JPH03263893A - Ｘ線レーザ装置 - Google Patents
Ｘ線レーザ装置Info
- Publication number
- JPH03263893A JPH03263893A JP6116290A JP6116290A JPH03263893A JP H03263893 A JPH03263893 A JP H03263893A JP 6116290 A JP6116290 A JP 6116290A JP 6116290 A JP6116290 A JP 6116290A JP H03263893 A JPH03263893 A JP H03263893A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- ray
- generating substance
- rays
- excitation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 52
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 36
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000001015 X-ray lithography Methods 0.000 description 1
- 210000000349 chromosome Anatomy 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＸ線レーザ装置に係り、特に連続発振を可能に
するＸ線発生物質の供給手段を有するＸ線レーザ装置に
関する。
するＸ線発生物質の供給手段を有するＸ線レーザ装置に
関する。
従来の光レーザとしては短波長側で２００ｎａ＋程度の
紫外光レーザが実用化されているが、近年より短波長の
Ｘ線レーザ（１〜４ ｎｍ）の要求が高まっている。こ
のような短波長のＸ線レーザには多くの応用が考えられ
、主として極微小生体構造分析やＸ線リソグラフィやプ
ラズマプローブ等がある。
紫外光レーザが実用化されているが、近年より短波長の
Ｘ線レーザ（１〜４ ｎｍ）の要求が高まっている。こ
のような短波長のＸ線レーザには多くの応用が考えられ
、主として極微小生体構造分析やＸ線リソグラフィやプ
ラズマプローブ等がある。
極微小生体構造解析はホログラムを使って観測すること
になり、これによりタンパク質やＤＮＡが２重らせん構
造から染色体に組み上がっていく階段的なねじれなどを
３次元的に観測できるなどの大変有力な手段となる。
になり、これによりタンパク質やＤＮＡが２重らせん構
造から染色体に組み上がっていく階段的なねじれなどを
３次元的に観測できるなどの大変有力な手段となる。
これらの応用のための短波長のＸ線レーザが必要となり
、そこで最近では電子の励起源となる高出力の紫外光・
可視光のレーザを用いてＸ線発生物質であるターゲット
の薄膜に照射することにより、その照射部分に円柱状の
高温プラズマを形成してそのプラズマ中での誘導放出を
利用する方法が発明されている。なお従来のＸ線レーザ
については「サイエンスＪ （１９８９年２月号）日
本経済新聞社発行の第１８頁から第２５頁に論じられて
いる。
、そこで最近では電子の励起源となる高出力の紫外光・
可視光のレーザを用いてＸ線発生物質であるターゲット
の薄膜に照射することにより、その照射部分に円柱状の
高温プラズマを形成してそのプラズマ中での誘導放出を
利用する方法が発明されている。なお従来のＸ線レーザ
については「サイエンスＪ （１９８９年２月号）日
本経済新聞社発行の第１８頁から第２５頁に論じられて
いる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は連続発振の点について配慮がされておら
ず、Ｘ線発生物質の供給方法の問題があった。すなわち
Ｘ線発生物質のターゲットの薄膜等は電子励起源のレー
ザを照射すると蒸気化してしまうので次の照射のために
は薄膜を再度設置する必要があり、ここでの発生するＸ
線は通常は軟Ｘ線領域であることから大気中での減衰が
大きいのでＸ線発生物質のターゲットは真空中に設置さ
れ、これにより真空開放・排気等を含めてターゲットの
交換には約数１０分を要することがあるなどの問題点が
あった。
ず、Ｘ線発生物質の供給方法の問題があった。すなわち
Ｘ線発生物質のターゲットの薄膜等は電子励起源のレー
ザを照射すると蒸気化してしまうので次の照射のために
は薄膜を再度設置する必要があり、ここでの発生するＸ
線は通常は軟Ｘ線領域であることから大気中での減衰が
大きいのでＸ線発生物質のターゲットは真空中に設置さ
れ、これにより真空開放・排気等を含めてターゲットの
交換には約数１０分を要することがあるなどの問題点が
あった。
本発明の目的は上記した従来技術の問題点を除去し、連
続的にＸ線発生物質を供給できるＸ線レーザ装置を提供
