕめっきで覆われたプラスチック粒子や、Ｎｉ粒子などが分散したフィルムである。

この工法では、ＴＣＰを基板周縁部上に接続した後の点灯検査にて線欠陥等の表示不良が見られた場合、ＴＣＰ出力端子列の先端部の銅箔が露出した部分にオシロスコープに接続された針を接続させ、ドライバＬＳＩからの出力波形を測定することにより、表示不良の原因がドライバＬＳＩ側にあるのか、あるいは基板上に形成された配線またはスイッチング素子部にあるのかを容易に判断することができた。
また、測定されたドライバＬＳＩの波形を解析することにより、ドライバＬＳＩの不良原因も解明され、ドライバＬＳＩの良品率を向上させ、安価な液晶表示素子を提供することも可能になっていた。

一方、近年、液晶表示素子のより安価な製造方法としてＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）工法の採用が進んでいる。一般的な液晶表示装置の電極端子部においてＣＯＧ工法を用いてドライバＬＳＩ及び外部回路を接続する方法を説明する。まず、電極基板表面の周縁部上に形成された電極端子上にＡＣＦを貼り付ける。次にドライバＬＳＩの裏面に形成されたＡｕよりなる複数のバンプ電極と電極端子とを精度良くアライメントした後、加熱加圧ツールを用いて熱圧着する。このときの条件は、加熱温度が摂氏１７０〜２００度、時間１０〜２０秒、圧力３０〜１００Ｐａである。すると、ドライバＬＳＩのバンプ電極と電極端子間に挟まったＡＣＦの導電粒子により上下方向のみ導通する。なお、水平方向は、導電粒子の周囲に絶縁性のエポキシ樹脂が存在するために絶縁が保たれる。その結果、電極端子上にドライバＬＳＩが直接搭載される。さらに、外部回路基板からの駆動信号、電源をドライバＬＳＩへ伝えるためのＦＰＣ（フレキシブル配線基板）と電極端子との接続も同様に行う。

特開２００３−１６７２６５号公報（第４〜７頁、図１）

従来のＣＯＧ工法を用いた液晶表示装置において、ドライバＬＳＩ搭載後の点灯検査にて線欠陥の表示不良が発生した場合の解決手段は、特許文献１にて開示されている。この特許文献１では、電極基板表面の周縁部にソース線列とゲート絶縁膜を介して交差するクロス配線を配置し、ドライバＬＳＩ搭載後の点灯検査にて線欠陥の表示不良が発生した場合に、ソース配線とクロス配線の交差部分に基板裏側よりＹＡＧレーザを照射してソース配線とクロス配線を接続させ、クロス配線電極にオシロスコープに接続されたプローブ及び針を当て、ドライバＬＳＩの出力波形を測定することにより、表示不良の原因究明を行っていた。
しかし、特許文献１の方法では、クロス配線電極がガラス基板上にあるため、プローブ及び針が確実に接触しにくく、場合によってはガラスを割ってしまうことがあるという問題があった。

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたものであり、ドライバＬＳＩ搭載後の点灯検査にて表示不良が発生した場合に、表示不良の原因究明を容易に行えるようにした液晶表示装置を得ることを第１の目的にしている。
また、ドライバＬＳＩ搭載後の点灯検査にて表示不良が発生した場合に、表示不良の原因究明を容易に行えるようにした液晶表示装置の検査方法を得ることを第２の目的にしている。

この発明に係わる液晶表示装置においては、電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を有する液晶表示装置において、電極基板の周縁部に配置された出力配線電極端子をそれぞれ有し、表示部に駆動信号を供給する複数の出力配線、この複数の出力配線に絶縁膜を介して交差するように配置されると共にクロス配線電極を有するクロス配線、出力配線電極端子にそれぞれ結合された複数の出力バンプを有し、出力配線に駆動信号を出力する駆動用ＩＣ、及びクロス配線のクロス配線電極に接続されたモニタ配線及びこのモニタ配線に接続された測定パッドを有するフレキシブル配線基板を備えたものである。
また、この発明に係わる液晶表示装置の検査方法においては、複数の出力配線が設けられた電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を、電極基板の周縁部に配置された出力配線の出力配線電極端子に接合された駆動用ＩＣにより駆動する液晶表示装置の表示不良が発生したときの原因を特定する液晶表示装置の検査方法において、表示不良の発生に関連する出力配線のアドレスを特定する工程、複数の出力配線に交差するように配置されたクロス配線と特定されたアドレスの出力配線とが交差する交差部に電極基板の裏面側よりレーザを照射し、特定されたアドレスの出力配線とクロス配線を接続させる工程、及びクロス配線に接続されたフレキシブル配線基板に設けられた測定パッドまたはこのフレキシブル配線基板に接続された回路基板に設けられた測定パッドに、測定機器に接続されたプローブを接触させ、特定されたアドレスの出力配線上を流れる駆動ＩＣからの出力波形および出力電圧を測定する工程を含むものである。

