JP5128050B2

JP5128050B2 - フレキシブルフラットケーブルの製造方法

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Publication number: JP5128050B2
Application number: JP2005000421A
Authority: JP
Inventors: 幸一近藤; 幸浩沼田; 栄▲吉▼ ▲吉▼田
Original assignee: NEC Tokin Corp
Current assignee: Tokin Corp
Priority date: 2005-01-05
Filing date: 2005-01-05
Publication date: 2013-01-23
Anticipated expiration: 2025-01-05
Also published as: JP2006190524A

Description

本発明は、主としてプリンタ，ＣＤ，ＤＶＤ等の電気・電子・通信等の各種分野の機器内での固定配線や可動部配線材として幅広く利用される薄肉で柔軟性を有するフレキシブルフラットケーブルの製造方法に関する。

近年、各種分野の機器におけるデジタル化及び高周波化に伴い、機器から放射されるノイズ及びそれによる機器の誤動作等が問題になっている。そこで、このような機器に搭載されるフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）やフレキシブルプリント配線回路基板（ＦＰＣ）等において、使用時に信号に混在するノイズを除去するための周知な手法としては、例えばフラットケーブルを閉磁路を成すＬ字型分割フェライトコア体を組み合わせて被覆する構造のもの（特許文献１参照）、基板上にノイズ除去のためのインピーダンス素子やローパスフィルタを搭載する構造のもの（特許文献２参照）、フラットケーブルの電気絶縁性基体の表面を金属層から成る電磁波シールド材で覆う構造のもの（特許文献３参照）等が挙げられる。

特開２０００−１７３８２８号公報（要約、図１）特開昭５６−１０７４８０号公報（第２頁、第１図）特開２００３−２２９６９５号公報（要約、図１）

上述した特許文献１のフラットケーブルに係るノイズ除去対策の場合、フェライトコア体の外形寸法が大きいものであるため、昨今の機器の小型化に伴う設置スペースの制約に対処することが困難であるという難点があり、特許文献２に係るノイズ除去のために用いられるインピーダンス素子やローパスフィルタのような集中定数型の部品では、ＧＨｚ帯にまで及ぶ高周波ノイズを効果的に除去することが困難であるという基本性能上の難点があり、特許文献３に係る電磁波シールド材として用いられる金属層では、電気抵抗率が低いために電気信号及び伝導ノイズの反射が生じ、その反射により２次的な干渉が発生して高周波ノイズを充分に抑制し切れないという基本性能上の難点がある。

即ち、従来のフレキシブルフラットケーブルの場合には、限られた少ない占有スペースで高電気抵抗率のノイズ抑制機能により高周波ノイズを有効に抑制することができないという問題点がある。

本発明は、このような問題点を解決すべくなされたもので、その技術的課題は、少ない占有スペースで高電気抵抗率のノイズ抑制機能により高周波ノイズを有効に抑制できるフレキシブルフラットケーブル及びそれを容易に作製し得るフレキシブルフラットケーブルの製造方法を提供することにある。

本発明によれば、同一平面内で配列した所定数の導体を電気絶縁性被覆材により平板状に被覆し、少なくとも前記電気絶縁性被覆材の外側に位置される金属箔で構成されたフレキシブルな基体上に少なくとも第一鉄イオンを含む反応液を接触させる反応液接触工程と、少なくとも酸化剤を含んだ酸化液を前記基体上に接触させる酸化液接触工程と、前記反応液及び前記酸化液のうちの膜生成に寄与しない残分を前記基体上から除去することにより前記フェライト膜を成膜する残分除去工程とを有し、前記フェライト膜を、前記基体の表面に成膜した上で、前記電気絶縁性被覆材の外側における片方の面又は両方の面の何れかに粘着層を介して配置された構造とすることを特徴とするフレキシブルフラットケーブルの製造方法が得られる。

