JP2014527264A - 電動パルス放電によって光放射を発生するための方法及び装置 - Google Patents
電動パルス放電によって光放射を発生するための方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014527264A JP2014527264A JP2014524281A JP2014524281A JP2014527264A JP 2014527264 A JP2014527264 A JP 2014527264A JP 2014524281 A JP2014524281 A JP 2014524281A JP 2014524281 A JP2014524281 A JP 2014524281A JP 2014527264 A JP2014527264 A JP 2014527264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- time delay
- plasma
- electrodes
- pulse energy
- emission center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
- H05G1/30—Controlling
- H05G1/46—Combined control of different quantities, e.g. exposure time as well as voltage or current
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
2 電極
3 回転軸
4 容器
5 容器
6 溶融金属
7 コンデンサバンク
8 フィードスルー
9 レーザパルス
10 デブリ軽減ユニット
11 ストリッパ
12 シールド
13 金属スクリーン
14 ハウジング
15 プラズマ
16 連続レーザパルス
17 電流パルス
18 EUV放射
Claims (13)
- 電動パルス放電によって光放射を発生する方法であって、
− 発生されることになる前記放射(18)を放射するプラズマ(15)が、放電空間における少なくとも2つの電極(1、2)間でガス媒体中にて点火され、
− 前記ガス媒体が、前記放電空間にて移動する1つ又は幾つかの表面に施され且つ1つ又は幾つかのパルスエネルギビーム(9)によって少なくとも部分的に蒸発される液体材料(6)から少なくとも部分的に生成され、
− 前記パルスエネルギビーム(9)の少なくとも2つの連続パルス(16)が、前記液体材料(6)を蒸発させるために、各放電の時間間隔内に前記表面上に印加され、
− 前記プラズマ(15)の発光中心の位置が、前記少なくとも2つの連続パルス(16)間の時間遅延及び/又は前記少なくとも2つの連続パルス(16)のパルスエネルギを制御することによって、多数の前記放電をカバーする期間中、一定に保持される方法。 - 前記発光中心の前記位置が監視され、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギが、その監視に基づいてフィードバック制御される、請求項1に記載の方法。
- 前記電極(1、2)の少なくとも1つにおける端部の位置の変化が監視され、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギが、位置の前記変化に基づいて制御される、請求項1に記載の方法。
- 前記プラズマ(15)を発生するために印加される電力が監視され、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギが、前記印加された電力に基づいて制御される、請求項1に記載の方法。
- 前記時間遅延及び/又はパルスエネルギに対する、且つ前記電極(1、2)の前記少なくとも1つにおける前記端部の位置の変化に対する、前記プラズマ(15)の前記発光中心の前記位置の依存が、前もって測定され、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギの前記制御が、前記測定に基づいて実行される、請求項3に記載の方法。
- 前記時間遅延及び/又はパルスエネルギに対する、且つ前記印加された電力に対する、前記プラズマ(15)の前記発光中心の前記位置の依存が、前もって測定され、前記制御が、前記測定に基づいて実行される、請求項4に記載の方法。
- 前記電極(1、2)の少なくとも1つが、動作中に回転可能に設定され、前記液体材料(6)が、前記電極(1、2)の前記少なくとも1つにおける表面に施される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記少なくとも2つの連続パルス(16)が、300ns以下の相互時間遅延で、且つ1mJ以上100mJ以下のパルスエネルギで印加される、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 電動パルス放電によって光放射を発生する装置であって、
− 互いに距離をおいて放電空間に配置された少なくとも2つの電極(1、2)であって、それら電極(1、2)間でガス媒体中にてプラズマ(15)の点火を可能にする少なくとも2つの電極(1、2)と、
− 前記放電空間を通って移動する1つ又は幾つかの表面上に液体材料(6)を施すための装置と、
− 前記表面上に1つ又は幾つかのパルスエネルギビーム(9)を導いて、前記施された液体材料(6)を少なくとも部分的に蒸発させ、それによって前記ガス媒体の少なくとも一部を生成するのに適したエネルギビーム装置であって、前記液体材料(6)を蒸発させるために、前記パルスエネルギビーム(9)の少なくとも2つの連続パルス(16)を、各放電の時間間隔内で、前記表面上に印加するように構成されたエネルギビーム装置と、
− 前記プラズマ(15)の発光中心の位置が、多数の前記放電をカバーする期間中に一定に保持されるように、前記2つの連続パルス(16)間の時間遅延及び/又はこれらの連続パルス(16)のパルスエネルギを制御するように構成された制御ユニットと、
を備えて構成される装置。 - 前記発光中心の前記位置を監視するために配置された放射センサを更に備え、前記制御ユニットが、前記監視に基づいて前記時間遅延及び/又はパルスエネルギのフィードバック制御を実行するように構成される、請求項9に記載の装置。
- 前記電極(1、2)の少なくとも1つにおける端部の位置の変化を監視するための装置を更に備え、前記制御ユニットが、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギに対する、且つ前記電極(1、2)の前記少なくとも1つにおける前記端部の位置の変化に対する、前記プラズマ(15)の前記発光中心の前記位置の依存に関する記憶データへのアクセスを有し、且つ位置における前記監視された変化及び前記記憶データに基づいて、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギを制御するように構成され、請求項9に記載の装置。
- 前記プラズマ(15)を発生するために印加される電力を監視するための手段を更に備え、前記制御ユニットが、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギに対する、且つ前記印加された電力に対する、前記プラズマ(15)の前記発光中心の前記位置の依存に関する記憶データへのアクセスを有し、且つ前記印加された電力及び前記記憶データに基づいて、前記時間遅延及び/又はパルスエネルギを制御するように構成される、請求項9に記載の装置。
- 液体材料(6)を施すための前記装置が、前記電極(1、2)の少なくとも1つにおける表面に前記液体材料(6)を施すのに適し、前記電極(1、2)の前記少なくとも1つが、動作中に回転可能に配置され得る回転可能なホイールとして構成される、請求項9〜12のいずれか一項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP11006474.8 | 2011-08-05 | ||
EP11006474A EP2555598A1 (en) | 2011-08-05 | 2011-08-05 | Method and device for generating optical radiation by means of electrically operated pulsed discharges |
PCT/EP2012/002483 WO2013020613A1 (en) | 2011-08-05 | 2012-06-12 | Method and device for generating optical radiation by means of elecctrically operated pulsed discharges |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014527264A true JP2014527264A (ja) | 2014-10-09 |
