JP2000338056A - 薄状体非破壊検査装置 - Google Patents
薄状体非破壊検査装置Info
- Publication number
- JP2000338056A JP2000338056A JP11149020A JP14902099A JP2000338056A JP 2000338056 A JP2000338056 A JP 2000338056A JP 11149020 A JP11149020 A JP 11149020A JP 14902099 A JP14902099 A JP 14902099A JP 2000338056 A JP2000338056 A JP 2000338056A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft
- ray
- rays
- subject
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 効率よく、また、被検体を非破壊で検査・観
察することができる薄状体非破壊検査装置を提供する。 【解決手段】 軟Ｘ線２を発生する軟Ｘ線源１と、前記
軟Ｘ線２を通過させる軟Ｘ線窓１１、１２が入口側およ
び出口側に設けられた真空箱９と、前記真空箱９の下流
側に設けられた蛍光体１０およびＸ線像処理装置Ｃとか
らなり、前記出口側の軟Ｘ線窓１２と前記蛍光体１０と
の間に被検体Ｓを位置させて検査するように構成した。
察することができる薄状体非破壊検査装置を提供する。 【解決手段】 軟Ｘ線２を発生する軟Ｘ線源１と、前記
軟Ｘ線２を通過させる軟Ｘ線窓１１、１２が入口側およ
び出口側に設けられた真空箱９と、前記真空箱９の下流
側に設けられた蛍光体１０およびＸ線像処理装置Ｃとか
らなり、前記出口側の軟Ｘ線窓１２と前記蛍光体１０と
の間に被検体Ｓを位置させて検査するように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、パスポート、有
価証券や紙幣などの検査や、薄状の動植物の生体組織な
どの観察に用いられる薄状体非破壊検査装置に関する。
価証券や紙幣などの検査や、薄状の動植物の生体組織な
どの観察に用いられる薄状体非破壊検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄状体を検査する従来の装置の一つに、
図２に示すものがある。１９は、軟Ｘ線源１からの軟Ｘ
線２を通過させる軟Ｘ線窓１１が設けられた真空箱であ
り、真空箱１９の側面に設けられた蓋１９’を開けて、
中にＸ線フィルム２０および被検体Ｓを置いた後、前記
蓋１９’を閉じる。そして、開閉弁１４および真空ポン
プ１５によって前記真空箱１９の内部を真空にし、その
真空箱１９の軟Ｘ線窓１１側から軟Ｘ線を照射すること
で、被検体Ｓの検査を行っていた。
図２に示すものがある。１９は、軟Ｘ線源１からの軟Ｘ
線２を通過させる軟Ｘ線窓１１が設けられた真空箱であ
り、真空箱１９の側面に設けられた蓋１９’を開けて、
中にＸ線フィルム２０および被検体Ｓを置いた後、前記
蓋１９’を閉じる。そして、開閉弁１４および真空ポン
プ１５によって前記真空箱１９の内部を真空にし、その
真空箱１９の軟Ｘ線窓１１側から軟Ｘ線を照射すること
で、被検体Ｓの検査を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の構成で
は、真空箱１９の中にＸ線フィルム２０および被検体Ｓ
を置いた後に、真空箱１９内を排気して真空にする必要
があることから、検査するたびに、真空処理のための時
間と手間を要し、また、被検体Ｓを真空状態下に置くこ
とから、被検体Ｓによっては水分の蒸発などでその性状
が変化し、非破壊で正確な検査や観察を行うことができ
なくなるおそれがあった。
は、真空箱１９の中にＸ線フィルム２０および被検体Ｓ
を置いた後に、真空箱１９内を排気して真空にする必要
があることから、検査するたびに、真空処理のための時
間と手間を要し、また、被検体Ｓを真空状態下に置くこ
とから、被検体Ｓによっては水分の蒸発などでその性状
が変化し、非破壊で正確な検査や観察を行うことができ
なくなるおそれがあった。
【０００４】この発明は上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、効率よく、また、被検体を非破壊
で検査・観察することが可能な薄状体非破壊検査装置を
提供することにある。
