JP4565563B2 - ガスセンサ素子の製造方法 - Google Patents
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未焼成補強部の挿入孔に未焼成電極保護部を配置した後、該未焼成補強部及び該未焼成電極保護部の少なくとも一方を加圧し、未焼成保護層を形成する加圧工程と、該未焼成保護層と未焼成固体電解質体とを積層させ、焼成後にガスセンサ素子となる積層体を形成する積層体形成工程と、該積層体を焼成する焼成工程と、を含むことを特徴とする。
405…第2固体電解質体
111…保護層、未焼成保護層
407…保護層
110…第4電極、第4未焼成電極
406…第4電極
300、600…ガスセンサ素子
112a…挿入孔
112…補強部、未焼成補強部
113…未焼成電極保護部用シート
117…未焼成補強部用シート
408…補強部
113a…電極保護部、未焼成電極保護部
409a…電極保護部
G…隙間
23…主体金具
Claims (6)
- 固体電解質体と、
該固体電解質体上に形成された電極と、
挿入孔を有する補強部、及び該挿入孔内に設けられ、前記電極を被毒から防御するための多孔質の電極保護部を含む保護層と、を有するガスセンサ素子の製造方法において、
未焼成補強部の挿入孔に未焼成電極保護部を配置した後、該未焼成補強部及び該未焼成電極保護部の少なくとも一方を加圧し、未焼成保護層を形成する加圧工程と、
該未焼成保護層と未焼成固体電解質体とを積層させ、焼成後にガスセンサ素子となる積層体を形成する積層体形成工程と、
該積層体を焼成する焼成工程と、
を含むことを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。 - 前記加圧工程は、常温以上の条件下で行うことを特徴とする請求項1記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記加圧工程は、前記未焼成電極保護部を加圧することを特徴とする請求項1又は2記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記加圧工程前の前記未焼成電極保護部の厚みは、前記未焼成補強部の厚みより厚いことを特徴とする請求項3記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記補強部の厚みと前記電極保護部の厚みとが略同等の厚みであることを特徴とする請求項4記載のガスセンサ素子の製造方法。
- 前記挿入孔は角を有さない形状であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のガスセンサ素子の製造方法。
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