本発明のフレキシブルフラットケーブルの場合、同一平面内で配列した所定数の導体を平板状に被覆するための電気絶縁性被覆材における少なくとも外側及び内側の一方における片方の面側又は両方の面側の何れか一つに位置される基体上に高電気抵抗率の分布定数型の部品として働くフェライト膜を一体的に結合されるように設けた構造としているので、少ない占有スペースで高電気抵抗率のノイズ抑制機能により高周波帯域まで良好にノイズを抑制でき、しかも小型化・軽量化を具現できるようになる。又、本発明のフレキシブルフラットケーブルの製造方法は、周知のフェライトメッキ法により作製されるフェライト膜をケーブル材の基体上に設けるものであるため、高電気抵抗率の高周波ノイズ抑制機能を持つ小型化・軽量化されたフレキシブルフラットケーブルを容易に作製できるようになる。

最初に、本発明のフレキシブルフラットケーブル及びその製造方法の開発に至技術的概要を簡単に説明する。

本発明者等は、種々検討の結果、同一平面内で配列した所定数の導体を電気絶縁性被覆材により平板状に被覆して成るフレキシブルフラットケーブルにおいて、フェライトメッキ法により作製されるフェライト膜を少なくとも電気絶縁性被覆材の外側及び内側の一方における片方の面側又は両方の面側の何れか一つに位置される基体上に一体的に結合されるように設ける構造とすれば、少ない占有スペースで高電気抵抗率のノイズ抑制機能により高周波帯域まで良好にノイズを抑制でき、しかも小型化・軽量化を具現できることを見い出した。

ここでのフェライトメッキ法とは、例えば特許第１４７５８９１号で開示されているように、固体表面に金属イオンとして少なくとも第１鉄イオンを含む水溶液を接触させ、固体表面にＦｅ^２＋又はこれと他の水酸化金属イオンを吸着させ、続いて吸着したＦｅ^２＋を酸化させることによりＦｅ^３＋を得ておき、これが水溶旅中の水酸化金属イオンとの間でフェライト結晶化反応を起こすことによって固体表面にフェライト膜を形成することを示すものである。

このフェライトメッキ法で得られたフェライト膜の磁気損失成分μ″（透磁率μにおける実数部μ′に対応する虚数部）の周波数特性は、数ＧＨｚに至るまで高い値を維持し、且つ電気抵抗率が金属系の材料と比べて著しく高いため、１０μｍ以下の厚さでも不要な高周波ノイズを効果的に抑制することが可能である。ここでのフェライトメッキ法は、フェライト膜を形成しようとする基体が上述した水溶液に対して耐性があれば何でも良く、更に水溶液を介した反応であることにより温度が比較的低温（常温〜水溶液の沸点以下）でスピネル型フェライト膜を形成できるという特徴があるため、他のフェライト膜作成技術に比べて固体の限定範囲が小さい。このことは、フェライト膜を形成する基体が有機化合物シート等々の耐熱温度が比較的低い物質でも良いことを示している。

ここで得られるフェライト膜は、フレキシブルフラットケーブルにおける少なくとも電気絶縁性被覆材の外側及び内側の一方における片方の面又は両方の面の何れか一つに直接成膜することにより、粘着材等が不要となるため、フェライト膜が薄型であるというを特徴を最大限に発揮することができる。又、フェライト膜は、例えば金属箔や高誘電率材等のフレキシブルな基体の表面に成膜された上で少なくとも電気絶縁性被覆材の外側及び内側の一方における片方の面又は両方の面の何れかに粘着層を介して配置された構造、電気絶縁性被覆材の外側における片方の面又は両方の面の何れかに粘着層を介して配置された構造、或いは電気絶縁性被覆材の内側における片方の面又は両方の面の何れかに内包された構造の何れか一つとすることにより、放射ノイズ抑制効果が一層高いフレキシブルフラットケーブルを作製することができる。

このようなフェライト膜を有するフレキシブルフラットケーブルの製造方法としては、フェライト膜をフェライトメッキ法により基体（少なくとも電気絶縁性被覆材の外側及び内側の一方における片方の面側又は両方の面側の何れか一つに位置される）上に成膜する工程を含むものとして、基体上に少なくとも第一鉄イオンを含む反応液を接触させる反応液接触工程と、少なくとも酸化剤を含んだ酸化液を基体上に接触させる酸化液接触工程と、反応液及び酸化液のうちの膜生成に寄与しない残分を基体上から除去することによりフェライト膜を成膜する残分除去工程とを有するものとすれば良い。

