JP2018173373A - Ｘ線検査装置、ｘ線検査システム、及びｘ線検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】照射部の長寿命化を実現する。【解決手段】Ｘ線検査装置（１）は、被検査物（Ａ１）が搬入されることを検知する第１検知部（３１０）と、被検査物（Ａ１）が搬出されることを検知する第２検知部（３５０）と、被検査物（Ａ１）が搬入されたとの搬入検知に基づき被検査物（Ａ１）に対するＸ線照射を開始し、被検査物（Ａ１）が搬出されたとの搬出検知に基づきＸ線照射を停止または前記Ｘ線照射の出力を低下させる照射部（３３０）とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、Ｘ線検査装置、Ｘ線検査システム、及びＸ線検査方法に関する。

特許文献１には、コンベアで搬送されてきた被検査物をＸ線により検査するＸ線検査装置が開示されている。特許文献１のＸ線検査装置は、被検査物にＸ線を照射する照射部と、Ｘ線が照射された被検査物のＸ線透過画像を撮像する撮像部とを備えている。

特開２０１６−００２６３２号公報（２０１６年１月１２日公開）

上記のような従来のＸ線検査装置では、Ｘ線検査装置が一旦起動すると、被検査物の搬入前及び被検査物の搬出後であっても照射部がＸ線を照射し続けることになる。このことは無用なＸ線照射を招くことになるので、照射部（例えば、Ｘ線管のフィラメント）の寿命を短くしてしまうという問題がある。

本発明の一態様は、照射部の長寿命化を実現することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るＸ線検査装置は、被検査物を搬送する搬送部が内部を通過するＸ線検査装置において、前記搬送部により前記Ｘ線検査装置に前記被検査物が搬入されることを検知する第１検知部と、前記搬送部により前記Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることを検知する第２検知部と、前記被検査物が搬入されたとの搬入検知に基づき前記被検査物に対するＸ線照射を開始し、前記被検査物が搬出されたとの搬出検知に基づき、前記Ｘ線照射を停止または前記Ｘ線照射の出力を低下させる照射部とを備える。

上記構成によれば、照射部は、第１検知部がＸ線検査装置に被検査物が搬入されたことを検知すると、被検査物に対するＸ線照射を開始する。そして、照射部は、第２検知部がＸ線検査装置から被検査物が搬出されたことを検知すると、被検査物に対するＸ線照射を停止またはＸ線照射の出力を低下させる。

これにより、Ｘ線検査装置の起動時に照射部がＸ線を照射し続ける場合と比較して、照射部がＸ線を照射する時間が短く、または照射部が出力するＸ線のＸ線量が少なくなるので、照射部の長寿命化を実現することができる。また、Ｘ線が無用に照射されることを抑制することになるので、Ｘ線検査装置の外部へのＸ線の漏洩の機会を低減することができる。

前記照射部は、前記搬出検知の検知時点から所定時間の経過後、前記Ｘ線照射を停止しまたは前記Ｘ線照射の出力を低下させてもよい。

上記構成によれば、第２検知部がＸ線検査装置から被検査物が搬出されることを検知してから所定時間が経過した後、照射部は、Ｘ線照射を停止またはＸ線照射の出力を低下させる。所定時間の経過後にＸ線照射が停止またはＸ線照射の出力が低下されることにより、例えば、第２検知部が、Ｘ線検査装置から被検査物が搬出されたと誤検知した場合であっても、Ｘ線検査装置の内部に被検査物があるにもかかわらず、照射部がＸ線照射を停止またはＸ線照射の出力を低下させてしまうことを防ぐことができる。

本発明の一態様に係るＸ線検査装置は、被検査物を搬送する搬送部が内部を通過するＸ線検査装置において、前記被検査物にＸ線を照射する照射部と、前記被検査物の位置が、前記照射部によって前記被検査物にＸ線を照射可能な位置にあるとき、前記搬送部の動作を停止する停止部と、前記停止部によって前記搬送部の動作が停止されると同時に、前記被検査物にＸ線を照射する照射部とを備える。

上記構成によれば、照射部は、停止部によって搬送部の動作が停止されると同時に、被検査物にＸ線を照射する。これにより、Ｘ線検査装置の起動時に照射部がＸ線を照射し続ける場合と比較して、照射部がＸ線を照射する時間が短くなるので、照射部の長寿命化を実現することができる。また、Ｘ線が無用に照射されることを抑制することになるので、Ｘ線検査装置の外部へのＸ線の漏洩の機会を低減することができる。

