JP4429302B2 - 電磁放射線源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、および該製造方法によって製造されたデバイス - Google Patents
電磁放射線源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、および該製造方法によって製造されたデバイス Download PDFInfo
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Description
1. ステップモードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、ビームに付けられたパターン全体を一度に(すなわち、単一静止露光)ターゲット部分C上に投影する。次に、基板テーブルWTをXおよび/またはY方向に移動し、それによって別のターゲット部分Cを照射することができる。ステッパモードにおいては、露光領域の最大サイズよって、単一静止露光時に投影されるターゲット部分Cのサイズが限定される。
Claims (15)
- 放電空間を定義するアノードおよびカソードと、
放電空間に適切な物質を供給する放電材料源と、
アノードおよびカソードに接続され、かつ物質内に放電を引き起こし、プラズマを形成させて、スペクトル特性を持つ電磁放射線を発生させるように構成された放電供給電源と、
第1ジェットを供給するように構成された第1ノズルであって、第1ジェットはアノードとして機能するように構成されている第1ノズルと、
第2ジェットを供給するように構成された第2ノズルであって、第2ジェットはカソードとして機能するように構成されている第2ノズルと、
を含み、
前記物質は、
スペクトル特性を実質上決める第1元素、および
第1の元素より低い原子量を有する第2元素
を含む電磁放射線源。 - 第1元素は、前記物質の50重量%以下であることを特徴とする請求項1記載の線源。
- 第1元素は、前記物質の約15〜25重量%であることを特徴とする請求項2記載の線源。
- 第1元素は、前記物質の10重量%以下であることを特徴とする請求項2記載の線源。
- 第1元素は、すず、リチウム、インジウム、およびこれらのあらゆる組合せからなる群から選ばれた元素を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の線源。
- 第2元素は、ガリウム、インジウム、カドミウム、リチウム、およびこれらのあらゆる組合せからなる群から選ばれた元素を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の線源。
- 第1元素はすず元素を含み、第2元素はガリウム元素を含むことを特徴とする請求項1記載の線源。
- スペクトル特性は、約13.5nmにおいてピークを含むことを特徴とする請求項7記載の線源。
- 第1元素は、前記物質の約15〜25重量%であることを特徴とする請求項7又は請求項8のいずれか一項に記載の線源。
- 第1元素は、前記物質の約8.5重量%であることを特徴とする請求項7又は請求項8のいずれか一項に記載の線源。
- 第2元素は、前記物質の融点を下げるのに十分な量の元素を含むことを特徴とする請求項1記載の線源。
- 前記物質は、第1元素および第2元素の合金であることを特徴とする請求項1記載の線源。
- 第2元素は、ガリウム、インジウム、ビスマス、鉛、カドミウム、リチウム、およびこれらの組合せからなる群から選ばれた元素を含むことを特徴とする請求項11または12記載の線源。
- 放電材料源は、第1ジェット、第2ジェット、または両方の構成材料として前記物質を放電空間に供給するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の線源。
- 電磁放射線ビームを供給する請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の線源と、
線源からの放射線ビームを調整するように構成された照射システムと、
パターン形成体を支持するように構成された支持体であって、パターン形成体が放射線ビームの断面にパターンを付けるように構成されている支持体と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記パターン付きビームを基板のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと、
を含むことを特徴とするリソグラフィ装置。
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