何れにしても、このようなフェライト膜を有するフレキシブルフラットケーブルが高周波帯域まで良好なノイズ抑制効果を持つ原因は、磁気損失成分μ″の周波数特性が数ＧＨｚに至るまで高い値を維持し、且つ電気抵抗率が金属系の材料と比べて著しく高いためと考えられるが、このような要因はその製造方法として上述した反応液接触工程，酸化液接触工程，及び残分除去工程を実行することにより、一層緻密で均一な膜が得られるためであると考えられる。

又、フェライト膜をフレキシブルな基体の表面に成膜した上で粘着層を介在させる構造とすることにより、放射ノイズ抑制効果が一層高いフレキシブルフラットケーブルが得られる原因は、粘着層が有するノイズ吸収効果とフェライト膜が有するノイズ吸収効果とを併せ持つため、フレキシブルな基体が金属箔であればその金属箔が有するシールド効果とフェライト膜のノイズ吸収効果とを併せ持つため、フレキシブルな基体が高誘電率材であればその高誘電率な基体が有するノイズ吸収効果とフェライト膜が有するノイズ吸収効果とを併せ持つためと考えられる。

以下は、幾つかの実施例を挙げ、本発明のフレキシブルフラットケーブルについて、その製造過程を含めて具体的に説明する。

但し、以下の各実施例では、図１に示すようなフェライト成膜用メッキ装置を用いて各実施例に係るフレキシブルフラットケーブルを作製するものとする。このメッキ装置は、基体４上にフェライト膜を成膜形成するためのもので、メッキに必要な液はタンク５，６に貯蔵されており、基体４上にはタンク６に一端側が接続された配管の他端側に接続されたノズル１、メッキに必要な反応液，酸化液を除去するためのガスを導入するための配管の一端側のガス導入口７とは反対側の他端側に接続されたノズル２、並びにタンク５に一端側が接続された配管の他端側に接続されたノズル３が配置されている。尚、上述したフェライトメッキ工程における反応液，酸化液の除去を効率良く行うために必要な液は幾つかに分けて準備する方が好ましい。

図１に示すメッキ装置では、メッキに必要な液をタンク５，６の二つに分けた場合を示す。このフェライト成膜用メッキ装置の場合、タンク５，６に貯蔵された溶液がノズル１，３を介して基体４上に供給され、ガス導入口７から供給されたガスがノズル２を介して基体４上に供給される。この際、例えばノズル１を介して基体４上に溶液が供給された後、ノズル２を介してガスが基体４上に供給されることでノズル１を介して供給された溶液が除去され、更にノズル３を介して基体４上に溶液が供給された後、ノズル２を介してガスが基体４上に供給されることでノズル３を介して供給された溶液が除去されるような手順の工程を繰り返す。

実施例１では、先ず純水１リットルに対してそれぞれＦｅＣｌ_２・４Ｈ_２Ｏを３．３ｇ、ＮｉＣｌ_２・６Ｈ_２Ｏを１．２５ｇ、ＺｎＣｌ_２を０．０２５ｇ溶解した反応液を作製すると共に、純水１リットルに対してそれぞれＮａＮＯ_２を０．３ｇ、ＣＨ_３ＣＯＯＮＨ_４を５ｇ溶解した酸化液を作製した。

次に、これらの溶液を用いて、図１に示したようなメッキ装置を用いてケーブル材に対してフェライト膜を成膜する。実施例１に係るフレキシブルフラットケーブルは、複数の導体を同一平面内で配列した導体列をその両面より厚さ約１０μｍの接着剤層（粘着層）を有する厚さ約３０μｍのポリイミド製被覆材（電気絶縁性被覆材）により平板状に被覆し、厚さ約０．１ｍで３０ｍｍ角として作製した本体部の片方の表面に対し、プラズマ処理によってＯＨ基を形成した後、反応液，酸化液の流量を３０ミリリットル／分に調整し、フェライト膜を形成するポリイミド製被覆材（電気絶縁性被覆材）の温度をヒータ用いて９０℃に調節すると共に、メッキ装置には窒素ガスを１．５リットル／分で供給して非酸化性雰囲気を得るようにし、更に、反応液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して反応液を除去し、酸化液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して酸化液を除去することを１サイクルとして、１００００サイクル繰り返すことで厚さ約３μｍのフェライト膜（その厚さはサイクル数に応じて任意に変化させることが可能である）を成膜形成することにより得られたものである。

