JP4578250B2 - ビームからビームへの並列均一性補正 - Google Patents
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Description
ここで、図1に対して参照が為される。ここで、光源10を持つROS印刷システムの概略図が示される。光源は、1次元アレイか、2次元アレイかの、光源のいずれかで有り得、各高源は、不揃いの出力強度の光ビームを生成する。ここに示される光源10は、面発光型半導体レーザー(VCSEL:vertical cavity surface emitting laser)の2次元N×Mレーザ・アレイ10であり、全ての放射は通常、同じ波長で、同じ偏波状態である。VCSELのN×Mアレイ10内の個々のVCSELs12は、各走査平面方向において垂直および水平に配列され、個々のVCSELs12の間において、中心から中心への等しい間隔を持つ。VCSELのN×Mアレイ10は、1つの実施例においてモノリシックでありうる。ここで、「N」および「M」は、2次元アレイを記述するための、ゼロより大きい整数値の何らかの組み合わせであり得る。
12 VCSELs
14 ビーム
15 ポスト・ポリゴンレンズ
16 ビーム・スプリッタまたはミラー
18 ビーム
19 ポスト・ポリゴンレンズ
20 光受容器
23 プリ・ポリゴン・レンズ・システム
25 制御されたエネルギー分配ビーム
27 鏡状の面
42 光検知器
60 コリメータ・レンズ
62 画像形成レンズ
64 光検知器平面
70 ポリゴン・スキャナ
Claims (6)
- 光源のアレイであって、当該光源の各々が、対応する光ビームを生成するための校正された複数の均一値(calibrated uniformity values)でプログラムされたプログラマブルなドライバを持つ、光源のアレイ、
光検知器のアレイ、
前記光ビームを、前記光検知器アレイの上に偏向するためのビーム・スプリッタ、
および、
各々の前記光ビームに対して、前記プログラマブルなドライバを用いて高速/低速走査方向でのビーム出力強度を同時に調整するためのフィードバック・ループのアレイであって、前記プログラマブルなドライバの各々が、前記光検知器アレイを、非線形入力が加算された参照ソース(reference source)として用いて、前記光源のアレイによって生成されたビーム出力補正に対する並列ビームを調整する、フィードバック・ループのアレイ、
を備えるマルチ・ビーム走査システム。 - プログラマブルなドライバに記憶された所定の校正値を用いた光源のアレイから複数の光ビームを生成するステップ、
光検知器のアレイを有する光検知器平面の上で受け取るために、ビーム・スプリッタを通じて前記複数の光ビームを分割するステップ、
光検知器を用いて各光ビームに対する出力パワーを測定するステップ、そして、
前記光ビームの各々に対する強度を、前記プログラマブルなドライバを用いるフィードバック・ループのアレイを通じて、高速/低速走査方向において同時に調整するステップであって、各プログラマブルなドライバが、前記光検知器アレイを、非線形入力が加算された参照ソースとして用いて、前記光源のアレイによって生成されたビーム出力補正に対する並列ビームを調整するものである、
を含む方法。 - 前記ビーム出力強度を調整するために、スマイル入力(smile input)を用いた前記プログラマブルなドライバによって、前記光源の各々に流入する電流の総量(amount)を変更するステップ
を更に含む、請求項2に記載の方法。 - 前記フィードバック・ループのアレイは、
前記ビーム出力強度を調整するために、ドゥループ入力(droop input)を用いた前記プログラマブルなドライバによって、前記光源の各々に流入する電流の総量(amount)を変更するステップ
を更に含む、請求項3に記載の方法。 - 前記ビーム出力強度を調整するために、システム振動入力(system vibration input)を用いた前記プログラマブルなドライバによって、前記光源の各々に流入する電流の総量を変更するステップ
を更に含む請求項3に記載の方法。 - 前記ビーム出力強度を調整するために、システムの非線形入力を用いた前記プログラマブルなドライバによって、前記光源の各々に流入する電流の総量を変更するステップ
を更に含む、請求項3に記載の方法。
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