JP4577216B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
特に、1つのX線画像に対し、X線画像内に含まれる複数の異なる部位について計測する場合(例えば画面上に表示されている複数のBGAをそれぞれ計測する場合)に、別の窓画面に計測結果を表示するのでは、読み取る際に計測部位と計測結果との対応を見誤り、他のデータと混同してしまうことがあった。
上記発明において、計測結果文字情報作成部により作成された計測結果文字情報の一部を選択する文字情報選択部をさらに備え、計測結果文字情報重ね書き部は、選択された計測結果文字情報のみをX線画像上に重ね書きするようにしてもよい。
これによれば、作成された計測結果文字情報に含まれる情報量(文字等の数)が多い場合でも、X線画像上に重ね書きされる情報量(文字等の数)を適宜減らすことができるので、操作者にとって必要な情報のみを表示することができ、重ね書きしている位置のX線画像を見やすくすることができる。
これによれば、表示形態変更部は、重ね書き表示される情報について、操作者が見やすい配置にしたり、好みの表示にしたりすることができる。
また、CPU21が処理する機能をブロック化して説明すると、X線画像作成部31、X線画像表示制御部32、駆動信号発生部33、特定部位指定部34、特定部位局所計測部35、計測結果文字情報作成部36、計測結果文字情報重ね書き部37、文字情報選択部38、表示形態変更部39とに分けられる。
また、メモリ25は、X線画像記憶領域51、計測結果文字情報記憶領域52とが設けられている。
X線画像作成部31は、X線検出器12から送られてきた透視X線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、X線画像データを作成する制御を行う。作成されたX線画像はメモリ25のX線画像記憶領域51に蓄積され、後で読み出すことができるようにしてある。図2はBGAを含むX線画像の一例を示す模式図である。図中のX線画像24bの右側下方部分に4つの丸いBGAが映し出されている。
X線画像表示制御部32は、X線画像作成部31が作成したX線画像データやメモリ25に蓄積されたX線画像データを、表示装置24のモニタ画面24aに表示する制御を行う。
特定部位の指定は、マウス23による位置指定操作を行うことにより行うことができる。なお、BGA計測の場合のように,予め、特定部位の形状や大きさが定まっている場合は、その形状や大きさに基づいて、X線画像のパターン認識を行い、該当する領域を自動的に指定することができる。また、指定位置は1つに限らず、複数指定してもよい。複数指定の場合は、各指定場所を識別するためのラベル番号情報が各指定場所に自動付与され、ラベル番号により、各指定位置を特定できるようにしている。
具体的には、例えば図5に示すような表示項目選択画面をモニタ画面24aに表示し、操作者に、X線画面に重ね書きしたい文字情報の選択を促す。表示したい項目を選択する入力がなされた場合は、その選択された項目が計測結果重ね書き部37に送られ、計測結果重ね書き部37は、選択された項目のみの重ね書き用画像24c(図3)を作成する。図6は、図4(b)で示した文字情報のうち、ボイド面積の計測結果を削除したときの合成画像24eを示す図である。このように操作者の求める文字情報のみが表示されるようにしている。
11: X線発生装置(X線源)
12: X線検出器
13: X線測定光学系
14: ステージ
16: 駆動機構
20: 制御系
23: マウス
24: 表示装置
24b:X線画像
24c:重ね書き用画像
24d〜24g: 合成画像
31: X線画像作成部
32: X線画像表示制御部
34: 特定部位指定部
35: 特定部位局所計測部
36: 計測結果文字情報作成部
37: 計測結果文字情報重ね書き部
38: 文字情報選択部
39: 表示形態変更部
Claims (3)
- 工業製品を被測定物とし、X線測定光学系により撮影された被測定物の透視X線像に基づいてX線画像を作成し、作成したX線画像中の特定部位について局所的な計測を行うX線検査装置であって、
X線画像に対し局所的な計測を行う特定部位を指定する特定部位指定部と、
指定された特定部位に対する計測を行う特定部位局所計測部と、
特定部位の計測結果を計測結果である数値または計測結果に基づく合否判定や指示を示す文字または記号からなる文字記号情報で表現した計測結果文字情報を作成する計測結果文字情報作成部と、
計測結果文字情報を該当する特定部位のX線画像上に重ね書きする計測結果文字情報重ね書き部とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
- 計測結果文字情報作成部により作成された計測結果文字情報の一部を選択する文字情報選択部をさらに備え、計測結果文字情報重ね書き部は、選択された計測結果文字情報のみをX線画像上に重ね書きすることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 計測結果文字情報作成部により作成された計測結果文字情報をX線画像に重ね書きする際の表示形態を変更する表示形態変更部をさらに備えたことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のX線検査装置。
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- 2005-12-29 JP JP2005380638A patent/JP4577216B2/ja not_active Expired - Fee Related
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