JP5982486B2 JP5982486B2 (ja) | 2016-08-31 |
Family
ID=46331206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014524281A Active JP5982486B2 (ja) | 2011-08-05 | 2012-06-12 | 電動パルス放電によって光放射を発生するための方法及び装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9414476B2 (ja) |
EP (2) | EP2555598A1 (ja) |
JP (1) | JP5982486B2 (ja) |
TW (1) | TWI584696B (ja) |
WO (1) | WO2013020613A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020511734A (ja) * | 2017-02-12 | 2020-04-16 | ブリリアント ライト パワー インコーポレーティド | 電磁流体力学的電気パワー発生器 |
WO2023228629A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置 |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9820039B2 (en) | 2016-02-22 | 2017-11-14 | Sonos, Inc. | Default playback devices |
US10264030B2 (en) | 2016-02-22 | 2019-04-16 | Sonos, Inc. | Networked microphone device control |
US10095470B2 (en) | 2016-02-22 | 2018-10-09 | Sonos, Inc. | Audio response playback |
US9811314B2 (en) | 2016-02-22 | 2017-11-07 | Sonos, Inc. | Metadata exchange involving a networked playback system and a networked microphone system |
US10134399B2 (en) | 2016-07-15 | 2018-11-20 | Sonos, Inc. | Contextualization of voice inputs |
US10115400B2 (en) | 2016-08-05 | 2018-10-30 | Sonos, Inc. | Multiple voice services |
US10181323B2 (en) | 2016-10-19 | 2019-01-15 | Sonos, Inc. | Arbitration-based voice recognition |
US10475449B2 (en) | 2017-08-07 | 2019-11-12 | Sonos, Inc. | Wake-word detection suppression |
US10048930B1 (en) | 2017-09-08 | 2018-08-14 | Sonos, Inc. | Dynamic computation of system response volume |
US10482868B2 (en) | 2017-09-28 | 2019-11-19 | Sonos, Inc. | Multi-channel acoustic echo cancellation |
US10466962B2 (en) | 2017-09-29 | 2019-11-05 | Sonos, Inc. | Media playback system with voice assistance |
US11175880B2 (en) | 2018-05-10 | 2021-11-16 | Sonos, Inc. | Systems and methods for voice-assisted media content selection |
US10959029B2 (en) | 2018-05-25 | 2021-03-23 | Sonos, Inc. | Determining and adapting to changes in microphone performance of playback devices |
US11076035B2 (en) | 2018-08-28 | 2021-07-27 | Sonos, Inc. | Do not disturb feature for audio notifications |
US10587430B1 (en) | 2018-09-14 | 2020-03-10 | Sonos, Inc. | Networked devices, systems, and methods for associating playback devices based on sound codes |
US11024331B2 (en) | 2018-09-21 | 2021-06-01 | Sonos, Inc. | Voice detection optimization using sound metadata |
US11100923B2 (en) | 2018-09-28 | 2021-08-24 | Sonos, Inc. | Systems and methods for selective wake word detection using neural network models |
US11899519B2 (en) | 2018-10-23 | 2024-02-13 | Sonos, Inc. | Multiple stage network microphone device with reduced power consumption and processing load |
US11183183B2 (en) | 2018-12-07 | 2021-11-23 | Sonos, Inc. | Systems and methods of operating media playback systems having multiple voice assistant services |
US11132989B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-09-28 | Sonos, Inc. | Networked microphone devices, systems, and methods of localized arbitration |
US11120794B2 (en) | 2019-05-03 | 2021-09-14 | Sonos, Inc. | Voice assistant persistence across multiple network microphone devices |
US11200894B2 (en) | 2019-06-12 | 2021-12-14 | Sonos, Inc. | Network microphone device with command keyword eventing |
US11189286B2 (en) | 2019-10-22 | 2021-11-30 | Sonos, Inc. | VAS toggle based on device orientation |
US11200900B2 (en) | 2019-12-20 | 2021-12-14 | Sonos, Inc. | Offline voice control |
US11562740B2 (en) | 2020-01-07 | 2023-01-24 | Sonos, Inc. | Voice verification for media playback |
US11308958B2 (en) | 2020-02-07 | 2022-04-19 | Sonos, Inc. | Localized wakeword verification |
US11482224B2 (en) | 2020-05-20 | 2022-10-25 | Sonos, Inc. | Command keywords with input detection windowing |