図２は、本発明の実施例１に係るフレキシブルフラットケーブルの基本構造を示した側面断面図である。即ち、実施例１に係るフレキシブルフラットケーブルは、複数の導体１１を同一平面内で配列した導体列の両面をそれぞれ粘着層１０を有する電気絶縁性被覆材９で平板状に被覆し、電気絶縁性被覆材９の片方の面（上面）にフェライト膜８を直接的に成膜形成した構造のものである。

この実施例１に係る試料について、耐屈曲性調べるために屈曲半径１．５ｍｍ、ストローク３０ｍｍ、往復速度２ストローク／秒で１００万回の往復運動を行って試験したところ、フェライト膜８とフレキシブルフラットケーブル本体部（電気絶縁性被覆材９）との間の密着性は強固なままだった。

又、実施例１に係るフレキシブルフラットケーブルにおけるノイズ抑制効果を調べるため、その基本構造部分として、上述した試料を作製する際に用いた厚さ約１０μｍの接着剤層（粘着層１０）を有する厚さ約３０μｍのポリイミド製被覆材（電気絶縁性被覆材９）の接着剤層（粘着層１０）を有しない面に対し、反応液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して反応液を除去し、酸化液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して酸化液を除去することを１サイクルとして、１００００サイクル繰り返すことにより厚さ約３μｍのフェライト膜８を成膜した。

図３は、実施例１に係るフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。この評価系構造の場合、線路長７０ｍｍ，特性インピーダンス５０Ωのマイクロストリップライン１２上に上述した厚さ１０μｍの粘着層１０を有する電気絶縁性被覆材９を介してフェライト膜８を設置した構造となっている。ここでのマイクロストリップライン１２の両端は、ネットワークアナライザに接続することにより、反射レベルＳ１１と透過レベルＳ２１との測定に供されるものであるが、この状態は実施例１で作製したフレキシブルフラットケーブル内の導体１１に高周波電流が流れた場合の伝導ノイズの抑制効果を擬似的に再現していると考えることができるものである。

図４は、この評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数（ＭＨｚ）に対する反射レベルＳ１１（ｄＢ）の特性を測定した結果を示したものである。図４からは、反射レベルＳ１１のパラメータは１０ＧＨｚに至るまでの周波数範囲でほぼ−１０ｄＢ以下であり、十分低い値となっていることが判る。

図５は、同様に係る評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数（ＭＨｚ）に対する透過レベルＳ２１（ｄＢ）の特性を測定した結果を示したものである。図５からは、透過レベルＳ２１のパラメータは１０ＧＨｚで約−５ｄＢであり、優れたノイズ抑制効果を示していることが判る。

因みに、図３に示す実施例１に係るフレキシブルフラットケーブルの要部は、あくまでも一例であり、これに限定されない。例えば、図６は、係る評価系構造に代用可能な別の形態のフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。この評価系構造の場合、電気絶縁性被覆材９に対してフェライト膜８を成膜した面を図３に示す場合とは逆に粘着層１０側に配置した構造（即ち、フェライト膜８を電気絶縁性被覆材９の内側に配置した構造）であるが、この構造の場合には透過レベルＳ２１のパラメータは１０ＧＨｚで更に約−７ｄＢとなり、ノイズ抑制効果を一層高められることが判った。

実施例２では、先ず純水１リットルに対してそれぞれＦｅＣｌ_２・４Ｈ_２Ｏを３．３ｇ、ＮｉＣｌ_２・６Ｈ_２Ｏを１．２５ｇ、ＺｎＣｌ_２を０．０２５ｇ溶解して反応液を作製すると共に、純水１リットルに対してそれぞれＮａＮＯ_２を０．３ｇ、ＣＨ_３ＣＯＯＮＨ_４を５ｇ溶解して酸化液を作製した。