Ｘ線検査システムは、前記Ｘ線検査装置を複数備えるＸ線検査システムにおいて、複数の前記Ｘ線検査装置に含まれる、互いに隣接する第１Ｘ線検査装置及び第２Ｘ線検査装置にて、前記搬送部は、前記第１Ｘ線検査装置の内部及び前記第２Ｘ線検査装置の内部をこの順で通過し、前記第１Ｘ線検査装置は、前記搬送部により前記第１Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることを、前記第２Ｘ線検査装置に通知し、前記第２Ｘ線検査装置の前記停止部は、前記第１Ｘ線検査装置から前記第２Ｘ線検査装置に、前記第１Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることが通知されてから所定時間後に前記搬送部を停止させ、前記第２Ｘ線検査装置の前記照射部は、前記搬送部が停止されると同時に、前記被検査物にＸ線を照射してもよい。

本発明の一態様に係るＸ線検査方法は、被検査物を搬送する搬送部が内部を通過するＸ線検査装置におけるＸ線検査方法において、前記搬送部により前記Ｘ線検査装置に前記被検査物が搬入されることを検知する第１検知工程と、前記搬送部により前記Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることを検知する第２検知工程と、前記被検査物が搬入されたとの搬入検知に基づき前記被検査物に対するＸ線照射を開始し、前記被検査物が搬出されたとの搬出検知に基づき、前記Ｘ線照射を停止または前記Ｘ線照射の出力を低下させる照射工程とを含む。

上記構成によれば、第１検知工程により、被検査物の搬入が検知されると、照射部は被検査物に対するＸ線照射を開始する。そして、第２検知工程により、被検査物の搬出が検知されると、照射部は被検査物に対するＸ線照射を停止またはＸ線照射の出力を低下させる。

これにより、Ｘ線検査装置の起動時に照射部がＸ線を照射し続ける場合と比較して、照射部がＸ線を照射する時間が短く、または照射部が出力するＸ線のＸ線量が少なくなるので、照射部の長寿命化を実現することができる。また、Ｘ線が無用に照射されることを抑制することになるので、Ｘ線検査装置の外部へのＸ線の漏洩の機会を低減することができる。

本発明の一態様によれば、照射部の長寿命化を実現することができるという効果を奏する。

本発明の実施形態１に係るＸ線検査装置の概略構成を示すブロック図である。 図１に示すＸ線検査装置の構造を示す斜視図である。 本体部において内部構造を示す、一部を切り欠いた斜視図である。 コンベアに本体部が取り付けられている状態を示す図である。（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、前面図である。 本発明の実施形態２に係るＸ線検査装置の概略構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態３に係るＸ線検査装置の概略構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態４に係るＸ線検査システムの概略構成を示すブロック図である。

〔実施形態１〕
以下、本発明の実施形態について、図１から図４に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態１に係るＸ線検査装置１の概略構成を示すブロック図である。図２は、Ｘ線検査装置１の構造を示す斜視図である。Ｘ線検査装置１（第２Ｘ線検査装置）は、図２に示すように、本体部１０及び着脱部２０を備えている。着脱部２０は、本体部１０に着脱する。

（本体部１０の構成）
本体部１０の構成について、図２に基づいて説明する。本体部１０は、図２に示すように、警報器１１０、タッチパネル１２０（表示部）、右側凸部１３０、左側凸部１４０、検査室１５０、本体部キャスター１６０、及び本体部支持脚１７０を備えている。なお、本体部１０の説明では、検査室１５０から着脱部２０に向かう方向を前方と称し、着脱部２０から検査室１５０に向かう方向を後方と称する。

警報器１１０は、音によって警報等を通知するスピーカ等の音出力装置であってもよい。また、警報器１１０は、光によって警報等を通知するパトライト（登録商標）やＬＥＤ等の発光装置であってもよい。このように、警報器１１０は、警報等をユーザに通知することができるものであればよく、公知の構成を適用することができる。

タッチパネル１２０は、本体部１０の上部前面に設けられている。タッチパネル１２０は、フルドット表示の液晶ディスプレイで構成され、そこに表示される設定画面を操作することにより、本体部１０の起動、停止、必要な運転条件の設定、及び検査条件の設定等ができるようになっている。運転開始前の初期画面では、例えば、照射部３３０（後述する）のＸ線の強度を設定することができる。運転開始後の画面では、例えば、Ｘ線透過画像を処理するときの検出感度を設定することができるようになっている。タッチパネル１２０は、必要に応じて、欠品検査、異物検査、及び割れ欠け検査等の検査項目とその検査条件とを設定することができる。また、タッチパネル１２０には、被検査物Ａ１にＸ線を照射したときのＸ線透過画像が表示されるようになっている。