US11984123B2 (en) | 2020-11-12 | 2024-05-14 | Sonos, Inc. | Network device interaction by range |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008270149A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Tokyo Institute Of Technology | 極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法 |
WO2010070540A1 (en) * | 2008-12-16 | 2010-06-24 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Method and device for generating euv radiation or soft x-rays with enhanced efficiency |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10342239B4 (de) | 2003-09-11 | 2018-06-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Extrem-Ultraviolettstrahlung oder weicher Röntgenstrahlung |
US7164144B2 (en) * | 2004-03-10 | 2007-01-16 | Cymer Inc. | EUV light source |
DE102005023060B4 (de) * | 2005-05-19 | 2011-01-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Gasentladungs-Strahlungsquelle, insbesondere für EUV-Strahlung |
KR101340901B1 (ko) * | 2006-09-06 | 2013-12-13 | 코닌클리케 필립스 엔.브이. | 플라즈마 방전 램프 |
JP4930051B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-05-09 | ブラザー工業株式会社 | ステータスモニタプログラム |
US20080237501A1 (en) * | 2007-03-28 | 2008-10-02 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Extreme ultraviolet light source device and extreme ultraviolet radiation generating method |
JP5709251B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2015-04-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 高パワー動作のためのホイールカバーを有するガス放電光源のための回転ホイール電極 |
US8040033B2 (en) * | 2007-09-07 | 2011-10-18 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electrode device for gas discharge sources and method of operating a gas discharge source having this electrode device |
-
2011
- 2011-08-05 EP EP11006474A patent/EP2555598A1/en not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-06-05 TW TW101120138A patent/TWI584696B/zh active
- 2012-06-12 EP EP12728991.6A patent/EP2740333A1/en active Pending
- 2012-06-12 WO PCT/EP2012/002483 patent/WO2013020613A1/en active Application Filing
- 2012-06-12 JP JP2014524281A patent/JP5982486B2/ja active Active
- 2012-06-12 US US14/236,936 patent/US9414476B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008270149A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Tokyo Institute Of Technology | 極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法 |
WO2010070540A1 (en) * | 2008-12-16 | 2010-06-24 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Method and device for generating euv radiation or soft x-rays with enhanced efficiency |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020511734A (ja) * | 2017-02-12 | 2020-04-16 | ブリリアント ライト パワー インコーポレーティド | 電磁流体力学的電気パワー発生器 |
WO2023228629A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9414476B2 (en) | 2016-08-09 |
US20140159581A1 (en) | 2014-06-12 |
TWI584696B (zh) | 2017-05-21 |
TW201309099A (zh) | 2013-02-16 |
JP5982486B2 (ja) | 2016-08-31 |
EP2555598A1 (en) | 2013-02-06 |
WO2013020613A1 (en) | 2013-02-14 |
EP2740333A1 (en) | 2014-06-11 |
WO2013020613A8 (en) | 2013-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5982486B2 (ja) | 電動パルス放電によって光放射を発生するための方法及び装置 | |
TWI382789B (zh) | 製造遠紫外線輻射或軟性x射線之方法及裝置 | |
JP6916937B2 (ja) | 光維持プラズマ形成によって広帯域光を生成する光学システム | |
Borisov et al. | EUV sources using Xe and Sn discharge plasmas | |
JP2009099390A (ja) | 極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法 | |
JP2010539637A (ja) | ガス放電光源用の電極デバイス、及びこの電極デバイスをもつガス放電光源を作動させる方法 | |
TW201728233A (zh) | 經由雷射能量調變來穩定液滴電漿互動之系統及方法 | |
JP5608173B2 (ja) | 向上された効率によってeuv放射又は軟x線を生成する方法及び装置 | |
US8519368B2 (en) | Method and device for generating EUV radiation or soft X-rays | |
JP2009104924A (ja) | 極端紫外光光源装置 | |
US8426834B2 (en) | Method and apparatus for the generation of EUV radiation from a gas discharge plasma | |
JP2014146439A (ja) | プラズマ光源及び極端紫外光発生方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160419 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160712 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160801 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5982486 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |