JP2008204940A - 電気的に作動するガス放電により極紫外放射線を発生するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも1つの電極のコーティングされるべきエッジ領域は、電極上の電極エッジに沿って閉じた周で延び又融解金属のために濡れて形成される少なくとも1つの受容領域(3)を有する。上記受容領域へは、融解金属を再生的に塗布するためのコーティングノズル(4、14)が指向し、上記コーティングノズルはバルブ調整装置(10)と接続したシャットオフバルブ(11)を有する。
【選択図】図2
Description
‐放射線を放出するプラズマを形成するためのガス放電ために放電領域を有する放電室、
‐第1及び第2のディスク型電極、
‐予備電離光線を供給するためのエネルギ光線源、及び
‐電極と接続される、高電圧パルスを発生させるための放電回路、
を含んでおり、その際少なくとも1つの上記ディスク型電極は回転可能に支持されており、また融解金属によってコーティングされるべきエッジ領域を有している。
本発明は更に、予備電離されたエミッタ材料から放射線を放出するプラズマを発生するための電気的に作動するガス放電に基づき極紫外放射線を発生するための方法に関しており、上記方法では、ガス放電のために設けられる電極対の回転可能に支持される少なくとも1つのディスク型電極はエッジ領域で融解金属によりコーティングされる。
3 受容領域
4 コーティングノズル
7 予備電離光線
8 放電領域
9 温度測定装置
10 バルブ調整装置
11 シャットオフバルブ
12 電極
14 コーティングノズル
21 コーティングノズル
Claims (27)
- 電気的に作動するガス放電に基づき極紫外放射線を発生するための装置にして、
放射線を放出するプラズマを形成するためのガス放電のために放電領域を有する放電室、
少なくとも一方が回転可能に支持されており又融解金属でコーティングされるべきエッジ領域を有する第1のディスク型電極及び第2のディスク型電極、
予備電離光線を与えるためのエネルギ光線源、及び
電極と接続される高電圧パルスを発生するための放電回路、を含む装置において、
コーティングされるべきエッジ領域が、少なくとも1つの、電極表面上で電極のエッジに沿って閉じた周で延び、融解金属のために濡れて形成される、受容領域(3)を有し、上記受容領域へ、ノズル調整装置(10)に接続されるシャットオフバルブ(11)を有するコーティングノズル(4、14、21)が、融解金属を再生的に塗布するために指向されることを特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置において、ノズル調整装置(10)が電極表面の温度を測定するための温度測定装置(9)と接続されることを特徴とする装置。
- 請求項2に記載の装置において、ディスク型電極(1、12)が持続的に運転する冷却装置を有して装備されることを特徴とする装置。
- 請求項3に記載の装置において、用いられる冷却媒体が、融解金属のために与えられる金属の融解温度より低い運転温度を有することを特徴とする装置。
- 請求項4に記載の装置において、冷却装置が温度調整手段とともに装備されることを特徴とする装置。
- 請求項5に記載の装置において、ディスク型電極(1、12)が流体の通流する冷却路(17、18)によって貫流されることを特徴とする装置。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の装置において、放電領域(8)と向かい合い又融解金属を塗布するために備えられる電極領域で、コーティングノズル(4、14)が電極表面へ指向されることを特徴とする装置。
- 請求項7に記載の装置において、電極(1、12)が、ディスクとして形成され、相互に距離を置いて互いに固定接続され、又、それらの中心の対称軸と一致する共通の回転軸(R−R)の周りで回転可能に支持され、その際各々の電極(1、12)が、互いに対向する電極表面上に、融解金属のために濡れて形成される少なくとも1つの受容領域(3)を含み、コーティングノズル(4、14)が上記受容領域へ指向されることを特徴とする装置。
- 請求項8に記載の装置において、融解金属を塗布するために備えられる電極領域に、ディスク形状の絶縁体(16)が備えられ、上記絶縁体が電気的な短絡を避けるために両電極(1、12)の間の隙間へ入れられることを特徴とする装置。
- 請求項9に記載の装置において、両電極(1、12)の電極表面へ指向されるコーティングノズル(4、14)が反対側からディスク形状の絶縁体(16)を貫いて案内されることを特徴とする装置。
- 請求項1から10のいずれか一項に記載の装置において、コーティングノズル(4、14、21)が互いに重なり合う2つの微細構造プレート(22、23)からなり、その際第1プレート(22)は一部分で穴構造(26)により貫通されており、それに向かい合う第2プレート(23)は穴構造(26)のための閉鎖要素を持った穴構造(26)に対して柔軟な膜(30)を有し、上記閉鎖要素は柔軟な膜(30)にて作用する動作手段(32)により穴構造(26)へ押付け可能であること、及び、両プレートが流路(28)を取り囲み、上記流路へ穴構造(26)が合流し又上記流路がノズル口(27)として第1プレート(22)から外へ案内されることを特徴とする装置。
- 請求項11に記載の装置において、穴構造(26)がノズル口(27)の直径よりも小さい穴の直径を有することを特徴とする装置。
- 請求項12に記載の装置において、コーティングノズル(21)がプレート(22、23)の少なくとも1つに表面的に配される導電抵抗(35)により加熱可能に形成されることを特徴とする装置。
- 請求項1から13のいずれか一項に記載の装置において、電極(1、12)が回転軸(R‐R)に対して同軸に調整される連絡要素(41、42)と電気的連絡状態にあり、その際、互いに電気的に隔てられ又高電圧供給の放電回路と接続状態にあり環状に形成され、電気的に隔てられた融解金属の融解浴(39、40)へ、上記電極が入ることを特徴とする装置。
- 請求項1から13のいずれか一項に記載の装置において、コーティングノズル(4、14)及びコーティングノズル(4、14)により放出されるリキッドジェット(5、15)を介して、電極(1、12)の電気的な連絡が行なわれることを特徴とする装置。
- 請求項1から15のいずれか一項に記載の装置において、受容領域のための湿潤剤として、銅、クロム、ニッケル又は金が与えられることを特徴とする装置。
- 請求項16に記載の装置において、受容領域(3)へ隣接する電極表面の少なくとも一部分が融解金属のために濡らされないように形成されることを特徴とする装置。
- 請求項17に記載の装置において、受容領域(3)へ隣接する電極表面の一部分がPTFE、ステンレス鋼、ガラス又はセラミックからなることを特徴とする装置。
- 請求項1から18のいずれか一項に記載の装置において、放電領域(8)へ注入装置(55)が指向され、上記注入装置は、ガス放電の周波数に対応する繰り返し周波数で又個々のボリュームの量を制限して、放射線の発生に利用されるエミッタ材料の個々のボリューム(54)の連続を供給し、それにより電極(1、12)に対して距離をとって放電領域(8)へ注入されるエミッタ材料が放電後完全に気相に存在することを特徴とする装置。
- 請求項19に記載の装置において、予備電離光線(7)により連続的に電離するために、エネルギ光線源(55)により供給される予備電離光線(7)が、ガス放電の周波数に同期して、電極(1、12)から距離を置いた個々のボリュームが到達する放電領域(8)のプラズマ発生のための位置へ、指向されることを特徴とする装置。
- 請求項1から18のいずれか一項に記載の装置において、再生的に塗布される融解金属が放射線を発生するために利用されるエミッタ材料であり、エネルギ光線源(55)によって供給される予備電離光線(7)が放電領域(8)でのガス放電の周波数に同期して上記エミッタ材料へ指向されることを特徴とする装置。
- 請求項21に記載の装置において、予備電離光線(7)が、再生的に塗布される第1及び第2の電極(1、12)のエミッタ材料へ、同時に指向されることを特徴とする装置。
- 請求項1から22のいずれか一項に記載の装置において、エミッタ材料としてキセノン、スズ、スズ合金、スズ溶液又はリチウムが与えられることを特徴とする装置。
- 予備電離されるエミッタ材料から放射線を放出するプラズマを形成するための電気的に作動されるガス放電に基づいて、極紫外放射線を発生するための方法にして、ガス放電のために備えられる電極対の回転可能に支持される少なくとも1つのディスク型電極がエッジ領域で融解金属により再生的にコーティングされる方法において、エッジ領域の再生的なコーティングが回転の間、電極表面温度に依存して制御されることを特徴とする方法。
- 請求項24に記載の方法において、融解金属のために与えられる材料の融解温度よりも高い境界温度に対し、上記境界温度を温度が下回る場合はコーティングが中断されること、並びに、上記境界温度を温度が上回る場合はコーティングが継続されることを特徴とする方法。
- 請求項25に記載の方法において、電極がコーティングの間、冷却媒体によって冷却され、上記冷却媒体が融解金属のために与えられる材料の融解温度より低い運転温度を有することを特徴とする方法。
- 請求項26に記載の方法において、冷却が調整されることを特徴とする方法。
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