右側凸部１３０は、本体部１０の右側側面から突出して設けられており、本体部１０の右側側面の中央に設けられている。なお、右側凸部１３０は、本体部１０の右側側面であれば、どこに設けられていてもよい。右側凸部１３０の先端面１３１には、切り欠き部１３２が形成されている。また、右側凸部１３０の形状は、右側凸部１３０の前面側の中央部分は空間になっている。着脱部２０の右側板部２２０は右側凸部１３０に取り付けられている。右側板部２２０が右側凸部１３０から取り外されると、右側凸部１３０の前面側の中央部分は、空間になる。先端面１３１の上部には第１検知部３１０が設けられている。なお、第１検知部３１０の位置は、被検査物Ａ１の進行方向において、撮像部３４０の位置よりも手前にあり、かつ、被検査物Ａ１を検知することができれば、どの位置であってもよい。これにより、後述する含鉛カーテンに被検査物Ａ１が接触する前に、第１検知部３１０は、被検査物Ａ１を検知することができる。このため、第１検知部３１０が含鉛カーテンを、被検査物Ａ１であると誤検知することを防ぐことができる。第１検知部３１０が、本体部１０に被検査物Ａ１が搬入されることを検知するものであり、図２に示すように第１検知部３１０が先端面１３１の上部に設けられている場合について考える。この場合、本体部１０の前面側から見て、本体部１０の右側から被検査物Ａ１が搬入され、本体部１０の左側から被検査物Ａ１が搬出されることを前提としている。

左側凸部１４０、先端面１４１、及び切り欠き部１４２の形状及び位置はそれぞれ、右側凸部１３０、先端面１３１、及び切り欠き部１３２の形状及び位置と左右対称になっている。左右対称とは、本体部１０の前面側から見て、左右対称という意味である。左側凸部１４０の内部の上面には、図３及び図４の（ｂ）に示すように、第２検知部３５０（図示せず）が設けられている。なお、第２検知部３５０の位置は、被検査物Ａ１の進行方向において、撮像部３４０の位置よりも奥にあり、かつ、被検査物Ａ１を検知することができれば、どの位置であってもよい。これにより、後述する含鉛カーテンに被検査物Ａ１が接触する前に、第２検知部３５０は、被検査物Ａ１を検知することができる。このため、第２検知部３５０が含鉛カーテンを、被検査物Ａ１であると誤検知することを防ぐことができる。第２検知部３５０が、本体部１０から被検査物Ａ１が搬出されることを検知するものであり、図３及び図４の（ｂ）に示すように第２検知部３５０が左側凸部１４０の内部の上面に設けられている場合について考える。この場合、本体部１０の前面側から見て、本体部１０の右側から被検査物Ａ１が搬入され、本体部１０の左側から被検査物Ａ１が搬出されることを前提としている。

本体部１０に右側凸部１３０及び左側凸部１４０が設けられていることにより、照射部３３０（後述する）から照射されるＸ線が検査室１５０の外部に漏洩し難くすることができる。具体的には、照射部３３０と切り欠き部１３２との間、及び照射部３３０と切り欠き部１４２との間の距離が大きくなるため、Ｘ線が検査室１５０の外部に漏洩し難くなる。本体部１０の前面側から見て、右側凸部１３０は右側に、左側凸部１４０は左側に、さらに長いものであってもよい。これにより、照射部３３０と切り欠き部１３２との間、及び照射部３３０と切り欠き部１４２との間の距離がさらに大きくなるため、Ｘ線が検査室１５０の外部に、より漏洩し難くすることができる。

また、切り欠き部１３２の上部及び切り欠き部１４２の上部に含鉛カーテン（図示せず）を取り付けることにより、Ｘ線が検査室１５０の外部に漏洩することを防ぐことができる。なお、検査室１５０の外部にＸ線が漏洩することを防ぐことができれば、含鉛カーテンの設置場所は、特に限定されない。

検査室１５０は、入口と出口とを有する。本体部１０に被検査物Ａ１が右側から入り、左側から出ていくものとすると、検査室１５０の入口は右側板部２２０と切り欠き部１３２との間に形成され、検査室１５０の出口は左側板部２３０と切り欠き部１４２との間に形成される。切り欠き部１３２と切り欠き部１４２とは互いに対向しており、それらの開口面は互いに平行である。また、検査室１５０は、本体部１０の、凹んだ形状の部分に該当する。検査室１５０の下側には、Ｘ線を照射する照射部３３０が設置されている。検査室１５０の上側には、照射部３３０から照射されたＸ線を受光する撮像部３４０が設置されている。撮像部３４０の例として、フラットパネルディテクタ、Ｘ線イメージインテンシファイア、Ｘ線ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）カメラ、アモルファスシリコンカメラ、アモルファスセレンカメラ、ＣｄＴｅｘ線カメラ、Ｘ線蛍光カメラ、Ｘ線フィルム、イメージングプレート、Ｘ線ラインセンサ、及びＸ線ＴＤＩ（Time Delay Integration）カメラなどが挙げられる。また、照射部３３０には、これら以外のものを用いてもよい。

