JPH04110800A

JPH04110800A - 標的物質の供給装置

Info

Publication number: JPH04110800A
Application number: JP23178790A
Authority: JP
Inventors: Masabumi Jinno; 神野　正文
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1990-08-31
Filing date: 1990-08-31
Publication date: 1992-04-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、レーザ光を所定の物質に照射することによっ
てプラズマ化し、Ｘ線あるいはイオン等を発生する装置
において、標的物質をレーザ光照射位置に連続的に供給
するための装置に関する。

〈従来の技術〉例えばレーザプラズマＸ線源においては、標的として固
体金属などが用いられているか、レーザ光の照射によっ
て標的物質は分解または蒸発して消耗する。そのため、
レーザ光照射位置に次々と標的物質を供給する必要かあ
る。

従来、この供給を行う方法としては、円筒体や平板状に
形成した固体標的物質を移動させる方法あるいは移動す
るベルト上に液体の標的物質を滴下し瞬時に冷却固化さ
せる方法等かある。

〈発明か解決しようとする課題〉ところで、固体の標的物質を移動させる方法によれば、
面積に限りがあるため標的物質を頻繁に交換する必要が
あり、Ｘ線源等の装置の長時間連続運転かできないとい
った問題かある。一方、ベルトを用いた方法によると、
液体窒素なとの冷媒か必要になる上、供給装置全体の構
造か複雑になるという問題かある。

本発明は、上記の従来装置の諸問題を一挙に解決すへく
なされたもので、標的物質を長時間交換する必要がなく
、しかも構造か簡単な標的物質の供給装置の提供を目的
としている。

〈課題を解決するための手段〉上記の目的を達成するだめの構成を、実施例に対応する
第１図、第２図を参照しつつ説明すると、本発明は、液
状の標的物質を貯溜する貯溜槽１と、貫通孔２ａ・・・
２ａか穿たれた部′Ｎ（ディスク）２と、この部材２を
移動させ、貫通孔２ａを貯溜槽２の液状材料Ｍ中もしく
はその液面上方に交互に位置させるだめの手段（例えば
ディスク２を回転させるパルスモータ３等）を有し、貫
通孔２ａか貯溜槽２の液体中からその上方位置へと移動
したときに、その貫通孔２ａに捕捉される物質Ｍをレー
ザ光りを照射すべき標的としたことによって特徴づけら
れる。

〈作用〉貫通孔２ａを、貯溜槽２の液状標的物質Ｍ中に浸した状
態からその液面上方に移動させると、この貫通孔２ａに
は表面張力により標的物質Ｍか捕捉される。この捕捉さ
れた標的物質Ｍはレーザ光照射によりその一部もしくは
全てか消失するか、貫通孔２ａを再び貯溜槽２の液体中
に浸すことでその貫通孔２ａには再び標的物質Ｍが捕捉
される。

従って以上の操作を順次繰り返すことによって、レーザ
光照射位置に標的物質Ｍを連続的に供給することかでき
る。

〈実施例〉本発明の実施例を、以下、図面に基ついて説明する。

第１図は本発明実施例の構成図で、（ａ）は正面図、ま
た（ｂ）は側面図である。第２図は第１図（ａ）のＩＩ
−■断面拡大図である。

ディスク２には、回転中心と同心の円周に沿って複数個
の貫通孔２ａ・・・２ａか等ピッチで穿たれている。こ
のディスク２はパルスモータ３によって断続的に回転運
動か与えられるわけであるが、このパルスモータ３は、
標的物質をプラズマ化するために用いられるパルスレー
ザ４の１パルス発振ごとに、貫通孔２ａ・・・２ａの配
列ピッチ分だけディスク２を回転するよう構成されてい
る。そして、このようなディスク２の下方一部が貯溜槽
１内の液体標的物質Ｍ中に浸されている。

次に、以上の本発明実施例の使用方法ならびに作用を述
べる。

まず、パルスレーザ４の光軸か、貯溜槽１上方位置の貫
通孔２ａのいずれか一つの中心位置に一致するように、
ディスク２とパルスレーザ４との相対的な位置合わせを
行ってお（。次に、パルスモータ３に適当な数のパルス
信号を与えてディスク２を回転させ、貯溜槽１の液体標
的物質Ｍ中に浸されていた貫通孔２ａをパルスレーザ４
の光軸位置まで移動させる。このとき、液体標的物質Ｍ
中に浸されていた貫通孔２ａが液面上方に出た時点て、
その孔２ａ内に、第２図に示すように液体標的物質Ｍか
捕捉される。従って以上の操作により、レーザ光照射位
置に液体標的物質Ｍが供給されたことになる。そしてこ
の状態でパルスレーザ４の発振を行うと、貫通孔２ａ内
に捕捉されだ液体標的物質Ｍにレーザ光しか照射され、
プラズマか発生する。これに伴って有用なＸ線等の電磁
波やイオンが発生する。

