JP4577216B2 - X線検査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、工業製品などの透視検査またはCT検査などを行うためのX線検査装置に関し、さらに詳細には、撮影したX線画像に映し出された特定部位の局所的な計測を行うX線検査装置に関する。
工業製品などの透視検査を行うX線検査装置では、X線発生装置のX線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア(以下、IIと略す)とCCDカメラとを組み合わせたX線検出器を配置し、さらにX線源とX線検出器との間に移動可能なステージを配置して、ステージ上に被測定物を載置するようにしてある。そして、ステージを移動して測定視野内(X線通過領域)に被測定物の測定部位を移動し、X線測定を行う。最近はII、CCDカメラからなるX線検出器に代えて、フラットパネルX線検出器を使用したX線検査装置も利用されている。
X線検査装置では、X線発生装置およびX線検出器からなるX線測定光学系によって撮影したX線画像をモニタ画面に表示し、マウスなどのポインティングデバイスを操作して、X線画像上の一部の特定領域を指定することで、その指定領域について各種計測を行うことができるようにしたものがある。例えばBGA(Ball Grid Array)等を用いた実装基板におけるハンダ接続の透視X線による欠陥検査では、X線画像中の1つ1つのBGAを指定し、画像処理により各BGAのボイド/ボール面積比を求めている(例えば特許文献1参照)。
特開2001−330567号公報
モニタ画面に表示されたX線画像の特定領域について計測を行った場合、その計測結果(文字、数値、記号(検査合否判定記号など)などで表現される計測データ)は、モニタ画面上に表示され、操作者はモニタ画面上で計測結果を確認することになるが、従来、計測結果は、X線画像を表示した窓画面とは別の計測結果表示用の窓画面がモニタ画面上に開かれ、これら2つの窓画面を並べて(窓画面の一部は重なってもよい)表示されるようにしていた。
このように2つの窓画面による表示を行うことにより、X線画像と計測結果とを同時に確認することができるものの、X線画像中での計測を行った特定部位のX線画像と、その局所的なX線画像の計測結果との対応が付きにくかった。
特に、1つのX線画像に対し、X線画像内に含まれる複数の異なる部位について計測する場合(例えば画面上に表示されている複数のBGAをそれぞれ計測する場合)に、別の窓画面に計測結果を表示するのでは、読み取る際に計測部位と計測結果との対応を見誤り、他のデータと混同してしまうことがあった。
そこで、本発明は、X線画像中で計測が行われる特定部位と、その特定部位についての計測結果とを操作者が容易に関係付けて把握できる表示がなされたX線検査装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するためになされた本発明のX線検査装置は、工業製品を被測定物とし、X線測定光学系により撮影された被測定物の透視X線像に基づいてX線画像を作成し、作成したX線画像中の特定部位について局所的な計測を行うX線検査装置であって、X線画像に対し局所的な計測を行う特定部位を指定する特定部位指定部と、指定された特定部位に対する計測を行う特定部位局所計測部と、特定部位の計測結果を計測結果である数値または計測結果に基づく合否判定や指示を示す文字または記号からなる文字記号情報で表現した計測結果文字情報を作成する計測結果文字情報作成部と、計測結果文字情報を該当する特定部位のX線画像上に重ね書きする計測結果文字情報重ね書き部とを備えるようにしている。
ここで、特定部位について行う「局所的な計測」とは、例えば、X線画像の画像処理と演算処理とによって計測される面積比率計測(面積比率、含有オブジェクト数、オブジェクト含有面積)、ワイヤ流れ計測(流れ率)、オブジェクト抽出(粒子解析、ブロブ解析、真円度)、寸法計測(直径、最大寸法、最小寸法、平均寸法)などの計測が含まれる。具体的には、例えば実装基板のX線検査では、面積比率計測の応用として、BGAのハンダ部分のボイド面積、ボイド率計測などが含まれる。
