JP4563072B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
第1実施形態に係るX線検査装置は、図1に示すように、被検物Aを所定の検査位置に搬送して停止させる搬送手段1と、検査位置に停止した被検物AにX線を照射するX線源2と、被検物Aを透過したX線を検出するX線検出部としてのX線検出器3とを備えると共に、被検物Aが検査位置に搬送されたことを検出するためのセンサ4と、このセンサ4の検出信号に基づいて搬送手段1、X線源2およびX線検出器3の作動を制御する制御部としての制御装置5とを備えている。
第2実施形態に係るX線検査装置は、前述した第1実施形態のX線検査装置における制御装置5の構成を図15に示す構成に変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様に構成されている。このため、第2実施形態に係るX線検査装置の説明において、第1実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を用いて図示および詳細な説明は省略する。
第3実施形態に係るX線検査装置は、図16に示すように、前述した第1実施形態のX線検査装置に対し、偏向用電磁コイル7に替わる別途の偏向用電磁コイル10,11を追加し、それに応じて制御装置5の構成を図17に示す構成に変更したものであり、その他の部分は第1実施形態と同様に構成されている。このため、第3実施形態に係るX線検査装置の説明において、第1実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を用いて図示および詳細な説明は省略する。
1A 搬入ベルトコンベア装置
1B 搬送ベルトコンベア装置
1C 搬出ベルトコンベア装置
2 X線源
2A X線管
2C 電子銃収容部
2E ターゲット収容部
3 X線検出器
4 センサ
5 制御装置
5A 統括制御部
5B 搬送手段制御部
5C 電子ビーム偏向制御部
5D X線検出器制御部
6 X線シールド箱
7 偏向用電磁コイル(電子ビーム偏向手段)
8 スイッチ回路
9 モータ駆動回路
A 被検物
K カソード
G グリッド電極
FG フォーカスグリッド電極
F フード電極
F2 退避部位
T ターゲット
T1 X線出射面
T2 X線出射部位
T3 退避部位
T4 退避部位
VK カソード用可変電源(電子ビーム集束手段)
Claims (3)
- 被検物を所定の検査位置に搬送する搬送手段と、
検査位置に搬送された被検物にX線を照射するX線源と、
被検物を透過したX線を検出するX線検出部と、
を備えたX線検査装置であって、
センサの検出信号に基づいて制御部により制御される前記X線源は、
電子銃部から出射される電子ビームの進路を変更可能な電子ビーム偏向手段を有し、
この電子ビーム偏向手段は、
前記搬送手段の作動が停止して前記被検物が前記検査位置に停止し、前記被検物にX線を照射する検査時には、
まず、前記被検物が検査位置に搬送されたことを前記センサが検出してから電子ビームをターゲット収容部内に配置されたターゲットのX線出射面内の所定のX線出射部位に入射させ、前記搬送手段の作動を運転状態から停止状態に移行させつつ、X線を前記被検物に照射し、
しかる後、前記搬送手段による前記被検物の搬送を完全に停止させてから、この照射状態で前記X線検出部にリセット信号を入力することで、前記X線検出部は前記被検物を透過したX線によるX線画像データを生成し、
前記搬送手段の作動が運転中である非検査時には電子ビームを前記X線出射部位から外れた部位に入射させるように構成されている、
ことを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1に記載のX線検査装置であって、被検物の非検査時における電子ビームの入射部位が前記ターゲット上に設定されていることを特徴とするX線検査装置。
- 請求項1に記載のX線検査装置であって、被検物の非検査時における電子ビームの入射部位が前記ターゲットを囲んで設けられたフード電極上に設定されていることを特徴とするX線検査装置。
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