また、Ｘ線が撮像部３４０に照射されることで、Ｘ線は撮像部３４０により画像信号に変換される。撮像部３４０により変換された画像信号は、本体部１０に内蔵のコンピュータ（図示せず）に入力されてＸ線透過画像に成形され、そのＸ線透過画像に基づいて種々の検査が行われる。なお、撮像部３４０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸といった駆動軸に沿って駆動される。照射部３３０は、Ｙ軸、Ｚ軸、及びθ軸といった駆動軸に沿って駆動される。Ｘ軸は、地面に対して平行であり、かつ、本体部１０の正面から見て左右方向の軸である。Ｙ軸は、地面に対して平行であり、かつ、本体部１０の正面から見て前後方向の軸である。Ｚ軸は、地面に対して垂直であり、かつ、本体部１０の上下方向の軸である。θ軸は、Ｚ軸からＹ軸に向かう方向に４５度回転する回転軸である。照射部３３０及び撮像部３４０において、それらの配置や駆動軸の構成は、本体部１０が被検査物Ａ１を検査することが可能であれば、特に限定されない。上記のように、照射部３３０及び撮像部３４０を駆動させることにより、照射部３３０は、被検査物Ａ１に対して、ずれることなく正確にＸ線を照射することができる。

本体部キャスター１６０は、本体部１０の底面に取り付けられている。本体部キャスター１６０は、本体部１０が移動することができるように、車輪を備えている。また、本体部１０の底面には、本体部１０を支持する本体部支持脚１７０が取り付けられている。本体部支持脚１７０は、本体部支持脚１７０の高さの調整が可能な構造になっており、その高さを大きくすることで、本体部キャスター１６０を地面から浮かせる。これにより、本体部１０は地面に対して移動することがなくなる。

（着脱部２０の構成）
着脱部２０の構成について、図２に基づいて説明する。着脱部２０は、図２に示すように、開閉扉２１０、窓部２１１、第１取っ手部２１２、第２取っ手部２２１・２２２、第３取っ手部２３１・２３２、上側板部２４０、下側板部２５０、第１支持部２６０、着脱部キャスター２７０、及び第２支持部２８０（図示せず）を備えている。また、着脱部２０は、本体部１０の前面下部に取り付けられている。

開閉扉２１０は、図２に示すように、第１取っ手部２１２を有し、左側を中心として回転することにより開閉することが可能である。開閉扉２１０は検査室１５０側とは反対側に開く。着脱部２０が本体部１０に取り付けられている、かつ、開閉扉２１０が閉まっている場合、開閉扉２１０は、本体部１０の検査室１５０に対向する。また、開閉扉２１０は、前面の中央に窓部２１１を有する。

第１取っ手部２１２は、開閉扉２１０の前面の右側中央に取り付けられており、ユーザが開閉扉２１０の開閉を行う場合、ユーザは第１取っ手部２１２を掴みながら開閉扉２１０の開閉を行う。

右側板部２２０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の右側に取り付けられている。右側板部２２０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。また、右側板部２２０の背面と、右側凸部１３０とが合わさるように、右側板部２２０は、右側凸部１３０に取り付けられる。右側板部２２０は、第２取っ手部２２１・２２２を備えている。第２取っ手部２２１・２２２は、右側板部２２０の前面に取り付けられている。ユーザが右側板部２２０を取り外す場合、ユーザは第２取っ手部２２１・２２２のどちらかを掴みながら、右側板部２２０を取り外す。図２では、第２取っ手部２２１・２２２が取り付けられているが、第２取っ手部の個数については特に限定されない。

左側板部２３０及び第３取っ手部２３１・２３２は、右側板部２２０及び第２取っ手部２２１・２２２と左右対称になっている。左右対称とは、本体部１０の前面側から見て、左右対称という意味である。

上側板部２４０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の上側に取り付けられている。上側板部２４０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。下側板部２５０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の下側に取り付けられている。下側板部２５０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。

第１支持部２６０は、着脱部２０が単独で直立することができるようにするための部材である。第１支持部２６０は、長方形の枠の形状を有する。第１支持部２６０は、地面に対して平行である。

着脱部キャスター２７０は、第１支持部２６０の底面に取り付けられている。着脱部キャスター２７０は、着脱部２０が移動することができるように、車輪を備えている。また、着脱部２０の底面には、着脱部支持脚２９０（図示せず）が取り付けられている。着脱部支持脚２９０は、着脱部支持脚２９０の高さの調整が可能な構造になっており、その高さを大きくすることで、着脱部支持脚２９０は地面に接する。これにより、着脱部２０は地面に対して移動することがなくなる。

（本体部１０の内部の構成）
次に、本体部１０の内部の構成、及びＸ線検査方法について、図１に基づいて説明する。本体部１０は、図１に示すように、第１検知部３１０、制御部３２０、照射部３３０、撮像部３４０、及び第２検知部３５０を備えている。