この発明は、以上説明したように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。
電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を有する液晶表示装置において、電極基板の周縁部に配置された出力配線電極端子をそれぞれ有し、表示部に駆動信号を供給する複数の出力配線、この複数の出力配線に絶縁膜を介して交差するように配置されると共にクロス配線電極を有するクロス配線、出力配線電極端子にそれぞれ結合された複数の出力バンプを有し、出力配線に駆動信号を出力する駆動用ＩＣ、及びクロス配線のクロス配線電極に接続されたモニタ配線及びこのモニタ配線に接続された測定パッドを有するフレキシブル配線基板を備えたので、フレキシブル配線基板の測定パッドに測定機器に接続されたプローブを接触させ、出力配線上を流れる駆動ＩＣからの出力波形及び出力電圧を測定することができ、電極基板を傷つけることなく、表示不良の原因究明を容易に行うことができる。
また、複数の出力配線が設けられた電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を、電極基板の周縁部に配置された出力配線の出力配線電極端子に接合された駆動用ＩＣにより駆動する液晶表示装置の表示不良が発生したときの原因を特定する液晶表示装置の検査方法において、表示不良の発生に関連する出力配線のアドレスを特定する工程、複数の出力配線に交差するように配置されたクロス配線と特定されたアドレスの出力配線とが交差する交差部に電極基板の裏面側よりレーザを照射し、特定されたアドレスの出力配線とクロス配線を接続させる工程、及びクロス配線に接続されたフレキシブル配線基板に設けられた測定パッドまたはこのフレキシブル配線基板に接続された回路基板に設けられた測定パッドに、測定機器に接続されたプローブを接触させ、特定されたアドレスの出力配線上を流れる駆動ＩＣからの出力波形および出力電圧を測定する工程を含むので、フレキシブル配線基板の測定パッドまたは回路基板の測定パッドに測定機器に接続されたプローブを接触させ、出力配線上を流れる駆動ＩＣからの出力波形及び出力電圧を測定することができ、電極基板を傷つけることなく、表示不良の原因究明を容易に行うことができる。

実施の形態１．
以下に、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置の電極端子部を示す平面図である。
図１において、電極基板１と、端部２ａを有する対向基板２とが、液晶層を挟んで対向配置されている。電極基板１の周縁部にはドライバＬＳＩ３（駆動用ＩＣ）が搭載される。この電極基板１の周縁部にはソース配線４（出力配線）を含むソース配線列４ａが配置され、それぞれソース電極端子４ｂ（出力配線電極端子）を有してソース電極端子ブロック４ｃを形成している。ソース電極端子４ｂにはゲート絶縁膜を介して交差するようにクロス配線５が配置され、クロス配線５の両側の先端部にはクロス配線電極５ｂ、５ｃが設けられている。電極基板１の最端部にはドライバＬＳＩ３の入力用配線８が形成され、その一方の端部にはドライバＬＳＩ３の入力バンプと接続されるＬＳＩ用電極８ａが設けられ、他方の端部にはＦＰＣ（フレキシブル配線基板）と接続されるＦＰＣ用電極８ｂが設けられている。

図２は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置の電極端子部を示す部分断面図であり、図１中Ａ−Ａで切断した部分断面図である。
図２において、１〜５、２ａ、４ｂ、８、８ａ、８ｂは、図１におけるものと同一のものである。ドライバＬＳＩ３には、ＬＳＩ用電極８ａと接続される入力バンプ３ａ、及びソース電極端子４ｂと接続される出力バンプ３ｂが設けられている。ソース配線４とクロス配線５は、ゲート絶縁膜６を介して交差し、ソース配線４上にはパッシベーション膜７が配置される。ＦＰＣ９は、ＦＰＣ用電極８ｂに接続される銅箔９ｂを有している。

実施の形態１では、半導体層としてアモルファスシリコン（以下ａ−Ｓｉという）を用いた逆スタガ型構造のトランジスタを採用し、電極基板の周縁部上にＣＯＧ工法を用いてドライバＬＳＩを搭載した液晶表示装置について説明する。まず、液晶表示装置の構造について簡単に説明する。
液晶表示装置は、相対向する二枚の絶縁性基板である電極基板１と対向基板２の間に液晶層を挟んで複数の液晶表示素子を形成した表示部を備えている。電極基板の表示部には、複数本のゲート配線及びソース配線４、それらの交差部付近に配置されたスイッチング素子である薄膜トランジスタ、この薄膜トランジスタに接続された画素電極等がマトリックス状に配置されている。また、対向基板の表示部には、透明導電膜よりなる対向電極、カラー表示用の着色フィルタ層及び各画素間に配置されたブラックマトリックス等が形成されている。電極基板と対向電極は、液晶層及びスペーサを介して重ね合わされたシール材により接続されている。

次に、図１、図２を参照して、その構成をさらに詳しく説明する。
電極基板１の表示部外周に位置する周縁部上には電極端子部が形成され、液晶表示素子を駆動する駆動用ＩＣであるドライバＬＳＩ３が搭載されている。
次に、ソース側電極端子部について説明する。
電極基板１の周縁部上には、表示部の複数の各液晶表示素子に接続された複数の出力配線であるソース配線４を含むソース配線列４ａが配置されている。ソース配線４の先端部には、ドライバＬＳＩ３の出力バンプ３ｂが接合されるソース電極端子４ｂが設けられている。このため、ドライバＬＳＩ３の複数の出力バンプ３ｂと同じ数のソース電極端子４ｂが近接して配置され、ソース電極ブロック４ｃを構成している。さらに、ドライバＬＳＩ３のＬＳＩ用電極８ａ列とソース電極端子４ｂ列の間には、１本のクロス配線５が配置されている。

クロス配線５は、ソース配線４とは異なる金属層で形成されており、実施の形態１では、ゲート配線と同じ金属層で形成されている。このため、クロス配線５は、ソース配線列４ｂとゲート絶縁膜６を介して交差している。また、クロス配線５には、その両側の先端部にＦＰＣ接続可能なクロス配線電極５ｂ、５ｃが設けられている。そのクロス配線電極５ｂ、５ｃは、ゲート絶縁膜６及びパッシベーション膜７に覆われておらず、それらの絶縁膜から露出している。
さらに、電極基板１の周縁部上の最端部には、ソース配線列４ａと同じ金属層で形成されたドライバＬＳＩ３の入力用配線８が配置される。入力用配線８の一方の端部にはドライバＬＳＩ３の複数の入力バンプ３ａと接続するためのＬＳＩ用電極８ａが、他方の端部には外部回路基板よりドライバＬＳＩ３に駆動信号、電源を供給するためのＦＰＣ（フレキシブル配線基板）９と接続されるＦＰＣ用電極８ｂが形成されている。

