JP4563056B2 - フェライト薄膜及びその製造方法 - Google Patents
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4 基体
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- フェライトメッキ法により製造され、Fe含有量のモル比を示すFe/(Fe+Ni+Zn)の値が2.7/3以下、2.1/3以上であることを特徴とする電磁干渉抑制体用フェライト薄膜。
- 請求項1記載のフェライト薄膜において、更にCoを含有し、且つ該Co含有量のモル比を示すCo/(Fe+Ni+Zn+Co)の値が0.3/3以下、0.1/3以上であることを特徴とする電磁干渉抑制体用フェライト薄膜。
- 少なくとも第一鉄イオンを含む反応液を基体表面上に接触させる液接触工程と、少なくとも酸化剤を含んだ酸化液を前記基体表面上に接触させて前記反応液を接触させた該基体表面上でフェライトメッキ法によりフェライト薄膜を形成する膜形成工程と、前記反応液及び前記酸化液のうちの前記フェライト薄膜の形成に寄与しない残分を前記基体表面上から除去する残分除去工程とを繰り返し、更に、前記液接触工程では、前記反応液として組成の異なる2種類以上のものを用い、前記膜形成工程では、前記フェライト薄膜をFe含有量のモル比を示すFe/(Fe+Ni+Zn)の値が2.7/3以下、2.1/3以上となるように形成することを特徴とする電磁干渉抑制体用フェライト膜の製造方法。
- 請求項3記載のフェライト膜の製造方法において、前記膜形成工程では、更にCoを含有させ、且つ該Co含有量のモル比を示すCo/(Fe+Ni+Zn+Co)の値が0.3/3以下、0.1/3以上となるように前記フェライト薄膜を形成することを特徴とする電磁干渉抑制体用フェライト膜の製造方法。
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Citations (3)
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JP2004014614A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Mitsubishi Materials Corp | 高密度および高透磁性を有するFe−Si系複合軟磁性焼結合金の製造方法 |
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