もので、その目的は、効率よく、また、被検体を非破壊
で検査・観察することが可能な薄状体非破壊検査装置を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の薄状体非破壊検査装置は、軟Ｘ線を発生
する軟Ｘ線源と、前記軟Ｘ線を通過させる軟Ｘ線窓が入
口側および出口側に設けられた真空箱と、前記真空箱の
下流側に設けられた蛍光体およびＸ線像処理装置とから
なり、前記出口側の軟Ｘ線窓と前記蛍光体との間に被検
体を位置させて検査するように構成したことを特徴とし
ている。
に、この発明の薄状体非破壊検査装置は、軟Ｘ線を発生
する軟Ｘ線源と、前記軟Ｘ線を通過させる軟Ｘ線窓が入
口側および出口側に設けられた真空箱と、前記真空箱の
下流側に設けられた蛍光体およびＸ線像処理装置とから
なり、前記出口側の軟Ｘ線窓と前記蛍光体との間に被検
体を位置させて検査するように構成したことを特徴とし
ている。
【０００６】上記の構成により、効率よく、また、被検
体の性状をほとんど変えずに検査・観察することができ
る薄状体非破壊検査装置の提供が可能となる。
体の性状をほとんど変えずに検査・観察することができ
る薄状体非破壊検査装置の提供が可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を、図を
参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施例に係
る薄状体非破壊検査装置Ｄの構成を概略的に示す縦断面
図である。薄状体非破壊検査装置Ｄは、上流部Ａと下流
部ＢとＸ線像処理装置Ｃとから構成されている。上流部
Ａは、上流側から順に、軟Ｘ線源１と、真空箱９とを有
しており、下流部Ｂは、上流側から順に、蛍光体１０
と、フード１７と、カラーカメラ１８とを有している。
参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施例に係
る薄状体非破壊検査装置Ｄの構成を概略的に示す縦断面
図である。薄状体非破壊検査装置Ｄは、上流部Ａと下流
部ＢとＸ線像処理装置Ｃとから構成されている。上流部
Ａは、上流側から順に、軟Ｘ線源１と、真空箱９とを有
しており、下流部Ｂは、上流側から順に、蛍光体１０
と、フード１７と、カラーカメラ１８とを有している。
【０００８】軟Ｘ線源１は、軟Ｘ線２を発散的に発生す
るもので、熱陰極３、対陰極４やウェーネルト円筒５な
どよりなるＸ線管６をケース７内に設けたものであり、
熱陰極３に電圧を印加したときに熱陰極３から発生する
電子線をウェーネルト円筒５により対陰極４表面で集束
させて軟Ｘ線２を発生させ、この軟Ｘ線２を前記軟Ｘ線
源１の前面側に設けられた軟Ｘ線窓８から出射するよう
に構成されている。
るもので、熱陰極３、対陰極４やウェーネルト円筒５な
どよりなるＸ線管６をケース７内に設けたものであり、
熱陰極３に電圧を印加したときに熱陰極３から発生する
電子線をウェーネルト円筒５により対陰極４表面で集束
させて軟Ｘ線２を発生させ、この軟Ｘ線２を前記軟Ｘ線
源１の前面側に設けられた軟Ｘ線窓８から出射するよう
に構成されている。
【０００９】真空箱９は、前記軟Ｘ線源１から発散され
る軟Ｘ線２を、薄状の被検体Ｓ（例えば紙幣）ひいては
その下流側にある蛍光体１０全面に対して導くためのも
ので、縦断面形状は、下流側に向かって末広がりとなる
ように、例えば台形に形成されている。より詳しくは、
この真空箱９の、前記軟Ｘ線窓８に対向する軟Ｘ線２の
入口側およびこれに対向する軟Ｘ線２の出口側には、ベ
リリウムやアルミニウムなどの金属薄膜よりなる軟Ｘ線
窓１１，１２が形成され、軟Ｘ線２が通過可能となって
いるとともに、側面部分１３は、アルミニウムや鉄ある
いはガラスなどからなる内材の外面に鉛やモリブデンな
どＸ線シールド材を被覆して構成され、全体として密閉
構造となっている。
る軟Ｘ線２を、薄状の被検体Ｓ（例えば紙幣）ひいては
その下流側にある蛍光体１０全面に対して導くためのも
ので、縦断面形状は、下流側に向かって末広がりとなる
ように、例えば台形に形成されている。より詳しくは、
この真空箱９の、前記軟Ｘ線窓８に対向する軟Ｘ線２の
入口側およびこれに対向する軟Ｘ線２の出口側には、ベ
リリウムやアルミニウムなどの金属薄膜よりなる軟Ｘ線
窓１１，１２が形成され、軟Ｘ線２が通過可能となって
いるとともに、側面部分１３は、アルミニウムや鉄ある
いはガラスなどからなる内材の外面に鉛やモリブデンな
どＸ線シールド材を被覆して構成され、全体として密閉
