JP2005191098A - フェライト薄膜及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このフェライト薄膜の製造方法は、少なくとも第一鉄イオンを含む反応液を基体表面上に接触させる液接触工程と、少なくとも酸化剤を含んだ酸化液を基体表面上に接触させて反応液を接触させた基体表面上でフェライトメッキ法によりフェライト薄膜を形成する膜形成工程と、反応液及び酸化液のうちのフェライト薄膜の形成に寄与しない残分を基体表面上から除去する残分除去工程とを繰り返し行い、更に、液接触工程では、反応液として組成の異なる2種類以上のものを用い、膜形成工程では、フェライト薄膜を2種類以上の構成要素を有して成るものとして形成するものである。
【選択図】なし
Description
比較例1では、先ず製造装置の回転板3上にプラズマ処理により親水化処理をしたガラス製の基板4を設置し、150rpmで回転させながら脱酸素イオン交換水を供給しながら90℃まで加熱した。
比較例2では、製造装置の回転板3上にプラズマ処理により親水化処理をしたガラス製の基板4を設置し、回転板3の回転数を15rpmとした以外は実施例1の場合と同一な条件で比較例2に係るフェライト薄膜を作製した。
比較例3では、製造装置の回転板3上にプラズマ処理により親水化処理をしたガラス製の基板4(表面粗さRa<0.1μm)を設置し、反応液の組成以外は実施例1の場合と同一な条件で比較例3に係るフェライト薄膜を作製した。ここでの反応液は、脱酸素イオン交換水中にFeCl2・4H2O,ZnCl2をそれぞれ3.3,0.03g/リットル溶かしたものを用いた。
3 回転台
4 基体
5,6 タンク
11,12 フェライト結晶
13 フェライト層
Claims (4)
- 組成の異なる2種類以上の構成要素を有して成ることを特徴とするフェライト薄膜。
- 請求項1記載のフェライト薄膜において、少なくともNi,Zn,Fe,Oを含有していることを特徴とするフェライト薄膜。
- 少なくとも第一鉄イオンを含む反応液を基体表面上に接触させる液接触工程と、少なくとも酸化剤を含んだ酸化液を前記基体表面上に接触させて前記反応液を接触させた該基体表面上でフェライトメッキ法によりフェライト薄膜を形成する膜形成工程と、前記反応液及び前記酸化液のうちの前記フェライト薄膜の形成に寄与しない残分を前記基体表面上から除去する残分除去工程とを繰り返し行い、更に、前記液接触工程では、前記反応液として組成の異なる2種類以上のものを用い、前記膜形成工程では、前記フェライト薄膜を2種類以上の構成要素を有して成るものとして形成することを特徴とするフェライト膜の製造方法。
- 請求項3記載のフェライト膜の製造方法において、前記2種類以上の構成要素を有して成る前記フェライト薄膜は、少なくともNi,Zn,Fe,Oを含有していることを特徴とするフェライト膜の製造方法。
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Cited By (1)
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US9991051B2 (en) | 2008-11-12 | 2018-06-05 | Tokin Corporation | Body with magnetic film attached and manufacturing method thereof |
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2003
- 2003-12-24 JP JP2003427924A patent/JP2005191098A/ja active Pending
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