JP2010175389A - 走査型x線顕微鏡および走査型x線顕微鏡像の観察方法 - Google Patents
走査型x線顕微鏡および走査型x線顕微鏡像の観察方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】
本発明では、例えば直径1nm程度に収束させた電子線を、観察試料を支持する観察試料支持部材に比較的低加速電圧で入射させて該観察試料支持部材からX線を発生させ、電子線入射側とは反対側に配置された検出器によりX線を検知する。そして、電子線の入射位置を観察試料支持部材上で走査させてX線画像を形成する。上述の手法で検知されるX線は、概ね、観察試料支持部材内での入射電子の拡散範囲内の領域から放出されることとなり、当該入射電子の拡散範囲を数nm程度に制御すれば、得られる走査型X線顕微鏡像の分解能は、従来の手法の理論的限界とされていた10nm以下とすることが可能となる。
【選択図】図1
Description
11 試料支持膜
12 試料ホルダ
13 電子銃
14 走査信号を生成する回路部
15 偏向コイル
16 X線フォトダイオード
17 増幅器
18 X線画像処理PC
19 データレコーダ
20 金属製メッシュ
21 2次電子検出器
22 コントロールPC
23 A/D変換器
24 サンプルホルダ
25 O−リング
Claims (10)
- 観察試料支持部材を保持する試料ホルダと、前記観察試料支持部材に電子線を収束させて入射する電子銃と、該電子線の走査機構部と、前記電子線入射に伴い前記観察試料支持部材から発生するX線を検知するX線検出器と、該X線の検出信号に基づいてX線画像を形成する信号処理部と、を備えている走査型X線顕微鏡。
- 前記X線検出器を複数備え、該複数のX線検出器は、前記観察試料支持部材に支持される観察試料を異なる方向から望む位置に配置されている請求項1に記載の走査型X線顕微鏡。
- 前記信号処理部は、前記複数のX線検出器からのX線検出信号に基づいて、3次元のX線画像を形成する画像処理手段を備えている請求項2に記載の走査型X線顕微鏡。
- 前記電子線入射に伴い観察試料から発生する2次電子を検知する電子線検出器を備え、前記信号処理部により、該2次電子線の検出信号に基づく2次電子線画像を形成する請求項1乃至3の何れか1項に記載の走査型X線顕微鏡。
- 前記試料ホルダの走査機構部をさらに備えている請求項1乃至4の何れか1項に記載の走査型X線顕微鏡。
- 観察試料支持部材の裏面側に観察試料を支持し、前記観察試料支持部材の表面側から収束させた電子線を走査させて入射して該観察試料支持部材からX線を発生させ、前記観察試料支持部材の裏面側に配置された検出器により前記X線を検知してX線画像を形成する、走査型X線顕微鏡像の観察方法。
- 前記検出器を、前記観察試料支持部材に支持された観察試料を異なる方向から望む位置に複数配置し、該複数の検出器からの検知信号を処理して3次元のX線画像を形成する、請求項6に記載の走査型X線顕微鏡像の観察方法。
- 前記観察試料支持部材としてカーボン膜または窒化シリコン膜を用いる、請求項6又は7に記載の走査型X線顕微鏡像の観察方法。
- 前記観察試料支持部材に対向させて第2の観察試料支持部材を設け、該2つの観察試料支持部材の間に溶液と一緒に観察試料を挟み込んで支持する、請求項6乃至8の何れか1項に記載の走査型X線顕微鏡像の観察方法。
- 前記第2の観察試料支持部材として窒化シリコン膜を用いる、請求項9に記載の走査型X線顕微鏡像の観察方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03273199A (ja) * | 1990-03-23 | 1991-12-04 | Elionix Kk | 微小x線発生装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03273199A (ja) * | 1990-03-23 | 1991-12-04 | Elionix Kk | 微小x線発生装置 |
JPH09218300A (ja) * | 1992-03-13 | 1997-08-19 | Agency Of Ind Science & Technol | X線顕微鏡を用いた観察方法及びそれに使用され る試料ホルダ |
JP2001519022A (ja) * | 1997-04-08 | 2001-10-16 | エックス−レイ・テクノロジーズ・プロプライエタリー・リミテッド | 微小物の高解像度x線撮像方法 |
WO2007141868A1 (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Hitachi, Ltd. | X線顕微鏡およびx線顕微方法 |
JP2008256603A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Toshiba Corp | 非破壊検査装置及び非破壊検査方法 |
Non-Patent Citations (1)
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---|
TOSHIHIKO OGURA: ""A high contrast method of unstained biological samples under a thin carbon film by scanning electr", BIOCHEMICAL AND BIOPHYSICAL RESEARCH COMMUNICATIONS, vol. 第377巻, JPN6010009716, 2008, pages 79 - 84, ISSN: 0001655488 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011209118A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Jeol Ltd | X線顕微鏡及びx線を用いた顕微方法。 |
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