次に、これらの溶液を用いて、図１に示したようなメッキ装置を用いてケーブル材に対してフェライト膜を成膜する。実施例２に係るフレキシブルフラットケーブルは、実施例１の場合と同様に厚さ約０．１ｍｍ、３０ｍｍ角として作製された本体部の片方の表面に対し、厚さ２５ミクロン、３０ｍｍ角のアルミニウム箔（金属箔）の表面にプラズマ処理によってＯＨ基を形成した後、反応液，酸化液の流量を３０ミリリットル／分に調整し、フェライト膜を形成するアルミニウム箔（金属箔）の温度をヒータ用いて９０℃に調節すると共に、メッキ装置には窒素ガスを１．５リットル／分で供給して非酸化性雰囲気を得るようにし、更に反応液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して反応液を除去し、酸化液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して酸化液を除去することを１サイクルとして、１２０００サイクル繰り返すことで厚さ約３μｍのフェライト膜（その厚さはサイクル数に応じて任意に変化させることが可能である）を成膜形成することにより得られたシート状部材、即ち、表面にフェライト膜が形成されたアルミニウム箔（金属箔）のフェライト膜側を厚さ１０ミクロンの両面テープ（粘着層）を介して貼り付けて得られたものである。

図７は、本発明の実施例２に係るフレキシブルフラットケーブルの基本構造を示した側面断面図である。即ち、実施例２に係るフレキシブルフラットケーブルは、複数の導体１１を同一平面内で配列した導体列の両面をそれぞれ粘着層１０を有する電気絶縁性被覆材９で平板状に被覆し、電気絶縁性被覆材９の片方の面（上面）に対し、表面にフェライト膜８を成膜形成した金属箔１３をフェライト膜８側で粘着層１０を介して貼り付けた構造のものである。

この実施例２に係る試料について、耐屈曲性調べるために屈曲半径１．５ｍｍ、ストローク３０ｍｍ、往復速度２ストローク／秒で１００万回の往復運動を行って試験したところ、フェライト膜８と金属箔（アルミニウム箔）１３との間の密着性、フェライト膜８と粘着層（両面テープ）１０との間の密着性、並びに粘着層（両面テープ）１０とフレキシブルフラットケーブル本体（電気絶縁性被覆材９）との間の密着性は何れも強固なままだった。

又、実施例２に係るフレキシブルフラットケーブルにおけるノイズ抑制効果を調べるため、その基本構造部分として、上述した試料を作製する際に用いた厚さ約１０μｍの接着剤層（粘着層１０）を有する厚さ約３０μｍのポリイミド製被覆材（電気絶縁性被覆材９）の接着剤層（粘着層１０）を有しない面に対し、上述した表面にフェライト膜８を形成したアルミニウム箔（金属箔１３）をフェライト膜８側で厚さ１０μｍの両面テープ（粘着層１０）を介して接着した。

図８は、実施例２に係るフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。この評価系構造の場合、表面にフェライト膜８が形成された金属箔１３を線路長７０ｍｍ，特性インピーダンス５０Ωのマイクロストリップライン１２上に厚さ１０μｍの粘着層１０を両面に有する電気絶縁性被覆材９を介して設置した構造となっている。ここでのマイクロストリップライン１２の両端についても、ネットワークアナライザに接続することにより、反射レベルＳ１１と透過レベルＳ２１との測定に供されるものであるが、この状態は実施例２で作製したフレキシブルフラットケーブル内の導体１１に高周波電流が流れた場合の伝導ノイズの抑制効果を擬似的に再現していると考えることができるものである。

図９は、この評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数（ＭＨｚ）に対する反射レベルＳ１１（ｄＢ）の特性を測定した結果を示したものである。図９からは、反射レベルＳ１１のパラメータは１０ＧＨｚに至るまでの周波数範囲でほぼ−１０ｄＢ以下であり、十分低い値となっていることが判る。