構造となっている。
【００１０】前記真空箱９には、開閉弁１４および吸引
ポンプ１５を有する排気系統１６が接続され、適宜の真
空状態になるように構成されている。なお、真空箱９
は、その入口側の軟Ｘ線窓１１を、軟Ｘ線源１の軟Ｘ線
窓８に可及的に近づけ、間に形成される空気層が可及的
に薄くなるようにするのがよい。
ポンプ１５を有する排気系統１６が接続され、適宜の真
空状態になるように構成されている。なお、真空箱９
は、その入口側の軟Ｘ線窓１１を、軟Ｘ線源１の軟Ｘ線
窓８に可及的に近づけ、間に形成される空気層が可及的
に薄くなるようにするのがよい。
【００１１】蛍光体１０は、軟Ｘ線２の照射により発光
する。また、この蛍光体１０は、光を透過する材料で形
成された窓２１により保持されており、この窓２１は、
蛍光体１０を載置した状態で、前記出口側の軟Ｘ線窓１
２と平行になるように適宜の保持手段（図示せず）によ
って保持されている。
する。また、この蛍光体１０は、光を透過する材料で形
成された窓２１により保持されており、この窓２１は、
蛍光体１０を載置した状態で、前記出口側の軟Ｘ線窓１
２と平行になるように適宜の保持手段（図示せず）によ
って保持されている。
【００１２】１７は、外部の光を遮断するためのフード
で、軟Ｘ線２を蛍光体１０に照射したときに発生する光
に対して外部の光が悪影響を及ぼさないように外部光を
遮断するためのものである。フード１７は、前記窓２１
の側方から下流側に向けて設けられ、その縦断面形状
は、下流側に向かって末窄まりとなるように、例えば台
形に形成されている。また、フード１７において、前記
窓２１の側方に位置する部分は、蛍光体１０および窓２
１の周囲を外部から遮光するように形成されている。こ
のフード１７は、適宜の保持手段（図示せず）によって
保持される。
で、軟Ｘ線２を蛍光体１０に照射したときに発生する光
に対して外部の光が悪影響を及ぼさないように外部光を
遮断するためのものである。フード１７は、前記窓２１
の側方から下流側に向けて設けられ、その縦断面形状
は、下流側に向かって末窄まりとなるように、例えば台
形に形成されている。また、フード１７において、前記
窓２１の側方に位置する部分は、蛍光体１０および窓２
１の周囲を外部から遮光するように形成されている。こ
のフード１７は、適宜の保持手段（図示せず）によって
保持される。
【００１３】カラーカメラ１８としては、例えばカラー
ＣＣＤカメラが用いられ、前記フード１７の末窄まり部
分に設けられる。また、Ｃは、このカラーＣＣＤカメラ
１８の出力を画像処理するＸ線像処理装置で、例えば画
像処理機能を有するコンピュータである。
ＣＣＤカメラが用いられ、前記フード１７の末窄まり部
分に設けられる。また、Ｃは、このカラーＣＣＤカメラ
１８の出力を画像処理するＸ線像処理装置で、例えば画
像処理機能を有するコンピュータである。
【００１４】前記下流部Ｂには、下流部Ｂの上流側の面
が、上流部Ａの下流側の面に対する接近および離脱が自
在となるように、適宜の移動手段（図示せず）が設けら
れている。なお、このような移動手段を、下流部Ｂでは
なく上流部Ａに設けてもよく、また、上流部Ａおよび下
流部Ｂの両方に設けてもよい。
が、上流部Ａの下流側の面に対する接近および離脱が自
在となるように、適宜の移動手段（図示せず）が設けら
れている。なお、このような移動手段を、下流部Ｂでは
なく上流部Ａに設けてもよく、また、上流部Ａおよび下
流部Ｂの両方に設けてもよい。
【００１５】次に、上記構成の薄状体非破壊検査装置Ｄ
を用いて、被検体Ｓ（例えば紙幣）を検査する方法につ
いて説明する。まず、上流部Ａと下流部Ｂの間が適当な
間隔を有する状態にしておき、前記被検体Ｓを、適宜の
移動手段（例えばベルトコンベアー）によって上流部Ａ
と下流部Ｂの間に搬入した後、上流部Ａと下流部Ｂを接
近させると、蛍光体１０と前記出口側の軟Ｘ線窓１２の
間に被検体Ｓが挟持される。そして、開閉弁１４および
吸引ポンプ１５を適宜に動作させて真空箱９の内部を所
定の真空状態に保つ。この状態で、軟Ｘ線源１に所定の
電圧を供給すると、軟Ｘ線２が発散的に生じ、軟Ｘ線窓
８を経て発散され、入口側の軟Ｘ線窓１１を経て末広が
り状の真空箱９内に入る。真空箱９の内部は所定の真空
状態に維持されているので、軟Ｘ線２は空気などによっ
て吸収されることなく、真空箱９内を末広がり状に進
む。そして、真空箱９内を進んだ軟Ｘ線２は、他方の軟
Ｘ線窓１２を経て、被検体Ｓおよび蛍光体１０に照射さ