第１検知部３１０は、コンベア５０（後述する）により本体部１０に被検査物Ａ１が搬入されることを検知する（第１検知工程）。第１検知部３１０は、本体部１０に被検査物Ａ１が搬入されることを、制御部３２０に通知する。なお、第１検知部３１０は、被検査物Ａ１を検知することができれば、検知を行う物の種類などは特に限定されない。例えば、第１検知部３１０は、被検査物Ａ１を検知する光学カメラ等であってもよい。

また、第１検知部３１０は、検知動作を行っている間、常に検知を行ってもよいが、そうでなくてもよい。例えば、第１検知部３１０は、所定時間（例えば５秒）ごとに被検査物Ａ１を検知したり、コンベア５０（後述する）が所定距離（例えば１００ｍｍ）移動するごとに被検査物Ａ１を検知したりしてもよい。

制御部３２０は、第１検知部３１０から、本体部１０に被検査物Ａ１が搬入されることが通知されると、照射部３３０にＸ線を照射するように指示する。制御部３２０は、照射部３３０にＸ線を照射するように指示を出した後、撮像部３４０に撮像処理を開始するように指示する。一方、制御部３２０は、第２検知部３５０（後述する）から、本体部１０から被検査物Ａ１が搬出されることが通知されると、照射部３３０にＸ線照射を停止するように指示する。制御部３２０は、Ｘ線照射の停止の指示に代えて、照射部３３０にＸ線照射の出力を下げるように指示してもよい。制御部３２０は、照射部３３０にＸ線照射を停止するように指示を出した後、撮像部３４０に撮像処理を停止するように指示する。制御部３２０は、照射部３３０に、所定値のＸ線の線量であるＸ線を照射するように制御する。

照射部３３０は内部にＸ線を出力するＸ線管を有する。照射部３３０は、制御部３２０から、Ｘ線を照射するように指示されると、被検査物Ａ１に対してＸ線照射を開始する（照射工程）。また、照射部３３０は、制御部３２０から、Ｘ線照射を停止するように指示されると、Ｘ線照射を停止する。つまり、照射部３３０は、制御部３２０から、Ｘ線照射を停止するように指示されると、停止状態になる。

なお、照射部３３０は、制御部３２０から、Ｘ線照射の出力を低下させるように指示されたときは、アイドリング状態となる。アイドリング状態とは、Ｘ線の出力を少なくしている状態である。アイドリング状態では、Ｘ線管の管電圧値が低くなる、または、Ｘ線管の管電流値が小さくなるので、Ｘ線管の発熱が抑制される。

撮像部３４０は、制御部３２０から、撮像処理を開始するように指示されると、照射部３３０から照射されたＸ線を透過した被検査物Ａ１の画像を撮像する。一方、撮像部３４０は、制御部３２０から、撮像処理を停止するように指示されると、撮像処理を停止する。照射部３３０は、検査室１５０の底面に設けられており、撮像部３４０は、検査室１５０の天面に設けられている。照射部３３０と撮像部３４０との間には、コンベア５０が通過する。

第２検知部３５０は、コンベア５０により本体部１０から被検査物Ａ１が搬出されることを検知する（第２検知工程）。第２検知部３５０は、本体部１０から被検査物Ａ１が搬出されることを、第１検知部３１０及び制御部３２０に通知する。なお、第２検知部３５０は、被検査物Ａ１が搬出されることを検知することができれば、検知を行う物の種類などは特に限定されない。例えば、第２検知部３５０は、被検査物Ａ１を検知する光学カメラ等であってもよい。また、第２検知部３５０は、第１検知部３１０と同一のものであってもよく、異なるものであってもよい。

次に、本体部１０の内部構造について、図３に基づいて説明する。図３は、本体部１０において内部構造を示す、一部を切り欠いた斜視図である。本体部１０は、図３に示すように、検査室１５０に照射部３３０及び撮像部３４０を備えている。

図３に示すように、検査室１５０の下側に照射部３３０を設け、検査室１５０の上側に撮像部３４０を設ける。

この構造により、本体部１０は、第１検知部３１０により、被検査物Ａ１が搬入されることを検知し、第２検知部３５０により、被検査物Ａ１が搬出されることを検知する。また、本体部１０は、内部に搬送されてきた被検査物Ａ１に、下側に設けられた照射部３３０からＸ線を照射し、上側に設けられた撮像部３４０によって、そのＸ線を検出する。つまり、撮像部３４０は、被検査物Ａ１を透過したＸ線を検出する。

（本体部１０にコンベア５０を取り付けた状態の構造）
次に、本体部１０にコンベア５０（搬送部）を取り付けた状態の構造について、図４に基づいて説明する。図４は、コンベア５０に図２に示す本体部１０が取り付けられている状態を示す図である。図４の（ａ）は斜視図であり、図４の（ｂ）は前面図である。

