JP2005298875A - フェライト膜およびそれを用いた支持体、電子配線基板、および半導体集積ウェハ - Google Patents
フェライト膜およびそれを用いた支持体、電子配線基板、および半導体集積ウェハ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005298875A JP2005298875A JP2004114371A JP2004114371A JP2005298875A JP 2005298875 A JP2005298875 A JP 2005298875A JP 2004114371 A JP2004114371 A JP 2004114371A JP 2004114371 A JP2004114371 A JP 2004114371A JP 2005298875 A JP2005298875 A JP 2005298875A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrite film
- film
- coating layer
- insulating
- ferrite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Waveguides (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
【解決手段】 マイクロストリップライン8の表面には、略全面に渡り25μmの厚さの第1のポリイミド膜11−1が直接形成してある。第1のポリイミド膜11−1の上に、フェライト膜10が略全面に渡り形成してある。フェライト膜10の上に、略全面に渡り、25μmの厚さの第2のポリイミド膜11−2が直接形成してある。
【選択図】 図2
Description
3 回転台
4 基体(支持体)
5,6 タンク
7 同軸ケーブル
8 マイクロストリップライン(MSL)
9 ネットワークアナライザ
10 フェライト膜
11−1,11−2 ポリイミド膜
Claims (8)
- フェライト膜と、該フェライト膜の片面または両面にコーティングされた絶縁性の材料とを有する絶縁性フェライト膜。
- 支持体と、該支持体上にコーティングされた絶縁コーティング層と、該絶縁コーティング層上に成膜されたフェライト膜とを有することを特徴とする電磁雑音抑制機能付支持体。
- 電子配線基板と、該電子配線基板上にコーティングされた絶縁コーティング層と、該絶縁コーティング層上に成膜されたフェライト膜とを有することを特徴とする電磁雑音抑制機能付電子配線基板。
- 半導体集積ウェハと、該半導体集積ウェハの少なくとも一方の面にコーティングされた絶縁コーティング層と、該絶縁コーティング層上に成膜されたフェライト膜とを有することを特徴とする電磁雑音抑制機能付半導体集積ウェハ。
- フェライト膜を準備する工程と、
該フェライト膜の片面または両面を絶縁性の材料でコーティングする工程と
を含む絶縁性フェライト膜の製造方法。 - 支持体を準備する工程と、
該支持体上に絶縁性材料をコーティングして、絶縁コーティング層を形成する工程と、
前記絶縁コーティング層上にフェライト膜を成膜する工程と
を含む電磁雑音抑制機能付支持体の製造方法。 - 電子配線基板を準備する工程と、
該電子配線基板上に絶縁性材料をコーティングして、絶縁コーティング層を形成する工程と、
該絶縁コーティング層上にフェライト膜を成膜する工程と
を含む電磁雑音抑制機能付電子配線基板の製造方法。 - 半導体集積ウェハを準備する工程と、
該半導体集積ウェハの少なくとも一方の面に絶縁性材料をコーティングして、絶縁コーティング層を形成する工程と、
該絶縁コーティング層上にフェライト膜を成膜する工程と
を含む電磁雑音抑制機能付半導体集積ウェハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004114371A JP2005298875A (ja) | 2004-04-08 | 2004-04-08 | フェライト膜およびそれを用いた支持体、電子配線基板、および半導体集積ウェハ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004114371A JP2005298875A (ja) | 2004-04-08 | 2004-04-08 | フェライト膜およびそれを用いた支持体、電子配線基板、および半導体集積ウェハ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005298875A true JP2005298875A (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=35330787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004114371A Pending JP2005298875A (ja) | 2004-04-08 | 2004-04-08 | フェライト膜およびそれを用いた支持体、電子配線基板、および半導体集積ウェハ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005298875A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013004947A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-07 | Nec Tokin Corp | インターポーザ |
US9991051B2 (en) | 2008-11-12 | 2018-06-05 | Tokin Corporation | Body with magnetic film attached and manufacturing method thereof |
-
2004
- 2004-04-08 JP JP2004114371A patent/JP2005298875A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9991051B2 (en) | 2008-11-12 | 2018-06-05 | Tokin Corporation | Body with magnetic film attached and manufacturing method thereof |
JP2013004947A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-07 | Nec Tokin Corp | インターポーザ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100455178C (zh) | 电磁波噪声抑制体、具有电磁波噪声抑制功能的结构体、以及其制造方法 | |
US7648774B2 (en) | Ferrite thin film, method of manufacturing the same and electromagnetic noise suppressor using the same | |
JP2001223493A (ja) | 電波吸収体 | |
JP6585032B2 (ja) | プリント配線板用基板、プリント配線板及びプリント配線板用基板の製造方法 | |
EP1143774B1 (en) | Wiring board comprising granular magnetic film | |
CN101480112B (zh) | 噪声抑制配线部件以及印刷线路基板 | |
JP4417521B2 (ja) | 配線基板 | |
KR20140108113A (ko) | 금속막 형성 방법, 상기 방법에 이용하는 도전성 잉크, 다층 배선 기판, 반도체 기판, 및 커패시터 셀 | |
JP2005298875A (ja) | フェライト膜およびそれを用いた支持体、電子配線基板、および半導体集積ウェハ | |
TW561607B (en) | Electromagnetic noise suppressor, semiconductor device using the same, and method of manufacturing said semiconductor device | |
JP4997484B2 (ja) | フェライト膜とその製造方法、およびそれを用いた電磁雑音抑制体 | |
JP4410838B1 (ja) | フェライト付着体及びその製造方法 | |
JP2005129766A (ja) | プリント回路基板及びその製造方法 | |
JP5591587B2 (ja) | ノイズ抑制伝送路及びそれに用いられるシート状構造体 | |
JP5128050B2 (ja) | フレキシブルフラットケーブルの製造方法 | |
JP2005129764A (ja) | 電磁干渉抑制体及びその製造方法 | |
JP2004111477A (ja) | フェライト薄膜、その製造方法およびそれを用いた電磁雑音抑制体 | |
US20170362091A1 (en) | Zinc ferrite film and method for manufacturing zinc ferrite film | |
JP4697928B2 (ja) | 電磁干渉抑制体用フェライト薄膜 | |
JP4251482B2 (ja) | 電磁干渉抑制体 | |
JP2001284755A (ja) | 配線基板 | |
CN101909419B (zh) | 一种传输线电磁噪声抑制器及其制备方法 | |
TWI419635B (zh) | 多層印刷電路板 | |
JP2005191098A (ja) | フェライト薄膜及びその製造方法 | |
TW202217855A (zh) | 電磁屏蔽膜及其製作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061016 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090408 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090826 |