特定部位の指定は、BGA計測の場合のように予め特定部位の形状が定まっている場合は、公知のパターン認識技術などによってX線画像中の特定部位を自動的に指定してもよいし、操作者による指定を促すために表示画面上に指定を促す表示を行って指定を促し、操作者の入力操作に基づいて指定を行うようにしてもよい。
「文字記号情報」とは、計測結果である数値、計測結果に基づく合否判定や指示を示す文字、記号からなり、操作者に計測結果について伝達する情報をいう。
本発明によれば、X線発生装置のX線源とX線検出器とからなるX線測定光学系により被測定物の透視X線像を撮影し、撮影した透視X線像に基づいてX線画像を作成する。特定部位指定部は、作成したX線画像中の局所的な計測を行う部位(例えばBGA計測の場合は各BGA)を指定する。指定がなされると特定部位局所計測部は、指定された特定部位に対する計測を行う。そして、計測結果文字情報作成部は、特定部位の計測結果を、文字、記号からなる文字記号情報で表現した計測結果文字情報を作成する。計測結果文字情報重ね書き部は、作成された計測結果文字情報を、その計測が行われた特定部位のX線画像上に重ね書きする。
本発明によれば、計測が行われた特定部位とその計測結果とが1つの画面上で重ねて表示されるので、操作者はX線画像と計測結果との対応について読取ミスを起こすことがなくなる。
(その他の課題を解決するための手段および効果)
上記発明において、計測結果文字情報作成部により作成された計測結果文字情報の一部を選択する文字情報選択部をさらに備え、計測結果文字情報重ね書き部は、選択された計測結果文字情報のみをX線画像上に重ね書きするようにしてもよい。
これによれば、作成された計測結果文字情報に含まれる情報量(文字等の数)が多い場合でも、X線画像上に重ね書きされる情報量(文字等の数)を適宜減らすことができるので、操作者にとって必要な情報のみを表示することができ、重ね書きしている位置のX線画像を見やすくすることができる。
また、上記発明において、計測結果文字情報作成部により作成された計測結果文字情報をX線画像に重ね書きする際の表示形態を変更する表示形態変更部を、さらに備えるようにしてもよい。ここで、表示形態とは、表示の大きさ、表示位置、表示色、文字等の書体などをいう。
これによれば、表示形態変更部は、重ね書き表示される情報について、操作者が見やすい配置にしたり、好みの表示にしたりすることができる。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。本実施形態では、被測定物としてBGAが形成された実装基板を用い、BGA中のボイド(気泡)の計測を行うBGA計測を行うものとする。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
図1は、本発明の一実施形態であるX線検査装置の構成を示すブロック図である。このX線検査装置1は、X線発生装置11とX線検出器12とで構成されるX線測定光学系13と、被測定物Sを載置するステージ14と、ステージ14を直交するXYZ方向(ステージ面をXY面とする)に並進駆動およびZ軸に沿って回転駆動するための駆動機構16と、装置全体の制御を行う制御系20とにより構成される。
制御系20は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、CPU21と、キーボード22と、マウス23と、液晶パネルなどの表示装置24と、メモリ25とにより構成される。
また、CPU21が処理する機能をブロック化して説明すると、X線画像作成部31、X線画像表示制御部32、駆動信号発生部33、特定部位指定部34、特定部位局所計測部35、計測結果文字情報作成部36、計測結果文字情報重ね書き部37、文字情報選択部38、表示形態変更部39とに分けられる。
また、メモリ25は、X線画像記憶領域51、計測結果文字情報記憶領域52とが設けられている。
X線測定光学系13を構成するX線発生装置11は、透視X線照射用のX線管を備えている。X線検出器12は、X線管に対向するように配置されるIIと、このIIの後側に一体的に取り付けられたCCDカメラとからなり、IIが透視X線を検出することにより形成した蛍光像をCCDカメラで撮影することにより、透視X線像の映像信号が出力されるようにしてある。
ステージ14は、ステージ面内の方向であるXY方向とステージ面に垂直なZ方向との3次元方向にスライドすることが可能な下部ステージと、下部ステージに対しZ軸方向の回転軸により回転可能に支持される上部ステージとにより構成され、被測定物Sは上部ステージに載置されるようにしてある。