コンベア５０は、図４の（ａ）及び（ｂ）に示すように、右側凸部１３０の切り欠き部１３２と、左側凸部１４０の切り欠き部１４２との間に亘って設置されている。コンベア５０は、検査室１５０の底面に設置されている。また、コンベア５０は、照射部３３０の上方を通過するように、検査室１５０の底面に配置されている。この場合、コンベア５０は撮像部３４０の下方を通過する。これにより、コンベア５０により搬送される被検査物Ａ１が撮像部３４０の下方及び照射部３３０の上方を通過するため、照射部３３０が被検査物Ａ１にＸ線を照射し、撮像部３４０が被検査物Ａ１を透過したＸ線を検出することができる。コンベア５０には、コンベアではなく、被検査物Ａ１を搬送することができるようなものであれば他の物であってもよい。

なお、本体部１０は、必ずしもコンベア５０が設けられる構成には限定されない。例えば、本体部１０は、コンベア５０が設けられず、検査室１５０内に被検査物Ａ１が配置されることで、被検査物Ａ１を検査する構成であってもよい。

以上により、Ｘ線検査装置１では、照射部３３０は、第１検知部３１０がＸ線検査装置１に被検査物Ａ１が搬入されたことを検知すると、被検査物Ａ１に対するＸ線照射を開始する。そして、照射部３３０は、第２検知部３５０がＸ線検査装置１から被検査物Ａ１が搬出されたことを検知すると、被検査物Ａ１に対するＸ線照射を停止またはＸ線照射の出力を低下させる。

これにより、Ｘ線検査装置１の起動時に照射部３３０がＸ線を照射し続ける場合と比較して、照射部３３０がＸ線を照射する時間が短く、または照射部が出力するＸ線のＸ線量が少なくなるので、照射部３３０の長寿命化を実現することができる。また、Ｘ線が無用に照射されることを抑制することになるので、Ｘ線検査装置１の外部へのＸ線の漏洩の機会を低減することができる。

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、図５に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。図５は、本発明の実施形態２に係るＸ線検査装置２の概略構成を示すブロック図である。

（Ｘ線検査装置２の構成）
Ｘ線検査装置２は、図５に示すように、Ｘ線検査装置１と比べて、本体部１０が本体部１１に変更されている点が異なる。本体部１１は、本体部１０と比べて、第１タイマー４１０を備えている点が異なる。以下では、Ｘ線検査装置２が、Ｘ線検査装置１と異なる部分についてのみ説明する。

第２検知部３５０は、Ｘ線検査装置２から被検査物Ａ１が搬出されることを、第１検知部３１０及び第１タイマー４１０に通知する。第１タイマー４１０は、第２検知部３５０から、Ｘ線検査装置２から被検査物Ａ１が搬出されることが通知されると、予め記録された所定時間が経過した後、Ｘ線検査装置２から被検査物Ａ１が搬出されることを制御部３２０に通知する。

制御部３２０は、第１タイマー４１０から、Ｘ線検査装置２から被検査物Ａ１が搬出されることが通知されると、照射部３３０にＸ線照射を停止するように指示する。このとき、制御部３２０は、照射部３３０にＸ線照射の出力を下げるように指示してもよい。また、制御部３２０は、照射部３３０にＸ線照射を停止するように指示を出した後、撮像部３４０に撮像処理を停止するように指示する。照射部３３０は、Ｘ線検査装置２から被検査物Ａ１が搬出されることを検知された時点から所定時間が経過した後、Ｘ線照射を停止する。なお、照射部３３０は、制御部３２０から、Ｘ線照射の出力を低下させるように指示されたときは、Ｘ線照射の出力を低下させてもよい。また、制御部３２０は、照射部３３０にＸ線照射を停止するように指示を出した後、撮像部３４０に撮像処理を停止するように指示する。

以上により、Ｘ線検査装置２では、第２検知部３５０がＸ線検査装置１から被検査物Ａ１が搬出されることを検知してから所定時間が経過した後、照射部３３０は、Ｘ線照射を停止またはＸ線照射の出力を低下させる。所定時間の経過後にＸ線照射が停止またはＸ線照射の出力が低下されることにより、例えば、第２検知部３５０が、Ｘ線検査装置１から被検査物Ａ１が搬出されたと誤検知した場合、Ｘ線検査装置１の内部に被検査物Ａ１があるにもかかわらず、照射部３３０がＸ線照射を停止またはＸ線照射の出力を低下させてしまうことを防ぐことができる。

〔実施形態３〕
本発明の他の実施形態について、図６に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。図６は、本発明の実施形態３に係るＸ線検査装置３の概略構成を示すブロック図である。