図３は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置のドライバＬＳＩ搭載方法を説明する部分断面図である。
図３において、１〜９ｂは図２におけるものと同一のものである。ＡＣＦ１０は、導電粒子１０ａとエポキシ樹脂１０ｂにより構成され、電極端子上に貼り付けられる。絶縁性樹脂１１は、ドライバＬＳＩ３とＦＰＣ９間の配線部の腐食を防ぐように設けられる。
図４は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置のＦＰＣ及び回路基板を示す平面図である。
図４において、ＦＰＣ９にはクロス配線電極に接続されるモニタ配線９ｄと測定用パッド９ｅが設けられ、このＦＰＣ９に接続される回路基板１９には、モニタ配線９ｄに接続される回路配線１９ａ、測定用パッド１９ｂ及びインターフェイスコネクタ１９ｃが設けられている。

図５は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置の組立方法を示す立体図である。
図５において、ドライバＬＳＩ搭載済み液晶パネル２０を挟み、フロントフレーム２１とバックライト２２が配置され、ドライバＬＳＩ搭載済み液晶パネル２０と回路基板１９とをＦＰＣ９により接続している。
図６は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置において表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分断面図である。
図６において、ソース配線４とクロス配線５との交差部１２には、レーザ１３が照射される。

図７は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置において表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分平面図である。
図７において、ソース配線４とクロス配線５との交差部１２にはアドレス番号１５が付けられている。
図８は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置において複数の表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分平面図である。
図８において、短絡部１４ａ、１４ｂを形成するソース配線４００、４０１、４０２、４０３及びソース電極端子４００ｂ、４０１ｂ、４０２ｂ、４０３ｂが示されている。

次に、実施の形態１における液晶表示装置の製造方法のうち、特に電極基板の製造方法について説明する。
まず、ガラス（例えば商品名ＡＮ６３５）等の透明絶縁性基板上にスパッタリングにてＣｒ、Ａｌ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｍｏ等の金属膜を成膜し、写真製版によりパターニングし、クロス配線５及びクロス配線電極５ｂ、５ｃ、表示部のゲート電極及びゲート端子電極、外部入力信号を取り込む電極端子等を同時に形成する。次に、プラズマＣＶＤを用いて例えばＳｉＮを成膜し、ゲート絶縁膜を形成する。続いて、ゲート電極及びゲート絶縁膜上にチャネル層となるａ−Ｓｉ及びコンタクト層となるＮ＋型のａ−Ｓｉを連続して成膜後、パターニングして表示部の各液晶表示素子を駆動するための薄膜トランジスタを形成する。

さらに、スパッタリングにて、Ｃｒ、Ａｌ、Ｍｏ等の金属膜を成膜後、パターニングして表示部のドレイン電極、ソース配線４及びソース電極端子４ｂ、電極端子部のソース配線列４ａ及び外部入力信号を取り込む入力用配線８等を同時に形成する。続いて、スパッタリングにて、ＩＴＯを成膜後、パターニングして画素電極を形成する。同時に電極端子部のゲート電極、ソース電極端子４ｂ及び入力用配線８のＬＳＩ用電極８ａ、ＦＰＣ用電極８ｂ部分にもＩＴＯを形成し、Ｃｒ、Ａｌ等の配線材料で形成された電極端子が露出することにより、酸化膜が形成されＡＣＦ１０との導通不良が発生することを防ぐ。
最後に、液晶層にＤＣ成分が入るのを防ぐために、プラズマＣＶＤにてＳｉＮ等を成膜してパッシベーション膜７を形成する。その後、ゲート電極、ソース電極端子４ｂ及び入力用配線８のＬＳＩ電極８ａ、ＦＰＣ用電極８ｂ部分のパッシベーション膜７を除去し、ＩＴＯを露出させる。これにより、実施の形態１における電極基板１が完成する。
なお、対向基板２の製造方法や、電極基板１と対向基板２を重ね合わせて接着し、液晶を注入する組立工程等については、ここでは説明を省略する。

次に、ドライバＬＳＩ３の搭載方法について図３を用いて説明する。
まず、電極基板１表面の周縁部上に形成された電極端子上にＡＣＦ１０を貼り付けする。次に、ドライバＬＳＩ３の裏面に形成されたＡｕよりなる複数のバンプ電極と電極基板１の電極端子とを精度良くアライメントした後、加熱加圧ツールを用いて熱圧着する。このときの条件は、加熱温度１７０〜２００℃、時間１０〜２０秒、圧力３０〜１００Ｐａである。この結果、ドライバＬＳＩ３のバンプ電極と電極基板１の電極端子間に挟まったＡＣＦ１０の導電粒子１０ａにより上下方向のみ導通する。すなわち入力バンプ３ａとＬＳＩ用電極８ａ、及び出力バンプ３ｂとソース電極端子４ｂが電気的に接続される。なお、水平方向は、導電粒子１０ａの周囲に絶縁性のエポキシ樹脂１０ｂが存在するために絶縁が保たれる。

続いて、ＦＰＣ９とＦＰＣ用電極８ｂとの接続も、同様にＡＣＦ１０を用いて行う。ＦＰＣ９は、厚さ３０〜７０μｍ程度のポリイミドフィルム、厚さ８〜２５μｍの銅箔９ｂ及びポリイミド系のソルダーレジストにより構成され、図４に示されるように、クロス配線電極５ｂ、５ｃに接続されるモニタ配線９ｄを有し、測定用パッド９ｅを備えている。最後に、ドライバＬＳＩ３とＦＰＣ９間の配線部の腐食を防ぐために絶縁性樹脂１１を塗布する。絶縁性樹脂１１としては主にシリコーン樹脂、アクリル樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂等が用いられ、ディスペンサーを用いて塗布される。