駆動機構16は、XYZ方向の3軸方向駆動用モータ、回転駆動用モータが搭載され、CPU21からのステージ駆動のための駆動信号に基づいてステージ14を並進移動したり、回転移動したりする。
次に、CPU21の各機能ブロックについて説明する。
X線画像作成部31は、X線検出器12から送られてきた透視X線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、X線画像データを作成する制御を行う。作成されたX線画像はメモリ25のX線画像記憶領域51に蓄積され、後で読み出すことができるようにしてある。図2はBGAを含むX線画像の一例を示す模式図である。図中のX線画像24bの右側下方部分に4つの丸いBGAが映し出されている。
X線画像表示制御部32は、X線画像作成部31が作成したX線画像データやメモリ25に蓄積されたX線画像データを、表示装置24のモニタ画面24aに表示する制御を行う。
駆動信号発生部33は、キーボード22やマウス23により、ステージ14を並進移動したり、回転移動したりするための入力操作が行われたときに、その入力操作に対応する制御量の駆動信号を発生する制御を行う。発生した駆動信号は駆動機構16に送られ、関係する並進駆動用モータ、回転駆動用モータを作動させて所望の位置にステージ14を移動することになる。
特定部位指定部34は、X線画像に対し局所的な計測を行う特定部位を指定する制御を行う。
特定部位の指定は、マウス23による位置指定操作を行うことにより行うことができる。なお、BGA計測の場合のように,予め、特定部位の形状や大きさが定まっている場合は、その形状や大きさに基づいて、X線画像のパターン認識を行い、該当する領域を自動的に指定することができる。また、指定位置は1つに限らず、複数指定してもよい。複数指定の場合は、各指定場所を識別するためのラベル番号情報が各指定場所に自動付与され、ラベル番号により、各指定位置を特定できるようにしている。
特定部位局所計測部35は、指定された特定部位について、BGA計測35a、ワイヤ流れ計測35b、オブジェクト抽出35cなどから操作者が選択した所望の計測を行う。計測は、制御系20のメモリ25に内蔵してある計測プログラムを、CPU21にロードすることにより実行される。計測は1つだけを実行してもよいし、複数の計測を並行して実行してもよい。
計測結果文字情報作成部36は、特定部位についての計測結果が得られると、これを文字、記号からなる文字記号情報で表現した計測結果文字情報を作成し、計測結果文字情報記憶領域52に蓄積する制御を行う。例えば、図2に示したBGAについて、ボイド面積、ボイド率を計測した場合は、BGAごとに、ラベル番号(#1、#2、#3、#4)、計測結果であるボイド面積(0.123、0.000、0.000、0.234)およびボイド率(6.2%、0.0%、0.0%、11.7%)が関係付けられて記憶される。
計測結果情報重ね書き部37は、計測結果文字情報を、対応する特定部位のX線画像上に重ね書きする制御を行う。すなわち、図3に示すように、指定された特定部位の位置(座標)に合わせて、表示しようとする計測結果文字情報を配置し、さらに文字部分以外を透明にした重ね書き用画像24cを作成する。
そして、作成した重ね書き用画像24cを、X線画像24bの上に重ねて表示する。図4は、重ね書き前のX線画像24b(図4(a))と重ね書き後の合成画像24d(図4(b))とを並べた図である。このように、X線画像24dの各BGA上に、対応するラベル番号、ボイド面積、ボイド率が表示されている。
文字情報選択部38は、計測結果文字情報作成部36により作成された計測結果文字情報の量が多すぎる場合等に、作成された計測結果文字情報のなかから一部を選択する制御を行う。
具体的には、例えば図5に示すような表示項目選択画面をモニタ画面24aに表示し、操作者に、X線画面に重ね書きしたい文字情報の選択を促す。表示したい項目を選択する入力がなされた場合は、その選択された項目が計測結果重ね書き部37に送られ、計測結果重ね書き部37は、選択された項目のみの重ね書き用画像24c(図3)を作成する。図6は、図4(b)で示した文字情報のうち、ボイド面積の計測結果を削除したときの合成画像24eを示す図である。このように操作者の求める文字情報のみが表示されるようにしている。