することにある。
続的にＸ線発生物質を供給できるＸ線レーザ装置を提供
することにある。
上記目的を達成するために、本発明によるＸ線レーザ装
置は励起源用レーザの照射面（集光面）とＸ線発生物質
を相対的に可動にしたものであり、励起源用レーザの照
射面にＸ線発生物質を蒸着させたガイドを送給するよう
にしたものである。
置は励起源用レーザの照射面（集光面）とＸ線発生物質
を相対的に可動にしたものであり、励起源用レーザの照
射面にＸ線発生物質を蒸着させたガイドを送給するよう
にしたものである。
上記Ｘ線レーザ装置はエンドレステープ状などのガイド
の一方でＸ線発生物質を蒸着させ、その蒸着させたガイ
ドを励起源用レーザの照射面（集光面）に送ることによ
り、励起源用レーザに照射された部分の蒸看膜が蒸気化
するが、ガイドが送られているので再度に蒸着され、こ
の動作が連続的にくり返されるので、Ｘ線発生物質を連
続的に供給してＸ線レーザを連続的に安定に発生させる
ことが可能である。
の一方でＸ線発生物質を蒸着させ、その蒸着させたガイ
ドを励起源用レーザの照射面（集光面）に送ることによ
り、励起源用レーザに照射された部分の蒸看膜が蒸気化
するが、ガイドが送られているので再度に蒸着され、こ
の動作が連続的にくり返されるので、Ｘ線発生物質を連
続的に供給してＸ線レーザを連続的に安定に発生させる
ことが可能である。
以下に本発明の実施例を第１図から第４図により説明す
る。
る。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明によるＸ線レーザ装置の
第１の実施例を示す縦断面図およびそのＡＡ’線からの
立体視図である。第１図（ａ）、（ｂ）において、真空
容器１中にＸ線発生物質供給源２およびＸ線発生物質蒸
着源３が設置される。真空容器１の図面上方に励起源レ
ーザ装［９と集光レンズ４が設けてあり、励起源レーザ
装置９はその支持柱８上に取り付けられる。ｘｇ発生物
質供給源２の上面での円柱状プラズマから飛散する粒子
の飛散粒子除去板５が図面左右に設けられる。さらにＸ
線以外の荷電粒子偏向磁石６が支持柱７を介して真空容
器１中に取り付けられる。真空容器１の図面左右にはＸ
線取り出し窓１０が設けである。
第１の実施例を示す縦断面図およびそのＡＡ’線からの
立体視図である。第１図（ａ）、（ｂ）において、真空
容器１中にＸ線発生物質供給源２およびＸ線発生物質蒸
着源３が設置される。真空容器１の図面上方に励起源レ
ーザ装［９と集光レンズ４が設けてあり、励起源レーザ
装置９はその支持柱８上に取り付けられる。ｘｇ発生物
質供給源２の上面での円柱状プラズマから飛散する粒子
の飛散粒子除去板５が図面左右に設けられる。さらにＸ
線以外の荷電粒子偏向磁石６が支持柱７を介して真空容
器１中に取り付けられる。真空容器１の図面左右にはＸ
線取り出し窓１０が設けである。
またＸ線発生物質供給源２はガイド２ａおよびローラ２
ｂで構成され、ガイド２ａはエンドレステープ状となっ
ている。ローラ２ｂは図示していない輛動装置により回
転でき、ローラ２ｂの回転とともにガイド２ａも一定の
方向（矢印方向１３）に駆動できる機構を有する。Ｘ線
発生物質供給源２の下方にＸ線発生物質蒸着源３が設け
てあり、Ｘ線発生物質蒸着源３は蒸着物質容器３ａと蒸
着熱源３ｂとＸ線発生物質３ｃで構成される。図中に励
起源用レーザ１１および発生したＸ線レーザ１２を示し
ている。
ｂで構成され、ガイド２ａはエンドレステープ状となっ
ている。ローラ２ｂは図示していない輛動装置により回
転でき、ローラ２ｂの回転とともにガイド２ａも一定の
方向（矢印方向１３）に駆動できる機構を有する。Ｘ線
発生物質供給源２の下方にＸ線発生物質蒸着源３が設け
てあり、Ｘ線発生物質蒸着源３は蒸着物質容器３ａと蒸
着熱源３ｂとＸ線発生物質３ｃで構成される。図中に励
起源用レーザ１１および発生したＸ線レーザ１２を示し
ている。
上記構成で、Ｘ線レーザ１２の発生にあたって励起源用
レーザ装置９から励起源用レーザ１１を発振させると、
集光レンズ４で集光されてＸ線発生物質供給源２のガイ
ド２ａに線状に照射される。この照射された部分におい
て、ガイド２ａ上に蒸着されているＸ線発生物質が蒸気
化しプラズマ化して、プラズマ中の電子が励起して電子
の反転分布が形成され、その誘導放出によりＸ線レーザ
１２が発生する。発生したＸ線レーザ１２は飛散粒子除
去板５に設けられた開口部５ａと荷電粒子偏向磁石６間
とを通り、真空容器１のＸ線取り出し窓１０から取り出
される。この際励起源用レーザ１１が照射された部分の
ガイド２ａ上の蒸着膜は蒸気化して除去されるが、ロー
ラ２ｂが矢印方向１３に示すように駆動されると次々に
新しいＸ線発生物質の蒸着膜を供給することができる。
レーザ装置９から励起源用レーザ１１を発振させると、
集光レンズ４で集光されてＸ線発生物質供給源２のガイ
ド２ａに線状に照射される。この照射された部分におい
て、ガイド２ａ上に蒸着されているＸ線発生物質が蒸気
化しプラズマ化して、プラズマ中の電子が励起して電子
の反転分布が形成され、その誘導放出によりＸ線レーザ
１２が発生する。発生したＸ線レーザ１２は飛散粒子除
去板５に設けられた開口部５ａと荷電粒子偏向磁石６間
とを通り、真空容器１のＸ線取り出し窓１０から取り出
される。この際励起源用レーザ１１が照射された部分の
ガイド２ａ上の蒸着膜は蒸気化して除去されるが、ロー
ラ２ｂが矢印方向１３に示すように駆動されると次々に
新しいＸ線発生物質の蒸着膜を供給することができる。
また除去された蒸着膜は蒸着源３より再供給される方式
となっている。
となっている。
本実施例によれば、Ｘ線発生物質をエンドレステープ状
のガイドに蒸着させて連続的に供給することができ、安
定したＸ線レーザを発振させうる効果がある。
のガイドに蒸着させて連続的に供給することができ、安
定したＸ線レーザを発振させうる効果がある。
第２図は本発明によるＸ線レーザ装置の第２の実施例を
示す立体視図である。第２図において、本Ｘ線レーザ装
置のＸ線発生物質供給手段は第１図のような蒸着源３を
用いずに、すでに蒸着済のテープ状ガイド１４をローラ
２ｂの一方に巻いておき、それを補助ローラ２ｃを介し
て励起用レーザ１１の集光面を通り、矢印方向１３に他
方のローラ２ｂに巻き取られる方式である。なお蒸着済
のガイド１４の代わりにＸ線発生物質の薄膜を接合した
テープ状ガイド１４を用いてもよい。
示す立体視図である。第２図において、本Ｘ線レーザ装
置のＸ線発生物質供給手段は第１図のような蒸着源３を
用いずに、すでに蒸着済のテープ状ガイド１４をローラ
２ｂの一方に巻いておき、それを補助ローラ２ｃを介し
て励起用レーザ１１の集光面を通り、矢印方向１３に他
方のローラ２ｂに巻き取られる方式である。なお蒸着済
のガイド１４の代わりにＸ線発生物質の薄膜を接合した
テープ状ガイド１４を用いてもよい。
本実施例によれば、第１図のような蒸着源３は必ずしも
必要でなくなるが、Ｘ線発生物質を連続的に供給するこ
とができて、安定したＸ線レーザを発振させうる効果が
ある。
必要でなくなるが、Ｘ線発生物質を連続的に供給するこ
とができて、安定したＸ線レーザを発振させうる効果が
ある。
第３図は本発明によるＸ線レーザ装置の第３の実施例を
示す立体視図である。第３図において。
示す立体視図である。第３図において。
第１図（ｂ）の構成の２組を設け、Ｘ線で励起して所望
の波長のＸ線レーザを発生させる例を示す。
の波長のＸ線レーザを発生させる例を示す。
Ｘ線レーザの発生にあたっては、まず第１段目の励起源
用レーザ１１でＸ線発生物質供給源２のガイド２ａ上に
線上のプラズマ１５を形成し、この高温プラズマ１５中
から励起用Ｘ線１６を発生させる。
用レーザ１１でＸ線発生物質供給源２のガイド２ａ上に
線上のプラズマ１５を形成し、この高温プラズマ１５中
から励起用Ｘ線１６を発生させる。
方の第２段目の励起源用レーザ１７でＸ線発生物質供給
源２のガイド２ａ上に線上のプラズマ１８が形成されて
いる。この高温プラズマ１８中に励起用Ｘ線１６が照射
されると、そのプラズマ１８中で別の励起状態が形成さ
れるため、その時の電子の反転分布で誘導放出されたＸ
線レーザ１２を得ることができる。
源２のガイド２ａ上に線上のプラズマ１８が形成されて
いる。この高温プラズマ１８中に励起用Ｘ線１６が照射
されると、そのプラズマ１８中で別の励起状態が形成さ
れるため、その時の電子の反転分布で誘導放出されたＸ
線レーザ１２を得ることができる。
本実施例によれば、Ｘ線発生物質を連続的に供給するこ
とができ、Ｘ線で励起して所望の波長のＸ線レーザを安
定に発生できる効果がある。
とができ、Ｘ線で励起して所望の波長のＸ線レーザを安
定に発生できる効果がある。
第４図（ａ）、（ｂ）は本発明によるＸ線レーザ装置の
第４の実施例を示す縦断面図およびその図面下方からの
杭間である。第４図（ａ）、（ｂ）において、Ｘ線発生
物質供給源２としてＸ線発生物質を回転軸２０で回転す
る円板状ディスク１９にＸ線発生物質蒸着源３で蒸着さ
せた例を示す６Ｘ線レーザの発生にあたっては、回転軸
２０に取り付けられた円板状ディスク１９に対して図面
下方から励起用レーザ１１を照射し、Ｘ線レーザ１２を
得る。Ｘ線発生物質蒸着源３は円板状ディスク１９の一
部に対し対向して図面下方に設けられる。なお蒸着源３
をＸ線レーザ１２の軸上に配置することは避けた方がよ
い。
第４の実施例を示す縦断面図およびその図面下方からの
杭間である。第４図（ａ）、（ｂ）において、Ｘ線発生
物質供給源２としてＸ線発生物質を回転軸２０で回転す
る円板状ディスク１９にＸ線発生物質蒸着源３で蒸着さ
せた例を示す６Ｘ線レーザの発生にあたっては、回転軸
２０に取り付けられた円板状ディスク１９に対して図面
下方から励起用レーザ１１を照射し、Ｘ線レーザ１２を
得る。Ｘ線発生物質蒸着源３は円板状ディスク１９の一
部に対し対向して図面下方に設けられる。なお蒸着源３
をＸ線レーザ１２の軸上に配置することは避けた方がよ
い。
本実施例によれば、同様に連続的にＸ線発生物質を供給
でき、安定したＸ線レーザを発生させうる効果がある。
でき、安定したＸ線レーザを発生させうる効果がある。
なお上記実施例に限定されるものではなく、上記励起源
用レーザの集光面とＸ線発生物質供給源のガイド等を相
対的に可動にして、Ｘ線発生物質を連続的に供給できる
ものであればよく、同様の効果が得られる。
用レーザの集光面とＸ線発生物質供給源のガイド等を相
対的に可動にして、Ｘ線発生物質を連続的に供給できる
ものであればよく、同様の効果が得られる。
本発明によれば、Ｘ線発生物質をガイドに蒸着させて、
そのガイドを励起源用レーザの集光面に送給するように
しているので、連続的にＸ線発生物質を供給して安定し
たＸ線レーザを発振させうる効果がある。
そのガイドを励起源用レーザの集光面に送給するように
しているので、連続的にＸ線発生物質を供給して安定し
たＸ線レーザを発振させうる効果がある。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明によるＸ線レーザ装置の
第１の実施例を示す縦断面図およびＡＡ’線立体視図杭
間２図は同じく第２の実施例を示す立体親図、第３図は
同じく第３の実施例を示す立体視図、第４図（ａ） 、
（ｂ）は同じく第４の実施例を示す縦断面図および下
方杭間である。 １・・・真空容器、２・・・Ｘ線発生物質供給源、２ａ
・・・ガイド、２ｂ・・・ローラ、３・・・Ｘ線発生物
質蒸着源、３ａ・・・蒸着物質容器、３ｂ・・・蒸着物
質熱源、３ｃ・・・Ｘ線発生物質、４・・・集光レンズ
、９・・・励起源レーザ装置、１１・・・励起源用レー
ザ、工２・・・Ｘ線レーザ、１４・・・テープ状ガイド
、１６・・・励起用Ｘ線、１９・・・円板状ディスク、
２０・・・回転軸。
第１の実施例を示す縦断面図およびＡＡ’線立体視図杭
間２図は同じく第２の実施例を示す立体親図、第３図は
同じく第３の実施例を示す立体視図、第４図（ａ） 、
（ｂ）は同じく第４の実施例を示す縦断面図および下
方杭間である。 １・・・真空容器、２・・・Ｘ線発生物質供給源、２ａ
・・・ガイド、２ｂ・・・ローラ、３・・・Ｘ線発生物
質蒸着源、３ａ・・・蒸着物質容器、３ｂ・・・蒸着物
質熱源、３ｃ・・・Ｘ線発生物質、４・・・集光レンズ
、９・・・励起源レーザ装置、１１・・・励起源用レー
ザ、工２・・・Ｘ線レーザ、１４・・・テープ状ガイド
、１６・・・励起用Ｘ線、１９・・・円板状ディスク、
２０・・・回転軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、励起源用レーザをＸ線発生物質に照射して、Ｘ線レ
ーザを発生させる装置において、励起源用レーザの照射
面とＸ線発生物質とを相対的に可動にして、Ｘ線レーザ
を発生させることを特徴とするＸ線レーザ装置。 ２、励起源用レーザをＸ線発生物質に照射して、Ｘ線レ
ーザを発生させる装置において、励起源用レーザの照射
面にＸ線発生物質を付着させたガイドを送給して、Ｘ線
レーザを発生させることを特徴とするＸ線レーザ装置。 ３、励起源用レーザをＸ線発生物質に照射して、Ｘ線レ
ーザを発生させる装置において、励起源用レーザの照射
面にＸ線発生物質を少なくとも一部に蒸着させたエンド
レステープ状ガイドを送給して、Ｘ線レーザを発生させ
ることを特徴とするＸ線レーザ装置。 ４、励起源用レーザをＸ線発生物質に照射して、Ｘ線レ
ーザを発生させる装置において、励起源用レーザの照射
面にＸ線発生物質を蒸着あるいは薄膜接合したテープ状
ガイドを送給して、Ｘ線レーザを発生させることを特徴
とするＸ線レーザ装置。 ５、励起源用レーザをＸ線発生物質に照射して、Ｘ線レ
ーザを発生させる装置において、励起源用レーザの照射
面にＸ線発生物質の蒸着膜を形成する回転円板状ディス
クを送給して、Ｘ線レーザを発生させることを特徴とす
るＸ線レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116290A JPH03263893A (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | Ｘ線レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116290A JPH03263893A (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | Ｘ線レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03263893A true JPH03263893A (ja) | 1991-11-25 |
Family
ID=13163169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6116290A Pending JPH03263893A (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | Ｘ線レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03263893A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05290993A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Nikon Corp | レーザプラズマｘ線源 |
| JPH06283407A (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-07 | Nikon Corp | レーザープラズマｘ線源 |
| JPH08167753A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-06-25 | Nec Corp | Ｘ線予備電離放電励起ガスレーザ装置及びその発振方法 |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP6116290A patent/JPH03263893A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05290993A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Nikon Corp | レーザプラズマｘ線源 |
| JPH06283407A (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-07 | Nikon Corp | レーザープラズマｘ線源 |
| JPH08167753A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-06-25 | Nec Corp | Ｘ線予備電離放電励起ガスレーザ装置及びその発振方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4329177B2 (ja) | Ｘ線発生装置及びこれを備えた投影露光装置及び露光方法 | |
| US20090041198A1 (en) | Highly collimated and temporally variable x-ray beams | |
| EP0350874B1 (en) | Surface analysis method and apparatus | |
| US20020015473A1 (en) | Method and apparatus for generating X-ray or EUV radiation | |
| JPS622438A (ja) | 冷陰極ガス放電管を備えた平行ｘ線ビ−ム発生装置 | |
| JP5426810B2 (ja) | Ｘ線発生方法及びｘ線発生装置 | |
| JPH03263893A (ja) | Ｘ線レーザ装置 | |
| US3940615A (en) | Wide angle isotope separator | |
| JPS60100421A (ja) | イオンビ−ム装置 | |
| JP2000098100A (ja) | 軟ｘ線平行光束形成装置 | |
| JP2002139758A (ja) | 光短波長化装置 | |
| US10473599B2 (en) | X-ray source using electron impact excitation of high velocity liquid metal beam | |
| JPH05119199A (ja) | レーザプラズマｘ線源用ターゲツト | |
| JP2000340394A (ja) | Ｘ線発生装置及びこれを有するｘ線露光装置及びｘ線の発生方法 | |
| WO2023188624A1 (ja) | 光源装置 | |
| WO2022092271A1 (ja) | 炭素イオン発生装置 | |
| JPS62180068A (ja) | 電子ビ−ム加熱・蒸発装置 | |
| EP4255123A1 (en) | Light source apparatus | |
| WO2023188484A1 (ja) | 光源装置 | |
| JPH08162286A (ja) | レーザプラズマ光源 | |
| JPH06264228A (ja) | 高純度複合膜製造装置 | |
| JP2002323598A (ja) | レーザー誘起プラズマによるｘ線集光方法及び装置 | |
| JPS63216257A (ja) | イオンビ−ム装置 | |
| JPWO2022092271A5 (ja) | ||
| JPS63103031A (ja) | レ−ザ−ウラン濃縮用のウラン原子蒸気発生方法とウラン原子蒸気発生装置及び金属ウランタ−ゲツト体 |