（Ｘ線検査装置３の構成）
Ｘ線検査装置３は、図６に示すように、Ｘ線検査装置１と比べて、本体部１０が本体部１２に変更されている点が異なる。具体的には、本体部１２は、本体部１０と比べて、記憶部５１０を備えている点が異なる。また、記憶部５１０を備えることにより、第１検知部３１０及び第２検知部３５０は不要となる。

照射部３３０は、所定時間（例えば５秒）ごとにＸ線をパルス照射する。この所定時間は、ユーザによって予め定めることができ、記憶部５１０に予め記憶されている。照射部３３０は、記憶部５１０からこの所定時間を参照する。

以上により、Ｘ線検査装置３では、照射部３３０は、予め定められた所定時間ごとにＸ線を照射する（パルス照射）。これにより、Ｘ線検査装置３の起動時に照射部３３０がＸ線を照射し続ける場合（連続照射）と比較して、照射部３３０がＸ線を照射する時間が短くなるので、照射時間が短くなった分だけ、照射部３３０の長寿命化を実現することができる。

〔実施形態４〕
本発明の他の実施形態について、図７に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。図７は、本発明の実施形態４に係るＸ線検査システム４Ｓの概略構成を示すブロック図である。

Ｘ線検査システム４Ｓは、図７に示すように、Ｘ線検査装置４・４ａ・４ｂを備えている。Ｘ線検査装置４（第２Ｘ線検査装置）は、Ｘ線検査装置１と比べて、本体部１０が本体部１３に変更されている点が異なる。具体的には、本体部１３は、本体部１０と比べて、記憶部５１０、第２タイマー６１０、及び停止部６２０を備えている点が異なり、第１検知部３１０を備えていない点が異なる。また、Ｘ線検査装置４ａ・４ｂは、Ｘ線検査装置４と同様の構造を有しており、それぞれ本体部１３ａ及び本体部１３ｂを備えている。本体部１３ａ及び本体部１３ｂは、本体部１３と同様の構造を有している。なお、コンベア５０は、本体部１３の内部、本体部１３ａの内部、及び本体部１３ｂの内部を通過する。

Ｘ線検査装置４ａ（第１Ｘ線検査装置）において、第２検知部３５０ａは、第２検知部３５０と同一の物であり、Ｘ線検査装置４ａの外部に被検査物Ａ１が搬出されることを検知する。また、第２検知部３５０ａは、Ｘ線検査装置４ａの外部に被検査物Ａ１が搬出されることを、第２タイマー６１０に通知する。

第２タイマー６１０は、第２検知部３５０ａから、Ｘ線検査装置４ａの外部に被検査物Ａ１が搬出されることを通知されると、記憶部５１０に予め記憶された所定時間を参照する。第２タイマー６１０は、記憶部５１０に予め記憶された所定時間が経過した後、Ｘ線検査装置４ａの外部に被検査物Ａ１が搬出されることを停止部６２０に通知する。この所定時間とは、Ｘ線検査装置４ａから被検査物Ａ１が搬出されてから、照射部３３０の真上（照射部３３０にＸ線を照射可能な位置）に被検査物Ａ１がくるまでの時間である。

停止部６２０は、第２タイマー６１０から、Ｘ線検査装置４ａの外部に被検査物Ａ１が搬出されることを通知されると、コンベア駆動部６３０に、コンベア５０の停止を指示する。停止部６２０は、コンベア５０の停止の指示を行ったことを、制御部３２０に通知する。停止部６２０は、制御部３２０から、コンベア５０の停止を解除するように指示されると、コンベア駆動部６３０にコンベア５０の停止を解除するように指示する。

制御部３２０は、停止部６２０から、コンベア５０の停止の指示が行われたことを通知されると、照射部３３０に、Ｘ線を照射するように指示すると同時に、撮像部３４０に撮像処理を開始するように指示する。このとき、制御部３２０により、照射部３３０はＸ線を照射し、撮像部３４０は、撮像処理を開始する。制御部３２０は、照射部３３０からＸ線照射が完了したことを通知され、かつ、撮像部３４０から撮像処理が完了したことを通知されると、停止部６２０に、コンベア５０の停止を解除するように指示する。

コンベア駆動部６３０は、コンベア５０を駆動させるためのものである。コンベア駆動部６３０は、停止部６２０からコンベア５０の停止を指示されると、コンベア５０を停止させる。コンベア駆動部６３０は、停止部６２０からコンベア５０の停止を解除されると、コンベア５０を起動させる。

第２タイマー６１０ｂは、第２検知部３５０から、Ｘ線検査装置４の外部に被検査物Ａ１が搬出されることを通知されると、予め記録された所定時間が経過した後、Ｘ線検査装置４の外部に被検査物Ａ１が搬出されることを停止部６２０ｂに通知する。この所定時間とは、予め記憶された、Ｘ線検査装置４から被検査物Ａ１が搬出されてから、Ｘ線検査装置４ｂが備える照射部の真上に被検査物Ａ１がくるまでの時間である。

