JP4405773B2 - 放射線検査装置及び画像操作プログラム - Google Patents
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Description
以下、図面を用いて本発明の一実施例について説明する。
本発明で用いるX線透視検査装置は半導体チップの内部欠陥等を検査するために用いるものである。従来と同様に一般的な図1に示すX線透視検査装置100と同様の構成であり、同一部材には同一の番号を付している。X線透視検査装置100はX線管1、X線検出器3、被検体4を配置するための試料テーブル5、XY機構7、昇降機構8、X線検出器3で取得した透過画像取り込むコンピュータ本体9を備えている。
<実施例2>
2 X線ビーム
3 X線検出器
4 被検体
5 試料テーブル
6 視野
7 XY機構
8 昇降機構
9 コンピュータ本体
10 表示部
11 マウス
11a 左ボタン
11b 右ボタン
11c ホイール
12 キーボード
13 画面
14 観察画像領域
15 参照画像領域
16 抄録画像領域
17 メモリボックス
18 スクロールバー
19 ROI
20 カーソル
100 X線透視検査装置
Claims (8)
- 被検体を透過した放射線を検出する放射線検出器で得られたデータより被検体の画像を取得する放射線検査装置において、
取得された1つの画像の全体を表示する参照画像領域と前記参照画像領域に表示される画像の一部を拡大して表示する観察画像領域と取得された複数の画像を各々表示する複数の抄録画像領域とを有する表示手段と、
取得された最新の1つの画像または観察中の1つの画像を順次上書き記憶するための現在画像記憶領域と前記現在画像記憶領域に記憶されていた画像の複数を保持記憶するための保持画像記憶領域とを有する記憶手段と、
入力された操作指示に基づいて、前記現在画像記憶領域に記憶されている1つの画像を表示する際には前記参照画像領域及び前記観察画像領域に表示するように、また、前記保持画像記憶領域に記憶されている複数の画像を表示する際には各々前記抄録画像領域に表示するように表示制御する制御手段と、
入力手段であるポインティングデバイスとを備え、
前記制御手段は、前記ポインティングデバイスにより、前記表示手段に表示する前記観察画像領域または前記参照画像領域上にカーソルが配置されかつドラッグされ選択された1つの抄録画像領域でこのドラッグが終了した時、前記現在画像記憶領域に記憶されている画像をこの抄録画像領域に表示しかつ対応する前記保持画像記憶領域に記憶させることを特徴とする放射線検査装置。 - 請求項1に記載の放射線検査装置において、
前記画像を取得する際に、前記放射線を検出する際の検出条件である条件データも取り込み、
前記画像と前記条件データとを検査データとして前記記憶手段に記憶することを特徴とする放射線検査装置。 - 請求項1または2に記載の放射線検査装置において、前記制御手段は、
前記ポインティングデバイスにより、前記抄録画像領域の1つに表示されている1の画像上にカーソルが配置されることで前記画像が選択されかつダブルクリックあるいは前記参照画像領域あるいは前記観察画像領域にドラッグされたときに、前記保持画像記憶領域に記憶されている前記画像を前記現在画像記憶領域に記憶させることを特徴とする放射線検査装置。 - 請求項1または2に記載の放射線検査装置において、前記制御手段は、
前記拡大の拡大率の昇降指令が入力された時にこの拡大率を予め定めた数値列間で1ステップずつ変化させて前記観察領域の画像を表示させることを特徴とする放射線検査装置。 - 請求項1または2に記載の放射線検査装置において、前記制御手段は、
カーソルが前記観察画像上に配置され、前記カーソルを操作する前記ポインティングデバイスに備えられるホイールがステップ回転されたときに、前記拡大の拡大率の昇降指令が入力されたと判断して拡大率を変更させることを特徴とする放射線検査装置。 - 請求項1または2に記載の放射線検査装置において、前記制御手段は、
前記ポインティングデバイスにより、前記参照画像領域あるいは前記観察画像領域上で一定の位置にカーソルが配置されかつダブルクリックされたときに、前記観察画像領域の拡大の中心を前記カーソルが指示する画像上の位置に変更することを特徴とする放射線検査装置。 - 請求項1または2に記載の放射線検査装置において、前記制御手段は、
前記参照画像領域上に前記観察画像領域の縁に相当する図形を重ねて表示させることを特徴とする放射線検査装置。 - 放射線検査装置における画像操作プログラムにおいて、前記放射線検査装置のコンピュータに
前記放射線検査装置で取得された1つの画像の全体を表示する参照画像領域と参照画像領域に表示される画像の一部を表示する観察画像領域と取得された複数の画像を各々表示する複数の抄録画像領域とを有する表示画面を表示させる機能と、
新たに取得された1つの画像を現在画像として現在画像記憶領域に順次上書き記憶する機能と、
前記現在画像記憶領域に記憶されていた画像の複数を保持記憶することのできる保持画像記憶領域と、
前記現在画像の全体を前記参照画像領域に表示する機能と、
前記現在画像の一部を前記観察画像領域に表示させる機能と、
前記保持画像記憶領域に記憶されている複数の画像を各々前記抄録画像領域に表示する機能と、
入力手段であるポインティングデバイスにより、表示手段に表示する前記観察画像領域または前記参照画像領域上にカーソルが配置されかつドラッグされ選択された1つの抄録画像領域でこのドラッグが終了した時、前記現在画像をこの抄録画像領域に表示しかつ対応する前記保持画像記憶領域に記憶させる機能と、
を実現させることを特徴とする放射線検査装置の画像操作プログラム。
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