図１０は、同様に係る評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数（ＭＨｚ）に対する透過レベルＳ２１（ｄＢ）の特性を測定した結果を示したものである。図１０からは、透過レベルＳ２１のパラメータは１０ＧＨｚで約−１３ｄＢで実施例１の場合よりも良い結果となり、非常に優れたノイズ抑制効果を示していることが判る。

実施例３では、先ず純水１リットルに対してそれぞれＦｅＣｌ_２・４Ｈ_２Ｏを３．３ｇ、ＮｉＣｌ_２・６Ｈ_２Ｏを１．２５ｇ、ＺｎＣｌ_２を０．０２５ｇ溶解した反応液を作製すると共に、純水１リットルに対してそれぞれＮａＮＯ_２を０．３ｇ、ＣＨ_３ＣＯＯＮＨ_４を５ｇ溶解した酸化液を作製した。

次に、これらの溶液を用いて、図１に示したようなメッキ装置を用いてケーブル材に対してフェライト膜を成膜する。実施例３に係るフレキシブルフラットケーブルは、実施例１の場合と同様に厚さ約０．１ｍｍ、３０ｍｍ角として作製された本体部の片方の表面に対し、厚さ２５ミクロン、３０ｍｍ角の比誘電率９の高分子樹脂シート（高誘電率シート）の表面にプラズマ処理によってＯＨ基を形成した後、反応液，酸化液の流量を３０ミリリットル／分に調整し、フェライト膜を形成する高分子樹脂シート（高誘電率シート）の温度をヒータ用いて９０℃に調節すると共に、メッキ装置には窒素ガスを１．５リットル／分で供給して非酸化性雰囲気を得るようにし、更に反応液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して反応液を除去し、酸化液を０．５秒供給した後に不活性ガスを供給して酸化液を除去することを１サイクルとして、１００００サイクル繰り返すことで厚さ約３μｍのフェライト膜（その厚さはサイクル数に応じて任意に変化させることが可能である）を成膜形成することにより得られたシート状部材、即ち、高表面にフェライト膜を形成した分子樹脂シート（高誘電率シート）のフェライト膜側を厚さ１０ミクロンの両面テープ（粘着層）を介して貼り付けて得られたものである。

図１１は、本発明の実施例３に係るフレキシブルフラットケーブルの基本構造を示した側面断面図である。即ち、実施例３に係るフレキシブルフラットケーブルは、複数の導体１１を同一平面内で配列した導体列の両面をそれぞれ粘着層１０を有する電気絶縁性被覆材９で平板状に被覆し、電気絶縁性被覆材９の片方の面（上面）に対し、表面にフェライト膜８を成膜形成した高誘電率シート１４をフェライト膜８側で粘着層１０を介して貼り付けた構造のものである。

この実施例３に係る試料について、耐屈曲性調べるために屈曲半径１．５ｍｍ、ストローク３０ｍｍ、往復速度２ストローク／秒で１００万回の往復運動を行って試験したところ、フェライト膜８と高誘電率シート（高分子樹脂シート）１４との間の密着性、フェライト膜８と粘着層（両面テープ）１０との間の密着性、並びに粘着層（両面テープ）１０とフレキシブルフラットケーブル本体（電気絶縁性被覆材９）との間の密着性は何れも強固なままだった。

又、実施例３に係るフレキシブルフラットケーブルにおけるノイズ抑制効果を調べるため、その基本構造部分として、上述した試料を作製する際に用いた厚さ約１０μｍの接着剤層（粘着層１０）を有する厚さ約３０μｍのポリイミド製被覆材（電気絶縁性被覆材９）の接着剤層（粘着層１０）を有しない面に対し、上述した表面にフェライト膜８を形成した高誘電率シート（高分子樹脂シート１４）をフェライト膜８側で厚さ１０μｍの両面テープ（粘着層１０）を介して接着した。