れる。
を用いて、被検体Ｓ（例えば紙幣）を検査する方法につ
いて説明する。まず、上流部Ａと下流部Ｂの間が適当な
間隔を有する状態にしておき、前記被検体Ｓを、適宜の
移動手段（例えばベルトコンベアー）によって上流部Ａ
と下流部Ｂの間に搬入した後、上流部Ａと下流部Ｂを接
近させると、蛍光体１０と前記出口側の軟Ｘ線窓１２の
間に被検体Ｓが挟持される。そして、開閉弁１４および
吸引ポンプ１５を適宜に動作させて真空箱９の内部を所
定の真空状態に保つ。この状態で、軟Ｘ線源１に所定の
電圧を供給すると、軟Ｘ線２が発散的に生じ、軟Ｘ線窓
８を経て発散され、入口側の軟Ｘ線窓１１を経て末広が
り状の真空箱９内に入る。真空箱９の内部は所定の真空
状態に維持されているので、軟Ｘ線２は空気などによっ
て吸収されることなく、真空箱９内を末広がり状に進
む。そして、真空箱９内を進んだ軟Ｘ線２は、他方の軟
Ｘ線窓１２を経て、被検体Ｓおよび蛍光体１０に照射さ
れる。
【００１６】そして、前記蛍光体１０への軟Ｘ線２の照
射により発光状態となり、この光が末窄まり状のフード
１７内を通ってカラーカメラ１８に入射し、前記発光状
態が観察される。そして、この観察された発光状態は、
画像情報としてＸ線像処理装置Ｃに入力され、被検体Ｓ
が偽造されたものか否かなどが検査される。
射により発光状態となり、この光が末窄まり状のフード
１７内を通ってカラーカメラ１８に入射し、前記発光状
態が観察される。そして、この観察された発光状態は、
画像情報としてＸ線像処理装置Ｃに入力され、被検体Ｓ
が偽造されたものか否かなどが検査される。
【００１７】検査が終われば、再び上流部Ａと下流部Ｂ
の間が適当な間隔を有する状態となるように操作し、被
検体Ｓを適宜の移動手段で搬出したあと、次の被検体Ｓ
を搬入し、同様の方法を繰り返すだけでよい。
の間が適当な間隔を有する状態となるように操作し、被
検体Ｓを適宜の移動手段で搬出したあと、次の被検体Ｓ
を搬入し、同様の方法を繰り返すだけでよい。
【００１８】なお、前記被検体Ｓは、紙幣に限るもので
はなく、例えばパスポートや有価証券、絵などでもよ
い。また、水分を含む薄状の生体組織を用いてもよく、
この場合も非破壊で観察することが可能となる。さら
に、加工食品などを被検体Ｓとすれば、食品中の異物
（例えばセラミック）を発見することもできる。
はなく、例えばパスポートや有価証券、絵などでもよ
い。また、水分を含む薄状の生体組織を用いてもよく、
この場合も非破壊で観察することが可能となる。さら
に、加工食品などを被検体Ｓとすれば、食品中の異物
（例えばセラミック）を発見することもできる。
【００１９】また、軟Ｘ線源１として、軟Ｘ線２を発散
するものを用いているため、軟Ｘ線２を二次元方向に走
査することなく、蛍光体１０の全面に照射することがで
き、好都合である。
するものを用いているため、軟Ｘ線２を二次元方向に走
査することなく、蛍光体１０の全面に照射することがで
き、好都合である。
【００２０】なお、上記図１においては、被検体Ｓを水
平に保持し、その上面から軟Ｘ線２を、蛍光体１０に照
射するようにしているが、被検体Ｓを垂直に保持し、水
平方向から軟Ｘ線２を、蛍光体１０に照射するようにし
てもよい。
平に保持し、その上面から軟Ｘ線２を、蛍光体１０に照
射するようにしているが、被検体Ｓを垂直に保持し、水
平方向から軟Ｘ線２を、蛍光体１０に照射するようにし
てもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の薄状体非
破壊検査装置は、軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線源と、前記軟
Ｘ線を通過させる軟Ｘ線窓が入口側および出口側に設け
られた真空箱と、前記真空箱の下流側に設けられた蛍光
体およびＸ線像処理装置とからなり、前記出口側の軟Ｘ
線窓と前記蛍光体との間に被検体を位置させて検査する
ように構成したことにより、効率よく、また、被検体を
非破壊で検査・観察することができる薄状体非破壊検査
装置の提供が可能となる。
破壊検査装置は、軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線源と、前記軟
Ｘ線を通過させる軟Ｘ線窓が入口側および出口側に設け
られた真空箱と、前記真空箱の下流側に設けられた蛍光
体およびＸ線像処理装置とからなり、前記出口側の軟Ｘ
線窓と前記蛍光体との間に被検体を位置させて検査する
