JP5740608B2

JP5740608B2 - Ｘ線検査装置

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Publication number: JP5740608B2
Application number: JP2011073001A
Authority: JP
Inventors: 倫秋池田; 鈴木　正夫; 正夫鈴木; 小林　稔明; 稔明小林
Original assignee: 株式会社システムスクエア
Priority date: 2011-03-29
Filing date: 2011-03-29
Publication date: 2015-06-24
Anticipated expiration: 2031-03-29
Also published as: JP2012207987A

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関するものである。

搬送機構によって搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線照射部と、前記被検査物を透過したＸ線を検知するＸ線検知部と、前記Ｘ線照射部と前記Ｘ線検知部とを覆う本体カバー部とを備え、この本体カバー部に設けられる一対の開口部を通じて本体カバー部内に搬入される被検査物に異物が混入されているか否かを検査するＸ線検査装置においては、例えば特許文献１に開示されるように、鉛を含有する暖簾状のＸ線遮蔽カーテンを開口部に設けて外部へのＸ線の漏出を防止する場合が多い。

この場合、Ｘ線遮蔽カーテンによるＸ線の外部への漏出をより確実に防止するためには、１つの被検査物の本体カバー部内への搬入、Ｘ線検査、搬出が完全に終わるまでは次の被検査物を搬入することはできない。

そこで、例えば、特許文献２には、単に開口部にＸ線遮蔽カーテンを設けた場合よりも外部へのＸ線の漏出を小さくし、且つ、被検査物の搬送及びＸ線検査を連続的に行えるように、本体カバー部の開口部の搬送上流側及び搬送下流側に夫々トンネル部を設けることでＸ線減衰領域を形成すると共に、各開口部を開閉するＸ線遮蔽板を所定のタイミングで開閉駆動することで、上記課題を解決しようとした技術が提案されている。

特開２００３−８３９１３号公報特開２００４−１２５６４６号公報

本発明は、上述のような現状に鑑み、種々の検討の結果なされたもので、被検査物をより効率的に連続搬送可能な極めて実用性に秀れたＸ線検査装置を提供するものである。

添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。

搬送機構によって搬送される被検査物１にＸ線を照射するＸ線照射部２と、前記被検査物１を透過したＸ線を検知するＸ線検知部３と、前記Ｘ線照射部２と前記Ｘ線検知部３とを覆う本体カバー部４とを備え、この本体カバー部４に設けられる一対の開口部８を通じて本体カバー部４内に搬入される被検査物１を検査するＸ線検査装置であって、前記本体カバー部４内の中央搬送機構５の搬送上流側に供給側搬送機構６を設け、この中央搬送機構５の搬送下流側に排出側搬送機構７を設け、この供給側搬送機構６及び排出側搬送機構７に前記被検査物１が通過可能な一対の開口部８を有する供給側カバー部10及び排出側カバー部11を夫々設け、前記本体カバー部４、前記供給側カバー部10及び前記排出側カバー部11の各開口部８に開閉自在にＸ線遮蔽体９を夫々設け、前記Ｘ線検知部３で検知したＸ線に基づいて作成される画像を表示する画像表示手段を備え、前記Ｘ線照射後に前記中央搬送機構５および前記排出側搬送機構７により前記排出側カバー部11内に搬送された前記被検査物１を前記排出側カバー部11内から排出する排出作動信号が入力された際、前記排出側搬送機構７により前記排出側カバー部11内の当該被検査物１を搬送排出すると共に、当該被検査物１の前記画像を前記画像表示手段に表示する連動制御機構を備えたことを特徴とするＸ線検査装置に係るものである。