ここで、１パルスのレーザ光照射で、貫通孔２ａに捕捉
された液体標的物質Ｍは分解・蒸発して破壊されるが、
レーザ発振の１シヨツトごとにディスク２を回転させる
ことにより、レーザ光り照射位置には、液体標的物質Ｍ
を捕捉した次の貫通孔２ａが順次配置される。また、レ
ーザ光照射によって標的物質が破壊された貫通孔２ａは
貯溜槽１の液体標的物質Ｍ中を通り抜けることによって
、その孔２ａには標的物質Ｍが再び捕捉される。以上の
ようにして、レーザ光り照射位置に標的物質Ｍを連続的
に供給することかできる。

以上の本発明実施例によれば、レーザ光りの標的物質Ｍ
への入射面とは反対面側に電磁波やイオンなどの出力を
得ることかできるため、例えばＸ線源等の装置に適用す
るにあたり、その装置設計の際の自由度が大きくなる。

また、ディスク２の貫通孔２ａの内壁面は発生プラズマ
の膨張を妨げるため、これにより、例えばＸ線源等にお
いて軟Ｘ線の発生効率を高めることかできるいった効果
も期待できる。

なお、以上の本発明実施例においては、ディスク２を回
転させることによって貫通孔２ａを、貯溜槽内とレーザ
光照射位置との間を往復させているか、例えば貫通孔を
備えた円筒体を回転させたりあるいは貫通孔を備えた平
板やテープを平行移動させてもよく、要するに、貫通孔
をもつ部材を移動させ、その貫通孔を貯溜槽内とレーザ
光照射との間を往復できる構造であれば特に限定されな
い。

また、以上の本発明実施例では、貫通孔２ａに捕捉され
た標的物質はレーザ光照射位置において液状のままであ
る物質に、本発明を適用した例について説明したか、標
的物質が貫通孔２ａに捕捉された後、すぐに固体となる
物質であっても、動作原理は同じであり、例えば低融点
金属などを標的物質とする場合でも本発明を適用できる
。なお、この場合、必要に応じて貯溜槽に内部の標的物
質を加熱する手段を設けておく。さらに、標的物質か高
融点金属等である場合には、その金属の超微粒子を適当
な液体を媒体としてその液体中に分散させておくことで
、本発明の適用か可能となる。

本発明は、Ｘ線顕微鏡やＸ線分析装置のＸ線源のほか、
例えばイオン分析装置に用いられるイオン源等、電磁波
、荷電粒子あるいは中性子等を発生する種々の装置に適
用可能である。なお、貯溜槽に収容する標的物質自体を
分析試料とすれは、レーザ光照射によるプラズマの発光
やその発生イオンを分析することによって、新しい一次
的微量分析方法を提供できる可能性もある。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明によれば、液状の標的物質
を貯溜する貯溜槽と、貫通孔か穿たれた部材を移動させ
てその貫通孔を貯溜槽の液体標的物質もしくはその液面
上方に交互に位置させるための手段を備え、貫通孔か貯
溜槽の液体中からその上方位置へと移動したときに、そ
の貫通孔に捕捉される物質を標的としてレーザ光を照射
するよう構成したから、簡単な構造で、レーザ光照射位
置に標的材料を連続的に供給することができ、従来のよ
うな標的物質の交換作業が不要となる。これにより、例
えばＸ線源等の装置に本発明を適用すると、その装置を
長時間にわたって連続的に運転することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構成図で、唾）は正面図（ｂ）
は側面図である。また第２図は第１図（ａ）のＩ［−■
断面拡大図である。１・・・貯溜槽２・・・ディスク２ａ・・・２ａ・・・貫通孔３・・・パルスモータ４・・・パルスレーザ第２図第１図特許出願人　　　　株式会社島津製作所代　理　人　　
　　弁理士　西１）新

Claims

【特許請求の範囲】

レーザ光を標的物質に照射することによってプラズマ化
し、電磁波、荷電粒子もしくは中性粒子等を発生する装
置において、標的物質をレーザ光照射位置に供給するた
めの装置であって、液状の標的物質を貯溜する貯溜槽と
、貫通孔が穿たれた部材と、この部材を移動させ、上記
貫通孔を上記貯溜槽の液状物質中もしくはその液面上方
に交互に位置させるための手段を有し、上記貫通孔が上
記貯溜槽の液体中からその上方位置へと移動したときに
、その貫通孔に捕捉される物質をレーザ光を照射すべき
標的としたことを特徴とする、標的物質の供給装置。