JP2011209118A - X線顕微鏡及びx線を用いた顕微方法。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子ビームEBを集束して照射する電子ビーム照射手段と、該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてX線発生源となる薄膜11と、該薄膜11の第1の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜11から発生するX線13を検出するX線検出手段8とを有し、前記薄膜11の第2の面に接して配置された試料7を透過したX線13を前記X線検出手段8により検出するように構成する。
【選択図】図1
Description
1)発生領域が小さく、高強度のX線が必要である。
2)試料とX線源との距離を近付ける。
2 集束レンズ
3 偏向コイル
7 試料
8 X線検出器
10 チャンバ
10a 開口
11 X線源
12 窓材
13 X線
EB 電子ビーム
Claims (15)
- 電子ビームを集束して照射する電子ビーム照射手段と、
該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてX線発生源となる薄膜と、
該薄膜の第1の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜から発生するX線を検出するX線検出手段とを有し、
前記薄膜の第2の面に接して配置された試料を透過したX線を前記X線検出手段により検出することを特徴とするX線顕微鏡。 - 電子ビームを集束して照射する電子ビーム照射手段と、
該電子ビーム照射手段からの集束電子ビームの照射に応じてX線発生源となる第1の薄膜と、
該第1の薄膜における第1の面に照射された集束電子ビームによって該薄膜から発生するX線を検出するX線検出手段と、
前記第1の薄膜における第2の面に対向して配置された第2の薄膜とを有し、
前記第1及び第2の薄膜の間隙において第1の薄膜における第2の面に接して配置された試料を透過し、かつ第2の薄膜を透過したX線を前記X線検出手段により検出することを特徴とするX線顕微鏡。 - 前記X線発生源となる薄膜は、試料中での顕微対象物を構成する元素のX線吸収端のエネルギー値以上のエネルギー値を有する特性X線を放出する元素を含むことを特徴とする請求項1又は2記載のX線顕微鏡。
- 前記X線発生源となる薄膜は、2層以上の積層構造となっており、該積層中の少なくとも1層がX線発生層となっていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 前記X線検出手段と試料との間の距離が調整可能となっており、これにより倍率又は分解能の調節が可能であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 集束電子ビームを走査する走査手段を更に有し、前記X線検出手段は複数の検出素子が配列されてなる検出器を備え、X線発生源となる薄膜の第1の面における集束電子ビームの走査情報と該検出器によるX線の検出情報とから、試料中における3次元情報を取得することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 集束電子ビームを走査する走査手段を更に有し、X線発生源となる薄膜の第1の面における集束電子ビームの走査情報と前記X線検出手段によるX線の検出情報とから試料の走査透過像を取得することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 前記X線発生源となる薄膜を集束電子ビームの進行方向に対して直交する方向に移動させる手段を更に有し、該移動に基づく該薄膜の第1の面における集束電子ビームの走査情報とX線検出器によるX線の検出情報とから試料の走査透過像を取得することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 電子ビームの加速エネルギーが、X線発生源となる薄膜から発生するX線のエネルギーよりもほぼ3倍高いことを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 前記X線発生源となる薄膜の熱伝導率は、200[W/(m・K)]以上であることを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 前記X線発生源となる薄膜を通過した電子ビームが試料に到達し、これにより試料を透過又は散乱した電子、或いは試料から発生した2次電子を検出するための電子検出器を備えることを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- 前記X線発生源となる薄膜から発生する2次電子又は反射電子を検出するための電子検出器を備えることを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載のX線顕微鏡。
- X線発生源となる薄膜の第1の面に、集束された電子ビームを照射してX線を発生させ、前記薄膜の第2の面に接して配置された試料を透過したX線を検出することにより、試料の透過像を取得することを特徴とするX線を用いた顕微方法。
- X線発生源となる第1の薄膜における第1の面に、集束された電子ビームを照射してX線を発生させ、第1の薄膜における第2の面に接して配置された試料を透過するとともに、前記第1の薄膜における第2の面に対向されて配置された第2の薄膜を透過したX線を検出することにより、試料の透過像を取得することを特徴とするX線を用いた顕微方法。
- X線発生源となる薄膜の第1の面において集束電子ビームを走査させ、当該走査情報とX線の検出情報とから試料の走査透過像を取得することを特徴とする請求項13又は14記載のX線を用いた顕微方法。
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