次に、液晶表示装置の組立方法について図５を用いて簡単に説明する。
上述のドライバＬＳＩ搭載済み液晶パネル２０を、平面発光源となるバックライト２２に載せ、ドライバＬＳＩ搭載済み液晶パネル２０前面よりフロントフレーム２１を嵌め、ＦＰＣ９のモニタ配線９ｄに回路基板１９を接続させる。回路基板１９は、ＦＣＰモニタ配線９ｄに接続される回路配線１９ａを有し、測定用パッド１９ｂ及び回路配線１９ａの信号を外部へ出力する出力端子であるインターフェイスコネクタ１９ｃを備えている。

次に、実施の形態１による液晶表示装置において表示不良が発生した際の検査方法について、図６、図７を用いて説明する。
ドライバＬＳＩ３及びＦＰＣ９を搭載後の液晶表示パネルについて、信号発生器より各ソース配線４に順次信号を入力し、表示部において所定の映像信号が得られなかった箇所、すなわち線欠陥等の表示不良が発生したアドレスを、信号発生器のアドレス出し機能により特定する。
次に、そのアドレスに該当するソース配線４とクロス配線５との交差部１２に対し、図６に示すように、ＹＡＧレーザ１３を電極基板１の裏面側すなわちガラス基板側より照射する。このレーザ１３の熱により、ゲート絶縁膜６は突き破られ、ソース配線４とクロス配線５が短絡し、電気的に接続される。この時、確実な導通をとるために、レーザ照射は数回に分けることが望ましい。

また、図７に示すように、ソース配線４とクロス配線５の交差部１２の配線幅をそれぞれ、その他の部分よりも幅広に形成し、照射エリアを十分に確保するのも有効である。さらに、レーザ照射部を容易に割り出すために、交差部１２のごく近傍に各ソース配線４のアドレス番号１５を表記しても良い。アドレス番号１５は、ソース配線材料、ゲート配線材料、またはａ−Ｓｉ等を用いて形成することができる。なお、アドレス番号１５の代わりに、点や記号等と表記しても良い。
クロス配線５は、ＦＰＣ９のモニタ配線９ｄ及び回路基板１９の回路配線１９ａへ接続されており、測定用パッド９ｅ、１９ｂにオシロスコープ及びディジタルマルチメータなどの測定機器に接続されたプローブ及び針を接触させ、不良発生箇所であるソース配線４のソース電極端子４ｂに接続されたドライバＬＳＩ３の出力バンプ３ｂからの出力波形をクロス配線５及びＦＰＣ９並びに回路基板１９を介して、ＦＰＣ９または回路基板１９の測定用パッド９ｅ、１９ｂにより測定し、不良原因を究明する。

具体的には、ＦＰＣ９または回路基板１９の測定用パッド９ｅ、１９ｂにオシロスコープ及びディジタルマルチメータ等の測定機器に接続されたプローブ及び針を接触させた状態で、再び点灯検査を実施し、オシロスコープに表示される出力波形及びディジタルマルチメータに表示される電圧値から、不良の原因がドライバＬＳＩ３側の異常であるのか、電極基板１上に形成された配線の断線またはＴＦＴの異常であるのか等を特定する。

実施の形態１では、クロス配線電極５ｂ、５ｃは、クロス配線５の両側に設けたが、片側のみでもかまわない。ただし、複数の表示不良が発生した場合に備え、クロス配線５のＦＰＣに接続されるクロス配線電極は、複数箇所に設けることが望ましい。
例えば、２本の表示不良が発生した場合の検査方法について、図８を用いて説明する。図８に示すように、２本のソース配線４００、４０３に線欠陥が発生した場合、これらのソース配線４００とソース配線４０３のクロス配線５上で且つ他のソース配線４０１、４０２とクロス配線５との交差部以外の箇所、例えば図８中Ｘで示す箇所に、ガラス基板からＹＡＧレーザ１３を照射し、クロス配線を溶解、切断する。これによりクロス配線５は２本に分断され、それぞれの先端部にクロス配線電極５ｂ、５ｃが設けられた状態となる。
続いて、ソース配線４００、４０３とクロス配線５の交差部、すなわちアドレス番号１５が、１００及び１０３の交差部１４ａ、１４ｂに対し、ＹＡＧレーザ１３をガラス基板側から照射し、ゲート絶縁膜６を突き破る穴を開け、ソース配線４００、４０３とクロス配線５とをそれぞれ短絡させる。

その後、ＦＰＣ９または回路基板１９の測定用パッド９ｅ、１９ｂに、オシロスコープ及びディジタルマルチメータ等の測定機器に接続されたプローブ及び針を接触させた状態で点灯検査を行い、ソース電極４に接続されたドライバＬＳＩ３の出力バンプ３ｂからのオシロスコープに表示される出力波形及びディジタルマルチメータに表示される電圧値を観察し、不良の原因を特定する。

なお、さらに多くの断線に備えてクロス配線５を複数本形成してもよい。
また、クロス配線５を途中で分岐させてそれぞれの先端部にクロス配線電極５ｂ、５ｃを設けてもよい。
また、クロス配線電極５ｂ、５ｃをクロス配線５の先端部以外の箇所に設けてもよい。
さらに、クロス配線５は直線でなくともその効力をいささかも減ずるものではない。
また、実施の形態１では、液晶表示装置の狭額縁化に対応するために、クロス配線５をドライバＬＳＩ３の入力バンプ列と出力バンプ列の端子列間に形成したが、クロス配線５は、ソース配線列と交差する位置であればよく、例えばドライバＬＳＩ３と対向基板２の端部との間に形成してもよい。