ように構成したことにより、効率よく、また、被検体を
非破壊で検査・観察することができる薄状体非破壊検査
装置の提供が可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る薄状体非破壊検査装置
の構成を概略的に示す縦断面図である。
の構成を概略的に示す縦断面図である。
【図２】従来の薄状体非破壊検査装置の構成を概略的に
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
１…軟Ｘ線源、２…軟Ｘ線、９…真空箱、１０…蛍光
体、１１…軟Ｘ線窓、１２…軟Ｘ線窓、Ｃ…Ｘ線像処理
装置、Ｄ…薄状体非破壊検査装置、Ｓ…被検体。
体、１１…軟Ｘ線窓、１２…軟Ｘ線窓、Ｃ…Ｘ線像処理
装置、Ｄ…薄状体非破壊検査装置、Ｓ…被検体。
Claims (1)
- 【請求項１】 軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線源と、前記軟Ｘ
線を通過させる軟Ｘ線窓が入口側および出口側に設けら
れた真空箱と、前記真空箱の下流側に設けられた蛍光体
およびＸ線像処理装置とからなり、前記出口側の軟Ｘ線
窓と前記蛍光体との間に被検体を位置させて検査するよ
うに構成したことを特徴とする薄状体非破壊検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11149020A JP2000338056A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 薄状体非破壊検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11149020A JP2000338056A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 薄状体非破壊検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000338056A true JP2000338056A (ja) | 2000-12-08 |
Family
ID=15465924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11149020A Pending JP2000338056A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 薄状体非破壊検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000338056A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1019398C2 (nl) * | 2001-11-20 | 2003-05-27 | Havatec B V | Werkwijze en inrichting voor het inspecteren van bloemen, takken en planten. |
| JP2005321282A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線検査装置 |
| JP2009053151A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Ihi Corp | Ｘ線検査方法 |
| JP2015087361A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| CN107561101A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-01-09 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种真空飞行管道的软x射线成像装置 |
-
1999
- 1999-05-28 JP JP11149020A patent/JP2000338056A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1019398C2 (nl) * | 2001-11-20 | 2003-05-27 | Havatec B V | Werkwijze en inrichting voor het inspecteren van bloemen, takken en planten. |
