JP2009014671A - レーザプラズマイオン源用ターゲットおよびレーザプラズマイオン発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターゲット10は、両主面が略平坦である薄膜からなるものの、一方の主面に突起構造11を有している。このターゲット10は、レーザ光91の照射に伴って飛び出した電子により電子雲92を生じ、この電子雲92と表面との間に電場93を発生させ、該電場93によりイオンを放出する。矢印で示された電気力線は、ターゲット10と電子雲92との間で互いに平行になっておらず、突起構造11の先端の付近で密になっている。すなわち、電場93が不均一となっている。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- レーザ光照射に伴って生じる電子雲と表面との間に電場を発生させ該電場によりイオンを放出するレーザプラズマイオン源用のターゲットであって、前記表面において前記電場の不均一を生じさせる構造を有することを特徴とするターゲット。
- 前記表面に突起構造を有し、この構造により前記表面において前記電場の不均一を生じさせる、ことを特徴とする請求項1記載のターゲット。
- 前記表面に毛羽立たせた繊維構造を有し、この構造により前記表面において前記電場の不均一を生じさせる、ことを特徴とする請求項1記載のターゲット。
- 前記表面にカーボンナノチューブが付着した構造を有し、この構造により前記表面において前記電場の不均一を生じさせる、ことを特徴とする請求項1記載のターゲット。
- 基板の第1主面に形成された突起構造を有し、この構造により前記第1主面において前記電場の不均一を生じさせるとともに、放出すべきイオンを含む物質の層が前記第1主面に形成され、金属層が前記基板の前記第1主面または第2主面に形成されている、ことを特徴とする請求項1記載のターゲット。
- レーザ光を出力する光源と、
この光源から出力されるレーザ光が照射され、このレーザ光照射に伴って生じる電子雲と表面との間に電場を発生させ該電場によりイオンを放出する請求項1〜5の何れか1項に記載のレーザプラズマイオン源用のターゲットと、
を備えることを特徴とするレーザプラズマイオン発生装置。 - レーザ光を出力する光源と、
この光源から出力されるレーザ光が照射され、このレーザ光照射に伴って生じる電子雲と表面との間に電場を発生させ該電場によりイオンを放出するレーザプラズマイオン源用のターゲットと、
そのターゲットへのレーザ光照射の前に、そのターゲットの表面の当該レーザ光照射領域において前記電場の不均一を生じさせる構造を形成する電場不均一構造形成手段と、
を備えることを特徴とするレーザプラズマイオン発生装置。 - 電場不均一構造形成手段は、
前記光源から出力されるレーザ光の一部を分岐して取り出す第1分岐部と、
この第1分岐部により分岐されて取り出されたレーザ光を2分岐する第2分岐部と、
この第2分岐部により2分岐されたレーザ光を前記ターゲットの前記レーザ光照射領域において干渉させる干渉光学系と、
を含むことを特徴とする請求項7記載のレーザプラズマイオン発生装置。
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