以上のように、実施の形態１によれば、ＣＯＧ工法を採用した液晶表示装置において、電極基板表面１の周縁部上にソース配線列４ａとゲート絶縁膜６を介して交差し、その両側の先端部にＦＰＣと接続するクロス配線電極５ｂ、５ｃを配置し、ＦＰＣ９及び回路基板１９の測定用パッド９ｅ、１９ｂと接続されていることにより、ドライバＬＳＩ３搭載後の点灯検査にて線欠陥等の表示不良が発生した場合、不良発生箇所のソース配線４とクロス配線５との交差部１２に基板裏面側からＹＡＧレーザ１３を照射し、ソース配線４とクロス配線５を接続させ、ＦＰＣ９及び回路基板１９の測定用パッド９ｅ、１９ｂに、オシロスコープ及びディジタルマルチメータ等の測定機器に接続されたプローブ及び針を接触させることにより、不良発生箇所のソース配線上を流れるドライバＬＳＩ３からの出力波形及び出力電圧を測定することができる。
これにより、表示不良の原因究明が容易に行えるようになり、生産性が高く安価な液晶表示装置が得られる。
なお、クロス配線５は、ゲート配線と同時に形成することができるため、クロス配線５をドライバＬＳＩ３の入力バンプ列と出力バンプ列の間に配置することにより、クロス配線５を配置する場所を新たに確保する必要がないため、液晶表示装置の狭額縁化に対応できる。

実施の形態２．
次に、電極基板の周縁部上の一辺に、従属接続された複数のドライバＬＳＩ３が搭載されている液晶表示装置に対して、クロス配線を適用した例について説明する。
図９は、この発明の実施の形態２による液晶表示装置のソース側電極端子部を示す平面図である。
図９において、１、２、５ｂ、５ｃ、８、８ａ、８ｂは図１におけるものと同一のものである。図９では、電極基板１表面の周縁部上の一辺に図中点線で示される従属接続された二つのドライバＬＳＩ、すなわち第１のドライバＬＳＩ３１、及び第２のドライバＬＳＩ３２が搭載されている。そのうち、最端部に位置する第１のドライバＬＳＩ３１には、ＦＰＣ９を介して外部回路基板より駆動信号、電源が供給される。第１のドライバＬＳＩ３１の長辺部に対応する電極基板１に電源系の電源電極列３ｃ、一方の短辺部に対応する電極基板１には入力用信号系の入力電極列３ｄ、もう一方の短辺部に対応する電極基板１には入力用信号を第２のドライバＬＳＩ３２に出力するための出力電極列３ｅが配置され、また、第１のドライバＬＳＩ３１に従属接続された第２のドライバＬＳＩ３２に対応する電極基板１には入力用信号を入力するための入力電極列３ｆが配置され、これらの入力電極列及び出力電極列は、第１及び第２のドライバＬＳＩの入力バンプ及び出力バンプにそれぞれ接合されている。
また、図９では、電極基板表面の周縁部上に、第１のドライバＬＳＩ３１の出力電極列と第２のドライバＬＳＩ３２の入力電極列とを接続する複数の接続配線１６を含む接続配線列１６ａが配置されている。この接続配線列１６ａは、ソース配線４と同じ材料で形成されている。さらに、第１のドライバＬＳＩ３１の出力電極列３ｅと第２のドライバＬＳＩ３２の入力電極列３ｆの間には、クロス配線５が配置されている。

クロス配線５は、接続配線列１６ａとは異なる金属層で形成されたもので、実施の形態２では、ゲート配線と同じ材料で形成されている。このため、クロス配線５は、接続配線列１６ａとゲート絶縁膜６を介して交差しており、その両側の先端部にはＦＰＣ接続用のクロス配線電極５ｂ、５ｃが設けられている。そのクロス配線電極５ｂ、５ｃは、ゲート絶縁膜６及びパッシベーション膜７に覆われておらず、それらの絶縁膜から露出している。
また、クロス配線５と接続配線列１６ａの交差部の配線幅は、それぞれその他の部分の配線幅よりも幅広に形成されている。

さらに、接続配線列１６ａとクロス配線５の交差部近傍に、接続配線列１６ａの各々の接続配線１６のアドレスを示す数字または記号または信号名を表記してもよい。
なお、実施の形態２における電極基板１の形成方法ならびにドライバＬＳＩ３の搭載方法ならびに液晶表示装置の組立方法については、実施の形態１と同様であるため、その説明を省略する。

次に、実施の形態２による液晶表示装置において表示不良が発生した際の検査方法について簡単に説明する。
第１のドライバＬＳＩ３１、第２のドライバＬＳＩ３２及びＦＰＣ搭載後の点灯検査にて、線欠陥などの表示不良、特に第２のドライバＬＳＩ３２のブロック全てに表示不良が発生した場合、不良発生箇所に関係する第１のドライバＬＳＩ３１の出力電極列３ｅと第２のドライバＬＳＩ３２の入力電極列３ｆとを接続する接続配線１６と特定する。
次に、この接続配線１６とクロス配線５との交差部に電極基板裏面のガラス基板側からＹＡＧレーザ１３を照射し、接続配線１６とクロス配線５を接続させる。その後、ＦＰＣ９及び回路基板１９上の測定用パッド９ｅ、１９ｂに、オシロスコープ及びディジタルマルチメータ等の測定機器に接続されたプローブ及び針を接触させることにより、不良発生箇所の接続配線上を流れるドライバＬＳＩ３からの出力波形及び出力電圧から不良原因を特定する。

