JP4580959B2 - 放射源、リソグラフィ投影装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
放射の投影ビームを提供するための放射システムと、
パターン形成手段を支持するための支持構造であって、パターン形成手段が所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成する働きをする支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板のターゲット部分の上に投影するための投影システムとを備えるリソグラフィ投影装置に関する。
放射の投影ビームを提供するための放射システムと、
パターン形成手段を支持するための支持構造であって、パターン形成手段が所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成する働きをする支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板のターゲット部分の上に投影するための投影システムとを備えるリソグラフィ投影装置が提供され、前記放射システムは上述のような放射源を備える。
少なくとも一部が放射感応性材料の層で被覆された基板を提供するステップと、
上述の放射システムを用いて放射の投影ビームを提供するステップと、
パターン形成手段を用いて、投影ビームに対してその断面内にパターンを付与するステップと、
パターン形成された放射ビームを放射感応性材料の層からなるターゲット部分に投影するステップとを含むデバイス製造方法が提供される。
例えば5〜20nmの範囲内の波長を有するEUV放射などの投影ビームPBを供給する放射装置LA、ILと、この特定の場合には、放射システムも放射源LAを備え、
マスクMA(例えばレチクル)を保持するためのマスク・ホルダを備え、部材PLに対して正確に位置決めするための第1の位置決め手段PMに接続された、第1のオブジェクト・テーブル(マスク・テーブル)MTと、
基板W(例えば、レジストで被覆されたシリコン・ウェハ)を保持するための基板ホルダを備え、部材PLに対して正確に位置決めするための第2の位置決め手段PWに接続された、第2のオブジェクト・テーブル(マスク・テーブル)WTと、
マスクMAの照射された部分を基板Wの(例えば、1つまたは複数のダイを含む)ターゲット部分Cに結像させるための投影システム(「レンズ」)PLとを備えている。
1.ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTを本質的に静止状態に保ち、マスクの像全体を1回(すなわち、1回だけの「フラッシュ」)でターゲット部分Cの上に結像させる。次いで、異なるターゲット部分CをビームPBで照射することができるように、基板テーブルWTをxおよび/またはy方向にずらす。
2.走査モードでは本質的に同じ方法が適用されるが、所与のターゲット部分Cを1回だけの「フラッシュ」で露光することはない。その代わり、速度vで所与の方向(例えばy方向など、いわゆる「走査方向」)に移動可能であり、したがってマスク・テーブルMTは投影ビームPBをマスクの像全体を走査する。それと同時に、基板テーブルWTを、速度V=Mv(ただし、MはレンズPLの倍率であり、一般にM=1/4または1/5)で同じ方向または反対方向に同時に移動させる。この方法では、解像度を損なうことなく、比較的大きいターゲット部分Cを露光することができる。
例えば、表面全体に所定の温度の空気をあてること、および/または液体金属や水など適切な液体を通す冷却チャネルを備えた放射源LAを構成することなどによって、放電要素240をさらに冷却する;
放電要素240を複数のグループに分け、1つまたは複数の放電要素240からなるそれぞれのグループが、それ自体の放電電源および/または独立した放電材料供給源をもつようにすることによって、電流および/または放電材料の供給速度を向上させる、という2つの代替形態を用いることができる。
(図9Bに示した)ホロー・カソード10の後部の壁と、
(図9Cに示した)カソードの開口911と、
(図9Dに示した)カソード10とアノード20間の、カソードの開口911に近いカソード10上の点と、
(図9Eに示した)カソード10とアノード20間の放電領域に隣接する表面上の突出した構造体(トリガ・ピン)355とがある。トリガ・ピン355は、カソードと同じ材料、および/またはプラズマを形成するために用いられるガスまたは蒸気の固形物、および/またはその蒸発特性で選択された様々な材料からなっていてもよい。例えば、キセノン、スズ、リチウム、インジウムおよびイリジウムを用いることができる。
ピンチの位置、したがって放出される放射の位置は、中心軸線Bに対して安定であり、そのため放射のパルス・エネルギーおよびタイミングが安定する;
ピンチの位置が中心軸線Bに近く、したがって電極の腐食によって引き起こされる破片の生成が少ない、という利点をもたらす。
例えば数ミリメートルの、カソード10とアノード20の間の最小ギャップ;
例えばアノードで直径約10mm未満の、放電要素240の最小寸法;
放電電源(図示せず)と放電要素240の間の短い接続;
例えばワイヤの代わりに金属板を用いた太い電気接続である。
Claims (6)
- 一つ以上の回転位置を有するアノード板と、
一つ以上の回転位置を有するカソード板と、
前記アノード板と前記カソード板の間に放電に適切な物質を供給する放電材料供給源と、
前記アノード板と前記カソード板に接続された放電電源と、
を有する放射源であって、
該放射源は、該放射源を使用する装置の光軸線に沿った電磁放射を生成するように前記物質中に放電を起こしてプラズマを形成するように構成されており、
前記アノード板の一つ以上の回転位置と前記カソード板の一つ以上の回転位置の組合せがプラズマを形成するための放電を起こす一つ以上の放電要素を形成するように、前記アノード板が前記カソード板に対して可動、又は前記カソード板が前記アノード板に対して可動であり、
各放電要素が前記光軸線と一致するように可動である、
放射源。 - 前記一つ以上の放電要素の各々が、前記カソード板に電気的に接続されたカソードと、前記アノード板に電気的に接続されたアノードとを有し、
前記放電材料供給源が前記カソードと前記アノードの間に放電に適切な物質を供給するように構成されている、
請求項1に記載の放射源。 - 前記放電要素の各々が前記放射源の回転軸線の回りに配置されている、
請求項1又は2に記載の放射源。 - 前記放電要素内で放電を開始する前に、前記各放電要素の放電空間を画定する表面の少なくとも一部が前記液体中に沈められて、前記放電要素の前記表面が前記液体で覆われる、
請求項1から3のいずれか一項に記載の放射源。 - 放射の投影ビームを提供するための放射システムと、
パターン形成手段を支持するための支持構造であって、パターン形成手段が所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成する働きをする支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板のターゲット部分の上に投影するための投影システムとを備え、
前記放射システムが請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の放射源を備える、
リソグラフィ投影装置。 - 少なくとも一部が放射感応性材料の層で被覆された基板を提供するステップと、
請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の放射源を備える放射システムを用いて、放射の投影ビームを提供するステップと、
パターン形成手段を用いて、投影ビームに対してその断面内にパターンを付与するステップと、
パターン形成された放射ビームを放射感応性材料の層からなるターゲット部分に投影するステップと、
を含むデバイス製造方法。
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