| JP2005321282A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線検査装置 |
| JP4563072B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2010-10-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP2009053151A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Ihi Corp | Ｘ線検査方法 |
| JP2015087361A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| CN107561101A (zh) * | 2017-09-15 | 2018-01-09 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种真空飞行管道的软x射线成像装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11619596B2 (en) | X-ray photoemission system for 3-D laminography | |
| JP3722428B2 (ja) | Ｘ線照射を使用して対象の内部構造の画像を得る方法およびそれを実行する装置 | |
| JP2003202217A5 (ja) | ||
| JP3996821B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP4015256B2 (ja) | Ｘ線管 | |
| US11143605B2 (en) | System and method for computed laminography x-ray fluorescence imaging | |
| JP7031904B2 (ja) | 画像形成方法及びインピーダンス顕微鏡 | |
| JP2000338056A (ja) | 薄状体非破壊検査装置 | |
| US20190323977A1 (en) | Apparatus for combined stem and eds tomography | |
| JP2022527633A (ja) | 産業生産ラインで品質管理を操作するための装置、対応する方法及びコンピュータプログラム製品 | |
| JP2011209118A (ja) | Ｘ線顕微鏡及びｘ線を用いた顕微方法。 | |
| JPS62503055A (ja) | 差動イメ−ジング・デバイス | |
| KR101955187B1 (ko) | 살아있는 생체 시료의 분석을 위한 고해상도 대기압 질량분석 이미징 시스템 | |
| US20040151281A1 (en) | Methods and devices for aligning and determining the focusing characteristics of x-ray optics | |
| JPS62106352A (ja) | 走査型ｘ線顕微鏡 | |
| JP3458538B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| WO2022085275A1 (ja) | 撮像ユニット、放射線画像取得システム、および放射線画像取得方法 | |
| JP2648538B2 (ja) | ２次元の電子源を利用した検査装置 | |
| JP2981696B2 (ja) | 検体の３次元情報計測方法および装置 | |
| JPH0692946B2 (ja) | 隔膜表面の構造を検査する方法及び装置 | |
| JP2005121468A (ja) | 蛍光ｘ線を利用した毛髪等の食品異物検査装置 | |
| JP2005227058A (ja) | 細孔を用いた小型点ｘ線源 | |
| JPH0815187A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2002340825A (ja) | 蛍光線分析装置及び蛍光線分析方法 | |
| Nejtková | Non-destructive Examination Using X-ray Radiation for Fire Investigation Expertise |