図１２は、実施例２に係るフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。この評価系構造の場合、表面にフェライト膜８が形成された高誘電率シート１４を線路長７０ｍｍ，特性インピーダンス５０Ωのマイクロストリップライン１２上に厚さ１０μｍの粘着層１０を両面に有する電気絶縁性被覆材９を介して設置した構造となっている。ここでのマイクロストリップライン１２の両端についても、ネットワークアナライザに接続することにより、反射レベルＳ１１と透過レベルＳ２１との測定に供されるものであるが、この状態は実施例３で作製したフレキシブルフラットケーブル内の導体１１に高周波電流が流れた場合の伝導ノイズの抑制効果を擬似的に再現していると考えることができるものである。

図１３は、この評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数（ＭＨｚ）に対する反射レベルＳ１１（ｄＢ）の特性を測定した結果を示したものである。図１３からは、反射レベルＳ１１のパラメータは１０ＧＨｚに至るまでの周波数範囲でほぼ−１０ｄＢ以下であり、十分低い値となっていることが判る。

図１４は、同様に係る評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数（ＭＨｚ）に対する透過レベルＳ２１（ｄＢ）の特性を測定した結果を示したものである。図１４からは、透過レベルＳ２１のパラメータは１０ＧＨｚで約−７ｄＢで実施例１の場合よりも良い結果となり、優れたノイズ抑制効果を示していることが判る。

尚、上述した各実施例に係るフレキシブルフラットケーブルでは、基本的にフェライト膜８が電気絶縁被覆材９の外側における片方の面側に配置される構造として説明したが、それに代えて両方の面側に配置される構造としたり、或いは図６に示されるように電気絶縁被覆材９の内側における片方の面側又は両方の面側に配置される構造としたり、更には電気絶縁被覆材９の内側における片方の面又は両方の面の何れかに内包される構造としても同等にノイズ抑制効果が得られるので、開示したものに限定されない。

本発明のフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）及びその製造方法は、ＩＣチップ等の半導体装置部品が搭載されていないものを対象とする以外、半導体装置部品が搭載されたフレキシブルプリント配線回路基板（ＦＰＣ）を対象にしても同様の作用効果が得られる。

本発明の各実施例に係るフレキシブルフラットケーブルの製造に用いられるフェライト成膜用メッキ装置の概略構成を示したものである。本発明の実施例１に係るフレキシブルフラットケーブルの基本構造を示した側面断面図である。図２に示すフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。図３に示す評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数に対する反射レベルの特性を測定した結果を示したものである。図３に示す評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数に対する透過レベルの特性を測定した結果を示したものである。図３に示す評価系構造に代用可能な別の形態のフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。本発明の実施例２に係るフレキシブルフラットケーブルの基本構造を示した側面断面図である。図７に示すフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。図８に示す評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数に対する反射レベルの特性を測定した結果を示したものである。図８に示す評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数に対する透過レベルの特性を測定した結果を示したものである。本発明の実施例３に係るフレキシブルフラットケーブルの基本構造を示した側面断面図である。図１１に示すフレキシブルフラットケーブルの要部におけるノイズ抑制効果を評価するための評価系構造を示した側面断面図である。図１２に示す評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数に対する反射レベルの特性を測定した結果を示したものである。図１２に示す評価系構造におけるノイズ抑制効果として周波数に対する透過レベルの特性を測定した結果を示したものである。

符号の説明

１〜３ノズル
４基体
５，６タンク
７ガス導入口
８フェライト膜
９電気絶縁性被覆材
１０粘着層（両面テープ）
１１導体
１２マイクロストリップライン
１３金属箔
１４高誘電率シート

Claims

同一平面内で配列した所定数の導体を電気絶縁性被覆材により平板状に被覆する工程と、
金属箔で構成されたフレキシブルな基体上に少なくとも第一鉄イオンを含む反応液を接触させる反応液接触工程と、
少なくとも酸化剤を含んだ酸化液を前記基体上に接触させる酸化液接触工程と、前記反応液及び前記酸化液のうちの膜生成に寄与しない残分を前記基体上から除去することにより前記フェライト膜を成膜する残分除去工程と、
前記基体の表面に成膜された前記フェライト膜を、前記電気絶縁性被覆材の片方の面又は両方の面の何れかに粘着層を介して貼り付ける工程と、
を有することを特徴とするフレキシブルフラットケーブルの製造方法。