以上により、Ｘ線検査システム４Ｓでは、照射部３３０は、停止部６２０によってコンベア５０の動作が停止されると同時に、被検査物Ａ１にＸ線を照射する。これにより、Ｘ線検査装置４の起動時に照射部３３０がＸ線を照射し続ける場合と比較して、照射部３３０がＸ線を照射する時間が短くなるので、照射部３３０の長寿命化を実現することができる。また、Ｘ線が無用に照射されることを抑制することになるので、Ｘ線検査装置４の外部へのＸ線の漏洩の機会を低減することができる。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

１・２・３・４ｂ Ｘ線検査装置、４ Ｘ線検査装置（第２Ｘ線検査装置）、４ａ Ｘ線検査装置（第１Ｘ線検査装置）、４Ｓ Ｘ線検査システム、１０・１１・１２・１３・１３ａ・１３ｂ 本体部、２０ 着脱部、５０ コンベア（搬送部）、１１０ 警報器、１２０ タッチパネル、１３０ 右側凸部、１３１ 先端面、１３２ 切り欠き部、１４０ 左側凸部、１４１ 先端面、１４２ 切り欠き部、１５０ 検査室、１６０ 本体部キャスター、１７０ 本体部支持脚、２１０ 開閉扉、２１１ 窓部、２１２ 第１取っ手部、２２１・２２２ 第２取っ手部、２３１・２３２ 第３取っ手部、２２０ 右側板部、２３０ 左側板部、２４０ 上側板部、２５０ 下側板部、２６０ 第１支持部、２７０ 着脱部キャスター、２８０ 第２支持部、２９０ 着脱部支持脚、３１０ 第１検知部、３２０ 制御部、３３０ 照射部、３４０ 撮像部、３５０・３５０ａ 第２検知部、４１０ 第１タイマー、５１０ 記憶部、６１０・６１０ｂ 第２タイマー、６２０・６２０ｂ 停止部、６３０ コンベア駆動部、Ａ１ 被検査物

Claims (5)

1. 被検査物を搬送する搬送部が内部を通過するＸ線検査装置において、
   前記搬送部により前記Ｘ線検査装置に前記被検査物が搬入されることを検知する第１検知部と、
   前記搬送部により前記Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることを検知する第２検知部と、
   前記被検査物が搬入されたとの搬入検知に基づき前記被検査物に対するＸ線照射を開始し、前記被検査物が搬出されたとの搬出検知に基づき、前記Ｘ線照射を停止または前記Ｘ線照射の出力を低下させる照射部とを備えることを特徴とするＸ線検査装置。
2. 前記照射部は、前記搬出検知の検知時点から所定時間の経過後、前記Ｘ線照射を停止または前記Ｘ線照射の出力を低下させることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 被検査物を搬送する搬送部が内部を通過するＸ線検査装置において、
   前記被検査物にＸ線を照射する照射部と、
   前記被検査物の位置が、前記照射部によって前記被検査物にＸ線を照射可能な位置にあるとき、前記搬送部の動作を停止する停止部と、
   前記停止部によって前記搬送部の動作が停止されると同時に、前記被検査物にＸ線を照射する照射部とを備えることを特徴とするＸ線検査装置。
4. 請求項３に記載のＸ線検査装置を複数備えるＸ線検査システムにおいて、
   複数の前記Ｘ線検査装置に含まれる、互いに隣接する第１Ｘ線検査装置及び第２Ｘ線検査装置にて、
   前記搬送部は、前記第１Ｘ線検査装置の内部及び前記第２Ｘ線検査装置の内部をこの順で通過し、
   前記第１Ｘ線検査装置は、前記搬送部により前記第１Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることを、前記第２Ｘ線検査装置に通知し、
   前記第２Ｘ線検査装置の前記停止部は、前記第１Ｘ線検査装置から前記第２Ｘ線検査装置に、前記第１Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることが通知されてから所定時間後に前記搬送部を停止させ、
   前記第２Ｘ線検査装置の前記照射部は、前記搬送部が停止されると同時に、前記被検査物にＸ線を照射することを特徴とするＸ線検査システム。
5. 被検査物を搬送する搬送部が内部を通過するＸ線検査装置におけるＸ線検査方法において、
   前記搬送部により前記Ｘ線検査装置に前記被検査物が搬入されることを検知する第１検知工程と、
   前記搬送部により前記Ｘ線検査装置から前記被検査物が搬出されることを検知する第２検知工程と、
   前記被検査物が搬入されたとの搬入検知に基づき前記被検査物に対するＸ線照射を開始し、前記被検査物が搬出されたとの搬出検知に基づき、前記Ｘ線照射を停止または前記Ｘ線照射の出力を低下させる照射工程とを含むことを特徴とするＸ線検査方法。

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