また、前記Ｘ線遮蔽体９の開閉状態を検知する開閉検知センサ12を設け、この開閉検知センサ12により検知した開閉情報が、前記本体カバー部４の搬送上流側の開口部８及び前記供給側カバー部10の開口部８のいずれか１つ及び前記本体カバー部４の搬送下流側の開口部８及び前記排出側カバー部11の開口部８のいずれか１つが閉状態である場合のみ、前記Ｘ線照射部２によるＸ線照射を許容するＸ線照射制御機構を設け、前記被検査物１の位置を検知する位置検知センサを設け、前記位置検知センサによる前記被検査物１の検知情報をもとに前記中央搬送機構５の搬送速度を制御する搬送速度制御機構を設けたことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記供給側搬送機構６及び前記排出側搬送機構７は前記中央搬送機構５に着脱自在に設け、前記供給側カバー10及び前記排出側カバー11が外されたことを検知してＸ線の照射を制御する検知制御機構を設けたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記供給側搬送機構６へ被検査物１の投入を許可することを表示する投入許可表示手段を設け、前記Ｘ線照射後の前記被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際、前記投入許可表示手段を作動させるように前記連動制御機構を構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記供給側搬送機構６に、前記被検査物１が投入されたことを検知する投入検知部を設け、この供給側搬送機構６の搬送上流側開口部に、前記被検査物１の投入を妨害する誤投入防止手段を設け、この誤投入防止手段は、前記投入検知部で前記被検査物１の投入を検知した際、後続の被検査物１の投入を妨害するように構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記Ｘ線照射後の前記被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際、前記誤投入防止手段による投入妨害が解除されるように前記連動制御機構を構成したことを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記供給側搬送機構６の搬送速度を前記排出側搬送機構７より低速に設定したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記供給側搬送機構６の搬送速度は前記排出側搬送機構７より低速に設定され、前記搬送速度制御機構は、前記中央搬送機構５の搬送速度を制御し、前記供給側搬送機構６と同じ速度での搬送及び前記排出側搬送機構７と同じ速度での搬送を可能とするように構成したことを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記中央搬送機構５、前記供給側搬送機構６及び前記排出側搬送機構７は、前記被検査物１の搬送面が略水平で且つこの搬送面の高さが略同一となるように設定したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記Ｘ線遮蔽体９を、搬送される前記被検査物１により搬送方向に押し上げ回動可能に軸支する軸支部を設けたことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のＸ線検査装置に係るものである。

また、前記Ｘ線検知部３としてエリアセンサを採用したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のＸ線検査装置に係るものである。

本発明は上述のように構成したから、被検査物をより効率的に連続搬送可能な極めて実用性に秀れたＸ線検査装置となる。

本実施例の構成概略説明図である。本実施例のＸ線遮蔽体の概略説明斜視図である。本実施例のＸ線遮蔽体の概略説明斜視図である。本実施例の検査工程説明図である。本実施例の検査工程説明図である。本実施例の検査工程説明図である。本実施例の検査工程説明図である。本実施例の検査工程説明図である。本実施例の検査工程説明図である。本実施例の検査工程説明図である。本実施例の検査工程を示すフローチャートである。本実施例の検査工程を示すフローチャートである。本実施例の構成概略説明斜視図である。本実施例の検査工程を示すフローチャートである。

好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。

供給側搬送機構６側から供給される被検査物１に中央搬送機構５上でＸ線を照射することで、この被検査物１に異物が混入しているか否かの確認や被検査物の非破壊検査等を行い、排出側搬送機構７側から排出する。

この際、Ｘ線照射後の前記被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際（例えば排出スイッチを押下した際）、排出側搬送機構７により排出側カバー部11内の当該被検査物１を搬送排出すると共に、当該被検査物１の検査画像を画像表示手段に表示することができ、例えば当該検査画像を目視検査する検査者が排出スイッチを押下することで順次搬送される被検査物の検査画像を連続的にチェックすることが可能となる。

また、例えば本体カバー部４、供給側カバー部10及び排出側カバー部11の各開口部８に設けたＸ線遮蔽体９が所定の状態の場合のみ、Ｘ線照射部２からのＸ線照射を許容するように構成することで、外部にＸ線が漏出することがより確実に防止できるのは勿論、中央搬送機構５の搬送速度を被検査物１の位置に応じて制御することで、例えば、Ｘ線検査前は供給側搬送機構６と同じ低速度で搬送し、Ｘ線検査後は排出側搬送機構７と同じ高速度で搬送するように制御することで、より効率的な連続搬送が可能となり、よって、Ｘ線の外部への漏出をより確実に防止しつつ被検査物１の一層効率的な連続搬送が可能となる。

本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。

本実施例は、搬送機構によって搬送される被検査物１にＸ線を照射するＸ線照射部２と、前記被検査物１を透過したＸ線を検知するＸ線検知部３と、前記Ｘ線照射部２と前記Ｘ線検知部３とを覆う本体カバー部４とを備え、この本体カバー部４に設けられる一対の開口部８を通じて本体カバー部４内に搬入される被検査物１を検査するＸ線検査装置であって、前記本体カバー部４内の中央搬送機構５の搬送上流側に供給側搬送機構６を設け、この中央搬送機構５の搬送下流側に排出側搬送機構７を設け、この供給側搬送機構６及び排出側搬送機構７に前記被検査物１が通過可能な一対の開口部８を有する供給側カバー部10及び排出側カバー部11を夫々設け、前記本体カバー部４、前記供給側カバー部10及び前記排出側カバー部11の各開口部８に開閉自在にＸ線遮蔽体９を夫々設け、前記Ｘ線検知部３で検知したＸ線に基づいて作成される画像を表示する画像表示手段を備え、前記Ｘ線照射後の前記被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際、前記排出側搬送機構７により前記排出側カバー部11内の当該被検査物１を搬送排出すると共に、当該被検査物１の前記画像を前記画像表示手段に表示する連動制御機構を備えたものである。

また、本実施例においては、前記Ｘ線遮蔽体９の開閉状態を検知する開閉検知センサ12を設け、この開閉検知センサ12により検知した開閉情報が、前記本体カバー部４の搬送上流側の開口部８及び前記供給側カバー部10の開口部８のいずれか１つ及び前記本体カバー部４の搬送下流側の開口部８及び前記排出側カバー部11の開口部８のいずれか１つが閉状態である場合のみ、前記Ｘ線照射部２によるＸ線照射を許容するＸ線照射制御機構を設け、前記被検査物１の位置を検知する位置検知センサを設け、前記位置検知センサによる前記被検査物１の検知情報をもとに前記中央搬送機構５の搬送速度を制御する搬送速度制御機構を設けている。

具体的には、本実施例は、図１，１３に図示したように、脚部13により支持される遮蔽箱体16内に中央搬送機構５として直線搬送用のベルトコンベヤ（本体コンベヤ）を設け、この中央搬送機構５の搬送上流側に供給側搬送機構６としてのベルトコンベヤ（供給コンベヤ）、搬送下流側に排出側搬送機構７としてのベルトコンベヤ（排出コンベヤ）を設けて成るものである。尚、図中符合14は供給側搬送機構６の脚部、15は排出側搬送機構７の脚部である。

また、本実施例においては、中央搬送機構５、供給側搬送機構６及び排出側搬送機構７は、各コンベヤの上面（被検査物１の搬送面）が略水平で且つこの搬送面の高さが略同一となるように設定している。尚、供給側搬送機構６の搬送上流側開口部８にはエア駆動シャッター17が設けられている。

被検査物１は、この中央搬送機構５の搬送面の上下に対向状態に設けられるＸ線照射部２及びＸ線検知部３とにより検査される（Ｘ線透過画像を撮影し該Ｘ線透過画像データを適宜な情報処理装置により処理して表示手段としてのディスプレイ33に表示し、検査者による目視により検査を行う）。

このＸ線照射部２としてはＸ線を円錐状に照射する公知のＸ線発生器が採用され、Ｘ線検知部３としては少なくとも幅が中央搬送機構５の搬送幅と略同じ幅で、長さが中央搬送機構５の前後に位置するＸ線遮蔽体９間の長さと略同じ長さの方形状の検知面を有する公知のエリアセンサが採用される。

中央搬送機構５は遮蔽箱体の本体カバー部４により覆われ、供給側搬送機構６及び排出側搬送機構７は夫々供給側カバー部10及び排出側カバー部11により覆われている。従って、装置本体の搬送上流側及び搬送下流側にはトンネル状の供給側通路及び排出側通路が形成され、これらによって装置本体からのＸ線の漏出が効果的に防止される。

また、各カバー部の開口部８に夫々設けられるＸ線遮蔽体９（Ｘ線遮断カーテン）としては、図２，３に図示したような、Ｘ線を遮断し得る金属製（ステンレス製）の板状体18が採用されている。この板状体18は、搬送機構により搬送される被検査物１の搬送移動によって押動された際にこの被検査物１の移動を妨げないように搬送方向側に所定角度回動可能に軸支部により軸支されている。

具体的には、軸支部は、板状体18の上部に固着される軸部19と、この軸部19（の両端部）を回動自在に支持する支持凹部20とで構成されている。各支持凹部20は、各搬送機構の脚部にして各カバー部の開口部８の近傍位置（内方側所定位置）に夫々立設される支持体21の上端部に設けられている。

即ち、Ｘ線遮蔽体９は自重により常態では搬送機構に対して垂下した閉状態となり、被検査物１がこのＸ線遮蔽体９の下側を通過する際にのみ押し上げ回動されて開状態となる。従って、このＸ線遮蔽体９を開閉駆動する駆動機構は不要となり、それだけコスト安となる。

また、各支持体21にはＸ線遮蔽体９の開閉状態を検知する開閉検知センサ12が夫々設けられている。具体的には本実施例においては、近接センサ（誘導型若しくは静電容量型）を採用している。この近接センサでＸ線遮蔽体９を検知した際にリミットスイッチがＯＮとなり、閉状態を検知することができる。

また、図中符合23はＸ線遮蔽体９の上下位置調整用の上下位置調整部、24はＸ線遮蔽体９の左右位置調整用の左右位置調整部、25は開閉検知センサ12の左右位置調整用のセンサ位置調整部、26はＸ線遮蔽体９の常態における傾斜角度調整部、27はＸ線遮蔽体９とコンベヤ上面との隙間調整用の隙間調整部、28は抜け止め部である。

各位置調整部について具体的に説明すると、図２においては、支持体21は固定部29と該固定部29に対して調整移動可能な調整移動部30とで構成され、この固定部29と調整移動部30とは左右方向に長い長窓及びボルト・ナット等の適宜な締結部材により構成される左右位置調整部24を介して連結されている。この調整移動部30の上端部には支持凹部20が形成されたＸ線遮蔽体支持部31が上下方向に長い長窓及び適宜な締結部材により構成される上下位置調整部23を介して連結されている。また、このＸ線遮蔽体支持部31とＸ線遮蔽体９との間にボルト・ナットから成る傾斜角度調整部26が設けられている。また、Ｘ線遮蔽体支持部31に左右方向に長い長窓及び適宜な締結部材により構成されるセンサ位置調整部25を介して開閉検知センサ12を取り付けた取付板32が設けられている。

また、図３においては、支持体21は固定部29と該固定部29に対して調整移動可能な調整移動部30とで構成され、この固定部29と調整移動部30とは左右方向に長い長窓及びボルト・ナット等の適宜な締結部材により構成される左右位置調整部24を介して連結されている。この調整移動部30の上端部には支持凹部20が形成されている。また、このＸ線遮蔽体支持部31とＸ線遮蔽体９との間にボルト・ナットから成る傾斜角度調整部26が設けられている。また、図３においては、２枚の板状体18を上下方向に長い長窓及び適宜な締結部材により構成される隙間調整部27を介して連結しており、この下側の板状体18に検知用平板部22を設けている。

従って、各位置調整部の長窓とボルトとの位置関係等を調整することで、被検査物１に応じてＸ線遮蔽体９による遮蔽位置を適宜設定調整することが可能となる。

また、供給側搬送機構６の搬送下流側開口部８の近傍位置、中央搬送機構５の搬送上流側開口部８の近傍位置及び搬送下流側開口部８の近傍位置、排出側搬送機構７の搬送上流側開口部８の近傍位置には、夫々被検査物１を検知する位置検知センサａ，ｂ，ｃ，ｄ（位置確認センサａ，ｂ，ｃ，ｄ）が設けられている。この位置検知センサａ，ｂ，ｃ，ｄとしては近接センサ（誘導型若しくは静電容量型）が採用されている。

上記の各検知センサはパーソナルコンピュータ等の情報処理装置と接続され、各検知情報を元にＸ線照射部２及び中央搬送機構５の搬送速度を制御（中央搬送機構５駆動用のブラシレスモータを制御）するように構成している。尚、供給側搬送機構６及び排出側搬送機構７は夫々インバータ制御としている。

本実施例においては、供給側搬送機構６の搬送速度を排出側搬送機構７より低速（一定速）に設定し（排出側搬送機構７の搬送速度は供給側搬送機構６より高速且つ一定速）、搬送速度制御機構は、中央搬送機構５の搬送速度を供給側搬送機構６の搬送速度及び排出側搬送機構７の搬送速度と同速度に設定し得るように構成している。また、搬送速度は検査対象に応じて適宜調整設定する。

例えば、被検査物１である魚等の食品が収納された１つのトレーを、中央搬送機構５において複数回（例えば２回）撮影する場合（被検査物１の全長が長く、１回の撮影では検査できない場合）、図１１、１２のフローチャートのように制御する。

装置の電源を入れ、Ｘ線照射スイッチを入れる。この際、全ての開閉検知センサ12のリミットスイッチがＯＮでなければＸ線照射はされない。

続いて、コンベヤを起動し、シャッター17を開き、被検査物１である第１トレーを供給側搬送機構６の搬送上流側開口部から投入する（図４）。この際、トレー位置確認センサａでトレーからの反射光が受光されリミットスイッチがＯＮになると供給コンベヤを停止し（図５）、シャッター17を閉じた後、供給コンベアを起動し、中央搬送機構５へと搬送する（図６）。

続いて、低速ピッチの中央搬送機構５により搬送されてトレー位置確認センサｃのリミットスイッチがＯＮになると本体コンベヤを停止し、１コマ目の撮影を行い（図７）、その後、本体コンベヤを起動し高速ピッチでトレーを搬送し、２コマ目の撮影を行う（図８）。尚、第１トレーの１コマ目の撮影の際、第２トレーを第１トレーと同様の手順で供給側搬送機構６上に搬入し待機させる（図６，７）。

続いて、２コマ目の撮影後、本体コンベヤは高速で第１トレーを排出コンベヤ側へ搬送し、トレー位置確認センサｄに検知されて排出コンベア上で停止した第１トレーは（図９）、（３０秒が経過するか）トレー排出スイッチがＯＮされるとＸ線遮蔽体９を通って排出コンベヤから排出され、第１トレーの検査が終了する（図１０）。ここで、トレー位置確認センサｄでトレーが検知されない場合には、所定時間経過後アラームで報知すると共に装置を停止する。また、第２トレーは、撮影が完了するまで（第１トレーが排出コンベヤから排出されるまで）本体カバー部４の搬送上流側開口部を閉塞するＸ線遮蔽体９の手前位置（センサｂの位置）で待機し、その後、第１トレーと同様の手順で撮影、排出される（図８〜１０）。

以上のように制御することで、複数回の撮影が必要で間欠送りを余儀なくされる場合であっても、搬送のロスを最小限に抑え可及的にハイスループットな処理が可能となる。

また、本実施例においては、Ｘ線照射後の被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際、排出側搬送機構７により排出側カバー部11内の当該被検査物１を搬送排出すると共に、当該被検査物１の画像を画像表示手段に表示する連動制御機構を備えているため、
Ｘ線照射後の前記被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際（排出スイッチを押下した際）、排出側搬送機構７により排出側カバー部11内の当該被検査物１を搬送排出すると共に、当該被検査物１の検査画像を画像表示手段に表示することができ、例えば当該検査画像を目視検査する検査者が排出スイッチを押下することで順次搬送される被検査物の検査画像を連続的にチェックすることが可能となる。尚、連動制御機構としては上述のパーソナルコンピュータ等の情報処理装置を採用できる。

具体的には、排出スイッチが押下されることで排出作動信号が入力された際、排出側搬送機構７を駆動して排出側カバー部11内の被検査物１を下流側（排出台34）へ搬送排出すると共に、撮像したＸ線透過画像をディスプレイ33に表示するように構成している。

また、本実施例においては、供給側搬送機構６及び排出側搬送機構７は中央搬送機構５に着脱自在に設け、この中央搬送機構５に連設状態に設けられる供給側搬送機構６から供給側カバー10が外されたこと及び排出側搬送機構７から排出側カバー11が外されたことを検知してＸ線の照射を制御する検知制御機構を設けている。検知制御機構としては着脱検知センサ（近接センサ）と上述のパーソナルコンピュータ等の情報処理装置とを採用できる。

従って、中央搬送機構５において照射されるＸ線が外部に漏出する可能性は極めて小さくなる。

また、本実施例においては、供給側搬送機構６へ被検査物１の投入を許可することを表示する投入許可表示手段を設け、Ｘ線照射後の被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際、投入許可表示手段を作動させるように前記連動制御機構を構成している。従って、被検査物１を投入する作業者は、より確実に投入が必要な状態でのみ被検査物１を投入可能となる。

また、本実施例においては、供給側搬送機構６に、被検査物１が投入されたこと（供給側カバー10内に存在すること）を検知する投入検知部を設け、この供給側搬送機構６の搬送上流側開口部に、前記被検査物１の投入を妨害するシャッター等の誤投入防止手段を設け、この誤投入防止手段は、前記投入検知部で前記被検査物１の投入を検知した際、後続の被検査物１の投入を妨害するように構成し、前記Ｘ線照射後の前記被検査物１を排出する排出作動信号が入力された際、前記誤投入防止手段による投入妨害が解除されるように前記連動制御機構を構成している。従って、被検査物１を投入する作業者による投入ミスは生じないこととなる。

具体的には、シャッター17は投入検知部で被検査物１が検知されておらず、且つ、Ｘ線の漏出がない場合には開状態（解除状態）となり、被検査物１を検知した状態では閉状態（作動状態）となるが、閉状態であっても排出作動信号が入力された際には開状態となるように連動制御機構を構成している。

また、図１１、１２のフローチャートに限らず、上記連動制御機構を用いて図１４のフローチャートのように制御しても良い。

以上、本実施例は、被検査物をより効率的に連続搬送可能な極めて実用性に秀れたものとなる。

１被検査物
２Ｘ線照射部
３Ｘ線検知部
４本体カバー部
５中央搬送機構
６供給側搬送機構
７排出側搬送機構
８開口部
９Ｘ線遮蔽体
10 供給側カバー部
11 排出側カバー部

Claims

搬送機構によって搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線照射部と、前記被検査物を透過したＸ線を検知するＸ線検知部と、前記Ｘ線照射部と前記Ｘ線検知部とを覆う本体カバー部とを備え、この本体カバー部に設けられる一対の開口部を通じて本体カバー部内に搬入される被検査物を検査するＸ線検査装置であって、前記本体カバー部内の中央搬送機構の搬送上流側に供給側搬送機構を設け、この中央搬送機構の搬送下流側に排出側搬送機構を設け、この供給側搬送機構及び排出側搬送機構に前記被検査物が通過可能な一対の開口部を有する供給側カバー部及び排出側カバー部を夫々設け、前記本体カバー部、前記供給側カバー部及び前記排出側カバー部の各開口部に開閉自在にＸ線遮蔽体を夫々設け、前記Ｘ線検知部で検知したＸ線に基づいて作成される画像を表示する画像表示手段を備え、前記Ｘ線照射後に前記中央搬送機構および前記排出側搬送機構により前記排出側カバー部内に搬送された前記被検査物を前記排出側カバー部内から排出する排出作動信号が入力された際、前記排出側搬送機構により前記排出側カバー部内の当該被検査物を搬送排出すると共に、当該被検査物の前記画像を前記画像表示手段に表示する連動制御機構を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
前記Ｘ線遮蔽体の開閉状態を検知する開閉検知センサを設け、この開閉検知センサにより検知した開閉情報が、前記本体カバー部の搬送上流側の開口部及び前記供給側カバー部の開口部のいずれか１つ及び前記本体カバー部の搬送下流側の開口部及び前記排出側カバー部の開口部のいずれか１つが閉状態である場合のみ、前記Ｘ線照射部によるＸ線照射を許容するＸ線照射制御機構を設け、前記被検査物の位置を検知する位置検知センサを設け、前記位置検知センサによる前記被検査物の検知情報をもとに前記中央搬送機構の搬送速度を制御する搬送速度制御機構を設けたことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
前記供給側搬送機構及び前記排出側搬送機構は前記中央搬送機構に着脱自在に設け、前記供給側カバー及び前記排出側カバーが外されたことを検知してＸ線の照射を制御する検知制御機構を設けたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
前記供給側搬送機構へ被検査物の投入を許可することを表示する投入許可表示手段を設け、前記Ｘ線照射後の前記被検査物を排出する排出作動信号が入力された際、前記投入許
可表示手段を作動させるように前記連動制御機構を構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
前記供給側搬送機構に、前記被検査物が投入されたことを検知する投入検知部を設け、この供給側搬送機構の搬送上流側開口部に、前記被検査物の投入を妨害する誤投入防止手段を設け、この誤投入防止手段は、前記投入検知部で前記被検査物の投入を検知した際、後続の被検査物の投入を妨害するように構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
前記Ｘ線照射後の前記被検査物を排出する排出作動信号が入力された際、前記誤投入防止手段による投入妨害が解除されるように前記連動制御機構を構成したことを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置。
前記供給側搬送機構の搬送速度を前記排出側搬送機構より低速に設定したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
前記供給側搬送機構の搬送速度は前記排出側搬送機構より低速に設定され、前記搬送速度制御機構は、前記中央搬送機構の搬送速度を制御し、前記供給側搬送機構と同じ速度での搬送及び前記排出側搬送機構と同じ速度での搬送を可能とするように構成したことを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。
前記中央搬送機構、前記供給側搬送機構及び前記排出側搬送機構は、前記被検査物の搬送面が略水平で且つこの搬送面の高さが略同一となるように設定したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
前記Ｘ線遮蔽体を、搬送される前記被検査物により搬送方向に押し上げ回動可能に軸支する軸支部を設けたことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
前記Ｘ線検知部としてエリアセンサを採用したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。