表示形態変更部39は、作成された計測結果文字情報をX線画像に重ね書きする際の表示形態を変更する制御を行う。文字情報選択部38による文字情報の選択と同様に、表示形態選択画面(不図示)をモニタ画面24aに表示し、表示大きさ(文字ポイント数)、表示位置、表示色、書体についての選択を操作者に促す。これらの項目について変更入力がなされた場合は、その選択された項目が計測結果重ね書き部37に送られ、計測結果重ね書き部37は、その内容に応じて、表示形態を変更した重ね書き画像を作成する。図7は図6で示した合成画像24eに対し、表示大きさおよび表示色、表示位置を変更したときの合成画像24fを示す図である。このように操作者の求める表示形態で表示されるようにしている。
さらに表示形態変更部39は、マウス23による文字情報に対するドラッグ&ドロップ操作があったときに、文字情報の表示位置を変更する制御を行う。図8は、ドラッグ&ドロップ操作により表示位置を移動した状態の合成画像24gを説明する模式図である。移動を行うことにより文字を読みやすい位置に配置させることができる。
以上、BGA計測の場合について説明したが、その他の計測の場合であっても同様である。また、上記実施形態では1つの計測のみを実行したが、複数の計測を行った場合も同様であり、その場合は複数の計測結果について同様の表示を行う。
本発明は、表示装置のモニタ画面に被測定物のX線画像を表示させて計測を行い、X線画像上に計測結果を表示するようにしたX線検査装置に利用することができる。
本発明の一実施形態であるX線検査装置の構成を示すブロック図。 BGAを含むX線画像の模式図。 図2のX線画像に計測結果文字情報を重ねて表示するための重ね書き用画像の模式図。 X線画像に計測結果文字情報を重ね書きして表示した合成画面を示す図。 表示装置のモニタ画面に表示される表示項目選択画面を示す図。 重ね書きする文字情報の一部のみを選択したときの合成画像を示す図。 重ね書きする文字情報の表示形態を変更したときの合成画像を示す図。 文字情報の表示位置を変更するときの状態を説明する模式図。
符号の説明
1: X線検査装置
11: X線発生装置(X線源)
12: X線検出器
13: X線測定光学系
14: ステージ
16: 駆動機構
20: 制御系
23: マウス
24: 表示装置
24b:X線画像
24c:重ね書き用画像
24d〜24g: 合成画像
31: X線画像作成部
32: X線画像表示制御部
34: 特定部位指定部
35: 特定部位局所計測部
36: 計測結果文字情報作成部
37: 計測結果文字情報重ね書き部
38: 文字情報選択部
39: 表示形態変更部

Claims (3)

  1. 工業製品を被測定物とし、X線測定光学系により撮影された被測定物の透視X線像に基づいてX線画像を作成し、作成したX線画像中の特定部位について局所的な計測を行うX線検査装置であって、
    X線画像に対し局所的な計測を行う特定部位を指定する特定部位指定部と、
    指定された特定部位に対する計測を行う特定部位局所計測部と、
    特定部位の計測結果を計測結果である数値または計測結果に基づく合否判定や指示を示す文字または記号からなる文字記号情報で表現した計測結果文字情報を作成する計測結果文字情報作成部と、
    計測結果文字情報を該当する特定部位のX線画像上に重ね書きする計測結果文字情報重ね書き部とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
  2. 計測結果文字情報作成部により作成された計測結果文字情報の一部を選択する文字情報選択部をさらに備え、計測結果文字情報重ね書き部は、選択された計測結果文字情報のみをX線画像上に重ね書きすることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
  3. 計測結果文字情報作成部により作成された計測結果文字情報をX線画像に重ね書きする際の表示形態を変更する表示形態変更部をさらに備えたことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のX線検査装置。
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