実施の形態２によれば、これにより、複数のドライバＬＳＩが従属接続され、これらのドライバＬＳＩを接続する接続配線の不良についても、容易に検出することができる。

実施の形態３．
次に、実施の形態１の液晶表示装置にて、並行する複数のクロス配線同士の接続を適用した例について説明する。
図１０は、この発明の実施の形態３による液晶表示装置のソース側電極端子部を示す平面図である。
図１０において、１〜５、２ａ、４ａ〜４ｃ、５ｂ、５ｃ、８、８ａ、８ｂは図１におけるものと同一のものである。図１０では、クロス配線５に並行にクロス配線５ａが設けられている。
図１１は、この発明の実施の形態３による液晶表示装置の電極端子部を示す部分断面図であり、図１０中Ｂ−Ｂで切断した部分断面図である。
図１１において、１〜９、２ａ、３ａ、３ｂ、４ｂ、８ａ、８ｂ、９ｂは図２におけるものと同一のものである。クロス配線５ａが設けられている。

図１２は、この発明の実施の形態３による液晶表示装置において複数の表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分平面図である。
図１２において、５、１４ａ、１４ｂ、１５、４００、４０１、４０２、４０３、４００ｂ、４０１ｂ、４０２ｂ、４０３ｂは図８におけるものと同一のものである。図１２には、並行に配置されたクロス配線５とクロス配線５ａが設けられ、このクロス配線５、５ａとソース配線との交差部１２ａ（第１の交差部）、１２ｃ（第２の交差部）及び交差部の短絡部１４ｃ、１４ｄが配置されている。
実施の形態３における液晶表示装置は、実施の形態１とほぼ同じで、異なる点は、並行する複数のクロス配線５、５ａがあり、このクロス配線同士の接続を有する点である。

実施の形態３では、二つのクロス配線５、５ａのうち一つは、ドライバＬＳＩ３のＬＳＩ用電極８ａ列とソース電極端子４ｂ列の間に配置され、もう片方のクロス配線５ａは、並行するようにドライバＬＳＩ３の出力バンプ列と液晶表示素子との間に配置され、クロス配線同士を接続させてある。
クロス配線５、５ａは、ゲート配線と同じ材料で形成され、ソース配線列４ａとはゲート絶縁膜６を介して交差している。また、クロス配線５、５ａには、その両側の先端部にＦＰＣ接続用クロス配線電極５ｂ、５ｃが設けられている。そのクロス配線電極５ｂ、５ｃは、ゲート絶縁膜６及びパッシベーション膜７に覆われておらず、それらの絶縁膜から露出している。

電極基板１の周縁部上の最端部には、ソース配線列４ａと同じ金属層で形成されたドライバＬＳＩ３の入力用配線８が配置される。入力用配線８の一方の端部には、ドライバＬＳＩの複数の入力バンプ３ａと接続するためのＬＳＩ用電極８ａが、他方の端部には外部回路基板よりドライバＬＳＩ３に駆動信号、電源を供給するためのＦＰＣ９（フレキシブル配線基板）と接続するためのＦＰＣ用電極８ｂが、それぞれ形成されている。
クロス配線５、５ａとソース配線４との交差部の配線幅は、図１２に示されるように、それぞれその他の部分の配線幅よりも幅広に形成されている。

さらに、ソース配線４とクロス配線５、５ａの交差部近傍に、アドレスを示す数字または記号を表記してもよい。
なお、実施の形態３における電極基板の形成方法及びドライバＬＳＩ３の搭載方法及び液晶表示装置の組立方法については、実施の形態１と同様であるため、その説明を省略する。

次に、実施の形態３による液晶表示装置において表示不良が発生した際の検査方法について、図１２を用いて、不良アドレスが１００の例で説明する。
ドライバＬＳＩ３及びＦＰＣ９を搭載後の液晶表示パネルについて、信号発生器より各ソース配線４に順次信号を入力し、表示部において所定の映像信号が得られなかった箇所、すなわち線欠陥等の表示不良が発生したアドレス１００を、信号発生器のアドレス出し機能により特定する。そのアドレス１００に該当するソース配線４００と、クロス配線５との交差部１２ａに対し、ＹＡＧレーザを電極基板の裏面側すなわちガラス基板側より照射することにより短絡部１４ａができ、ソース配線４とクロス配線５が電気的に接続する。この時、確実な導通をとるためにレーザ照射は数回に分けることが望ましい。続いて、アドレス１００に該当するソース配線４００を、ソース電極端子４００ｂと交差部１２ｃとの間の図中Ｚで示す箇所にＹＡＧレーザを電極基板１の裏面側より照射し、溶解、切断する。

さらに、クロス配線５に接続されているＦＰＣ９及び回路基板１９上の測定用パッド９ｅ、１９ｂに、オシロスコープ及びディジタルマルチメータなどの測定機器に接続されたプローブ及び針を接触させ、不良発生箇所であるソース配線４００のソース電極端子４００ｂに接続されたドライバＬＳＩ３の出力バンプ３ａからの出力波形をクロス配線５、５ａ及びＦＰＣ９及び制御基板１９を介してＦＰＣ９または回路基板１９の測定用パッド９ｅ、１９ｂより測定する。
これにより、表示不良原因がドライバＬＳＩ３側にあるのか、あるいは基板上に形成された配線またはスイッチング素子部にあるのかを容易に判断することができる。
最後に、ソース配線４を切断したため修理する必要がある。その修理手法として、アドレス１００に該当するソース配線４００と、ドライバＬＳＩ３の出力バンプ列と液晶表示素子との間に配置されたクロス配線５ａとの交差部１２ｃに対し、ＹＡＧレーザを電極基板の裏面側より照射することにより、図１２に示されるように、短絡部１４ｃを形成し、ソース配線４００とクロス配線５ａが短絡し電気的に接続させる。この結果、ドライバＬＳＩの出力がクロス配線５、５ａを経由して液晶表示素子まで伝達することができる。

具体的には、ドライバＬＳＩ３と電極基板１を分離させ、ＦＰＣ９または回路基板１９の測定用パッド９ｅ、１９ｂにオシロスコープ及びディジタルマルチメータ等の測定機器に接続されたプローブ及び針を接触させた状態で再び点灯検査を実施し、オシロスコープに表示される出力波形及びディジタルマルチメータに表示される電圧値から、不良の原因がドライバＬＳＩ３側の異常であるのか、電極基板１上に形成された配線の断線またはＴＦＴの異常であるのか等を完全に特定する。
表示不良アドレスが１箇所の場合で説明したが、不良アドレスが２箇所の場合は、図１２のＸ、Ｙ箇所にてＹＡＧレーザを電極基板の裏面側より照射することにより、クロス配線５、クロス配線５ａを溶断切断すれば、同様に不良原因箇所を特定できる。

実施の形態３によれば、複数のクロス配線が設けられ、不良の原因がドライバＬＳＩ側の異常であるのか、電極基板上に形成された配線の断線またはＴＦＴの異常であるのかを完全に特定することができる。

なお、上述の実施の形態３の説明では、クロス配線同士の接続の場合であったが、複数のクロス配線をそれぞれ独立に設けておき、それぞれと接続されたＦＰＣ９のモニタ配線９ｄ同士またはこの独立したモニタ配線９ａにそれぞれ接続された回路基板１９の回路配線１９ａ同士を接続させても同様の効果が得られる。
また、実施の形態１〜実施の形態３では、ソース側電極端子部を例に挙げて説明したが、この発明は、ゲート側電極端子部にも適用可能である。その際は、クロス配線をソース配線と同じ金属膜で形成し、ゲート絶縁膜を介してゲート配線列と交差するように配置すればよい。

この発明の実施の形態１による液晶表示装置の電極端子部を示す平面図である。 この発明の実施の形態１による液晶表示装置の電極端子部を示す部分断面図である。 この発明の実施の形態１による液晶表示装置のドライバＬＳＩ搭載方法を説明する部分断面図である。 この発明の実施の形態１、２、３による液晶表示装置のＦＰＣ及び回路基板を示す平面図である。 この発明の実施の形態１、２、３による液晶表示装置の組立方法を示す立体図である。 この発明の実施の形態１による液晶表示装置において表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分断面図である。 この発明の実施の形態１による液晶表示装置において表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分平面図である。 この発明の実施の形態１による液晶表示装置において複数の表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分平面図である。 この発明の実施の形態２による液晶表示装置のソース側電極端子部を示す平面図である。 この発明の実施の形態３による液晶表示装置のソース側電極端子部を示す平面図である。 この発明の実施の形態３による液晶表示装置の電極端子部を示す部分断面図である。 この発明の実施の形態３による液晶表示装置において複数の表示不良が発生した際の検査方法を説明する部分平面図である。

符号の説明

１ 電極基板、２ａ 端部、２ 対向基板、３ ドライバＬＳＩ、
３ａ 入力バンプ、３ｂ 出力バンプ、３ｃ 電源系の電極列、
３ｄ 入力電極列、３ｅ 出力電極列、３ｆ 入力電極列、４ ソース配線、
４ａ ソース配線列、４ｂ ソース電極端子、
４ｃ ソース電極端子ブロック、５，５ａ クロス配線、
５ｂ、５ｃ クロス配線電極、６ ゲート絶縁膜、７ パッシベーション膜、
８ 入力用配線、８ａ ＬＳＩ用電極、８ｂ ＦＰＣ用電極、９ ＦＰＣ、
９ｂ 銅箔、９ｄ モニタ配線、９ｅ 測定用パッド、１０ ＡＣＦ、
１０ａ 導電粒子、１０ｂ エポキシ樹脂、１１ 絶縁性樹脂、
１２，１２ａ，１２ｃ 交差部、１３ レーザ、
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ 短絡部、１５ アドレス番号、
１６ 接続配線、１６ａ 接続配線列、１９ 回路基板、１９ａ 回路配線、
１９ｂ 測定用パッド、１９ｃ インターフェイスコネクタ、
２０ ドライバＬＳＩ搭載済み液晶パネル、２１ フロントレーム、
２２ バックライト、３１ 第１のドライバＬＳＩ、
３２ 第２のドライバＬＳＩ、４００，４０１，４０２，４０３ ソース配線、
４００ｂ，４０１ｂ，４０２ｂ，４０３ｂ ソース電極端子。

Claims (19)

1. 電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を有する液晶表示装置において、上記電極基板の周縁部に配置された出力配線電極端子をそれぞれ有し、上記表示部に駆動信号を供給する複数の出力配線、この複数の出力配線に絶縁膜を介して交差するように配置されると共にクロス配線電極を有するクロス配線、上記出力配線電極端子にそれぞれ結合された複数の出力バンプを有し、上記出力配線に駆動信号を出力する駆動用ＩＣ、及び上記クロス配線のクロス配線電極に接続されたモニタ配線及びこのモニタ配線に接続された測定パッドを有するフレキシブル配線基板を備えたことを特徴とする液晶表示装置。
2. 上記クロス配線は、上記出力配線との交差部の配線幅がその他の部分よりも幅広に形成されていることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
3. 上記出力配線は、上記クロス配線との交差部の配線幅がその他の部分よりも幅広に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液晶表示装置。
4. 上記出力配線と上記クロス配線の交差部近傍に、上記出力配線のアドレスを表記したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項記載の液晶表示装置。
5. 上記駆動用ＩＣは、入力信号が入力される複数の入力バンプを有し、上記クロス配線は、上記駆動用ＩＣの上記複数の出力バンプと上記複数の入力バンプの間に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項記載の液晶表示装置。
6. 電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を有する液晶表示装置において、外部入力される入力信号に基づいて上記表示部を駆動すると共に上記電極基板の周縁部に形成された複数の出力電極とこの複数の出力電極にそれぞれ接続される複数の入力電極とを介して従属接続された二つの駆動用ＩＣ、上記二つの駆動用ＩＣの複数の出力電極と上記複数の入力電極とを接続する上記電極基板上の複数の接続配線、この複数の接続配線に絶縁膜を介して交差するように配置されると共にクロス配線電極を有するクロス配線、及び上記クロス配線のクロス配線電極に接続されたモニタ配線及びこのモニタ配線に接続された測定パッドを有するフレキシブル配線基板を備えたことを特徴とする液晶表示装置。
7. 上記クロス配線は、上記接続配線との交差部の配線幅がその他の部分より幅広に形成されていることを特徴とする請求項６記載の液晶表示装置。
8. 上記接続配線は、上記クロス配線との交差部の配線幅がその他の部分より幅広に形成されていることを特徴とする請求項６または請求項７記載の液晶表示装置。
9. 上記接続配線と上記クロス配線の交差部近傍に、上記接続配線のアドレスを表記したことを特徴とする請求項６〜請求項８のいずれか一項記載の液晶表示装置。
10. 上記クロス配線は、上記複数の出力電極と上記複数の入力電極との間に配置されていることを特徴とする請求項６〜請求項９のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
11. 上記クロス配線電極は、上記クロス配線の一方の端部に形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれか一項記載の液晶表示装置。
12. 上記クロス配線は、複数配置され、上記複数のクロス配線同士は接続されていることを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか一項記載の液晶表示装置。
13. 上記クロス配線は、複数配置され、上記フレキシブル配線基板のモニタ配線は、上記複数のクロス配線にそれぞれ接続されるように複数設けられ、上記複数のモニタ配線同士を接続したことを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれかに記載の液晶表示装置。
14. 上記フレキシブル配線基板のモニタ配線に接続された回路配線及びこの回路配線に接続された測定パッドを有する回路基板を備え、上記クロス配線は、複数配置され、上記フレキシブル配線基板のモニタ配線は、上記複数のクロス配線にそれぞれ接続されるように複数設けられ、上記回路基板の回路配線は、上記複数のモニタ配線にそれぞれ接続されるように複数設けられ、上記複数の回路配線同士を接続したことを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか一項記載の液晶表示装置。
15. 上記フレキシブル配線基板のモニタ配線に接続された回路配線及びこの回路配線に接続された測定パッドを有する回路基板を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項１３のいずれか一項記載の液晶表示装置。
16. 上記回路基板は、上記回路配線に接続されると共に外部接続されるインターフェイスコネクタを有することを特徴とする請求項１４または請求項１５記載の液晶表示装置。
17. 複数の出力配線が設けられた電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を、上記電極基板の周縁部に配置された上記出力配線の出力配線電極端子に接合された駆動用ＩＣにより駆動する液晶表示装置の表示不良が発生したときの原因を特定する液晶表示装置の検査方法において、上記表示不良の発生に関連する上記出力配線のアドレスを特定する工程、上記複数の出力配線に交差するように配置されたクロス配線と上記特定されたアドレスの出力配線とが交差する交差部に上記電極基板の裏面側よりレーザを照射し、上記特定されたアドレスの出力配線と上記クロス配線を接続させる工程、及び上記クロス配線に接続されたフレキシブル配線基板に設けられた測定パッドまたはこのフレキシブル配線基板に接続された回路基板に設けられた測定パッドに、測定機器に接続されたプローブを接触させ、上記特定されたアドレスの出力配線上を流れる上記駆動ＩＣからの出力波形および出力電圧を測定する工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の検査方法。
18. 電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を、上記電極基板の周縁部に配置された複数の接続配線により従属接続された複数の駆動用ＩＣにより駆動する液晶表示装置の表示不良が発生したときの原因を特定する液晶表示装置の検査方法において、上記表示不良の発生に関連する上記接続配線のアドレスを特定する工程、上記複数の接続配線に交差するように配置されたクロス配線と上記特定されたアドレスの接続配線とが交差する交差部に上記電極基板の裏面側よりレーザを照射し、上記特定されたアドレスの接続配線と上記クロス配線を接続させる工程、及び上記クロス配線に接続されたフレキシブル配線基板に設けられた測定パッドまたはこのフレキシブル配線基板に接続された回路基板に設けられた測定パッドに、測定機器に接続されたプローブを接触させ、上記特定されたアドレスの接続配線上を流れる上記駆動ＩＣからの出力波形および出力電圧を測定する工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の検査方法。
19. 複数の出力配線が設けられた電極基板とこの電極基板に対向するように配置された対向基板との間に液晶層が挟持された表示部を、上記電極基板の周縁部に配置された上記出力配線の出力配線電極端子に接合された駆動用ＩＣにより駆動する液晶表示装置の表示不良が発生したときの原因を特定する液晶表示装置の検査方法において、上記表示不良の発生に関連する上記出力配線のアドレスを特定する工程、上記複数の出力配線に交差するように配置され、互いに接続された複数のクロス配線の内の１本と上記特定されたアドレスの上記出力配線とが交差する第１の交差部に上記電極基板の裏面側よりレーザを照射し、上記第１の交差部の上記特定されたアドレスの出力配線と上記クロス配線を接続させる工程、上記第１の交差部を形成するクロス配線より上記電極基板の中央部側に配置された別のクロス配線に上記特定されたアドレスの上記出力配線が交差する第２の交差部と上記第１の交差部との間で上記出力配線を上記電極基板の裏面側よりレーザを照射して切断する工程、上記クロス配線に接続されたフレキシブル配線基板に設けられた測定パッドまたはこのフレキシブル配線基板に接続された回路基板に設けられた測定パッドに、測定機器に接続されたプローブを接触させ、上記特定されたアドレスの出力配線上を流れる上記駆動ＩＣからの出力波形および出力電圧を測定する工程、及び上記第２の交差部に上記電極基板の裏面側よりレーザを照射し、上記第２の交差部の上記特定されたアドレスの出力配線と上記クロス配線を接続させる工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の検査方法。

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